JPH0255340B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0255340B2 JPH0255340B2 JP5742985A JP5742985A JPH0255340B2 JP H0255340 B2 JPH0255340 B2 JP H0255340B2 JP 5742985 A JP5742985 A JP 5742985A JP 5742985 A JP5742985 A JP 5742985A JP H0255340 B2 JPH0255340 B2 JP H0255340B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- magazine
- wafers
- arm
- insertion device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ウエーハを収容したマガジンが載置
され、該マガジンとウエーハ処理装置との間でウ
エーハを搬送するウエーハ挿入装置の構成に関す
る。
され、該マガジンとウエーハ処理装置との間でウ
エーハを搬送するウエーハ挿入装置の構成に関す
る。
半導体装置などの製造におけるウエーハプロセ
スに使用されるウエーハ処理装置例えばイオン注
入II装置や化学気相長CVD装置などは、枚葉処
理の構成になつているものが多い。
スに使用されるウエーハ処理装置例えばイオン注
入II装置や化学気相長CVD装置などは、枚葉処
理の構成になつているものが多い。
この枚葉処理を自動化するのに、通常、複数枚
のウエーハを収容したマガジンが載置され該マガ
ジンとウエーハ処理装置との間でウエーハを搬送
するウエーハ挿入装置が用いられている。
のウエーハを収容したマガジンが載置され該マガ
ジンとウエーハ処理装置との間でウエーハを搬送
するウエーハ挿入装置が用いられている。
この場合、マガジンの大きさの制約などから、
マガジンが収容するウエーハの枚数が制限される
が、自動運転の立場からその枚数を多くすること
が望まれている。
マガジンが収容するウエーハの枚数が制限される
が、自動運転の立場からその枚数を多くすること
が望まれている。
従来のウエーハ挿入装置の一例の構成は、第３
図の側面図に示す如くである。
図の側面図に示す如くである。
同図において、Ｍは複数枚のウエーハＷを間隔
をおいて積層収容するマガジン、１はマガジンＭ
を載置する載置台、２は載置台１を図上上下方向
に移動させる載置台移動装置、３はウエーハＷを
先端部のウエーハ保持部３ａで銜えマガジンＭと
ウエーハ処理装置Ａとの間を搬送する搬送アー
ム、４は搬送アーム３を図上左右方向と上下方向
に移動させるアーム移動装置である。
をおいて積層収容するマガジン、１はマガジンＭ
を載置する載置台、２は載置台１を図上上下方向
に移動させる載置台移動装置、３はウエーハＷを
先端部のウエーハ保持部３ａで銜えマガジンＭと
ウエーハ処理装置Ａとの間を搬送する搬送アー
ム、４は搬送アーム３を図上左右方向と上下方向
に移動させるアーム移動装置である。
このウエーハ挿入装置の作動は次の如くである
（第３図ならびに作動フローチヤートなる第４図
参照）。
（第３図ならびに作動フローチヤートなる第４図
参照）。
搬送アーム３が定位置（第３図図示実線の位
置）から図上右方向に搬送移動ａをなして第３図
図示長破線の位置に移り（この際、これから処理
されるウエーハＷの高さが搬送アーム３の高さに
合うように載置台１が位置している）、そこでウ
エーハ保持部３ａがマガジンＭから処理されるウ
エーハＷを銜え、更に右方向に搬送移動ａをなし
第３図図示短破線の位置に移る。ここで搬送され
たウエーハは、ウエーハ処理装置Ａにおけるウエ
ーハＷ載置位置の直上に位置する。
置）から図上右方向に搬送移動ａをなして第３図
図示長破線の位置に移り（この際、これから処理
されるウエーハＷの高さが搬送アーム３の高さに
合うように載置台１が位置している）、そこでウ
エーハ保持部３ａがマガジンＭから処理されるウ
エーハＷを銜え、更に右方向に搬送移動ａをなし
第３図図示短破線の位置に移る。ここで搬送され
たウエーハは、ウエーハ処理装置Ａにおけるウエ
ーハＷ載置位置の直上に位置する。
次いで、搬送アーム３が下方向に載置移動ｂを
なしてウエーハＷをウエーハ処理装置Ａに載置
し、上記と逆方向に移動して定位置に復帰する。
ウエーハ処理装置Ａはウエーハ処理を開始する。
なしてウエーハＷをウエーハ処理装置Ａに載置
し、上記と逆方向に移動して定位置に復帰する。
ウエーハ処理装置Ａはウエーハ処理を開始する。
次いで、ウエーハ処理が完了したところで、搬
送アームが搬送移動ａと載置移動ｂをなして処理
が完了したウエーハＷを銜え、逆に戻つて該ウエ
ーハＷをマガジンＭの元の位置に載置し定位置に
復帰する。
送アームが搬送移動ａと載置移動ｂをなして処理
が完了したウエーハＷを銜え、逆に戻つて該ウエ
ーハＷをマガジンＭの元の位置に載置し定位置に
復帰する。
次いで、載置台１が図上上下方向（通常は下方
向）にステツプ移動ｃをなし、先に戻したウエー
ハＷに隣接（通常は上に隣接）するウエーハＷの
高さ搬送アーム３の高さに合わせる。
向）にステツプ移動ｃをなし、先に戻したウエー
ハＷに隣接（通常は上に隣接）するウエーハＷの
高さ搬送アーム３の高さに合わせる。
以下、上記の作動を繰り返し、マガジンＭに収
容された全てのウエーハＷの完了したところで、
通常、手作業によりマガジンＭが交換される。
容された全てのウエーハＷの完了したところで、
通常、手作業によりマガジンＭが交換される。
従つて、一回の自動運転の期間はマガジンＭが
交換されてから次の交換迄であり、その間に処理
されるウエーハＷの枚数はマガジンＭに収容され
ている枚数である。
交換されてから次の交換迄であり、その間に処理
されるウエーハＷの枚数はマガジンＭに収容され
ている枚数である。
この構成のウエーハ挿入装置において、搬送ア
ーム３は、載置移動ｂをなす際に、マガジンＭに
おける銜え出したウエーハＷに隣接していた二枚
のウエーハＷの間にある。
ーム３は、載置移動ｂをなす際に、マガジンＭに
おける銜え出したウエーハＷに隣接していた二枚
のウエーハＷの間にある。
このため、マガジンＭがウエーハＷを収容する
際のウエーハ間隔ｇは、載置移動ｂによつて搬送
アーム３がウエーハＷに接触しないだけの大きさ
が必要である。このことから、マガジンＭは収容
するウエーハＷの枚数を多くすることが困難とな
り、本ウエーハ挿入装置は一回の自動運転で処理
出来るウエーハＷの枚数が少ない問題がある。
際のウエーハ間隔ｇは、載置移動ｂによつて搬送
アーム３がウエーハＷに接触しないだけの大きさ
が必要である。このことから、マガジンＭは収容
するウエーハＷの枚数を多くすることが困難とな
り、本ウエーハ挿入装置は一回の自動運転で処理
出来るウエーハＷの枚数が少ない問題がある。
上記問題点は、複数枚のウエーハを間隔を置い
て積層収容したマガジンが載置され、ウエーハ搬
送アームが、該積層収容部の横方向から該マガジ
ン領域に入つて一枚のウエーハを銜え、更に前進
した後該積層方向に移動して銜えたウエーハをウ
エーハ処理装置に載置する手段を有し、該アーム
の上記積層方向の移動に際して該アームが該マガ
ジンに収容されているウエーハに接触せぬよう該
マガジンを同方向に移動させる手段を具える本発
明のウエーハ挿入装置によつて解決される。
て積層収容したマガジンが載置され、ウエーハ搬
送アームが、該積層収容部の横方向から該マガジ
ン領域に入つて一枚のウエーハを銜え、更に前進
した後該積層方向に移動して銜えたウエーハをウ
エーハ処理装置に載置する手段を有し、該アーム
の上記積層方向の移動に際して該アームが該マガ
ジンに収容されているウエーハに接触せぬよう該
マガジンを同方向に移動させる手段を具える本発
明のウエーハ挿入装置によつて解決される。
従来のウエーハ挿入装置の場合、マガジンに吸
容するウエーハの間隔を大きくする必要性は、ウ
エーハ搬送アームを挟むウエーハの位置が固定し
たまま該アームが上記積層方向に移動（第３図図
示における載置移動ｂ）することに起因してい
る。
容するウエーハの間隔を大きくする必要性は、ウ
エーハ搬送アームを挟むウエーハの位置が固定し
たまま該アームが上記積層方向に移動（第３図図
示における載置移動ｂ）することに起因してい
る。
従つて上記構成のように、ウエーハ搬送アーム
が上記積層方向に移動する際にマガジンを同方向
に移動させることにより、該アームを挟むウエー
ハも同方向に移動するので、ウエーハの間隔を従
来より小さくすることが可能になる。
が上記積層方向に移動する際にマガジンを同方向
に移動させることにより、該アームを挟むウエー
ハも同方向に移動するので、ウエーハの間隔を従
来より小さくすることが可能になる。
かくして本ウエーハ挿入装置は、マガジンが収
容するウエーハ枚数の増加を可能にさせ、一回の
自動運転で処理出来るウエーハの枚数を従来より
増加させることが可能になる。
容するウエーハ枚数の増加を可能にさせ、一回の
自動運転で処理出来るウエーハの枚数を従来より
増加させることが可能になる。
以下本発明によるウエーハ挿入装置の一実施例
についてその構成を示す第１図の側面図および第
２図の作動フローチヤートにより説明する。全図
を通じ同一符号は同一対象物を示す。
についてその構成を示す第１図の側面図および第
２図の作動フローチヤートにより説明する。全図
を通じ同一符号は同一対象物を示す。
第１図は第３図に対応する図で、第１図図示の
ウエーハ挿入装置は、搬送アーム３が図上上下方
向の載置移動ｂをする際に、載置台１も載置移動
ｂの移動に見合つた同方向の補助移動ｄをするよ
うな機能を第３図図示のウエーハ挿入装置に付加
したものである。この変更に伴い載置台移動装置
２は、載置台１の補助移動ｄも可能にした載置台
移動装置２ａに変わつている。
ウエーハ挿入装置は、搬送アーム３が図上上下方
向の載置移動ｂをする際に、載置台１も載置移動
ｂの移動に見合つた同方向の補助移動ｄをするよ
うな機能を第３図図示のウエーハ挿入装置に付加
したものである。この変更に伴い載置台移動装置
２は、載置台１の補助移動ｄも可能にした載置台
移動装置２ａに変わつている。
即ち、載置台移動装置２ａは、アーム移動装置
４が搬送アーム３に載置移動ｂを与えた際に、ア
ーム移動装置４から信号を貰い載置移動ｂと同方
向略同量の補助移動ｄを載置台１に与えている。
４が搬送アーム３に載置移動ｂを与えた際に、ア
ーム移動装置４から信号を貰い載置移動ｂと同方
向略同量の補助移動ｄを載置台１に与えている。
このウエーハ挿入装置の作動は、第４図に対応
する第２図にも示す如く、付加された上記作動以
外は第３図図示のウエーハ挿入装置で述べたのと
全く同一であるので説明を省略する。
する第２図にも示す如く、付加された上記作動以
外は第３図図示のウエーハ挿入装置で述べたのと
全く同一であるので説明を省略する。
以上の内容から明らかなように、このウエーハ
挿入装置に使用するマガジンは、従来のマガジン
Ｍの場合よりウエーハ間隔ｇを狭め、収容するウ
エーハＷの枚数を増加させた図示マガジンMaに
することが出来て、一回の自動運転で処理出来る
ウエーハＷの枚数を増加させる。
挿入装置に使用するマガジンは、従来のマガジン
Ｍの場合よりウエーハ間隔ｇを狭め、収容するウ
エーハＷの枚数を増加させた図示マガジンMaに
することが出来て、一回の自動運転で処理出来る
ウエーハＷの枚数を増加させる。
かくすることによつて本願の発明者は、マガジ
ンMa外径寸法をマガジンＭより大きくすること
なしに、ウエーハＷの収容枚数を約２倍にするこ
とが出来た。
ンMa外径寸法をマガジンＭより大きくすること
なしに、ウエーハＷの収容枚数を約２倍にするこ
とが出来た。
なお上記実施例では、載置台移動装置２ａが、
補助移動ｄを与えるめの信号をアーム移動装置４
から貰つたが、搬送アーム３の移動を検知する別
のセンサを設けて該センサから信号を貰つてもよ
い。
補助移動ｄを与えるめの信号をアーム移動装置４
から貰つたが、搬送アーム３の移動を検知する別
のセンサを設けて該センサから信号を貰つてもよ
い。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明の構成によれば、
ウエーハを収容したマガジンが載置され該マガジ
ンとウエーハ処理装置との間でウエーハを搬送す
るウエーハ挿入装置において、マガジンが収容す
るウエーハ枚数の増加を可能にさせ、一回の自動
運転で処理出来るウエーハの枚数を従来より増加
することを可能にさせる効果がある。
ウエーハを収容したマガジンが載置され該マガジ
ンとウエーハ処理装置との間でウエーハを搬送す
るウエーハ挿入装置において、マガジンが収容す
るウエーハ枚数の増加を可能にさせ、一回の自動
運転で処理出来るウエーハの枚数を従来より増加
することを可能にさせる効果がある。
図面において、第１図は本発明によるウエーハ
挿入装置の一実施例の構成を示す側面図、第２図
はそのフローチヤート、第３図は従来のウエーハ
挿入装置の一例の構成を示す側面図、第４図はそ
のフローチヤートである。 また図中において、１はマガジン載置台、２，
２ａは載置台移動装置、３は搬送アーム、３ａは
ウエーハ保持部、４はアーム移動装置、Ａはウエ
ーハ処理装置、Ｍ，Maはマガジン、Ｗはウエー
ハ、ａは搬送移動、ｂは載置移動、ｃはステツプ
移動、ｄは補助移動、ｇはウエーハ間隔、をそれ
ぞれ示す。
挿入装置の一実施例の構成を示す側面図、第２図
はそのフローチヤート、第３図は従来のウエーハ
挿入装置の一例の構成を示す側面図、第４図はそ
のフローチヤートである。 また図中において、１はマガジン載置台、２，
２ａは載置台移動装置、３は搬送アーム、３ａは
ウエーハ保持部、４はアーム移動装置、Ａはウエ
ーハ処理装置、Ｍ，Maはマガジン、Ｗはウエー
ハ、ａは搬送移動、ｂは載置移動、ｃはステツプ
移動、ｄは補助移動、ｇはウエーハ間隔、をそれ
ぞれ示す。
Claims (1)
- １ 複数枚のウエーハを間隔を置いて積層収容し
たマガジンが載置され、ウエーハ搬送アームが、
該積層収容部の横方向から該マガジン領域に入つ
て一枚のウエーハを銜え、更に前進した後該積層
方向に移動して銜えたウエーハをウエーハ処理装
置に載置する手段を有し、該アームの上記積層方
向の移動に際して該アームが該マガジンに収容さ
れているウエーハに接触せぬよう該マガジンを同
方向に移動させる手段を具えることを特徴とする
ウエーハ挿入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5742985A JPS61217442A (ja) | 1985-03-20 | 1985-03-20 | ウエ−ハ插入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5742985A JPS61217442A (ja) | 1985-03-20 | 1985-03-20 | ウエ−ハ插入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61217442A JPS61217442A (ja) | 1986-09-27 |
| JPH0255340B2 true JPH0255340B2 (ja) | 1990-11-27 |
Family
ID=13055409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5742985A Granted JPS61217442A (ja) | 1985-03-20 | 1985-03-20 | ウエ−ハ插入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61217442A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0649529B2 (ja) * | 1986-11-28 | 1994-06-29 | 日本真空技術株式会社 | 真空室内における物体の搬送方法 |
| JPS63208452A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-29 | Canon Inc | 基板搬送装置 |
| JPH089049Y2 (ja) * | 1987-07-27 | 1996-03-13 | 日本電気株式会社 | 自動基板供給・収納装置 |
-
1985
- 1985-03-20 JP JP5742985A patent/JPS61217442A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61217442A (ja) | 1986-09-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |