JPH0260066B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、接触プローブの先端をIC、LSI等の
回路基板の検査点に接触させて電気的試験、検査
等を行なう検査装置に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

検査すべき回路基板に対向して移動自在に設け
られた支持板に、筒状の外部導体の内部中心導体
を絶縁状態で設けた同軸型可動接触プローブを回
路基板に向かつて貫通状態で支持し、支持板の移
動により接触プローブの先端を回路基板の検査点
に接触させて電気的な測定検査を行なう回路基板
等の検査装置は、例えば特公昭58−175273号公報
に記載されているように公知である。

この種の同軸型可動接触プローブは、その同軸
構造のために、インピーダンス整合がよく、信号
の漏洩、信号レベルの減衰が少ない等の利点があ
り、電気的に良好な測定、検査を行なうことがで
きる。

しかしながら従来の同軸型可動接触プローブで
は、最も故障、破損し易い中心導体が、故障、破
損して交換しなければならない時には、外部導体
等の他の部分をも外さないと交換作業を行なうこ
とができない。また、従来の同軸型可動接触プロ
ーブは、その支持板への装着構造が比較的複雑
で、着脱にも手間がかかるという欠点がある。

そこで本出願人は、先に特願昭59−14760号に
おいて、同軸型可動接触プローブの中心導体を簡
単に挿入、取外しすることができ、また同軸型可
動接触プローブの支持板への装着が確実かつ簡単
な回路基板等の検査装置を提案した。

この検査装置における同軸型可動接触プローブ
Ｐは、第１図に示すように中心導体１とその外周
に同軸的に設けられた筒状の外部導体２とを備
え、外部導体２の内面には、電気絶縁材からなる
絶縁筒３が固定され、前記中心導体１はこの絶縁
筒３の中心導体挿入用貫通孔４内に摩擦的に挿入
されている。

外部導体２の外面には外筒５が一体的に嵌めて
あり、この外筒５は、支持体６に設けた挿入孔７
内に圧入されている。

この外筒５の両端部の内側には凹入部８がそれ
ぞれ形成されて外部導体２との間に環状空間が形
成され、各環状空間内には、先端可動部９および
基端可動部１０をそれぞれ構成する導体からなる
筒体の内端が抜け止めされた状態で挿入されてい
る。そして、各可動部９，１０は、環状空間内に
配したコイルばね１１の付勢力に抗して押圧する
ことにより環状空間内に没入自在となつている。

一方、中心導体１は、筒状の主体１２とこの主
体１２の両端部に出没自在に配された先端ピン１
３および基端ピン１４とを備えており、各ピン１
３，１４は、主体１２内に組込まれたばねにより
外方へ弾圧されている。そして、この中心導体１
の軸方向の位置決めは、主体１２の先端に形成し
た位置決めフランジ１５を前記絶縁筒３の先端面
に当接することによりなされるようになつてい
る。

しかして、以上の構成を有する同軸型可動接触
プローブＰにおいては、先端ピン１３および先端
可動部９が回路パターンの所定点に適度な背圧で
圧接されて電気的接続状態が得られ、このプロー
ブＰにより得られた回路パターンからの信号は、
基端ピン１４および基端可動部１０を介してプロ
ーブＰに接続されるコネクタおよび同軸ケーブル
を通し測定器に送られ、測定検査が行なわれる。

ところで、外部導体２の両端に可動部９，１０
を有するこの種の同軸可動接触プローブでは、コ
イルばね１１を組込む等の理由からプローブＰが
太くなつてしまい、プローブＰの支持板６への装
着ピツチに一定の制限がある。

また、この種のプローブは、外部導体２を介し
てそれぞれアースをとる構造になつているため、
プローブＰの基端には太径の同軸ケーブルを接続
しなければならず、その本数が何百本にも及ぶ場
合には配線のとりまわしが容易でないという問題
もある。

〔発明の目的〕

本発明はかかる現況に鑑みなされたもので、プ
ローブの支持板への装着ピツチを狭くして検査す
べき回路基板のパターンに充分対応させることが
でき、各プローブと測定器との間の配線処理が容
易な回路基板等の検査装置を提供することを目的
とする。

〔発明の概要〕

本発明は、外部導体の両端に設けられている可
動部を省略し、プローブとは別に支持板に貫通配
置した接地ピンに、前記外部導体を支持板の表面
に沿う位置に設けた接続金具を介して接続し、接
地ピンによりアースをとるようにしたことを特徴
とする。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第２図ないし第５図
を参照して説明する。

第２図において、２０は適当な手段により支持
された被検査回路基板であり、この回路基板２０
の下方には、中心の支軸２１により案内されて上
下方向に移動する接触プローブ装着基板としての
支持板２２が設けられている。そしてこの支持板
２２には、同軸型可動接触プローブＰおよび接地
ピン２３が上下方向に多数貫通支持されている。
各プローブＰおよび接地ピン２３は先端（上端）
に接触部を有し、支持板２２が回路基板２０に向
かつて上昇すると、各プローブＰおよび接地ピン
２３の先端が回路基板２０の下面の回路パターン
に電気的に接触して測定検査が行なわれるように
なつている。なお、支持板２２を固定し回路基板
２０を上下動させるようにしてもよい。

支持板２２の下方には、支持板２２とともに支
軸２１にそつて上下動するコネクタ保持板２４が
配設されており、このコネクタ保持板２４には、
測定器（図示せず）へ到る導線２５に各プローブ
Ｐを電気的に接続するコネクタ２６および接地ピ
ン２３と電気的に接続する接地側導体２７がそれ
ぞれ設けられ、接地側導体２７からは、接地ピン
２３の本数に比較して大幅に少ない。例えば１な
いし数本の導線（図示せず）が引出されて接地側
導体２７を接地している。なお、第２図において
両端部の各３本の接地ピン２３についてはそれと
対をなす接触プローブＰは例えば紙面に交わる方
向における手前側または奥側にあり図には表われ
ていない。

前記同軸型可動接触プローブＰは、第３図に示
すように中心導体２８とその外周に同軸的に設け
られた筒状の外部導体２９とを備えており、外部
導体２９の内端には、電気絶縁材からなる絶縁筒
３０が挿入され、外部導体２９の上下端部に形成
された絞り部２９ａにより外部導体２９からの抜
け止めがなされている。この絶縁筒３０は、その
軸心部に中心導体挿入用貫通孔３１を有してお
り、前記中心導体２８はこの貫通孔３１に挿入さ
れている。

前記外部導体２９の上部外面には、第３図およ
び第４図に示すようにフランジ３２が一体に形成
されており、前記支持板２２の挿通孔３３に圧入
された外部導体２９は、前記フランジ３２を支持
板２２の上面に当接させることにより挿入位置が
決定されるようになつている。

前記中心導体２８は、筒状の主体３４とこの主
体３４の両端部に位置する先端ピン３５および基
端ピン３６とを有しており、各ピン３５，３６の
基部３５ａ，３６ａは主体３４内に抜け止め状態
で挿入され、主体３４内に組込んだコイルばね３
７によつてボール３８を介し外方へ弾圧されてい
る。コイルばね３７の内端は、主体３４の内側へ
向かつて変形させたビード３９に受け止めされて
いる。主体３４の貫通孔３１の軸線方向での位置
決めは、第３図に示すように主体３４の上端部に
形成した位置決めフランジ４０を前記絶縁筒３０
の端面に当接させることにより行なわれる。

また、中心導体２８が貫通孔３１から簡単に抜
けないようにするために、中心導体２８は貫通孔
３１に摩擦的に挿入されている。摩擦力を発生さ
せる手段としては、貫通孔３１を中心導体２８よ
り幾分大き目にするとともに、中心導体２８の主
体３４を若干湾曲させ、貫通孔３１内への挿入時
に直線状に撓ませるようにすることが考えられ
る。主体３４の湾曲加工は、主体素材に予め塑性
変形を与えることにより行なつてもよいし、主体
３４に先端ピン３５および基端ピン３６を組み込
んでから主体３４に湾曲を与えることにより行な
つてもよい。また、湾曲を与える代わりに、湾曲
のない主体３４の内側から外側へ向かつて打出し
突起を形成し、この突起を幾分弾性のある絶縁筒
３０に当接させることにより摩擦保持機能を与え
てもよい。

一方、前記接地ピン２３は、第４図に示すよう
に前記支持板２２に設けた挿通孔４１に圧入され
た筒状の主体４２とこの主体４２の両端に組付け
られた接地ピン４３および基端ピン４４とを備え
ており、各ピン４３，４４は、主体４２内に組込
まれたコイルばね（図示せず）により外方に付勢
されて出没自在となつている。また、前記主体４
２の軸方向の位置決めは、主体４２の上部外面に
形成したフランジ４５を支持板２２の先端面に当
接させることにより行なわれる。

このように構成された接地ピン２３と前記プロ
ーブＰとは、第４図に示すように支持板２２の上
下面位置において接続金具４６を介し電気的に接
続されている。

この接続金具４６は、第５図にも示すようにプ
ローブＰの外部導体２９の外周面に摩擦的に装着
されるリング部４６ａと、接地ピン２３の主体４
２の外周面に摩擦的に装着されるリング部４６ｂ
と、両リング部４６ａ，４６ｂを連結する接続部
４６ｃとから板状導体を湾曲加工することにより
形成されており、この接続金具４６によりプロー
ブＰの外部導体２９がアース側として機能するよ
うになつている。

以上のように構成された本発明の回路基板等の
検査装置は、その接触プローブ支持板２２および
コネクタ保持板２４を、回路基板２０の回路パタ
ーンに向かつて相対的に移動させることにより検
査を行なうものであり、各プローブＰおよび各接
地ピン２３の先端ピン３５，４３が回路パターン
の所定点に背後のばね力により圧接され、電気的
接続状態が得られる。そして、回路パターンから
の信号は各プローブＰおよび各接地ピン２３を介
して図示しない測定器に送られ、そこで測定検査
が行なわれる。

この際、接触プローブＰの中心導体２８と外部
導体２９との間が絶縁筒３０により満たされてい
るので、インピーダンスの変化が生じることがな
く、測定システムから被測定物までのインピーダ
ンスの乱れもなく信号を送ることができる。

また、アース側は外部導体２９から接続金具４
６で接地ピン２３に接続させる構造としているの
で、プローブＰが小径となり、プローブＰの支持
板２２への装着ピツチを狭くすることができる。

また、各プローブＰからは太い同軸ケーブルが
引出されているのではなく、細い導線２５のみで
あり、アース側は接地側導体２７から例えば１本
のアース線をとればよいので、配線のとりまわし
が容易であり、装置の動作の信頼性を向上させる
ことができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、プローブの中心
導体を容易に着脱できる構造となつているので、
故障、破損時における交換が容易である。またそ
の挿入時の位置決めも容易で、挿入後はみだりに
脱出することがない。

また、アース側は外部導体から接地金具で接地
ピンに接続させる構造としているので、プローブ
が小径となりプローブの支持板への装着ピツチを
狭くすることができる。この結果、検査できる回
路基板の範囲が拡大される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本出願人の先願に係る同軸型可動接触
プローブの構成を示す断面図、第２図は本発明の
回路基板などの検査装置の断面図、第３図は本発
明で用いる同軸型可動接触プローブを示す断面
図、第４図はプローブと接地ピンとの関係を示す
第２図の要部拡大図、第５図は第４図の平面図で
ある。 ２０……回路基板、２２……支持板、２３……
接地ピン、２４……コネクタ保持板、２８……中
心導体、２９……外部導体、３０……絶縁筒、３
４，４２……主体、３５，４３……先端ピン、３
６，４４……絶縁筒、４０，４５……位置決めフ
ランジ、４６……接続金具、４６ａ，４６ｂ……
リング部、４６ｃ……接続部、Ｐ……同軸型可動
接触プローブ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 検査すべき回路基板に対向して相対的に移動
   自在に設けられた支持板に、筒状の外部導体の内
   部に中心導体を絶縁状態で設けた同軸型可動接触
   プローブを回路基板に向かつて貫通状態で支持
   し、支持板の回路基板に対する相対移動により接
   触プローブの先端を回路基板の検査点に接触させ
   て電気的な測定検査を行なう回路基板などの検査
   装置であつて、接触プローブの中心導体を、筒状
   の主体と主体の先端部にばね力に抗して後退自在
   に支持した先端ピンとにより構成し、前記支持板
   に、接触プローブに隣接して接地ピンを回路基板
   に向かつて貫通状態で支持し、この接地ピンとア
   ース側となる前記外部導体とを支持板の表面に沿
   う位置で接続金具を介して接続したことを特徴と
   する回路基板等の検査装置。 ２ 接続金具の両端部に、接地ピンおよび外部導
   体の外周部に摩擦的にそれぞれ装着されるリング
   部を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載の回路基板等の検査装置。