JPH0260916B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0260916B2 JPH0260916B2 JP59157250A JP15725084A JPH0260916B2 JP H0260916 B2 JPH0260916 B2 JP H0260916B2 JP 59157250 A JP59157250 A JP 59157250A JP 15725084 A JP15725084 A JP 15725084A JP H0260916 B2 JPH0260916 B2 JP H0260916B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gasket
- sleeve
- fluid coupling
- threaded portion
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Joints With Pressure Members (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、従来にない高度の気密性を有し、し
かもパーテイクルの発生も防止した袋ナツト締め
流体継手に関するものである。
かもパーテイクルの発生も防止した袋ナツト締め
流体継手に関するものである。
近年技術革新のハイスピード化に伴い、超LSI
とか超々LSIにみられるように、飛躍的に大規模
な集積回路を製造する必要性が生じてきている。
このような大規模集積回路を製造するには、伴導
体化合物のガリウム砒素のような超毒性ガス流体
の使用や、超高真空下に於ける高純度の被膜形成
の必要性があることから、その半導体製造装置に
は必然的に高度の気密性が要求されてきている。
とか超々LSIにみられるように、飛躍的に大規模
な集積回路を製造する必要性が生じてきている。
このような大規模集積回路を製造するには、伴導
体化合物のガリウム砒素のような超毒性ガス流体
の使用や、超高真空下に於ける高純度の被膜形成
の必要性があることから、その半導体製造装置に
は必然的に高度の気密性が要求されてきている。
しかして、このような装置の流路形成要素を連
結するには、全てを熔接によるのは不可能であ
り、メカニカルに結合し、しかも優れた気密性を
有する流体継手がなければ装置を完成させること
は出来ない。このような目的に使用する継手とし
ては、信頼性が高いという理由で主として外国製
のものが使用されており、各種のものがあるが、
その代表的なものとしては第３図に示すような、
２つのスリーブ１，２をガスケツト３を介して連
結してなり、この連結締付けをスリーブ１に嵌着
させた外周にねじ部を形成したグランド４に、他
方のスリーブ２に嵌装させたナツト５を螺合させ
ることによつて行なう流体継手が挙げられる。一
方、ガスケツトとして、第２図に示すように、比
較的細い螺旋状コイルバネの両端をつないで円形
にしたコイルスプリング１９を、金属製チユーブ
２０で外側の中心が開くように抱持することによ
り構成されてなるものが開発されてきた。このガ
スケツトは、低い締付力のもとで使用できる等の
利点があることから、本発明者は、このガスケツ
トを上記継手に使用することを想到し、非常に良
好な結果を得た。しかしてこのガスケツトは、締
付た時にコイルスプリングの反発力によつてガス
ケツトの金属製チユーブがボデーとスリーブとの
ガスケツトを介して当接する面（シール面）に傷
をつけ、そのため高度の気密性が得られない欠点
があると共に、ガスケツトにも微細線状傷が形成
され、高価なガスケツトを繰り返し使用すること
ができない問題点があつた。また、シール面に
は、微細な凹凸部が形成されているので、この凹
凸面に含まれているパーテイクルが反応ガス中に
混入する危険性が生じ、反応ガス中に混入すると
反応ガスと一緒にウエハー上に運ばれウエハーを
損傷するという半導体製造用継手としては致命的
な欠点も生じた。
結するには、全てを熔接によるのは不可能であ
り、メカニカルに結合し、しかも優れた気密性を
有する流体継手がなければ装置を完成させること
は出来ない。このような目的に使用する継手とし
ては、信頼性が高いという理由で主として外国製
のものが使用されており、各種のものがあるが、
その代表的なものとしては第３図に示すような、
２つのスリーブ１，２をガスケツト３を介して連
結してなり、この連結締付けをスリーブ１に嵌着
させた外周にねじ部を形成したグランド４に、他
方のスリーブ２に嵌装させたナツト５を螺合させ
ることによつて行なう流体継手が挙げられる。一
方、ガスケツトとして、第２図に示すように、比
較的細い螺旋状コイルバネの両端をつないで円形
にしたコイルスプリング１９を、金属製チユーブ
２０で外側の中心が開くように抱持することによ
り構成されてなるものが開発されてきた。このガ
スケツトは、低い締付力のもとで使用できる等の
利点があることから、本発明者は、このガスケツ
トを上記継手に使用することを想到し、非常に良
好な結果を得た。しかしてこのガスケツトは、締
付た時にコイルスプリングの反発力によつてガス
ケツトの金属製チユーブがボデーとスリーブとの
ガスケツトを介して当接する面（シール面）に傷
をつけ、そのため高度の気密性が得られない欠点
があると共に、ガスケツトにも微細線状傷が形成
され、高価なガスケツトを繰り返し使用すること
ができない問題点があつた。また、シール面に
は、微細な凹凸部が形成されているので、この凹
凸面に含まれているパーテイクルが反応ガス中に
混入する危険性が生じ、反応ガス中に混入すると
反応ガスと一緒にウエハー上に運ばれウエハーを
損傷するという半導体製造用継手としては致命的
な欠点も生じた。
「問題点を解決するための手段」
本発明者は、ボデーとスリーブとの当接面に、
それぞれ嵌合凹部と嵌合凸部とを、嵌合凹部の端
面が嵌合凸部の段部と当接してガスケツトが有効
弾性圧縮量以上圧縮されないように設けると共
に、ボデーとスリーブとのガスケツトを介して当
接する面にロールバニシング処理面を形成し、前
記ガスケツトとしてリング状コイルスプリングを
断面Ｃ字状の金属製チユーブで抱持してなるガス
ケツトを使用することにより、シール面とガスケ
ツトとに傷がつくことを防止し、その結果高度の
気密性を維持できると共に、パーテイクルの反応
ガス中への混入も防止し得ることを見出し、本発
明に到達した。
それぞれ嵌合凹部と嵌合凸部とを、嵌合凹部の端
面が嵌合凸部の段部と当接してガスケツトが有効
弾性圧縮量以上圧縮されないように設けると共
に、ボデーとスリーブとのガスケツトを介して当
接する面にロールバニシング処理面を形成し、前
記ガスケツトとしてリング状コイルスプリングを
断面Ｃ字状の金属製チユーブで抱持してなるガス
ケツトを使用することにより、シール面とガスケ
ツトとに傷がつくことを防止し、その結果高度の
気密性を維持できると共に、パーテイクルの反応
ガス中への混入も防止し得ることを見出し、本発
明に到達した。
ロールバニシング処理自体は公知の方法である
が、従来、ガスケツトを介して当接するボデーと
スリーブとの面にロールバニシング処理すること
は全く知られていない。現に、このような面をロ
ールバニシング処理することができる機械は市販
されていないし、知られていない。即ち、従来の
ようなガスケツトにあつては、スプリングの反発
力に起因してボデーとスリーブとのガスケツトを
介して当接する面に傷が形成されるということが
なかつたからである。
が、従来、ガスケツトを介して当接するボデーと
スリーブとの面にロールバニシング処理すること
は全く知られていない。現に、このような面をロ
ールバニシング処理することができる機械は市販
されていないし、知られていない。即ち、従来の
ようなガスケツトにあつては、スプリングの反発
力に起因してボデーとスリーブとのガスケツトを
介して当接する面に傷が形成されるということが
なかつたからである。
本発明の効果の原因は、ボデーとガスケツトと
の当接面に設けた段部により、ガスケツトの過締
に伴なうガスケツトの損傷が防止されることと、
ロールバニシング処理することにより、表面硬度
が向上し、そのためこの処理面とガスケツトとに
傷がつきにくくなり、その結果高度の気密性が維
持できるためと考えられる。また、ロールバニシ
ング処理することによつて、表面が平滑になるの
で、ロールバニシング処理しない場合の微細な凹
凸部に含まれるパーテイクルが反応ガス中に混入
する危険性も解消される。
の当接面に設けた段部により、ガスケツトの過締
に伴なうガスケツトの損傷が防止されることと、
ロールバニシング処理することにより、表面硬度
が向上し、そのためこの処理面とガスケツトとに
傷がつきにくくなり、その結果高度の気密性が維
持できるためと考えられる。また、ロールバニシ
ング処理することによつて、表面が平滑になるの
で、ロールバニシング処理しない場合の微細な凹
凸部に含まれるパーテイクルが反応ガス中に混入
する危険性も解消される。
「実施例」
次に、本発明の実施例を図面に基ずいて説明す
る。
る。
第１図に於いて、１１はボデーであり、１２は
スリーブであり、１３は袋ナツトであり、袋ナツ
ト１３はスリーブ１２に嵌装されている。
スリーブであり、１３は袋ナツトであり、袋ナツ
ト１３はスリーブ１２に嵌装されている。
ボデイ１１のねじ１４側の端面には環状の凹み
部２１を設け、スリーブ１２のガスケツト１５に
当接する面には該凹み部２１に嵌合する凸起部２
２を設けている。ガスケツト１５は、この凹み部
２１に嵌入され、凸起部２２で圧接される。この
凹み部２１の深さと、凸起部２２の高さとは、ガ
スケツトを有効弾性圧縮量まで圧接した時、凸起
部２２の段部２３がボデイの端面２４に止まるよ
うに設定しておく。
部２１を設け、スリーブ１２のガスケツト１５に
当接する面には該凹み部２１に嵌合する凸起部２
２を設けている。ガスケツト１５は、この凹み部
２１に嵌入され、凸起部２２で圧接される。この
凹み部２１の深さと、凸起部２２の高さとは、ガ
スケツトを有効弾性圧縮量まで圧接した時、凸起
部２２の段部２３がボデイの端面２４に止まるよ
うに設定しておく。
ボデー１１とスリーブ１２とのガスケツト１５
と当接する面には、ロールバニシング処理面３
０，３１が形成されている。
と当接する面には、ロールバニシング処理面３
０，３１が形成されている。
ロールバニシング処理は、回転するローラを、
それぞれボデーとスリーブとのガスケツトの当接
面に当てる方法により行なえばよい。例えば上記
実施例の流体継手のシール面を3.2S粗度の旋削と
し、これにロールバニシング処理を施せば、１〜
２秒間の加工時間で容易に0.8S粗度の鏡面が得ら
れる。このバニシング処理によつて、表面硬度が
向上し（ステンレスの場合母材硬度180HB硬度
のものが、300HB以上の硬度となる）、その為シ
ール面に傷が形成され難くなると共に、平滑な面
になるのでパーテイクルの発生も防止される。
それぞれボデーとスリーブとのガスケツトの当接
面に当てる方法により行なえばよい。例えば上記
実施例の流体継手のシール面を3.2S粗度の旋削と
し、これにロールバニシング処理を施せば、１〜
２秒間の加工時間で容易に0.8S粗度の鏡面が得ら
れる。このバニシング処理によつて、表面硬度が
向上し（ステンレスの場合母材硬度180HB硬度
のものが、300HB以上の硬度となる）、その為シ
ール面に傷が形成され難くなると共に、平滑な面
になるのでパーテイクルの発生も防止される。
上記実施例で使用したガスケツト１５は、第２
図に示すように、比較的細い螺旋状コイルバネの
両端をつないで円形にしたコイルスプリング１９
を、金属製チユーブ２０で、外側の中心が空くよ
うに抱持することにより構成されている。コイル
スプリング１８の材質としては、例えば、ステン
レス若しくはインコネル材等が、金属製チユーブ
２０の材質としては、アルミニウム、ニツケル、
銅、モネル等が好適に使用される。
図に示すように、比較的細い螺旋状コイルバネの
両端をつないで円形にしたコイルスプリング１９
を、金属製チユーブ２０で、外側の中心が空くよ
うに抱持することにより構成されている。コイル
スプリング１８の材質としては、例えば、ステン
レス若しくはインコネル材等が、金属製チユーブ
２０の材質としては、アルミニウム、ニツケル、
銅、モネル等が好適に使用される。
「効果」
以上述べた如く、本発明の流体継手は、特殊の
ガスケツトを使用し、しかもこのガスケツトの過
締を防止すると共にシール面をロールバニシング
処理しているので、シール面に傷が形成され難
く、その結果高度の気密性が得られると共にガス
ケツトにも微細な線状傷が形成され難くなるの
で、低い締付力で高度の気密性が得られ、ガスケ
ツトを多くの回数繰返し使用することができる。
従つて、本発明の流体継手は気密性が抜群によ
く、熟練者でなくても、ヘリウムリークレートで
10-10atm・cc／secという従来全くない抜群に高
度の気密性の流体継手を容易に得ることができ
る。更に、ガスケツトの当接面をロールバニシン
グ処理することによつて、表面が平滑になるの
で、シール面の凹凸部に起因したパーテイクルが
反応ガス中に混入される危険性が解消される。
ガスケツトを使用し、しかもこのガスケツトの過
締を防止すると共にシール面をロールバニシング
処理しているので、シール面に傷が形成され難
く、その結果高度の気密性が得られると共にガス
ケツトにも微細な線状傷が形成され難くなるの
で、低い締付力で高度の気密性が得られ、ガスケ
ツトを多くの回数繰返し使用することができる。
従つて、本発明の流体継手は気密性が抜群によ
く、熟練者でなくても、ヘリウムリークレートで
10-10atm・cc／secという従来全くない抜群に高
度の気密性の流体継手を容易に得ることができ
る。更に、ガスケツトの当接面をロールバニシン
グ処理することによつて、表面が平滑になるの
で、シール面の凹凸部に起因したパーテイクルが
反応ガス中に混入される危険性が解消される。
第１図は、本発明の実施例を示す半断面図、第
２図は、本発明のガスケツトの一部切欠斜視図、
示す断面図、第３図は従来の流体継手を示す断面
図である。 図中、１５……ガスケツト、１９……リング状
コイルスプリング、２０……金属製チユーブ。
２図は、本発明のガスケツトの一部切欠斜視図、
示す断面図、第３図は従来の流体継手を示す断面
図である。 図中、１５……ガスケツト、１９……リング状
コイルスプリング、２０……金属製チユーブ。
Claims (1)
- １ 管体の一端外周にねじ部を設けたボデーと、
ガスケツトを介して該ボデーのねじ部側の透孔と
当接連通する先端外周に短環状部を設けた管体か
らなるスリーブと、該スリーブに嵌装され前記ボ
デーのネジ部と螺合して前記ボデーと前記スリー
ブとを強固に締付ける袋ナツトとからなる流体継
手に於いて、前記ボデーと前記スリーブとの当接
面には、それぞれ嵌合凹部と嵌合凸部とを、嵌合
凹部の端面が嵌合凸部の段部と当接してガスケツ
トが有効弾性圧縮量以上圧縮されないように設
け、ボデーとスリーブとのガスケツトを介して当
接する面にロールバニシング処理面を形成し、前
記ガスケツトとしてリング状コイルスプリングを
断面Ｃ字状の金属製チユーブで抱持してなるガス
ケツトを使用したことを特徴とする半導体製造装
置用高気密性袋ナツト締め流体継手。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15725084A JPS60234189A (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | 高気密性流体継手 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15725084A JPS60234189A (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | 高気密性流体継手 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60234189A JPS60234189A (ja) | 1985-11-20 |
| JPH0260916B2 true JPH0260916B2 (ja) | 1990-12-18 |
Family
ID=15645530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15725084A Granted JPS60234189A (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | 高気密性流体継手 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60234189A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014216123A (ja) * | 2013-04-24 | 2014-11-17 | タイコエレクトロニクスジャパン合同会社 | 電気コネクタ組立体及びその実装構造 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2422158A (en) * | 1944-11-21 | 1947-06-10 | Parker Appliance Co | Flexible coupling |
| JPS5548950Y2 (ja) * | 1976-05-12 | 1980-11-14 |
-
1984
- 1984-07-30 JP JP15725084A patent/JPS60234189A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60234189A (ja) | 1985-11-20 |
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