JPH027162B2 - - Google Patents
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- JPH027162B2 JPH027162B2 JP57157579A JP15757982A JPH027162B2 JP H027162 B2 JPH027162 B2 JP H027162B2 JP 57157579 A JP57157579 A JP 57157579A JP 15757982 A JP15757982 A JP 15757982A JP H027162 B2 JPH027162 B2 JP H027162B2
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- sensitive
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は湿度を電気抵抗の変化として検出し、
空調機器、加湿器、電子レンジ、倉庫、印刷機等
の湿度を制御するために用いられる感湿素子に関
するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention detects humidity as a change in electrical resistance,
The present invention relates to humidity sensing elements used to control humidity in air conditioners, humidifiers, microwave ovens, warehouses, printing machines, etc.
従来の感湿素子は、電解質材料を用いたものが
大半を占め、その他有機高分子材料を用いたもの
などがあつた。 Most conventional moisture-sensitive elements have used electrolyte materials, and others have used organic polymer materials.
電解質材料を用いたものとして、例えばポリス
チロールの円筒管に２本の平行なパラジウム線を
電極として巻回し、この樹脂の上にポリビニルア
セテートとLiCl水溶液との混合液を塗布したダン
マー型といわれるものとか、植物繊維、多孔性シ
リコン、ガラステープ等にLiCl水溶液を含浸させ
た含浸式のものとがあるが、これらにはLiClを用
いているため、つぎのような欠点があつた。 An example of an electrolyte material is the so-called Dammer type, in which two parallel palladium wires are wound around a polystyrene cylindrical tube as electrodes, and a mixture of polyvinyl acetate and LiCl aqueous solution is applied onto the resin. There are also impregnated types in which plant fibers, porous silicone, glass tape, etc. are impregnated with an aqueous LiCl solution, but because they use LiCl , they have the following drawbacks.
LiClは潮解性があるため、梅雨の時期のよう
に、高湿度下では濃度が次第に薄くなり、寿命
が短かいこと。 Since LiC is deliquescent, its concentration gradually becomes diluted under high humidity conditions such as during the rainy season, and its lifespan is short.
長期間の経過によつて昇華してしまうので、
一定期間毎に較正する必要があること。 Because it sublimates over a long period of time,
It is necessary to calibrate at regular intervals.
LiCl溶液の濃度により測定範囲が異なり、し
かもその測定範囲が狭いので、広い範囲の測定
には濃度を異ならせた何種類かのセンサを組合
せることが必要となり、したがつてセンサの数
が多くなれば測定端子もそれだけ多くなつて組
立てや制御回路が面倒になること。 The measurement range differs depending on the concentration of the LiCl solution, and since the measurement range is narrow, it is necessary to combine several types of sensors with different concentrations to measure a wide range, and therefore the number of sensors increases. As the number increases, the number of measurement terminals also increases, making assembly and control circuits more troublesome.
などである。etc.
また、前記有機高分子材料を用いたものとし
て、例えばナイロンがあり、これは従来の毛髪に
代わるもので、湿気により膨潤したときの長さの
変化を検出するものである。これにも以下のよう
な欠点があつた。 Further, as a material using the organic polymer material, for example, nylon is used as an alternative to conventional hair, and the change in length when it swells due to moisture is detected. This also had the following drawbacks.
使用温度の上限が高々60℃であり、使用範囲
が極端に制限されること。 The upper limit of the operating temperature is at most 60°C, and the range of use is extremely limited.
伸縮時のヒステリシスが大きいため精度が低
いこと。 Accuracy is low due to large hysteresis during expansion and contraction.
湿度の変化に対する応答が極めて遅いこと。 Extremely slow response to changes in humidity.
などである。etc.
本出願人は、以上のような従来の欠点を除去し
た新たな感湿素子として第１図ａ，ｂに示すよう
な多孔質のセラミツク焼結体を用いたものを既に
提案した。これは１種または２種以上の金属酸化
物の微粉末を所定モル％ずつ秤量して湿式混合
し、乾燥した後、所定圧で加圧して錠剤にし、こ
錠剤を電気炉に入れて所定温度で所定時間加熱焼
結し、自然冷却後、ダイヤモンドブレードで所定
厚（例えば300μｍ）にスライスし、かつ１辺が
４〜５mmの角形に切断して多孔質のセラミツク焼
結体１を得、このセラミツク焼結体１の両面に金
の電極２，３を焼成し、これに電極線４，５を接
合してなるものである。このように、多孔質のセ
ラミツク焼結体で構成したことにより、従来の欠
点を除去することができた。しかしつぎのような
若干の問題点があることが判明した。 The present applicant has already proposed a new moisture-sensitive element using a porous ceramic sintered body as shown in FIGS. 1a and 1b, which eliminates the above-mentioned conventional drawbacks. This involves weighing and wet-mixing fine powders of one or more metal oxides in predetermined mol%, drying, pressing at a predetermined pressure to form tablets, and placing the tablets in an electric furnace at a predetermined temperature. The porous ceramic sintered body 1 is obtained by heating and sintering it for a predetermined time, and after natural cooling, it is sliced into a predetermined thickness (for example, 300 μm) with a diamond blade and cut into squares with a side of 4 to 5 mm. Gold electrodes 2 and 3 are fired on both sides of a ceramic sintered body 1, and electrode wires 4 and 5 are joined to these. By constructing the device using a porous ceramic sintered body in this way, the drawbacks of the conventional device could be eliminated. However, it was found that there were some problems as follows.
長期間の経過によつて抵抗値が徐々に上昇す
る傾向にあること。 The resistance value tends to gradually increase over a long period of time.
抵抗値の変化率が急峻すぎるため湿度の測定
範囲が狭いこと。 The humidity measurement range is narrow because the rate of change in resistance value is too steep.
などである。etc.
本発明はこのような問題点を解決するためにな
されたもので、金属酸化物の微粉末を用いて形成
した多孔質の厚膜感湿層に電極を設けたものを母
体とし、この母体をNa3PO4・12MoO3（以下
SPMという）の水溶液で処理してなるものであ
る。 The present invention has been made to solve these problems, and uses a porous thick film moisture-sensitive layer formed using fine metal oxide powder and provided with electrodes as a matrix. Na 3 PO 4・12MoO 3 (below
It is treated with an aqueous solution of SPM (SPM).
以下、本発明の１実施例を説明する。まず、厚
膜感湿ペーストの作成順序はつぎの通りである。 One embodiment of the present invention will be described below. First, the order of preparing the thick film moisture-sensitive paste is as follows.
純度99.99％以上で平均粒径が1μｍ以下の
ZrO2とMgOの微粉末を用意する。そして、
ZrO2を99モル％、MgOを１モル％ずつ秤量し
て、これら２種類の微粉末をプラスチツク容器
内のエタノール中に入れ、同時にメノーボール
を入れ、ボールミルで湿式混合する。 With a purity of 99.99% or more and an average particle size of 1μm or less
Prepare fine powders of ZrO 2 and MgO. and,
Weigh out 99 mol % of ZrO 2 and 1 mol % of MgO, put these two types of fine powder into ethanol in a plastic container, add agate balls at the same time, and wet mix in a ball mill.
湿式混合後、放置して上澄み液を除き、加熱
乾燥する。 After wet mixing, the mixture is left to stand, the supernatant liquid is removed, and the mixture is heated and dried.
この乾燥した粉末を液状バインダと混合して
所定の粘度を有する感湿ペーストとする。前記
液状バインダは粉末状のメチルセルロース、エ
チルセルロース、ポリビニルアルコールなどα
−テルピネオール、テルピネオールなどとの混
合溶液が用いられる。 This dry powder is mixed with a liquid binder to form a moisture-sensitive paste having a predetermined viscosity. The liquid binder may be powdered methyl cellulose, ethyl cellulose, polyvinyl alcohol, etc.
-Terpineol, a mixed solution with terpineol, etc. is used.
つぎに感湿素子の作成順序はつぎの通りであ
る。 Next, the order of manufacturing the moisture sensitive element is as follows.
第２図に示すように、10mm×15mm×0.3mm程
度のアルミナなどの電気絶縁性基板１０を用意
する。 As shown in FIG. 2, an electrically insulating substrate 10 made of alumina or the like with dimensions of approximately 10 mm x 15 mm x 0.3 mm is prepared.
この基板１０上に、櫛歯状の電極１１，１２
を互いに所定間隔（ｄ＝500μｍ）をもつて形
成する。電極１１，１２として、例えばルテニ
ウムオキサイド（RuO2）を用いて基板１０上
にプリントし、乾燥した後、850℃で焼成して
形成する。なお、前記電極１１，１２の間隔を
変えることによりインピーダンスを調整でき
る。 On this substrate 10, comb-shaped electrodes 11, 12 are provided.
are formed with a predetermined interval (d=500 μm) from each other. The electrodes 11 and 12 are formed by printing, for example, ruthenium oxide (RuO 2 ) on the substrate 10, drying it, and then firing it at 850°C. Note that the impedance can be adjusted by changing the spacing between the electrodes 11 and 12.
つぎに、前記感湿ペーストを、電極１１，１
２と基板１０の上に塗布して厚膜感湿層１３を
形成する。すなわちこの厚膜感湿層１３は、電
極１１，１２の端子部分を残して前記感湿ペー
ストをプリントし、乾燥した後、900℃程度で
焼成する。厚さは、目的によつて数十μｍから
数百μｍまでとなるように、複数回塗布するこ
ともある。 Next, the moisture sensitive paste is applied to the electrodes 11, 1.
2 and the substrate 10 to form a thick film moisture sensitive layer 13. That is, this thick film moisture sensitive layer 13 is formed by printing the moisture sensitive paste, leaving the terminal portions of the electrodes 11 and 12, and after drying, baking at about 900°C. The coating may be applied multiple times so that the thickness ranges from several tens of micrometers to several hundred micrometers depending on the purpose.
つぎにSPM（リンモリブデン酸ナトリウム
Na3PO4・12MoO3）の水溶液による浸漬被覆
処理を行なう。具体的には、脱イオン水10c.c.
に、SPMを400mg秤量して添加し、撹拌して
4.0重量％の水溶液を作る。この濃度調整した
SPM水溶液をビーカに入れ、第２図のように
形成した素子を浸漬する。 Next, SPM (sodium phosphomolybdate)
Dip coating treatment is performed with an aqueous solution of Na 3 PO 4 12MoO 3 ). Specifically, 10 c.c. of deionized water.
Weigh out 400mg of SPM, add it, stir and
Make a 4.0% by weight aqueous solution. This concentration was adjusted
Put the SPM aqueous solution into a beaker and immerse the element formed as shown in Fig. 2.
ビーカーから素子をとり出し、加熱または自
然乾燥して水分を除去し厚膜型の感湿素子１４
を得る。 The element is taken out from the beaker and heated or naturally dried to remove moisture and form a thick-film moisture-sensitive element 14.
get.
この感湿素子１４の特性の安定化のためにア
ニーリング処理をする。 An annealing treatment is performed to stabilize the characteristics of this moisture sensitive element 14.
以上のようにして形成された厚膜型の感湿素子
１４が所期の目的通りの特性を有するかどうかに
ついて実験するために、第４図に示すように、
1V、100Hz程度の信号源７に、抵抗８（例えば
10KΩ）と直列に接続され、さらにこの抵抗８と
並列に電圧計９が接続される。 In order to conduct an experiment to determine whether the thick film type moisture sensitive element 14 formed as described above has the desired characteristics, as shown in FIG.
Connect a resistor 8 (e.g.
10KΩ), and a voltmeter 9 is connected in parallel with this resistor 8.
(1) つぎに、測定結果を第５図に基づいて説明す
る。(1) Next, the measurement results will be explained based on FIG.
第５図は母体が、(リ)ZrO2：MgO＝95：５
（モル比）の、(ヌ)ZrO2：MgO＝90：10（モル
比）の、（ル）ZrO2：MgO＝85：15（モル比）
の、（ヲ）ZrO2：MgO＝80：20（モル比）のそ
れぞれ厚膜感湿層の場合を示し、いずれも
SPM4.0重量％で処理し、電極間隔ｄは500μ
ｍ、コンベア炉内温度は91℃とした。この図か
らも明らかなように、（リ）(ヌ)（ル）（ヲ）のい
ずれの場合にも、相対湿度10〜90％RHの広範
囲で素子抵抗が略直線的に変化している。 In Figure 5, the parent body is (li)ZrO 2 :MgO=95:5
(molar ratio), (n)ZrO 2 :MgO = 90:10 (molar ratio), (l)ZrO 2 :MgO = 85:15 (molar ratio)
The cases of (w) ZrO 2 :MgO=80:20 (mole ratio) thick film moisture sensitive layer are shown.
Treated with SPM4.0% by weight, electrode spacing d is 500μ
m, and the temperature inside the conveyor furnace was 91°C. As is clear from this figure, in all cases (ri), (nu), (ru), and (wo), the element resistance changes approximately linearly over a wide range of relative humidity of 10 to 90% RH.
(2) 第６図は母体が（ワ）Al2O3のみの、(カ)SiO2
のみの、（ヨ）Al2O3：ZrO2＝50：50（モル比）
の、（タ）ZrO2：SiO2＝50：50（モル比）の、
（レ）Al2O3：SiO2＝50：50（モル比）の、（ソ）
Al2O3：ZrO2：SiO2＝33.3：33.3：33.3（モル
比）の、（ツ）ZrO2のみのそれぞれ厚膜感湿素
子の場合を示し、その他厚膜感湿層の作り方、
SPMの処理は第５図の場合と同様である。こ
の第６図からわかることは、SPM処理をしな
い場合は、いずれも図中斜線範囲であつたもの
が、SPM処理をすると、いずれの場合も大巾
に抵抗値が低下し、しかも相対湿度10〜90％
RHの広範囲で略直線的に変化している。(2) Figure 6 shows a matrix of (wa) Al 2 O 3 only (f) SiO 2
Only (yo) Al 2 O 3 :ZrO 2 = 50:50 (molar ratio)
(ta) ZrO 2 :SiO 2 = 50:50 (molar ratio),
(l) Al 2 O 3 :SiO 2 = 50:50 (molar ratio), (l)
Examples of thick film moisture sensitive elements with Al 2 O 3 : ZrO 2 : SiO 2 = 33.3:33.3:33.3 (molar ratio) and (T) ZrO 2 alone are shown, and how to make other thick film moisture sensitive layers.
The SPM processing is the same as in the case of FIG. What can be seen from Figure 6 is that without SPM treatment, the resistance values were in the shaded range in the figure, but with SPM treatment, the resistance value decreased significantly in all cases, and the relative humidity was 10%. ~90%
It changes approximately linearly over a wide range of RH.
(3) 第７図は母体が（ネ）ZrO2：CcO＝99：１
（モル比）の、（ナ）ZrO2：CaO＝90：10（モル
比）の、（ラ）ZrO2：CaO＝50：50（モル比）
のそれぞれ厚膜感湿素子の場合を示し、その他
厚膜感湿層の作り方、SPMの処理は第５図と
同様である。この第７図からわかることは、
SPM処理をすると、いずれの場合も大巾に抵
抗値が低下し、しかも相対湿度10〜90％RHの
広範囲で略直線的に変化している。(3) In Figure 7, the matrix is (ne)ZrO 2 :CcO=99:1
(molar ratio), (na) ZrO 2 :CaO = 90:10 (molar ratio), (ra) ZrO 2 :CaO = 50:50 (molar ratio)
5 shows the case of a thick-film moisture-sensitive element, and the method of making the thick-film moisture-sensitive layer and the SPM process are the same as those shown in FIG. What we can see from this Figure 7 is that
When subjected to SPM treatment, the resistance value decreased significantly in all cases, and moreover, it changed almost linearly over a wide range of relative humidity of 10% to 90% RH.
(4) 第８図は母体が（ム）ZrO2：Y2O＝99：１
（モル比）の、(ウ)ZrO2：Y2O3＝90：10（モル
比）の、（ヰ）ZrO2：Y2O3＝50：50（モル比）
のそれぞれ厚膜感湿素子の場合を示し、その他
厚膜感湿層の作り方、SPMの処理は第５図と
同様である。この第８図からわかることは、
SPM処理をすると、いずれの場合も大巾に抵
抗値が低下し、しかも相対湿度10〜90％RHの
広範囲で略直線的に変化している。(4) In Figure 8, the matrix is (mu)ZrO 2 :Y 2 O=99:1
(molar ratio), (c) ZrO 2 :Y 2 O 3 = 90:10 (molar ratio), (iii) ZrO 2 :Y 2 O 3 = 50:50 (molar ratio)
5 shows the case of a thick-film moisture-sensitive element, and the method of making the thick-film moisture-sensitive layer and the SPM process are the same as those shown in FIG. What can be seen from this figure 8 is that
When subjected to SPM treatment, the resistance value decreased significantly in all cases, and moreover, it changed almost linearly over a wide range of relative humidity of 10% to 90% RH.
前記実施例では、電極１１，１２の形状を、第
２図に示すように、櫛形とし互いに間隔ｄをもつ
て噛合させたが、この間隔ｄは、直角に屈折した
もの以外に、曲線的に屈折したもの、直線的なも
のなどであつてもよい。また、第２図では電極１
１，１２を同一面に設けたが、厚膜感湿層を挾ん
で両側に設けてもよい。具体的には、第３図に示
すように、アルミナ基板１０の裏にはリフレツシ
ユ用ヒータ１５を設け、上面には多孔性の下部電
極１１、厚膜感湿層１３、多孔性の上部電極１２
の順に積層したものであつてもよい。この場合、
電極１１，１２の面積、厚膜感湿層１３の厚さに
よつてRH特性が変わることは勿論である。この
ような形状にすると素子の形状を小型にできる。 In the above embodiment, the electrodes 11 and 12 were shaped like a comb, as shown in FIG. 2, and were interlocked with each other at a distance d. It may be bent or straight. In addition, in Fig. 2, the electrode 1
1 and 12 are provided on the same surface, but they may be provided on both sides with a thick film moisture sensitive layer in between. Specifically, as shown in FIG. 3, a refresh heater 15 is provided on the back side of the alumina substrate 10, and a porous lower electrode 11, a thick film moisture sensitive layer 13, and a porous upper electrode 12 are provided on the upper surface.
It may be one in which the layers are laminated in this order. in this case,
Of course, the RH characteristics vary depending on the area of the electrodes 11 and 12 and the thickness of the thick film moisture sensitive layer 13. With such a shape, the shape of the element can be made small.
本発明は上述のように、金属酸化物の微粉末を
用いた厚膜感湿層の母体にSPM処理を施こした
ので、経時変化が少なく、かつ10〜90％RHと広
範囲の測定が１個の素子で可能であり、また加工
性にすぐれ極めて安価になる。 As mentioned above, in the present invention, the base material of the thick film moisture sensitive layer using fine metal oxide powder is subjected to SPM treatment, so there is little change over time and measurement over a wide range of 10 to 90% RH is possible. This can be done with individual elements, and it is also easy to process and extremely inexpensive.
第１図ａはセラミツク焼結体を用いた素子の正
面図、第１図ｂは同側面図、第２図は１対の電極
を片面に設けた厚膜型素子の一部切欠いた正面
図、第３図は１対の電極を両面に設けた厚膜型素
子の分解斜視図、第４図は特性を測定する電気回
路図、第５図はZrO2に対するMgOの混合比によ
る特性図、第６図は各種の金属酸化物による特性
図、第７図はZrO2に対するCaOの混合比とSPM
処理の有無による特性図、第８図はZrO2に対す
るY2O3の混合比とSPM処理の有無による特性図
である。
１……多孔質のセラミツク焼結体、２，３……
電極、４，５……電極線、６……焼結型感湿素
子、７……信号源、８……抵抗、９……電圧計、
１０……電気絶縁性基板、１１，１２……電極、
１３……厚膜感湿層、１４……厚膜型感湿素子、
１５……リフレツシユヒータ。
Figure 1a is a front view of an element using a ceramic sintered body, Figure 1b is a side view of the same, and Figure 2 is a partially cutaway front view of a thick film type element with a pair of electrodes provided on one side. , Fig. 3 is an exploded perspective view of a thick film type element with a pair of electrodes on both sides, Fig. 4 is an electric circuit diagram for measuring characteristics, Fig. 5 is a characteristic diagram based on the mixing ratio of MgO to ZrO 2 , Figure 6 shows the characteristics of various metal oxides, and Figure 7 shows the mixing ratio of CaO to ZrO 2 and SPM.
FIG. 8 is a characteristic diagram showing the mixing ratio of Y 2 O 3 to ZrO 2 and the presence or absence of SPM treatment. 1... Porous ceramic sintered body, 2, 3...
Electrode, 4, 5... Electrode wire, 6... Sintered moisture sensitive element, 7... Signal source, 8... Resistor, 9... Voltmeter,
10... Electric insulating substrate, 11, 12... Electrode,
13... Thick film moisture sensitive layer, 14... Thick film moisture sensitive element,
15... Refresh heater.
Claims (1)
の厚膜感湿層に、少なくとも１対の電極を設けた
ものを母体とし、この母体にNa3PO4・12MoO3
水溶液にて浸漬被覆処理を施こしてなることを特
徴とする感湿素子。 ２ 特許請求の範囲第１項記載において、母体は
ZrO2とMgOを混合した厚膜感湿層からなる感湿
素子。 ３ 特許請求の範囲第１項記載において、
Na3PO4・12MoO3水溶液濃度を約0.5ないし5.0重
量％とした感湿素子。 ４ 特許請求の範囲第２項記載において、基板の
上に１対の電極を設け、その上に厚膜感湿層を印
設してなる感湿素子。 ５ 特許請求の範囲第２項記載において、基板の
上に、下部電極、厚膜感湿層、上部電極の順に積
層してなる感湿素子。 ６ 特許請求の範囲第１項記載において、母体は
Al2O3の厚膜感湿層からなる感湿素子。 ７ 特許請求の範囲第１項記載において、母体は
SiO2の厚膜感湿層からなる感湿素子。 ８ 特許請求の範囲第１項記載において、母体は
Al2O3とZrO2を混合した厚膜感湿層からなる感湿
素子。 ９ 特許請求の範囲第１項記載において、母体は
ZrO2とSiO2を混合した厚膜感湿層からなる感湿
素子。 １０ 特許請求の範囲第１項記載において、母体
はAl2O3とSiO2を混合した厚膜感湿層からなる感
湿素子。 １１ 特許請求の範囲第１項記載において、母体
はAl2O3とZrO2とSiO2を混合した厚膜感湿層から
なる感湿素子。 １２ 特許請求の範囲第１項記載において、母体
はZrO2の厚膜感湿層からなる感湿素子。 １３ 特許請求の範囲第１項記載において、母体
はZrO2とCaOを混合した厚膜感湿層からなる感
湿素子。 １４ 特許請求の範囲第１項記載において、母体
はZrO2とY2O3を混合した厚膜感湿層からなる感
湿素子。[Claims] 1. A porous thick-film moisture-sensitive layer formed using fine powder of a metal oxide, provided with at least one pair of electrodes, as a matrix, and a matrix containing Na 3 PO 4 12MoO 3
A moisture-sensitive element characterized by being subjected to dip coating treatment in an aqueous solution. 2 In claim 1, the parent is
A moisture-sensitive element consisting of a thick moisture-sensitive layer made of a mixture of ZrO 2 and MgO. 3 In claim 1,
Moisture sensing element with Na 3 PO 4 12MoO 3 aqueous solution concentration of approximately 0.5 to 5.0% by weight. 4. A moisture-sensitive element according to claim 2, wherein a pair of electrodes is provided on a substrate, and a thick-film moisture-sensitive layer is printed on the pair of electrodes. 5. A moisture-sensitive element according to claim 2, comprising a lower electrode, a thick film moisture-sensitive layer, and an upper electrode laminated in this order on a substrate. 6 In claim 1, the parent is
Moisture sensing element consisting of a thick film moisture sensitive layer of Al 2 O 3 . 7 In claim 1, the parent is
Moisture sensing element consisting of a thick film moisture sensitive layer of SiO 2 . 8 In claim 1, the parent is
A moisture-sensitive element consisting of a thick moisture-sensitive layer made of a mixture of Al 2 O 3 and ZrO 2 . 9 In claim 1, the parent is
A moisture-sensitive element consisting of a thick moisture-sensitive layer made of a mixture of ZrO 2 and SiO 2 . 10. A moisture-sensitive element according to claim 1, wherein the base material is a thick-film moisture-sensitive layer made of a mixture of Al 2 O 3 and SiO 2 . 11. A moisture-sensitive element according to claim 1, wherein the base material is a thick-film moisture-sensitive layer made of a mixture of Al 2 O 3 , ZrO 2 and SiO 2 . 12. A moisture-sensitive element according to claim 1, wherein the base body is a thick-film moisture-sensitive layer of ZrO2 . 13. A moisture-sensitive element according to claim 1, wherein the base body is a thick-film moisture-sensitive layer made of a mixture of ZrO 2 and CaO. 14. The moisture-sensitive element according to claim 1, wherein the base material is a thick film moisture-sensitive layer made of a mixture of ZrO 2 and Y 2 O 3 .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57157579A JPS5947703A (en) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | moisture sensing element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57157579A JPS5947703A (en) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | moisture sensing element |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5947703A JPS5947703A (en) | 1984-03-17 |
| JPH027162B2 true JPH027162B2 (en) | 1990-02-15 |
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ID=15652774
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP57157579A Granted JPS5947703A (en) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | moisture sensing element |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JPS5947703A (en) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2677991B2 (en) * | 1987-03-19 | 1997-11-17 | 松下電器産業株式会社 | Moisture sensitive element |
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| JP2780398B2 (en) * | 1989-11-29 | 1998-07-30 | 松下電器産業株式会社 | Moisture sensitive element |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0653533B2 (en) * | 1986-08-18 | 1994-07-20 | 富士写真フイルム株式会社 | Sheet body transport mechanism |
-
1982
- 1982-09-10 JP JP57157579A patent/JPS5947703A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5947703A (en) | 1984-03-17 |
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