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JPH03232B2 - - Google Patents
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JPH03232B2 - - Google Patents

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JPH03232B2
JPH03232B2 JP60293409A JP29340985A JPH03232B2 JP H03232 B2 JPH03232 B2 JP H03232B2 JP 60293409 A JP60293409 A JP 60293409A JP 29340985 A JP29340985 A JP 29340985A JP H03232 B2 JPH03232 B2 JP H03232B2
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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Description

【発明の詳細な説明】 Ａ 産業上の利用分野 本発明は、インク・ジエツト・プレートに於て
用いられるノズルのための被膜に係る。
Ｂ 従来技術 従来技術に於て、IBMテクニカル・デイスク
ロージヤ・ビユレテイン、第26巻、第１号、1983
年６月、第431頁はインク・ジエツト・ノズルの
ためにフルオロ・エポキシ被膜を用いることを開
示している。IBMテクニカル・デイスクロージ
ヤ・ビユレテイン、第20巻、第12号、1978年５
月、第5233頁は、基板へのテトラフルオロエチレ
ンの付性を増すために不飽和シランを用いること
を開示している。米国特許第4091166号明細書は、
有機単量体と混合された三弗化硼素のプラズマで
プラスチツク表面を被膜することを開示してい
る。米国特許第4125152号明細書は、プラズマ重
合されたフルオロエチレン単量体で基板を被覆す
ることを開示している。米国特許第4226896号明
細書は、金属を含む重合体の被膜をプラズマ付着
することを開示している。米国特許第4252848号
明細書は、完全に弗素化された
（perfluorinated）重合体をペルフルオロシクロ
アルカンの存在下でグロー放電により付着するこ
とを開示している。米国特許第4391843号明細書
は、完全に弗素化された重合体の被膜を窒素の存
在下でグロー放電により形成することを開示して
いる。
Ｃ 発明が解決しようとする問題点 インク・ジエツト・プリントに於ては、シリコ
ン表面を有するノズル・プレートが用いられてい
る。その表面がインク液で湿潤されると、好まし
いインク・ジエツトが得られず、全体的に質の低
いプリント特性が生じる。
本発明の目的は、新規な被膜を設けることによ
り、性能を著しく改良したインク・ジエツト・ノ
ズル・プレートを提供することである。
Ｄ 問題点を解決するための手段 本発明は、被膜を有するインクジエツト・ノズ
ル・プレートに於て、上記被膜が部分的に弗素化
されたアルキル・シラン及び完全に弗素化された
アルカンを含み、上記シラン化合物が、上記プレ
ートに接触する部分に於てより高い濃度を有し且
つ上記プレートから離れた部分に於てより低い濃
度を有するように上記被膜中に分布し、上記アル
カン化合物が、上記プレートに接触する部分に於
てより低い濃度を有し且つ上記プレートから離れ
た部分に於いてより高い濃度を有するように上記
被膜中に分布していることを特徴とする、イン
ク・ジエツト・ノズル・プレートを提供する。
本発明に於ては、インク・ジエツト・ノズル・
プレートが、２つの成分を含む被膜で被覆され
る。それらの一方の成分は部分的に弗素化された
アルキル・シランであり、他方の成分は完全に弗
素化されたアルカンである。上記シラン化合物及
び上記アルカン化合物は、好ましくは、ノズル・
プレートの表面を高周波グロー放電に直接さらす
ことにより該表面上に付着される。上記被膜はそ
の化学的組成に於てエピタキシヤルな勾配を有
し、上記シラン化合物が上記ノズル・プレートか
ら離れるに従つて濃度が減少しており、上記アル
カン化合物が上記ノズル・プレートから離れるに
従つて濃度が増加していることが極めて好まし
い。
本発明の他の実施例に於て、上記シラン化合物
が上記ノズル・プレートに接触する別個の層とし
て付着され、上記アルカン化合物の層上に別個の
層として付着されてもよい。
本発明に従つて付着された被膜は、平滑であ
り、連続的であり、平坦である。それらの被膜
は、優れた付着性及び耐摩耗性を有している。そ
れらの被膜は、従来の接着テープを用いたテスト
によつて除去されず、又試料が破壊されても、剥
離しない。濡れた柔らかいスポンジで試料を
20000回擦つても、幾つかの被膜に或る程度の粗
面化が観察されたが、いずれの被膜も何ら摩耗を
生じなかつた。それらの被膜は、疎水性であつ
て、該被膜に対する水の接触角が104度であり、
16erg／cm2の環界（critical）表面エネルギーを有
している。それらの被膜は、60℃に於て蒸留水及
びインク液中に浸漬されても、安定である。剥離
又は破壊が生じた痕跡は何ら観察されなかつた。
それらの被膜に対する水の接触角は、60℃に於て
蒸留水又は黒色インク中に33日間浸漬されても何
ら変化せず、54日間浸漬された後に94度に減少し
た。
Ｅ 実施例 65℃に保たれているチエンバ内で、被膜を形成
した。インク・ジエツト・ノズル・プレートの表
面を、アルゴンとトリフルオロプロピルメチルジ
メトキシシランとの混合物を導入した高周波グロ
ー放電に対して直接さらした。上記の被膜を少し
成長させた後、上記チエンバ内にペルフルオロプ
ロパンを導入し、それらの３つの気体の分圧が約
150μmHgになるまで、上記ペルフルオロプロパ
ンの量を増加させた。アルミニウムのターゲツト
及び10乃至20ワツトの入力電力を用いて、上記グ
ロー放電を維持した。アルゴン及びトリフルオロ
プロピルメトキシシランの圧力は各々25μmHgで
あり、上記のように被膜が一部付着された後に導
入されたペルフルオロプロパンの圧力は約
100μmHgであつた。
本発明の他の実施例に於いては、ペルフルオロ
プロパンの代りに、ヘキサフルオロエチレンから
の重合体、又はテトラフルオロメタン或はペルフ
ルオロシクロアルカンからの重合体を用いること
ができる。代替的に用いられるシラン化合物に
は、ペルフルオロプロポキシプロピルメチルジク
ロロシラン、デキサメチルジシロキサン等があ
る。
本発明に従つて形成されたインク・ジエツト・
ノズル・プレートは、良好に用いられるために必
要とされるすべての規準を充たす。それらのプレ
ートの被膜は、優れた付着性及び耐摩耗性、並び
に低い表面エネルギーを有している。更に、それ
らの被膜は、水及びインク液に、60℃に於いて
1000時間の如き長時間に亘つてされされても、安
定である。
Ｆ 発明の効果 本発明による新規な被膜を有するため、著しく
性能の改良されたインク・ジエツト・ノズル・プ
レートが得られる。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 被膜を有するインク・ジエツト・ノズル・プ
    レートに於て、上記被膜が部分的に弗素化された
    アルキル・シラン及び完全に弗素化されたアルカ
    ンを含み、上記シラン化合物が、上記プレートに
    接触する部分に於て高い濃度を有し且つ上記プレ
    ートから離れた部分に於て低い濃度を有するよう
    に上記被膜中に分布し、上記アルカン化合物が、
    上記プレートに接触する部分に於て低い濃度を有
    し且つ上記プレートから離れた部分に於て高い濃
    度を有するように上記被膜中に分布していること
    を特徴とする、インク・ジエツト・ノズル・プレ
    ート。
JP60293409A 1985-03-22 1985-12-27 インク・ジエツト・ノズル・プレ−ト Granted JPS61220863A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

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US714770 1985-03-22
US06/714,770 US4643948A (en) 1985-03-22 1985-03-22 Coatings for ink jet nozzles

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JPS61220863A JPS61220863A (ja) 1986-10-01
JPH03232B2 true JPH03232B2 (ja) 1991-01-07

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JP60293409A Granted JPS61220863A (ja) 1985-03-22 1985-12-27 インク・ジエツト・ノズル・プレ−ト

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EP (1) EP0195292B1 (ja)
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