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JPH0323790B2 - - Google Patents
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JPH0323790B2 - - Google Patents

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JPH0323790B2
JPH0323790B2 JP56175318A JP17531881A JPH0323790B2 JP H0323790 B2 JPH0323790 B2 JP H0323790B2 JP 56175318 A JP56175318 A JP 56175318A JP 17531881 A JP17531881 A JP 17531881A JP H0323790 B2 JPH0323790 B2 JP H0323790B2
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JP
Japan
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pressure
passage
valve
pressure chamber
chamber
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JP56175318A
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Kentaro Inoe
Takashi Tsumura
Eiichi Morozumi
Tadashi Kojima
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Azbil Corp
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Azbil Corp
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    • F23COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23NREGULATING OR CONTROLLING COMBUSTION
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    • F23N5/02Systems for controlling combustion using devices responsive to thermal changes or to thermal expansion of a medium
    • F23N5/10Systems for controlling combustion using devices responsive to thermal changes or to thermal expansion of a medium using thermocouples
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F23NREGULATING OR CONTROLLING COMBUSTION
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    • F23N2235/12Fuel valves
    • F23N2235/14Fuel valves electromagnetically operated
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F23NREGULATING OR CONTROLLING COMBUSTION
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23NREGULATING OR CONTROLLING COMBUSTION
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    • F23N2235/12Fuel valves
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  • Fluid-Driven Valves (AREA)
  • Fluid-Pressure Circuits (AREA)
  • Regulation And Control Of Combustion (AREA)
  • Feeding And Controlling Fuel (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、貯留室と圧力室との間で作動流体
を電磁ポンプによつて循環させ、これによつて圧
力室内に発生した圧力で負荷を駆動するための駆
動力を得るようにしたアクチエータに関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] This invention circulates working fluid between a storage chamber and a pressure chamber using an electromagnetic pump, thereby applying pressure generated in the pressure chamber to a load. The present invention relates to an actuator that obtains a driving force for driving.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

この種のアクチエータにおいて、圧力室内に発
生する圧力は、圧力室から貯留室に作動流体を戻
すための通路に設けられたオリフイスの開口面積
が一定であれば、電磁ポンプによつて圧力室に圧
送される作動流体の流量に比例し、この流量が一
定であれば、オリフイスの開口面積に比例する。
したがつて圧力室内の圧力に応じて変位する応動
体をその移動範囲の途中の位置に保持しようとす
れば、電磁ポンプの発停に加えて、電磁ポンプの
吐出量またはオリフイスの開口面積を変えること
が必要となる。しかし電磁ポンプの吐出量、また
はオリフイスの開口面積の変更を正確に行うこと
は容易でない。
In this type of actuator, the pressure generated in the pressure chamber is pumped to the pressure chamber by an electromagnetic pump if the opening area of the orifice provided in the passage for returning the working fluid from the pressure chamber to the storage chamber is constant. If this flow rate is constant, it is proportional to the opening area of the orifice.
Therefore, if you want to hold a response body that is displaced in response to the pressure in the pressure chamber at a position midway through its movement range, you must change the discharge volume of the electromagnetic pump or the opening area of the orifice in addition to starting and stopping the electromagnetic pump. This is necessary. However, it is not easy to accurately change the discharge amount of the electromagnetic pump or the opening area of the orifice.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

従来のアクチエータは以上のように構成されて
いるので、例えばパイロツトバーナとメインバー
ナの2種類のバーナーを有するガス燃焼機器にお
いては、パイロツト弁とメイン弁をそれぞれ別々
のアクチエータで駆動しなければならない。この
ため、機器の大型化や2つの弁の開閉のシーケン
スシヤルが正確にとれず、ガスの異常着火が生ず
るという課題があつた。
Since the conventional actuator is constructed as described above, for example, in a gas combustion equipment having two types of burners, a pilot burner and a main burner, the pilot valve and the main valve must be driven by separate actuators. As a result, there were problems such as the equipment becoming larger and the opening/closing sequence of the two valves not being accurate, resulting in abnormal ignition of gas.

この発明は上記の課題を解消するためになされ
たもので、2つの弁を異なる圧力域で作動させる
ことのできる安全かつ小型なアクチエータを得る
ことを目的とする。
This invention was made in order to solve the above-mentioned problem, and aims to obtain a safe and compact actuator that can operate two valves in different pressure ranges.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

この発明にかかるアクチエータは、貯留室内の
作動流体を第1のの圧力室に圧送する電磁ポンプ
と、上記第1の圧力室内の作動流体を上記貯留室
に戻すための第1の通路および第2の通路と、上
記第1の通路内に設けられた第1のオリフイス
と、上記第2の通路内に設けられ、上記第1のオ
リフイスよりも大きい開口面積を有する第2のオ
リフイスおよび電磁弁と、上記第1の圧力室内の
圧力に応じて付勢スプリングに抗して変位し第1
の弁を駆動する第1の応動体と、上記第1の圧力
室に通路を介して連通する第2の圧力室と、受圧
面積が前記第1の受圧面積よりも小さく前記第2
の圧力室内の圧力にじて付勢スプリングに抗して
変位し第2の弁を駆動する第2の応動体とを具備
したものである。
The actuator according to the present invention includes an electromagnetic pump that pumps the working fluid in the storage chamber to the first pressure chamber, a first passage and a second passage for returning the working fluid in the first pressure chamber to the storage chamber. a passage, a first orifice provided in the first passage, a second orifice provided in the second passage and having a larger opening area than the first orifice, and a solenoid valve. , the first pressure chamber is displaced against the biasing spring according to the pressure in the first pressure chamber.
a first response body that drives the valve; a second pressure chamber communicating with the first pressure chamber via a passage; and a second pressure chamber having a pressure receiving area smaller than the first pressure receiving area.
and a second responsive body that is displaced against the biasing spring due to the pressure in the pressure chamber of the valve to drive the second valve.

〔作用〕[Effect]

この発明のおけるアクチエータは、作動流体を
第1の圧力室から貯留室へ第1の通路を通じて戻
すか第2の通路を通じて戻すかによつて、電磁ポ
ンプの吐出量が一定であつても2つの圧力域を生
じさせ、この2つの圧力域で第1の応動体と第2
の応動体を別々に作動させることにより、2つの
弁を安全かつ確実に開閉作動させることができ
る。
The actuator of the present invention has two functions, even if the discharge amount of the electromagnetic pump is constant, depending on whether the working fluid is returned from the first pressure chamber to the storage chamber through the first passage or through the second passage. A pressure region is generated, and in these two pressure regions, the first reaction body and the second
By operating the response bodies separately, the two valves can be opened and closed safely and reliably.

〔実施例〕〔Example〕

以下、この発明の一実施例によるアクチエータ
を流量制御装置に適用した場合について図面を参
照して説明する。第1図に示す流量制御装置は、
油圧を発生する圧力発生部Aと、この油圧を変位
に変換する変換部Bと、この変換部Bによつて駆
動される制御部Cとで構成されている。この例で
は、給湯器のような燃焼器に供給される燃料ガス
の流量を制御するように構成された流量制御装置
を示す。
Hereinafter, a case where an actuator according to an embodiment of the present invention is applied to a flow rate control device will be described with reference to the drawings. The flow rate control device shown in FIG.
It is composed of a pressure generating section A that generates hydraulic pressure, a converting section B that converts this hydraulic pressure into displacement, and a control section C that is driven by this converting section B. This example shows a flow control device configured to control the flow rate of fuel gas supplied to a combustor, such as a water heater.

圧力発生部Aは、コイル11およびその中心孔
内を貫通する作動部12からなる電磁ポンプ13
を有する。この電磁ポンプ13は、貯留室14内
に収容されている作動油を通路15から、作動部
12内に吸引し、ついで通路16を経て圧力室1
7内に圧送するように働く。また圧力室17は、
適当な開口面積を有する第1のオリフイス21を
備えた第1の通路18を介して貯留室14に連通
するとともに、通路19を介して第2の圧力室2
0にも連通している。したがつて電磁ポンプ13
の動作時には、作動油は貯留室14から通路1
5、作動部12、通路16、圧力室17および通
路18を通つて貯留室14に戻す経路で循環し、
通路18に設けたオリフイス21の作用で、電磁
ポンプ13の吐出流量に応じた圧力が圧力室17
内に発生する。そしてこの圧力は、通路19を経
て圧力室20にも伝達される。
The pressure generating section A is an electromagnetic pump 13 consisting of a coil 11 and an actuating section 12 penetrating through the center hole thereof.
has. This electromagnetic pump 13 sucks the hydraulic oil contained in the storage chamber 14 from the passage 15 into the actuating part 12, and then passes it through the passage 16 to the pressure chamber 1.
7. Moreover, the pressure chamber 17 is
It communicates with the storage chamber 14 through a first passage 18 equipped with a first orifice 21 having an appropriate opening area, and communicates with the second pressure chamber 2 through a passage 19.
It also communicates with 0. Therefore, the electromagnetic pump 13
During operation, hydraulic oil flows from the storage chamber 14 to the passage 1.
5, circulates through the operating part 12, the passage 16, the pressure chamber 17 and the passage 18, and returns to the storage chamber 14;
Due to the action of the orifice 21 provided in the passage 18, a pressure corresponding to the discharge flow rate of the electromagnetic pump 13 is applied to the pressure chamber 17.
occurs within. This pressure is also transmitted to the pressure chamber 20 via the passage 19.

一方、電磁ポンプ13の吸込側の通路15と吐
出側の通路16とを連結するバイパス通路22が
形成され、このバイパス通路22内に、電磁ポン
プ13が正常に動作している間だけ閉位置に保持
されるバイパス弁23が設けられている。したが
つて圧力室17の圧力が上昇したのちに電磁ポン
プ13の動作が停止すると、バイパス弁23は直
ちに開位置に移動し、これによつて圧力室17の
圧力は瞬時に開放される。
On the other hand, a bypass passage 22 is formed that connects the suction side passage 15 and the discharge side passage 16 of the electromagnetic pump 13, and the bypass passage 22 is in a closed position only while the electromagnetic pump 13 is operating normally. A retained bypass valve 23 is provided. Therefore, when the electromagnetic pump 13 stops operating after the pressure in the pressure chamber 17 has increased, the bypass valve 23 immediately moves to the open position, thereby instantly releasing the pressure in the pressure chamber 17.

さらに第1の通路18と並列の関係で圧力室1
7を貯留室14とをつなぐ第2の通路24が形成
され、この通路24に、外部からの信号で開閉す
る電磁弁25と、第1のオリフイス21よりも大
きい開口面積を有する第2のオリフイス26とが
設けられている。
Further, the pressure chamber 1 is arranged in parallel with the first passage 18.
7 and the storage chamber 14 is formed, and this passage 24 includes a solenoid valve 25 that opens and closes in response to an external signal, and a second orifice having a larger opening area than the first orifice 21. 26 are provided.

圧力発生部Aに隣接して設けられた変換部B
は、2つの応動体31および32を有する。第1
の応動体31は、圧力室17の内部にベロフラム
を介して接しているとともに、軸方向に移動自在
なロツド33の先端に固定され、スプリング34
によつて圧力室17内に向けて付勢されている。
また第2の応動体32は、圧力室20にベロフラ
ムを介して接しているとともに、軸方向に移動自
在なロツド35の先端に支持された状態で、スプ
リング36によつて圧力室20内に向けて押圧さ
れている。したがつて圧力室17および20内の
圧力が上昇すると、応動体31および32はそれ
ぞれスプリング34および36に抗して移動し、
圧力が低下すれば元の位置に戻るという動作を行
い、ここに圧力−変位変換が行われる。第2の応
動体32の受圧面積は第1の応動体31よりも小
さく、したがつて第2の応動体32が変位し始め
る圧力は第1の応動体31のそれよりも高い。
Conversion section B provided adjacent to pressure generation section A
has two reaction bodies 31 and 32. 1st
The response body 31 is in contact with the inside of the pressure chamber 17 via a bellows frame, and is fixed to the tip of a rod 33 that is movable in the axial direction, and is supported by a spring 34.
is urged toward the inside of the pressure chamber 17 by.
The second response body 32 is in contact with the pressure chamber 20 via a bellows frame, and is supported by the tip of a rod 35 that is movable in the axial direction, and directed toward the inside of the pressure chamber 20 by a spring 36. is being pressed down. Therefore, when the pressure in pressure chambers 17 and 20 increases, reaction bodies 31 and 32 move against springs 34 and 36, respectively,
When the pressure decreases, it returns to its original position, and pressure-displacement conversion is performed here. The pressure receiving area of the second reaction body 32 is smaller than that of the first reaction body 31, and therefore the pressure at which the second reaction body 32 starts to be displaced is higher than that of the first reaction body 31.

制御部Cは、入口通路41、連絡通路42およ
び出口通路43を有し、連絡通路42内には好ま
しくはレギレータ(図示せず)が設けられる、入
口通路41および連絡通路42は、弁座44の中
心孔を介して相互に連通し、この弁座44には開
閉弁45がスプリング46の作用で圧接されてい
る。そして開閉弁45を支持する弁ロツド47
は、前記のロツド33の先端と当接している。ま
た連絡通路42および出口通路43は、弁座48
の中心孔を介して相互に連通し、この弁座48に
スプリング49によつて比例弁50が圧接されて
いる。そして比例弁50の中心部に設けられた弁
ロツド51は、その一端で前記のロツド36の先
端と当接ている。この比例弁50は、弁座48に
密着した全閉位置と、最も離れた全開位置との間
の範囲内で移動することによつて、連絡通路42
から出口通路43に流れる被制御流体、たとえば
燃料ガスの流量を比例制御することができる。
The control section C has an inlet passage 41, a communication passage 42, and an outlet passage 43, in which a regulator (not shown) is preferably provided. The opening/closing valve 45 is pressed against the valve seat 44 by the action of a spring 46. and a valve rod 47 that supports the on-off valve 45.
is in contact with the tip of the rod 33 mentioned above. Further, the communication passage 42 and the outlet passage 43 are connected to the valve seat 48.
A proportional valve 50 is pressed against the valve seat 48 by a spring 49. A valve rod 51 provided at the center of the proportional valve 50 is in contact with the tip of the rod 36 at one end thereof. The proportional valve 50 moves between a fully closed position in close contact with the valve seat 48 and a fully open position furthest away from the valve seat 48, thereby allowing the proportional valve 50 to
The flow rate of the controlled fluid, such as fuel gas, flowing from the outlet passage 43 to the outlet passage 43 can be proportionally controlled.

つぎに動作について説明する。電磁ポンプ13
のコイル11に外部の駆動回路(図示せず)か
ら、交流の半波整流波形、あるいは矩形波のよう
な任意の波形の駆動信号が供給されると、バイパ
ス弁23が紙面において右方向へ移動してバイパ
ス通路を閉じるとともに、貯留室14内の作動流
体がフイルタを介して通路15へ流れ、作動部1
2の中心部へ流入する。作動部12の内部は中心
部から作動流体が吸引され、内部にあるプランジ
ヤで加圧され、作動部12の周辺部から吐出さ
れ、これが通路16を経て圧力室17に圧送され
る。このとき電磁弁25は外部からの信号によつ
て開かれている。したがつて圧力室17内の作動
流体は、開口面積の大きい第2のオリフイス26
を有する第2の通路24を主として通つて貯留室
14に戻り、このため圧力室17内の圧力は、電
磁ポンプ13の吐出量が一定であれば、第2のオ
リフイス26の開口面積で定まる第1の圧力まで
上昇する。この圧力は、通路19を経て第2の圧
力室20にも伝達されるが、この圧力では第1の
応動体31だけが変位し、これによつて開閉弁4
5だけが開かれる。この状態では、入口通路41
内の燃料ガスは連絡通路42に流れ、図示しない
パイロツトバーナーに供給される。
Next, the operation will be explained. Electromagnetic pump 13
When a drive signal of an arbitrary waveform such as an AC half-wave rectified waveform or a square wave is supplied to the coil 11 from an external drive circuit (not shown), the bypass valve 23 moves to the right in the drawing. At the same time, the working fluid in the storage chamber 14 flows to the passage 15 through the filter, and the working part 1
It flows into the center of 2. Working fluid is sucked from the center of the working part 12, pressurized by a plunger inside, and discharged from the periphery of the working part 12, and is forced into the pressure chamber 17 through the passage 16. At this time, the solenoid valve 25 is opened by an external signal. Therefore, the working fluid in the pressure chamber 17 flows through the second orifice 26 with a large opening area.
Therefore, if the discharge amount of the electromagnetic pump 13 is constant, the pressure in the pressure chamber 17 is determined by the opening area of the second orifice 26. The pressure increases to 1. This pressure is also transmitted to the second pressure chamber 20 via the passage 19, but only the first response body 31 is displaced by this pressure, thereby causing the on-off valve 4
Only 5 will be opened. In this state, the entrance passage 41
The fuel gas inside flows into the communication passage 42 and is supplied to a pilot burner (not shown).

パイロツトバーナーの点火が確認されたのち、
電磁弁25は外部からの信号によつて閉じる。こ
れによつて通路24は遮断され、したがつて圧力
室17内の流体は通路18だけを通つて貯留室1
4に戻る。この通路18に設けられたオリフイス
21の開口面積は、第2のオリフイス26の開口
面積よりも小さいので、電磁ポンプ13の吐出量
が一定であつても、圧力室17およびび18内の
圧力は上昇する。この圧力で第2の応動体32が
所定の距離だけ変位し、これによつて比例弁50
が開いて、出口通路43に連なるメインバーナ
(図示せず)に燃料ガスが流れ、本燃焼が開始さ
れる。またこの状態で電磁ポンプ13のコイル1
1に供給される駆動信号の電流値を変えることに
よつて吐出量を変化させれば、比例弁50の位置
を比例制御することができる。
After confirming that the pilot burner has ignited,
The solenoid valve 25 is closed by an external signal. As a result, the passage 24 is blocked, so that the fluid in the pressure chamber 17 passes only through the passage 18 to the storage chamber 1.
Return to 4. Since the opening area of the orifice 21 provided in this passage 18 is smaller than the opening area of the second orifice 26, even if the discharge amount of the electromagnetic pump 13 is constant, the pressure in the pressure chambers 17 and 18 is Rise. This pressure causes the second response body 32 to displace by a predetermined distance, thereby causing the proportional valve 50 to
is opened, fuel gas flows to a main burner (not shown) connected to the outlet passage 43, and main combustion is started. Also, in this state, the coil 1 of the electromagnetic pump 13
1, the position of the proportional valve 50 can be proportionally controlled by changing the discharge amount by changing the current value of the drive signal supplied to the proportional valve 50.

また電磁弁25が開いた状態では開閉弁45だ
けを開き、比例弁50を閉じておく動作を確実に
するために、第2図に示すように、第1の圧力室
17と第2の圧力室20とをつなぐ通路19に、
電磁弁25と交互動作する電磁弁27を設けるこ
とができる。
In addition, in order to ensure that when the solenoid valve 25 is open, only the on-off valve 45 is opened and the proportional valve 50 is closed, the first pressure chamber 17 and the second pressure chamber are opened, as shown in FIG. In the passage 19 connecting with the room 20,
A solenoid valve 27 can be provided which operates alternately with the solenoid valve 25.

さらに電磁弁27に代えて、第3図に示すよう
な構造の弁28を設けてもよい。第3図におい
て、ハウジング61内には、中央部に弁体62を
支持するダイアフラム63が設けられ、この弁体
62は、ハウジング61とダイアフラム63との
間に設けられたスプリング64の作用で、ハウジ
ング61に設けられた弁座65に圧接されてい
る。したがつてこの状態では、圧力室17に連な
る入口ポート66とダイアフラム室67との間は
遮断されている。ここで入口ポート66側の圧力
は弁体62の受圧面にスプリング61を押圧する
方向に作用するので、その圧力が設定値に達する
と、弁体62はスプリング61に抗して弁座65
を離れ、これによつて入口ポート66内の作動流
体ダイアフラム室67に入り、ついで出口ポート
68を経て圧力室20に流れる。ダイアフラム6
3の受圧面積は、弁座65に接している状態での
弁体62の受圧面積よりも著しく大きいので、弁
体62が弁座65をわずかに離れると同時に、ダ
イアフラム63は急激に変位して弁体62を弁座
65から離れる方向に移動させ、この状態は、弁
体62が開き始めた圧力よりも著しく低い圧力に
なるまで保持される。
Furthermore, instead of the electromagnetic valve 27, a valve 28 having a structure as shown in FIG. 3 may be provided. In FIG. 3, a diaphragm 63 supporting a valve body 62 is provided in the center of the housing 61, and the valve body 62 is supported by the action of a spring 64 provided between the housing 61 and the diaphragm 63. It is pressed against a valve seat 65 provided in the housing 61. Therefore, in this state, the inlet port 66 connected to the pressure chamber 17 and the diaphragm chamber 67 are cut off. Here, the pressure on the inlet port 66 side acts on the pressure receiving surface of the valve body 62 in a direction that presses the spring 61, so when the pressure reaches the set value, the valve body 62 resists the spring 61 and pushes against the valve seat 61.
, thereby entering the working fluid diaphragm chamber 67 in the inlet port 66 and then flowing to the pressure chamber 20 via the outlet port 68 . diaphragm 6
3 is significantly larger than the pressure receiving area of the valve body 62 when it is in contact with the valve seat 65, so when the valve body 62 slightly leaves the valve seat 65, the diaphragm 63 is suddenly displaced. The valve body 62 is moved in a direction away from the valve seat 65, and this state is maintained until the pressure becomes significantly lower than the pressure at which the valve body 62 begins to open.

すなわち電磁ポンプ13が動作して圧力室17
内の圧力が上昇していく過程で、この圧力が第1
の設定値に達すると、まず第1の応動体31が変
位し、開閉弁45を開位置に移動させる。これに
よつて燃料ガスは入口通路41から連絡通路42
に流れ、ついでパイロツトバーナーに流れて点火
される。しかしこの状態では比例弁50は閉じて
いるので、第2の圧力室20内の圧力は低い。
That is, the electromagnetic pump 13 operates and the pressure chamber 17
In the process of increasing internal pressure, this pressure becomes the first
When the set value is reached, first the first response body 31 is displaced and the on-off valve 45 is moved to the open position. This allows the fuel gas to flow from the inlet passage 41 to the communication passage 42.
It then flows to the pilot burner and is ignited. However, in this state, the proportional valve 50 is closed, so the pressure in the second pressure chamber 20 is low.

つぎに圧力室17内の圧力がさらに上昇し、弁
28の開圧に達すると、前述のように弁体62は
急激に開位置に移動したのちこの位置に保持され
るので、作動流体が通路16および19を通つて
圧力室20に流入し、ついでオリフイス21と通
路18を経て貯留室14に戻ることにより、圧力
室20内に圧力室17とほぼ等しい圧力が発生す
る。したがつて応動体32は、圧力室20内の圧
力に応じて変位し、比例弁50を比例動作させ、
連絡通路42から出口通路43をへてメインバー
ナに供給される燃料ガスの流量が比例制御され
る。また逆に圧力室17内の圧力が低下する過程
では、この圧力がほとんどゼロになるまで弁28
は開いたままである。
Next, when the pressure within the pressure chamber 17 further increases and reaches the opening pressure of the valve 28, the valve body 62 rapidly moves to the open position and is held at this position as described above, so that the working fluid can flow through the passage. By flowing into the pressure chamber 20 through 16 and 19 and then returning to the storage chamber 14 through the orifice 21 and the passage 18, a pressure approximately equal to that in the pressure chamber 17 is generated in the pressure chamber 20. Therefore, the responsive body 32 is displaced according to the pressure within the pressure chamber 20, causing the proportional valve 50 to operate proportionally,
The flow rate of fuel gas supplied from the communication passage 42 to the main burner via the outlet passage 43 is proportionally controlled. Conversely, in the process of decreasing the pressure inside the pressure chamber 17, the valve 28
remains open.

〔発明の効果〕 以上のようにこの発明によれば、圧力室から貯
留室に作動流体を戻すために2つの独立した通路
を形成し、その各々に相互に開口面積の異なるオ
リフイスを設け、さらに開口面積が大きいオリフ
イスを有する側の通路に電磁弁を設けて、この電
磁弁の開閉によつて、電磁ポンプの吐出量が一定
であつても、圧力室内の圧力を2段階に容易に変
更することができるように構成したので、その各
圧力に応動する第1、第2の応動体で2つ弁を安
全かつ確実に作動させることが可能となり、機器
の小型化を実現し、2つの弁の開閉シーケンシヤ
ルが正確となり制御性が向上する等の効果があ
る。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, two independent passages are formed in order to return the working fluid from the pressure chamber to the storage chamber, each of which is provided with an orifice having a different opening area, and further A solenoid valve is installed in the passageway on the side that has an orifice with a large opening area, and by opening and closing this solenoid valve, the pressure in the pressure chamber can be easily changed to two levels even if the discharge amount of the solenoid pump is constant. Since the configuration allows the two valves to be operated safely and reliably using the first and second response bodies that respond to each pressure, the device can be downsized and the two valves can be operated safely and reliably. This has the effect of making the opening/closing sequence more accurate and improving controllability.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の一実施例によるアクチエー
タを備えた流量制御装置の縦断面図、第2図は他
の実施例によるアクチエータの油圧系統図、第3
図は第2図のアクチエータに適用できる弁の縦断
面図である。 A…圧力発生部、B…変換部、C…制御部、1
1…コイル、13…電磁ポンプ、14…貯留室、
17…圧力室、18,19…通路、20…圧力
室、21オリフイス、23…バイパス弁、24…
通路、25…電磁弁、26…オリフイス、27…
電磁弁、28…弁、31,32…応動体、41…
入口通路、42…連絡通路、42…出口通路、4
5…開閉弁、50…比例弁、61…ハウジング、
62…弁体、63…ダイアフラム。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a flow control device equipped with an actuator according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a hydraulic system diagram of an actuator according to another embodiment, and FIG.
The figure is a longitudinal sectional view of a valve applicable to the actuator of FIG. 2. A...Pressure generation section, B...Conversion section, C...Control section, 1
1... Coil, 13... Electromagnetic pump, 14... Storage chamber,
17...pressure chamber, 18, 19...passage, 20...pressure chamber, 21 orifice, 23...bypass valve, 24...
Passage, 25... Solenoid valve, 26... Orifice, 27...
Solenoid valve, 28... Valve, 31, 32... Response body, 41...
Entrance passage, 42...Connection passage, 42...Exit passage, 4
5... Opening/closing valve, 50... Proportional valve, 61... Housing,
62...Valve body, 63...Diaphragm.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 貯留室内の作動流体を第1の圧力室に圧送す
る電磁ポンプと、上記第1の圧力室内の作動流体
を上記貯留室に戻すための第1の通路および第2
の通路と、上記第1の通路内に設けられた第1の
オリフイスと、上記第2の通路内に設けられ、上
記第1のオリフイスよりも大きい開口面積を有す
る第2のオリフイスおよび電磁弁と、上記第1の
圧力室内の圧力に応じて付勢スプリングに抗して
変位し第1の弁を駆動する第1の応動体と、上記
第1の圧力室に通路を介して連通する第2の圧力
室と、受圧面積が前記第1の受圧面積より小さく
前記第2の圧力室内の圧力に応じて付勢スプリン
グに抗して変位し第2の弁を駆動する第2の応動
体とを備えたアクチエータ。
1 an electromagnetic pump that pumps the working fluid in the storage chamber to the first pressure chamber; a first passage and a second passage for returning the working fluid in the first pressure chamber to the storage chamber;
a passage, a first orifice provided in the first passage, a second orifice provided in the second passage and having a larger opening area than the first orifice, and a solenoid valve. , a first response body that is displaced against a biasing spring in response to the pressure in the first pressure chamber to drive the first valve; and a second response body that communicates with the first pressure chamber via a passage. a pressure chamber, and a second responsive body whose pressure receiving area is smaller than the first pressure receiving area and which is displaced against the biasing spring in response to the pressure in the second pressure chamber to drive the second valve. equipped actuator.
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