JPH0325966B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0325966B2 JPH0325966B2 JP57108389A JP10838982A JPH0325966B2 JP H0325966 B2 JPH0325966 B2 JP H0325966B2 JP 57108389 A JP57108389 A JP 57108389A JP 10838982 A JP10838982 A JP 10838982A JP H0325966 B2 JPH0325966 B2 JP H0325966B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- crystal
- plate
- plates
- angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、多量生産に適した圧電板の加工方法
に関する。圧電板は、その代表例として水晶板が
広く知られ、その水晶板に所定の励振電極を配置
して水晶振動子として利用されている。この水晶
振動子は、近年小型化の要求に応えるため、発振
周波数が1MHz以上のものについては矩形状の水
晶板、数＋KHz〜数百KHzのものについては音
叉状の水晶板が使用されている。第１図ａは矩形
状の水晶板１を使用した水晶振動子を示し、この
水晶板１は主表面の長辺方向がＸ軸、その短辺方
向がZ′軸に平行にし、更に長辺方向の両側面を
Y′軸に対して角度α＝１〜16゜傾斜させて加工さ
れている。なお、この水晶振動子は、水晶板１の
両主面に対向して励振電極２，３を配置して、水
晶板１の厚みに反比例した発振周波数に一致した
高周波電圧を励振電極２，３に印加することによ
り、厚みすべり振動をする。ところで、Z′軸は
Y′軸と同様、第１図ｂに示すようにＸ軸のまわ
りにＺ軸（Ｙ軸も同様）を角度θ＝34゜〜36゜回転
した後の結晶軸であり、このＸ−Z′軸平面に平行
な水晶板をATカツト水晶板と称している。そし
て、この水晶板１の両側面の傾斜角αは、所望な
厚みすべり振動以外に発生する非所望な輪郭すべ
り振動を抑止して、周波数温度特性を良好にする
作用がある。
に関する。圧電板は、その代表例として水晶板が
広く知られ、その水晶板に所定の励振電極を配置
して水晶振動子として利用されている。この水晶
振動子は、近年小型化の要求に応えるため、発振
周波数が1MHz以上のものについては矩形状の水
晶板、数＋KHz〜数百KHzのものについては音
叉状の水晶板が使用されている。第１図ａは矩形
状の水晶板１を使用した水晶振動子を示し、この
水晶板１は主表面の長辺方向がＸ軸、その短辺方
向がZ′軸に平行にし、更に長辺方向の両側面を
Y′軸に対して角度α＝１〜16゜傾斜させて加工さ
れている。なお、この水晶振動子は、水晶板１の
両主面に対向して励振電極２，３を配置して、水
晶板１の厚みに反比例した発振周波数に一致した
高周波電圧を励振電極２，３に印加することによ
り、厚みすべり振動をする。ところで、Z′軸は
Y′軸と同様、第１図ｂに示すようにＸ軸のまわ
りにＺ軸（Ｙ軸も同様）を角度θ＝34゜〜36゜回転
した後の結晶軸であり、このＸ−Z′軸平面に平行
な水晶板をATカツト水晶板と称している。そし
て、この水晶板１の両側面の傾斜角αは、所望な
厚みすべり振動以外に発生する非所望な輪郭すべ
り振動を抑止して、周波数温度特性を良好にする
作用がある。
しかしながら、このような傾斜側面の加工主段
としては、第２図ａ及びｂに示すようにＸ−Z′軸
平面に平行に切断して矩形状に加工した１枚の水
晶素板４を用意して、長辺方向となるＸ軸方向の
両側面を、水晶素板４の法線方向となるY′軸か
ら傾斜角αで切断することになるが、一般に、水
晶板等の圧電板を切断する際には、その圧電板の
平面の法線方向に行うことになり、傾斜角αのも
とで行うことは困難であり、それ故、傾斜側面付
き水晶板等の圧電板を多量生産することができな
かつた。
としては、第２図ａ及びｂに示すようにＸ−Z′軸
平面に平行に切断して矩形状に加工した１枚の水
晶素板４を用意して、長辺方向となるＸ軸方向の
両側面を、水晶素板４の法線方向となるY′軸か
ら傾斜角αで切断することになるが、一般に、水
晶板等の圧電板を切断する際には、その圧電板の
平面の法線方向に行うことになり、傾斜角αのも
とで行うことは困難であり、それ故、傾斜側面付
き水晶板等の圧電板を多量生産することができな
かつた。
本発明は、以上の問題点を解決するためになさ
れたものであり、その要旨とするところは、傾斜
角α度傾けた圧電板を得る圧電板の加工方法にお
いて、所定の厚み寸法をもつて、主表面を実質的
に同一の四辺形状に加工し、少なくとも２枚以上
の該圧電素板を切断する際の所定の角度と同一の
角度で配列して、該圧電素板同士の主表面を互い
に仮接着した後、該圧電素板の該仮接着した面に
垂直な一方の端面に向かつて、該一方の端面上に
おいて所定の角度と間隔で該圧電素板を切断し、
次に該仮接着を剥離して同時に多数の圧電板を得
る圧電板の加工方法である。
れたものであり、その要旨とするところは、傾斜
角α度傾けた圧電板を得る圧電板の加工方法にお
いて、所定の厚み寸法をもつて、主表面を実質的
に同一の四辺形状に加工し、少なくとも２枚以上
の該圧電素板を切断する際の所定の角度と同一の
角度で配列して、該圧電素板同士の主表面を互い
に仮接着した後、該圧電素板の該仮接着した面に
垂直な一方の端面に向かつて、該一方の端面上に
おいて所定の角度と間隔で該圧電素板を切断し、
次に該仮接着を剥離して同時に多数の圧電板を得
る圧電板の加工方法である。
第３図は本発明の一実施例である水晶板の加工
方法を示す。本例の水晶素板４１，４２，４３，
…は約100枚（図面では７枚しか示していない。）
用意され、いずれも、４辺のうち互いに対向する
各２辺をＸ軸方向及びZ′軸方向に平行にし、Ｘ軸
方向及びZ′軸方向の各２辺の長さを所定値（本
例：８mm及び50mm）にし、厚み（Y′軸方向の寸
法）を所望発振周波数に応じた所定値（本例：
4MHzで0.4mm）にした４辺形状板に切断、研磨
等により加工される。そして、これらの水晶素板
４１，４２，４３，……は、加工層除去のエツチ
ング、洗浄等の表面処理を必要に応じて行い、各
主表面に加工用ワツクス５等を薄く塗布して仮接
着する。その仮接着する際、後述する切断時に同
一形状のものを生産するうえで、特にＸ軸方向の
両端面はそれぞれ同一のY′−Z′軸平面上に位置合
せしておくことが好ましい。
方法を示す。本例の水晶素板４１，４２，４３，
…は約100枚（図面では７枚しか示していない。）
用意され、いずれも、４辺のうち互いに対向する
各２辺をＸ軸方向及びZ′軸方向に平行にし、Ｘ軸
方向及びZ′軸方向の各２辺の長さを所定値（本
例：８mm及び50mm）にし、厚み（Y′軸方向の寸
法）を所望発振周波数に応じた所定値（本例：
4MHzで0.4mm）にした４辺形状板に切断、研磨
等により加工される。そして、これらの水晶素板
４１，４２，４３，……は、加工層除去のエツチ
ング、洗浄等の表面処理を必要に応じて行い、各
主表面に加工用ワツクス５等を薄く塗布して仮接
着する。その仮接着する際、後述する切断時に同
一形状のものを生産するうえで、特にＸ軸方向の
両端面はそれぞれ同一のY′−Z′軸平面上に位置合
せしておくことが好ましい。
次に、仮接着した面に垂直な一方の端面、すな
わち図面上、上方のY′−Z′軸平面に向かつて、矢
印で示すように同面に対して垂直であつて、
Y′軸から所定の角度α（本例α＝5°）で、これら
水晶素板４１，４２，４３，……をワイヤ・ソ
ー、バンド・ソー等の切断機により切断する。そ
して、所定の間隔Ｗ（本例２mm）を置いて順次
Z′軸方向に平行移動して切断する。
わち図面上、上方のY′−Z′軸平面に向かつて、矢
印で示すように同面に対して垂直であつて、
Y′軸から所定の角度α（本例α＝5°）で、これら
水晶素板４１，４２，４３，……をワイヤ・ソ
ー、バンド・ソー等の切断機により切断する。そ
して、所定の間隔Ｗ（本例２mm）を置いて順次
Z′軸方向に平行移動して切断する。
次に、切断された水晶板６１，６２，６３，…
…は第３図ｂで示され、仮接着したワニス５をメ
チル・エチル・ケトン等の剥離剤により剥離し
て、同時に多数（本例約100枚）の水晶板６１，
６２，６３，……を得る。
…は第３図ｂで示され、仮接着したワニス５をメ
チル・エチル・ケトン等の剥離剤により剥離し
て、同時に多数（本例約100枚）の水晶板６１，
６２，６３，……を得る。
以上の加工方法によれば、水晶素板及びそれか
ら加工された水晶板の各寸法を任意に選定して、
特に角度αも任意に選定して、一方の端面から直
交して切断加工することができ、その利用範囲に
ついては広大である。
ら加工された水晶板の各寸法を任意に選定して、
特に角度αも任意に選定して、一方の端面から直
交して切断加工することができ、その利用範囲に
ついては広大である。
次に、切断の最初と最後で有効に利用できない
切欠部分を少なくする加工方法としては、第４図
に示すように、水晶素板４１，４２，４３，……
の主表面（Ｘ−Z′軸平面）と、前述した一方の端
面（図面上、上方のY′−Z′軸平面）とに垂直なも
う一方の端面（Ｘ−Y′軸平面）を予め所定の角
度αと同一角度で配列して仮接着すればよい。
切欠部分を少なくする加工方法としては、第４図
に示すように、水晶素板４１，４２，４３，……
の主表面（Ｘ−Z′軸平面）と、前述した一方の端
面（図面上、上方のY′−Z′軸平面）とに垂直なも
う一方の端面（Ｘ−Y′軸平面）を予め所定の角
度αと同一角度で配列して仮接着すればよい。
以上の実施例において、圧電板の材料として
ATカツト水晶を使用したが、BT，DT，CT，
GT，NT及び＋5゜X等の他のカツト水晶はもとよ
り、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の
圧電体を使用してもよいし、また形状についても
実施例の矩形状のみならず、正方形、音叉形等の
ように両側面を有する形状であれば実施可能であ
る。
ATカツト水晶を使用したが、BT，DT，CT，
GT，NT及び＋5゜X等の他のカツト水晶はもとよ
り、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の
圧電体を使用してもよいし、また形状についても
実施例の矩形状のみならず、正方形、音叉形等の
ように両側面を有する形状であれば実施可能であ
る。
以上のとおり本発明によれば、両側面に傾斜面
を形成する圧電板の加工方法につき、多量生産に
適した方法を提供することから、その利用価値は
多大である。
を形成する圧電板の加工方法につき、多量生産に
適した方法を提供することから、その利用価値は
多大である。
第１図は両側面に傾斜面を有する水晶振動子を
示し、同図ａは斜視図及び同図ｂは結晶座標軸を
示す図である。第２図は従来手法による切断加工
を示し、同図ａは斜視図及び同図ｂは側面図であ
る。第３図は本発明による一実施例の水晶板の加
工方法を示し、同図ａは多数の水晶素板を仮接着
した後、所定の角度αで切断加工する際の状態を
示す斜視図及び同図ｂは切断後の水晶板を示す斜
視図である。第４図は本発明による他の一実施例
を示し、仮接着後に所定の角度αで切断加工する
際の状態を示す斜視図である。 ４１，４２，４３，〜４７……水晶素板、５…
…ワニス、６１，６２，６３，〜，６７……水晶
板、α……角度、Ｗ……間隔。
示し、同図ａは斜視図及び同図ｂは結晶座標軸を
示す図である。第２図は従来手法による切断加工
を示し、同図ａは斜視図及び同図ｂは側面図であ
る。第３図は本発明による一実施例の水晶板の加
工方法を示し、同図ａは多数の水晶素板を仮接着
した後、所定の角度αで切断加工する際の状態を
示す斜視図及び同図ｂは切断後の水晶板を示す斜
視図である。第４図は本発明による他の一実施例
を示し、仮接着後に所定の角度αで切断加工する
際の状態を示す斜視図である。 ４１，４２，４３，〜４７……水晶素板、５…
…ワニス、６１，６２，６３，〜，６７……水晶
板、α……角度、Ｗ……間隔。
Claims (1)
- １ 圧電素板を矩形状に切断し、側面に傾斜角α
度傾けた圧電板を得る圧電板の加工方法におい
て、所定の厚み寸法をもつて、主表面を実質的に
同一の四辺形状に加工し、少なくとも２枚以上の
該圧電素板を切断する際の所定の角度と同一の角
度で配列して、該圧電素板同士の主表面を互いに
仮接着した後、該圧電素板の該仮接着した面に垂
直な一方の端面に向かつて、該一方の端面上にお
いて所定の角度と間隔で該圧電素板を切断し、次
に該仮接着を剥離して同時に多数の圧電板を得る
ことを特徴とする圧電板の加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10838982A JPS59210A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 圧電板の加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10838982A JPS59210A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 圧電板の加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59210A JPS59210A (ja) | 1984-01-05 |
| JPH0325966B2 true JPH0325966B2 (ja) | 1991-04-09 |
Family
ID=14483521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10838982A Granted JPS59210A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 圧電板の加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59210A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61261911A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-20 | Kinseki Kk | 短冊水晶振動板の製造方法 |
| HUT65024A (en) * | 1986-03-21 | 1994-03-28 | Asszonyi | Method for building deep-level catchwater drain with comb-like suction tubes |
| JPH0515859Y2 (ja) * | 1987-12-21 | 1993-04-26 | ||
| EP0802628B1 (en) * | 1996-04-16 | 2003-07-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric resonator and method for fabricating the same |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5431292A (en) * | 1977-08-12 | 1979-03-08 | Kinsekisha Lab Ltd | Method of producing short vibrator |
| JPS5518142A (en) * | 1978-07-25 | 1980-02-08 | Citizen Watch Co Ltd | Processing method of crystal tuning fork |
| JPS55141811A (en) * | 1979-04-23 | 1980-11-06 | Nec Corp | Manufacture for piezoelectric porcelain disc oscillator |
-
1982
- 1982-06-25 JP JP10838982A patent/JPS59210A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59210A (ja) | 1984-01-05 |
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