JPH0333478B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は選定された部分に真空が作用される工
作物支持面を有するテーブル上で工作物を工作す
る装置に関し、特にテーブル用の弁装置と、所要
の作動を行うために弁装置を作動させる装置と、
弁装置に共働させる剛毛ベツドとを有し工作物に
所要の真空を作用させる装置を提供する。

本発明は選択された工作物支持面部分に種々の
目的のために真空を作用させる必要のある種々の
用途に適用できる。特に有利な用途として、織物
編物工業があり、１層以上の布等のシート材料を
作業面に拡げ、次に切断等の処理を行う。シート
材料を作業面に引き伸ばし機で拡げテーブル上の
種々の横部分を機械の動きに応じて順次真空とし
シートが機械からテーブルに移る時にその部分の
みを真空にして円滑にシートをテーブルに移す。
他の場合にはテーブル上の選択された部分のみを
真空とし、シートをテーブル上に固定し空気不透
過性のシートを重ねて又は重ねないで層を圧縮す
る。この間作業面の選択された部分上で工具によ
つてシートの層を切断する。この場合に工具は面
の長手方向に動くため、工具の動きに同期して面
の横方向部分を順次真空とし大気圧とする。工具
の直接下の部分が最大の真空であり工具からの距
離の関数としてテーブルの長手方向両側で真空が
順次テーパして零になるのが好適である。作業面
上の工具の長手方向の動きに応じて面の横部分が
真空になり大気圧になる過程は緩やかであり急激
なサージえお防ぐ必要がある。切断工具付近の部
分のみを真空とすることは各種の利点があり、第
１は全面を真空とするよりは著しく小さい真空源
を使用できる。真空圧下装置の一部として空気不
透過性シートで切断すべきシートを覆う場合は特
に有利である。全面に真空を作用させた時に切断
の前は空気不透過性シートが空気のシールとなり
比較的低い所要動力となる。しかし、切断が進行
しカツタが空気不透過性シートを透して切り抜き
を行えば空気は切り抜きから通過して真空装置の
負荷が増大する。更に、テーブル上に１枚又は数
枚のシートを被覆シートなしで保持した場合は全
面真空とすればテーブル支持面上を所要の真空と
するには大きな真空装置が必要になる。それ故、
支持面の小部分のみを真空にすれば負荷は減少し
低馬力の安価な真空源を使用できる。

従来の技術 作業面の選択された部分のみに真空を作用させ
ること、そしてそのような選択を作業面に対する
工作又は台車の位置に応じて行うことは既知であ
り、米国特許3495492号に記載される。本発明は
更にこの点について改良する。

発明が解決しようとする問題点 本発明は選択的に真空とし得る工作物支持面を
有する装置を提供し、上述の特許とほぼ同様な原
理であるが、新しい安価な効率の高い信頼性の大
きい弁装置を有する装置に関する。

本発明は上述の装置において、空気不透過性シ
ートを使用せずに数枚の空気透過性シートを支持
した支持面上の真空圧の勾配を工具又は台車付近
で最大の真空とし面の長手方向で工具又は台車か
ら離れるに従つて順次減少させる装置とする。

本発明は上述の装置を提供し、支持面上の順次
の横部分の圧力の増加減少を急激なサージを生じ
ないで緩やかに行わせる。

工作物支持面の各部の選択的真空作用の制御を
工作物に対する工具の位置によつて行うことは好
適であり真空弁装置の制御が工具又は位置ぎめ装
置に余分な負荷を作用せず、工具は急加速又は急
激速させ得る。本発明は上述の装置において、弁
装置を支持面に対する工具又は台車の位置に応答
して制御し工具位置ぎめ装置には余分な負荷を作
用しない装置を提供する。

更に、選択真空作用装置では、真空は一部のみ
に作用し正圧を所要に応じて全支持面に作用させ
ることが望ましいことがある。装置の布切断機で
ある場合に、真空を使用して布を切断間保持し、
切断後に全支持面に正圧を作用して切断された布
を支持面から除去し新しい布を載せる。本明細書
において、「真空」は大気圧より低圧の空気を指
す。それ故、空気プレナムが真空であるとき、空
気は剛毛ベツドを通り吸引され、剛毛ベツドによ
り形成される支持面に布を保持することを助け
る。正圧、即ち大気圧以上の圧力の空気が空気プ
レナムに供給されるとき、空気は空気プレナムか
ら剛毛ベツドを通り外方へ流出し、布を支持面か
ら上昇させる。布を支持面から上昇させること
は、布を支持面から移動させる場合有利である。
本発明の装置においては、空気プレナムに正圧を
供給するでけで全支持面に正圧を作用させること
ができる。

問題点を解決するための手段 本発明は工作物を工作する装置であり、工作物
を支持するテーブルを剛毛ベツド等の多孔性又は
孔明き材料製とし選択された部分に真空を生じさ
せる。支持面の各部の選択真空作用を行う弁装置
は長手方向に分布した第１第２のポートを含む平
面の弁面を有する長い弁部材と、弁部材の長手方
向に沿つて可動のベルトデフレクターユニツトと
弁部材とベルトデフレクターユニツトとに共働す
るベルトとを有する。夫々の第１のポートが支持
面の各部分の下の室に連通し、凡ての第２のポー
トは空気プレナムに連通する。ベルトは弁部材の
長手方向に沿つて延長しベルトデフレクターユニ
ツトの上を通り、ベルトデフレクターユニツトの
両側ではベルトは弁面に近接しベルトデフレクタ
ーユニツトの位置ではベルトは弁面から離れる。
空気プレナムに真空が供給されればベルトデフレ
クターユニツトから離れた位置では第２のポート
は接したベルト部分を弁部材の弁面に吸引して第
２のポートを空気流から封鎖し、ベルトデフレク
ターユニツトの位置では、ベルトが弁面から離れ
ているため一部の第１のポートは一部の第２のポ
ートに連通し、空気プレナムからの空気は選択さ
れた１個以上の室に流通する。正の空気圧が空気
プレナムに作用すれば、第２のポートに生じた正
圧はベルトを弁面から押し離し、このため正圧は
テーブルの全部の室に供給され支持面の全面上に
正圧が作用する。正圧を空気プレナムに供給する
場合があるように装置を作動させる場合は、弁部
材はベルトとベルトデフレクターユニツトとを収
容する封鎖室の一部を形成させ、この室は空気プ
レナムの加圧間は加圧され第２のポートからの正
圧を有効に第１のポートに伝達する。

更に、本発明の装置は工作物を支持する剛毛ベ
ツドを設け、剛毛ベツドは室上に重なり所定の室
に作用する真空は剛毛ベツドのベースの開口を通
る。ベツドの剛毛は比較的短く密接しベースと工
作物との間のスペースでは剛毛が空気流に大きな
抵抗を生じ、真空とした室の直上の部分では真空
度が大きく支持面の長手方向にこの室からの距離
に応じて真空度が減少する。

本発明による弁部材は各室のための多数の第１
のポートを有し、ベルトデフレクターユニツトの
傾斜は、所定の室の第１のポートを開閉する時に
ベルトデフレクターユニツトはサージを生じるこ
となく緩やかに室を開閉するように定める。

本発明による装置は、支持面に対して一方の座
標方向に動く台車を設け、ベルトデフレクターユ
ニツトは台車に同期して動く。空気プレナムに真
空が供給された時は、台車に取付けた工具の下の
室に真空が作用する。

本発明の実施例並びに図面について説明する。

実施例 第１図に示す本発明による装置１４は工作物支
持テーブル上に拡げた単層又は多層のシート材料
を切断する装置である。装置の主要構成部は切断
テーブル１６、切断機構１８、空気装置２０、数
値制御装置２２である。

テーブル１６は長い長方形の水平の上向きの工
作物支持面２４を有し、図示の例では工作物とし
て１枚の布２６を拡げた状態とする。工作物支持
面を形成する材料は各種使用できるが、図示の好
適な例では後述する本発明によつて、複数の剛毛
素子又はブロツクを組合わせて連続した剛毛ベツ
ドを形成し、ベツドは多数の空気流通路を垂直に
設け、空気は工作物支持面２４から装置の一部の
面２４の下の中空室に流入し、面２４の選択した
面に真空を作用し工作物２６を切断中保持し、所
要に応じて正の空気圧を面２４の全部に作用して
工作物２６を動かし又は面２４から取り去る。

切断機構１８は支持面２４上のＸ台車２８をテ
ーブル１６に対してＸ軸方向に可動とする。テー
ブルの両長手側の上向きの壁３０，３０に係合す
る図示しない軸受によつて台車の両側を支持す。
各壁の外側面に長手方向のラツク３２を有する。
第１，１２図に示す通り、右側に駆動歯車３６を
取付けた駆動軸３４は台車２８内を延長し両単に
ピニオン３８を有して夫々のラツク３２に係合
し、駆動歯車３６、軸３４の回転に応答して台車
をＸ方向に動かす。第１図に示すＸ台車の右端に
取付けた箱４０内に第１２図に示すＸモータ４２
を収容し出力ピニオン３５が駆動歯車３６にかみ
あつて駆動する。

Ｘ台車上に支持されてＹ軸方向に相対運動する
Ｙ台車４６は支持面２４上に拡げた工作物２６に
加工するための１個以上の工具を支持する。工具
は各種の形状とすることができるが図示の例では
回転刃切断ヘツド４８と往復刃ヘツド５０から成
る。ヘツド４８は略水平軸線を中心として回転す
る刃を有し、ヘツド４８の動く線に沿つて制御装
置２２の制御の下でＸ台車２８とＹ台車４６との
Ｘ−Ｙ方向の組合わせ運動によつて工作物２６を
切断する。此の運動間に回転する切断刃を支持す
るヘツド４８の一部は垂直Θ軸線５４を中心とし
て動き、切断刃を切断線５２に対して接線方向に
保ち、切断刃の往復運動も同様に垂直Θ軸線５５
を中心として動く。一般に、切断ヘツド４８を使
用して工作物２６かパターンピースを切り、この
例をピース５６として示す。ヘツド５０は垂直可
動刃を有し、カツタヘツド４８の切つたパターピ
ースにノツチマークを切るために使用する。この
刃はパターンピースを形成する切断線の一部、例
えば回転刃カツタヘツド４８で容易に切断し得る
曲率より小さい曲率の線を切るために使用され
る。

Ｙは台車４６はＸ台車２８の両単のプーリにか
けたベルト５８によつてＹ軸方向に動く。第１図
の右側プーリは箱４０に収容された図示しないＹ
モータによつて駆動され、駆動軸に取付けたピニ
オン６０が駆動歯車６２を介してベルトドラムに
駆動連結する。

箱４０内のＸ、Ｙ駆動モータの運動及び切断ヘ
ツド４８，５０の作動のための電源及び電気的指
令を供給するリボンケーブルはケーブルの右側に
沿つて動くケーブルハウジング６４に収容され
る。ハウジングにはケーブルに近接するための長
手方向のスロツト６６を有するる。ケーブルの一
端はＸ台車２８に連結した導体支持腕６８に接続
し、他端はハウジング６４内に収容されたケーブ
ルの一部とした接続ケーブル７０を経て数値制御
装置２２に接続する。

数値制御装置２２は図示の例では磁気テープ７
２に記録された指令に応答して切断テーブル１６
の作動特に切断ヘツド４８を工作物２６上の所要
の切断線に沿つて動かす指令を発生する。

空気装置２０は供給導管７４を介してテーブル
に接続し真空又は正圧を選択的に供給する。この
ために装置は負圧ポート７８と正圧ポート８０と
を共に有す送風機又はポンプ７６から成る。ポン
プ７６と供給導管７４との間に接続した弁機構８
２はハンドル８４によつて手動制御し供給導管７
４を真空ポート７８又は正圧ポート８０に選択的
に接続する。供給導管７４に接続されないポート
７８又は８０は弁機構８２を経て大気ポートに接
続される。弁機構８２の設定がテーブル１６への
真空供給であれば、空気は供給導管７４を経て吸
込まれ大気ポート８６を経て排出される。これに
対して弁機構が正圧空気をテーブルに供給する設
定の場合は、空気は大気ポート８６を経てポンプ
７６に吸込まれ大気圧より上の圧力で供給導管７
４に入る。

第２〜５図はテーブルの詳細を示し、テーブル
は多数の横方向に延長して並列する部分に分割し
て選択した所要部分を真空とする。

第３図はテーブルの枠組を示し、多数の長手方
向に延長する部材８８，９０，９２，９４，，９
７を有し、好適な例でアルミニウム製とし溶液等
によつて結合して組立体とする。部材９９はケー
ブルハウジング６４を形成する。部材９４は部材
９７の一部と組合わせて空気プレナムを形成して
供給導管７４に接続する。第３図に示す通り、部
材９４と部材９２はテーブルの下方にあり、中間
に２枚のアルミニウム板９８，１００の間に介挿
したハニカム製の剛性軽量のベースブロツク本体
９６を有す。上部板１００は多数の室１０２，１
０２の底壁となり、水平板１００から上方に延長
しテーブルの横方向に延長する波型アルミニウム
製の隔壁１０４，１０４によつて室１０２を互に
分離する。隔壁は孔がなく、部材９８，９０間の
全長に延長するため各室は空気の出入に対して閉
鎖され、後述の通り頂部と右端部のみ開口する。
テーブルの長手の隔壁間の間隔は任意であるが、
図示の例ではこの値を2in（50mm）とし各室は2in
巾となる。

室１０２，１０２を画成する外に、隔壁１０
４，１０４は支持面２４の各部品の支持部材とな
る。第３−５図に示す通り、この部材として好適
な例でアルミニウム製の板状の剛性金属ベース１
０６を隔壁１０４，１０４の上側に取付け全面に
均等に分布した多数の孔１０８，１０８を有す
る。ベース板１０６は剛毛ベツド１００を支持し
剛毛の上端が支持面２４を形成する。剛毛ベツド
の細部構造は変えることもできるが、好適な例で
は特開昭61−270100号公報に記載す形式とする。
簡単に説明すれば、平面正方形の複数の個々の剛
毛ブロツク１１２，１１２から成り、ブロツクを
組合わせて全体の剛毛ベツドを形成する。各剛毛
ブロツクは孔明きのベース層１１４を有し、孔１
１３，１１３を第６図に示し、空気は自由に垂直
方向に通過し、ベース層に取付けた多数の剛毛１
１６を垂直上方に延長させる。各剛毛ブロツクは
所要の方法でベース板１０６に取付ける。例えば
１個以上の下向きのロツドをベース板１０６の相
補形の開口にスナツプ係合させる。かくして１個
以上の剛毛ブロツクが損傷した時は、全体の剛毛
ベツド１１０を交換することなく損傷ブロツクを
交換できる。

例示として、各剛毛ブロツク１１２は各辺を約
5.1cm（2in）とする約26cm²（4in²）の支持面を提
供する。ブロツクは所要の合成樹脂例えばナイロ
又はポリプロピレンの一体の射出成形品とする。
ベース層はほぼ約3.18mm（1/8in）厚さとし、剛
毛は約7.62mm（0.300in）の長さとする。各剛毛の
直径はベース層付近は約0.66mm（0.026in）とし、
長さの約3/4は僅かなテーパで直径を保ち上端は
テーパとして点となる。剛毛はベース層１１４上
に規則的に配列しベース層の各孔部には剛毛がな
い。各ブロツクのベース層１１４には直径約1.27
mm（0.050in）の88個の孔を有する。各ブロツク
は2800本の剛毛を有する。この結果、剛毛ベツド
１１０において、剛毛ブロツクのベース層１１
４，１１４と支持面２４との間隔は比較的小さい
垂直寸法であり剛毛１１６，１１６が比較的密に
分布する。それ故、剛毛はベース層１１４に平行
な面内のスペースを通る自由空気流に対して大き
な抵抗となる。支持部材２４が全部を空気透過性
の板によつて覆われて時は、板自体が空気流通に
対して抵抗があり、隣接する室の組が排気された
時には、剛毛による抵抗のため支持面上に漸減す
る真空分布が第１３図に示す通りに生じる。

第１３図において、横軸は支持面２４の長手方
向の位置を示し、縦軸は真空の程度を示し、線１
１５は各長手テーブル位置での真空の程度を示
す。点Ａ，Ｂ間の距離は支持面の下の排気された
室を示す。後述する通り、図示の例では、隣接し
た５個の室１０２，１０２が同時に排気され、排
気された室のすぐ上に支持面２４は約25.4cm
（10min）の巾となる。面２４のこの部分の上で
は真空の程度は最高であり、この部分の外側のテ
ーブルの長手部分では点Ａ，Ｂ何れかから離れる
に従つて真空の程度は次第に少して零になる。真
空がほぼ零に達する点は多くの関数に影響される
が、図示の例では点Ａ，Ｂから約61cm（２ft）の
位置となる。

何れの場合にもベース１０６と剛毛ブロツク１
１２，１２２の孔は支持面２４と下の室１０２と
の間の自由な空気の流通を可能にする。それ故、
真空が何れかの室１０２に作用すば、真空は室の
頂部を通つて室の上の支持面２４の部分に伝達さ
れ、真空の一部は剛毛ベツドの剛毛のあるスペー
スを弾つてテーブルの長手方向に拡がる。同様に
して、正の空気圧が室に作用すれば、正圧はベー
ス１０６、剛毛ベツド１１０を透つて伝達され、
その室の上の支持面２４の部分上に正圧が生じ
る。

本発明によつて、室１０２，１０２を選択的に
真空とするには、空気プレナム９５に共働し各室
１０２，１０２の端部に共働し、テーブルの一側
に沿つて取付けた簡単ベルト弁機構を使用する。
図示の通り、ベルト弁はテーブルの右に沿つて取
付け溝型フレーム部材の一部を含む。部材９７は
ウエブ１１８と２個の水平フランジ１１９，１１
９を有する。弁機構に関しては、ウエブ１１８は
テーブルの長手方向に延長する弁部材を形成し、
弁面１２０を有する。弁部材１１８は垂直面内に
あり下部長手方向延長部１２２を有して部材９４
と一致させ空気プレナム９５の右側壁を形成す
る。弁部材１１８の上部長手方向延長部１２４は
室１０２，１０２の右側端に一致して室の右側壁
を形成する。弁部材１１８を通る多数の孔を弁部
材の長手方向延長部１２２，１２４の夫々に設け
る。上部長手方向延長部１２４の孔は弁部材内を
通つて弁面１２０に一連の第１のポート１２６を
形成し、下部長手方向部１２２の孔は弁部材を通
つて弁面１２０に一連の第２のポート１２８を形
成する。第５図に示す通り、各室１０２に対して
弁面に多数のポート１２６，１２８が形成され
る。各室に対するポートの数と配置は変えること
ができるが、各室に対して弁面に少なくとも１個
のポート１２６とポート１２８とを設けるように
する。

弁部材１１８の弁面１２０に共働させてベルト
１３０とベルトデフレクターユニツト１３２とを
設ける。ベルト１３０は弁部材１１８の全長に延
長し、ベルトデフレクターユニツトの全長は少数
の並列した室１０２，１０２のさに等しい。ベル
トデフレクターユニツトは弁部材の長さに沿つて
選択的に異なる位置に動かせ得る。

真空が空気プレナム９５に作用した時のベルト
とベルトデフレターとの作動は次の通りである。
デフレターユニツトの両側でベルトは弁面１２０
に接触して第１第２のポート１２６，１２８を封
鎖し、真空がプレナム９５から室１０２，１０２
に伝達されるのを防ぐ。ベルトデフレクターユニ
ツト１３２の位置では、第５図に示す通り、ベル
トは弁面１０２から離れデフレクターユニツトに
近い位置の第１第２のポート１２６，１２８間を
連通させ、１個以上の室１０２，１０２に真空を
供給する。真空を作用させる室の数はベルトの離
された長さによつて定まり、図示の例では一時に
ほぼ５個の室１０２，１０２に真空が作用する。

ベルトデフレクターユニツトは各種の構成とす
ることができるが一一例第４，６図−１１図に示
す。ベルトデフレクターユニツト１３２は上部水
平部材１３６と２個の垂直部材１３８をユニツト
の両側で上部部材１３６に固着して下方に延長さ
せて成るフレーム１３４を有する。上部部材は４
個のロール１４０，１４２，１４４，１４６の唯
一の支持であり、第５図に示す通りロールがベル
ト１３０に係合して離れさせる。ロール１４０，
１４２，１４４，１４６が上端のみを部材１３６
に支持されることによつて、ベルト１３０の下縁
はベルトデフレクターユニツトの位置にあつて
も、ベルトのこの部分がユニツトの反対側の位置
にあつても常に底部フランジ１１９に接触する。
それ故、ベルトは底部フランジ１１９に支持され
て弁面１２０に対する重力による滑りを防止され
る。

ベルトデフレクターユニツトの２個の端部ロー
ル１４０，１４２は弁面１２０に近接し、ロール
と弁面との間を通るベルト１３０は弁面に保持さ
れる。これに関して、第１０図に示す通りベルト
の両端はテーブルの両端で垂直に延長するクラン
プ部材１４８によつて弁部材に固着され、弁部材
にねじこむねじによつてベルト端を弁面に保持す
る。ベルト１３０は空気不透過性材料製とし、ク
ランプ部材１４８によつて弁部材に緊張状態で固
定され、この緊張によつてベルトデフレクターユ
ニツトから離れた位置では弁面に近接保持され
る。

デフレクターユニツトでの空気の漏洩を防ぐた
めに好適な例でベルト１３０の下にハウジング１
５０を設ける。ハウジング１５０は第９〜１１図
に示す通り、弁部材１１８の弁面１２０に面する
開放面１５２を設け、弁面１２０に近接した長方
形外縁１５４を有する。かくしてハウジング１５
０を形成するスペースでは第１第２のポートはハ
ウジングに囲まれて自由に互いに連通し、このペ
ースは外部スペースから有効に封鎖さ外部空気が
ハウジングスペースに侵入するのを防ぐ。第９，
１０，１１図にしめす通り、ハウジング１５０は
垂直壁１５６から成り、上縁を水平部材１３６に
溶接し部材１３６自体がハウジング１５０の一部
を形成する。垂直壁１５６の下縁は第１１図に示
す底壁１５８を有する。外縁１５４の垂直側部は
夫々ロール１４０，１４６に近接させて空気の漏
洩を限定させる。

ベルトデフレクターユニツトは溝型部材９７内
を単に滑動運動させることもできるが、好適な例
では図示の通り多数の車と滑り軸受を有し、弁部
材の長手方向に沿うユニツトの運動を容易にす
る。第８、９図に示す通り、４個の車１６２，１
６２をハウジング１５０内に取付け弁面１２０に
係合させる。車１６２は２組とし、各組を垂直軸
１６４で支持する。他の車１６６，１６６は夫々
部材１３８，１３８によつて支持され部材９７の
下部フランジ１１９上を転動する。

部材９７の外方開放面を閉鎖するカバー板１６
８の上部は右側壁３０を形成する。部材９７とカ
バー板１６８とはベルトデフレクターユニツト１
３２を収容する長い四辺の室１７０を形成する。
弁部材の長手方向のベルトデフレクターユニツト
の運動の支持のために、上述の車１６２，１６６
を加えて、部材１６２に支持された滑動支承板１
７１と、第９図に示す通りデフレクターユニツト
の底部の位置の２本の短い案内板１７２，１７２
を設ける。板１７２，１７２はナイロン、テフロ
ン等の低摩擦材料製とし、カバー板１６８の内面
に係合して弁面から離れる方向に横方向に動か
す。

第９図に示す通り、デフレクターユニツト１３
２の部材１３６の上面に長手方向に延長する封鎖
部材１７４を取付け、部材９７の上部フランジ１
１９の下面に係合させて外部空気が真空室に入る
のを更に防止する。

上述によつて明らかにさた通り、弁装置１１８
は各室１０２用の多数の部品１２６，１２８を有
し、デフレクターユニツトを弁部材の長手方向に
動けば受入室又は吐出室と空気プレナム９５との
間の連通が全開と全閉との間に緩やかに変化す
る。それ故、デフレクターユニツトが最大速度で
動いた場合にも大気圧状態から真空状態への遷移
は円滑であり支持面上に工作物を拡げると妨害と
なるサージは生じない。室内への緩やかな排気又
は給気を更に強化するのは第４図に示すハウジン
グ１５０の形状であり、弁作用の切換が実際に生
じるハウジングの長手方向端部を傾斜させ、ハウ
ジングスペースがポートに対して緩やかに変化す
る。

弁部材１１８の長手方向のベルトデフレクター
ユニツト１３２を動かす装置は第１０，１１図に
示すケーブル１７６から成るケーブル駆動装置と
し、ケーブルの両端をデフレクターユニツトに固
着し、テーブルの一端の遊びプーリ１８０とテー
ブルの他端の位置決めモータ１８４の出力軸に取
付けた駆動プーリ１８２にケーブルをかける。ケ
ーブル１７６の上部の戻り部は、第６，７，８図
に示すように、ユニツの上部部材１３６の上面の
スロツト内を通る。

通常は、ベルトデフレクターユニツトはＸ台車
２８のＸ軸方向の動きに同期させ、これれによつ
て真空を受ける支持面２４の部分はＸ台車４６の
工具、カツタ４８，５０等の下の部分となる。所
要に応じてベルトデフレクターユニツトをＸ台車
に機械的に接続して同期運動させ、Ｘ台車を位置
ぎめするモータと同じモータで駆動する。多くの
場合にはベルトデフレクターユニツトにはＸ台車
位置ぎめ装置とは別の要求があり、このため図示
のようにベルトデフレクターユニツトを個別の位
置ぎめモータ１８４によつて位置ぎめする。Ｘ台
車２８のテーブルに対する位置の変化に応じてモ
ータ１８４はベルトデフレクターユニツトの位置
を変える制御を行うようにする。

この同期作動は各種の方法で行うことができる
が、好適な例では第１２図に示すLVDT（線状可
変差動変成器）１９０を使用しＸ台車２８とベル
トデフレクターユニツト１３２との間に相対変位
を感知させ、位置ぎめモータ１８４を含む補正装
置が感知相対変位を零に戻し又は保つ。第１２図
に示す通り、LVDT１９０は台車２８に固着し
たコイルユニツト１９２と２個の直列接続励起コ
イル１９４，１９４と１個の感知コイル１９６を
有するコアと含む。コイルユニツト１９２はベル
トデフレクターユニツト１３２に取付けた強磁性
コア１９８と共働する。ベルト、ベルトデフレク
ターユニツト、部材９７、カバー板１９８は凡て
アルミニウム等の非磁性材料とし、コイルユニツ
ト１９２の付近ではコア１９８のみがコイルユニ
ツトに感知される。

LVDTの励起コイル１９４，１９４は発振器
１９９から電圧電流を供給される。発振器は同じ
電圧を位相感知検出器２００に供給する。感知コ
イ１９６に誘起又は検出さた電圧は同様に位相感
知検出器２００に供給される。周知の通り、感知
コイル１９６の感知する電圧は、コア１９８がコ
イルユニツト１９２に対して所定の零位置にある
時に零である。コア１９８が零位置からある方向
に変化すれば感知コイル１９６に誘起される電圧
は励起コイルに供給される電圧と同じ位相であ
り、値は零位置からの相対変化に比例する。コア
１９８が零位置から反対方向に変化すれば、感知
コイル１９６に誘起される電圧は発振器電圧とは
180゜の位相差であり、値は零位置からの相対変位
に比例する。周知の通り、位相感知検出器の作動
は感知コイル信号の位相と値に応じた信号を位置
ぎめモータに供給し、コイルユニツト１９２に対
してコア１９８が零位置に戻る方向にモータ１８
４を作動させ、Ｘ台車２８に対してベルトデフレ
クターユニツトを所要の相対位置に保つようにす
る。

発明の効果 本発明の弁装置は支持面の種々の部分を選択的
に空供給装置に接続し、空気プレナム９５のみの
真空に使用し、著しい利点がある。他の利点は、
所要に応じて同じ弁装置を使用して空気プレナム
内の正圧を全部の支持面２８上に供給し、例えば
工作物を支持面上で動かす時に有利である。空気
プレナム内の正の空気圧を使用する作動の場合に
はベルトデフレクターユニツトを収容する室は弁
部材の第１第２のポート１２６，１２８を除いて
封鎖する必要がある。この封鎖は図示の例では部
材９７のフランジ１１９，１１９、カバー板１６
８、部材９７の両端の第２図に示す所要の端部封
鎖部材２０４，２０６による。正の空気圧が空気
プレナム９５に供給さた時は空気は弁部材１１８
の下部のポート１２８を通つて流れ、ベト１３０
を押し、ベルトデフレクターユニツト１３２の両
側の弁面１２０の範囲でベルト１３０を弁面１２
０から離す。正圧の空気は弁部材１１８の全長に
おいてポート１２８かポート１２６に自由に流
れ、凡ての室１０２，１０２に正圧が供給され
れ、支持面２４の全面上に正の圧力が生じる。

本発明は各種の変形が可能である。例えば、広
いテーブルの場合は上述の空気プレナムと弁装置
をテーブルの両側に設け、２個の弁装置の２個ベ
ルトデフレクターユニツトを同期駆動することも
容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の布切断機の斜視図、
第２図は第１図の装置のテーブルの部分平面図、
第３図は第２図の３−３線に沿う拡大断面図、第
４図は第３図の右側部分の水平拡大断面図、第５
図は第１図の装置のテーブルの一部とベルト弁と
ベルトデフレクターユニツトとを示す図、第６図
は第４図の６−６線に沿う部分断面図、第７図は
第４図の７−７線に沿う部分断面図、第８図は第
４図の８−８線に沿う部分断面図、第９図は第５
図のベルトデフレクターユニツトの詳細を示す斜
視図、第１０図は第６図の１０−１０線に沿い弁
装置の構成を示す図、第１１図は第１０図の１１
−１１線に沿う部分平面図、第１２図はベルトデ
フレクターユニツトをＸ台車と同期させる装置の
線図、第１３図は第１図の支持面の一部に負圧を
作用した時の圧力分布を示すグラフである。 １４……切断装置、１６……切断テーブル、１
８……切断機構、２０……空気装置、２２……数
値制御装置、２４……工作物支持面、２８……Ｘ
台車、３２……ラツク、４６……Ｙ台車、４８，
５０……カツタヘツド、７６……送風機、８２…
…弁機構、９５……空気プレナム、１０２……
室、１０８……孔、１１０……剛毛ベツド、１１
２……剛毛ブロツク、１１８……弁部材、１２０
……弁面、１２６，１２８……ポート、１３０…
…ベルト、１３２……ベルトデフレクターユニツ
ト、１４０，１４２，１４４，１４６……ロー
ル、１５０……ハウジング、１９０……LVDT、
１９２……コイルユニツト、１９８……コア。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 工作物を工作する工作装置にして、 工作物支持面２４を提供しそして工作物支持面
   全体に分布され工作物支持面を垂直方向に貫通す
   る空気通路１０８を有する頂部層、頂部層を垂直
   方向に支持するため頂部層の下方に位置され頂部
   層の空気通路に連通する上部を有する複数の室１
   ０２を形成する手段、及び空気プレナム９５を提
   供する手段を含む工作物支持テーブルを有し、 長手方向に１列に配置される複数の連続する区
   域を有する長手方向の弁面１２０を有する長い剛
   性の空気弁部材１１８、弁面１２０に複数の第１
   ポート１２６と複数の第２ポート１２８を画成し
   弁面１２０の各区域に少なくとも１個の第１ポー
   ト１２６と少なくとも１個の第２ポート１２８を
   画成する手段、各区域の該少なくとも１個の第１
   ポート１２６と該室１０２の１つとの間を連通す
   る手段、各区域の該少なくとも１個の第２ポート
   １２８と空気プレナム９５との間を連通する手
   段、弁面１２０の長手方向に沿つて可動のベルト
   デフレクターユニツト１３３、弁面１２０の長手
   方向に沿つて伸長し該ベルトデフレクターユニツ
   トと協働する空気弁ベルト１３０、及びベルトデ
   フレクターユニツトの両側の位置の空気弁ベルト
   の長手方向部分を弁面１２０に密着させる手段
   （１４０，１４６，１４８）を有し、 ベルトデフレクターユニツトが、ベルトデフレ
   クターユニツトの位置で空気弁ベルトを弁面から
   離し弁面から離れた位置に保持しベルトデフレク
   ターユニツトの付近に位置する第１ポートと第２
   ポートの間を自由連通させる手段（１４２，１４
   ４）を有し、 工作装置が、更にベルトデフレクターユニツト
   により相互に連通される第１ポートと第２ポート
   の選択を変えるためベルトデフレクターユニツト
   を弁面の長手方向に移動させる手段（１７６）を
   含むことを特徴とする工作装置。 ２ 特許請求の範囲第１項に記載の工作装置にし
   て、空気プレナム９５内に真空を生じさせる手段
   （７６，８２）を含み、弁面１２０に沿うベルト
   デフレクターユニツト１３２の位置に応じて選択
   された少なくとも１個の室１０２内に真空を生じ
   て該選択された少なくとも１個の室の上に重なる
   工作物支持面２４の部分に真空を生じさせ、ベル
   トデフレクターユニツトから離れた第２ポートに
   生じる真空が、空気弁ベルトを該離れた第２ポー
   トへ引き付け、該離れた第２ポートを通る空気流
   に対して該離れた第２ポートを封鎖することを特
   徴とする工作装置。 ３ 特許請求の範囲第１項に記載の工作装置にし
   て、 空気弁部材１１８が空気弁ベルト１３０及びベ
   ルトデフレクターユニツト１３２を収容する中空
   室１７０を画成する手段の一部分であり、 中空室１７０が第１ポート及び第２ポートを除
   き空気の出入りに対して閉鎖され、 空気プレナム内に選択的に真空又は正圧を生じ
   る手段（７６，８２）を有し、 真空又は正圧を生じる手段（７６，８２）によ
   つて空気プレナム内に真空を生じれば、弁面の長
   手方向に沿うベルトデフレクターユニツトの位置
   に応じ少なくとも１個の選択された室１０２に真
   空が伝達されて選択された室１０２に重なる工作
   物支持面の部分に真空が生じ、ベルトデフレクタ
   ーユニツトから離れた空気弁ベルトの部分が第２
   ポート１２８に現れる真空により弁面に引き付け
   られ、該離れた第２ポートを通る空気流に対して
   該離れた第２ポートを封鎖し、 真空又は正圧を生じる手段（７６，８２）によ
   つて空気プレナム内に正圧を生じれば、ベルトデ
   フレクターユニツトの位置においてベルトデフレ
   クターユニツトにより空気弁ベルトが第２ポート
   から離され第１ポートと第２ポートの間に自由連
   動が存在すること及びベルトデフレクターユニツ
   トから離間した第２ポートに現れる正圧が空気弁
   ベルトを弁面から離しベルトデフレクターユニツ
   トから離間した第２ポートと第１ポートの間にお
   いて空気を流通させることにより、正圧が全部の
   室１０２に伝達され、工作物支持面の全体に正圧
   が生じることを特徴とする工作装置。 ４ 特許請求の範囲第１項に記載の工作装置にし
   て、ベルトデフレクターユニツトがハウジング１
   ５０を含み、ベルトデフレクターユニツトが弁面
   を長手方向に移動するとき、空気弁ベルトがハウ
   ジング１５０上を移動し、ハウジング１５０が、
   弁面１２０に面する開放面１５２を除き全側面を
   閉鎖されることを特徴とする工作装置。 ５ 特許請求の範囲第１項に記載の工作装置にし
   て、ベルトデフレクターユニツト１３２を支持
   し、弁面１２０に対し平行であり弁面に対し固定
   される平面においてベルトデフレクターユニツト
   を弁面の長手方向に移動させる手段（１６２，１
   ６６，１７１，１７２）を含むことを特徴とする
   工作装置。 ６ 特許請求の範囲第１項に記載の工作装置にし
   て、室１０２の各々が複数の第１ポート１２６及
   び複数の第２ポート１２８を有することを特徴と
   する工作装置。 ７ 特許請求の範囲第１項に記載の工作装置にし
   て、ベルトデフレクターユニツト１３２がハウジ
   ング１５０を含み、ベルトデフレクターユニツト
   が弁面を長手方向に移動するとき、空気弁ベルト
   がハウジング１５０上を移動し、ハウジング１５
   ０が弁面１２０に面する開放面１５２を除き全側
   面に閉鎖され、ハウジング１５０が開放面１５２
   の外周を画成する縁１５４を有し、縁１５４が弁
   面に近接して配置されて縁１５４と弁面との間の
   空気流を阻止することを特徴とする工作装置。 ８ 特許請求の範囲第７項に記載の工作装置にし
   て、ハウジング１５０がその両端のそれぞれにお
   いて弁面の長手方向に傾斜され、ハウジングが１
   個の第１ポート又は第２ポートの上へ移動すると
   き、該１個の第１ポート又は第２ポートがハウジ
   ングにより囲まれる空間へ緩やかに出入りするこ
   とを特徴とする工作装置。 ９ 特許請求の範囲第７項に記載の工作装置にし
   て、空気弁ベルト１３０の長手方向におけるハウ
   ジング１５０の両側においてベルトデフレクター
   ユニツト１３２に支持される２個のベルト案内部
   材１４０，１４６を含み、ベルト案内部材の各々
   がベルトの横方向に伸長し、空気弁ベルトが各ベ
   ルト案内部材と弁面との間を通り、一方のベルト
   案内部材が空気弁ベルトの弁面を去るときの横線
   を定め、他方のベルト案内部材が空気弁ベルトの
   弁面に戻つてハウジングに入るときの横線を定
   め、ハウジングの縁１５４が、２個のベルト案内
   部材のそれぞれにより定められる各横線に近接し
   て配置され対向する２本の直線部分を有すること
   を特徴とする工作装置。 １０ 特許請求の範囲第５項に記載の工作装置に
   して、弁面１２０に近接して配置されるベルトデ
   フレクターユニツト１３２の両側に配置される空
   気弁ベルト１３０の長手方向部分の位置決め手段
   が、ベルトデフレクターユニツトの対向する長手
   方向の両端に配置され該両端により支持される２
   個の案内部材１４０，１４６を含み、空気弁ベル
   トが各案内部材１４０，１４６と弁面の間を通
   り、各案内部材がそれと弁面の間を通る空気弁ベ
   ルトの部分を弁面に近接して保持するように位置
   決めされることを特徴とする工作装置。 １１ 特許請求の範囲第１０項に記載の工作装置
   にして、２個の案内部材１４０，１４６の各々が
   ベルトデフレクターユニツトにより支持される第
   １又は第２ローラであり、該第１又は第２ローラ
   がベルトデフレクターユニツトに対し固定され空
   気弁ベルトの横方向に伸長する軸線を中心として
   回転することを特徴とする工作装置。 １２ 特許請求の範囲第１１項に記載の工作装置
   にして、ベルトデフレクターユニツトにより支持
   される第３ローラ１４２及び第４ローラ１４４を
   含み、第３ローラ及び第４ローラが、第１ローラ
   と第２ローラの間において、空気弁ベルト１３０
   と弁面１２０の間に配置され、空気弁ベルトが弁
   面に対し横方向に離間し第３ローラ及び第４ロー
   ラにより保持されることを特徴とする工作装置。 １３ 特許請求の範囲第１０項に記載の工作装置
   にして、ベルトデフレクターユニツトの両側に配
   置され弁面１２０に近接する空気弁ベルト１３０
   の長手方向部分を位置決めする手段が、空気弁ベ
   ルトの各端部において空気弁ベルトを空気弁部材
   １１８に固着する手段（１４８）を有し、空気弁
   ベルトの各端部が弁面に平らに押し付けられ位置
   決めされることを特徴とする工作装置。 １４ 特許請求の範囲第１項に記載の工作装置に
   して、 複数の室１０２の各々が、工作物支持面２４の
   横方向に伸長し、工作物支持面の長手方向に隣合
   つて配置され、工作物支持面の一方の長手方向側
   縁に近接する第１横端部を有し、 空気弁部材１１８が、工作物支持面の一方の長
   手方向側縁に沿つて伸長し、２個の別々の長手方
   向に伸長する領域１２４，１２２を有し、一方の
   領域１２４が第１ポート１２６を含み、他方の領
   域１２２が第２ポート１２８を含み、第１ポート
   １２６を含む一方の領域１２４が室１０２の第１
   横端部を画成し、 各区域の該少なくとも１個の第１ポート１２６
   と該室１０２の１つとの間を連通する手段が、弁
   面から該室へ空気弁部材を貫通する少なくとも１
   個の孔を有し、該孔が該少なくとも１個の第１ポ
   ート１２６を画成することを特徴とする工作装
   置。 １５ 特許請求の範囲第１４項に記載の工作装置
   にして、 空気プレナム９５が、空気弁部材１１８の弁面
   １２０の反対側に配置されて空気弁部材に沿つて
   空気弁部材の他方の領域１２２の付近において伸
   長し、 各区域の該少なくとも１個の第２ポート１２８
   と空気プレナム９５との間を連通する手段が、弁
   部材を弁面１２０から空気プレナム９５へ貫通す
   る複数の孔を有し、該孔の各々が第２ポート１２
   ８の１個を画成し、 各室１０２の水平方向寸法に等しい弁面の水平
   方向寸法内に少なくとも１個の第２ポート１２８
   があることを特徴とする工作装置。 １６ 特許請求の範囲第１項に記載の工作装置に
   して、空気弁部材１１８が４角形断面を有する中
   空フレームの１面であり、該中空フレーム内をベ
   ルトデフレクターユニツトが運動し、中空フレー
   ム弁面１２０に平行にされ弁面から離間された側
   面１６８を有し、ベルトデフレクターユニツトの
   手段（１６２，１７１，１７２）が、弁面及び中
   空フレームの側面１６８に係合されてベルトデフ
   レクターユニツトを支持し弁面の長手方向に運動
   させるが弁面に垂直方向には運動させないことを
   特徴とする工作装置。 １７ 特許請求の範囲第１６項に記載の工作装置
   にして、４角形断面を有する中空フレームが、ウ
   エブ１１８及び２つのフランジ１１９を有するＵ
   字形溝型部材９７、並びに該２つのフランジに固
   定されフランジの長手方向に伸長するカバー板１
   ６８を含み、Ｕ字形溝型部材９７のウエブ１１８
   が空気弁部材１１８を形成することを特徴とする
   工作装置。 １８ 特許請求の範囲第１項に記載の工作装置に
   して、工作物支持テーブル１６に対し１つの座標
   軸方向において工作物支持面２４に沿つて運動可
   能な台車２８、及び該台車２８の工作物支持テー
   ブル１６に対する長手方向の運動に応答しベルト
   デフレクターユニツト１３２を空気弁部材１１８
   に対し運動させる手段を含むことを特徴とする工
   作装置。 １９ 特許請求の範囲第１８項に記載の工作装置
   にして、該台車２８により担持され工作物支持面
   上の工作物を加工する工具４８を含むことを特徴
   とする工作装置。 ２０ 特許請求の範囲第１９項に記載の工作装置
   にして、該工具が、工作物支持面上に広げられた
   シート材料を切断する切断工具４８であることを
   特徴とする工作装置。 ２１ 特許請求の範囲第２０項に記載の工作装置
   にして、空気プレナムに真空を生じベルトデフレ
   クターユニツトの位置に応じて選択した少なくと
   も１個の室１０２に真空を生じさせる手段（７
   ６，８２）を含み、工作物支持テーブルに対する
   該台車２８の運動に応答するベルトデフレクター
   ユニツトの運動は、真空を生じられる該少なくと
   も１個の室が、該台車２８により担持される切断
   工具４８の下方にある室であるようにすることを
   特徴とする工作装置。 ２２ 特許請求の範囲第２１項に記載の工作装置
   にして、 空気プレナムに正の空気圧を生じさせる手段
   （７６，８２）、及び該正の空気圧を生じさせる手
   段又は空気プレナムに真空を生じさせる手段を空
   気プレナムに選択的に接続する手段（８２）を含
   み、 空気弁部材１１８が空気弁ベルト１３０とベル
   トデフレクターユニツト１３２を収容する中空室
   １７０を画成する手段の一部分であり、該中空室
   １７０は第１ポート１２６及び第２ポート１２８
   を除き空気の出入りに対し閉鎖されることを特徴
   とする工作装置。 ２３ 特許請求の範囲第１８項に記載の工作装置
   にして、工作物支持テーブルに対し該台車２８を
   該１つの座標軸方向に運動させる第１モータ４
   ２、及び該第１モータから離間しベルトデフレク
   ターユニツトを弁部材１１８に対し運動させる手
   段（１８４）を含むことを特徴とする工作装置。 ２４ 特許請求の範囲第２３項に記載の工作装置
   にして、該台車２８の運動に応答しベルトデフレ
   クターユニツトを弁部材１１８に対し運動させる
   手段が、該台車２８とベルトデフレクターユニツ
   トとの間の相対変位を感知する線形可変差動変成
   器１９０を含むことを特徴とする工作装置。 ２５ 特許請求の範囲第２４項に記載の工作装置
   にして、ベルトデフレクターユニツト１３２を弁
   面１２０の長手方向に運動させるように支持する
   手段（１６２，１６６，１７１，１７２）を含
   み、空気弁ベルト１３０、ベルトデフレクターユ
   ニツト１３２及びベルトデフレクターユニツトを
   支持する手段（１６２，１６６，１７１，１７
   ２）が非強磁性材料製であり、線形可変差動変成
   器１９０が、ベルトデフレクターユニツトに支持
   される強磁性コア１９８、及び該台車２８に担持
   されるコイルユニツト１９２を含み、コイルユニ
   ツト１９２が励磁コイル１９４及び感知コイル１
   ９６を具備し、強磁性コア１９８と協働するよう
   に位置決めされることを特徴とする工作装置。 ２６ 特許請求の範囲第１項に記載の工作装置に
   して、工作物支持面２４を形成する頂部層が、剛
   毛１１６を有し工作物支持面を形成する剛毛ベツ
   ド１１０であることを特徴とする工作装置。 ２７ 特許請求の範囲第２６項に記載の工作装置
   にして、工作物支持テーブルの長手方向において
   剛毛ベツド内を通る空気流に大きな抵抗を与える
   ように、剛毛１１６の寸法と配置の密度が与えら
   れることを特徴とする工作装置。 ２８ シート材料に工作する工作装置にして、広
   げられた１層以上のシート材料を支持する上向き
   の工作物支持面を備えるテーブル、及び工作物支
   持面に沿つてテーブルに対し１つの座標軸の方向
   に運動可能であり工作物支持面上に広げられたシ
   ート材料に工作する工具を担持する台車を含み、 テーブルが、工作物支持面を提供しそして工作
   物支持面に分布され工作物支持面に垂直に伸長す
   る空気通路を有する頂部層、頂部層を垂直方向に
   支持するため頂部層の下方に位置され頂部層の空
   気通路に連通する上部を有する複数の室１０２を
   形成する手段、及び空気プレナム９５を提供する
   手段を含み、 長手方向に伸長する細長い弁面１２０を有する
   細長い剛性の空気弁部材１１８が設けられ、弁面
   １２０が細長い第１領域１２４及び第２領域１２
   ２を有し、第１領域１２４及び第２領域１２２が
   互いに分離され弁面に沿つて伸長し、弁面１２０
   がその長手方向に沿つて連続する複数の区域に分
   割され、各区域がそれぞれ室１０２の１つに割り
   当てられ、 第１領域１２４が複数の第１ポート１２６を有
   し、弁面の各区域に少なくとも１個の第１ポート
   １２４があり、各区域の該少なくとも１個の第１
   ポートと該区域に割り当てられた室１０２の１つ
   との間を連通する手段が設けられ、 弁面１２０の第２領域１２０が第２領域の長手
   方向に分布される複数の第２ポート１２８を有
   し、弁面の各区域に少なくとも１個の第２ポート
   １２８があり、該第２ポート１２８と空気プレナ
   ム９５の間を連通する手段が設けられ、 弁面１２０の長手方向に沿つて運動可能なベル
   トデフレクターユニツト１３２が設けられ、空気
   弁ベルト１３０が弁面に沿つて伸長してベルトデ
   フレクターユニツトと協働し、空気弁ベルトは充
   分な幅を有して弁面の第１及び第２領域１２４，
   １２２の両方に充分重なり、弁面の長手方向のベ
   ルトデフレクターユニツトの両側においてベルト
   を弁面に密着配置する手段（１４０，１４６，１
   ４８）が設けられ、 ベルトデフレクターユニツトがベルトデフレク
   ターユニツトの位置で空気弁ベルトを弁面から離
   し弁面から離れた位置に保持しベルトデフレクタ
   ーユニツトの付近に位置する第１ポートと第２ポ
   ートの間を自由連通させる手段（１４２，１４
   ４）、及び該１つの方向におけるテーブルに対す
   る該台車の運動に連動してベルトデフレクターユ
   ニツトを弁面の長手方向に沿つて運動させる手段
   （１７６，１８４）を含むことを特徴とする工作
   装置。 ２９ 特許請求の範囲第２８項に記載の工作装置
   にして、空気プレナムに真空を生じさせる手段
   （７６，８２）を含むことを特徴とする工作装置。 ３０ 特許請求の範囲第２９項に記載の工作装置
   にして、工作物支持面２４を形成する頂部層が工
   作物支持面を形成する剛毛１１６を有する剛毛ベ
   ツド１１０であることを特徴とする工作装置。 ３１ 特許請求の範囲第３０項に記載の工作装置
   にして、工作物支持テーブルの長手方向において
   剛毛ベツド内を通る空気流に大きな抵抗を与える
   ように、剛毛１１６の寸法と配置の密度が与えら
   れることを特徴とする工作装置。 ３２ 特許請求の範囲第２８項に記載の工作装置
   にして、 空気プレナム９５に真空又は正の空気圧を選択
   的に生じる手段（７６，８２）を含み、空気弁部
   材１１８が空気ベルト及びベルトデフレクターユ
   ニツトを受け入れる中空室１７０を画成する手段
   の一部分であり、中空室１７０が第１ポート及び
   第２ポートを除き、空気の出入りに対し閉鎖され
   ることを特徴とする工作装置。 ３３ 特許請求の範囲第２８項に記載の工作装置
   にして、空気弁部材１１８が工作物支持テーブル
   １６に沿つて伸長し、弁面１２０の各区域が、空
   気弁部材１１８に関し弁面の反対側に位置される
   各室１０２の水平方向寸法に等しい水平方向寸法
   を有することを特徴とする工作装置。