JPH0334967B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0334967B2 JPH0334967B2 JP61117497A JP11749786A JPH0334967B2 JP H0334967 B2 JPH0334967 B2 JP H0334967B2 JP 61117497 A JP61117497 A JP 61117497A JP 11749786 A JP11749786 A JP 11749786A JP H0334967 B2 JPH0334967 B2 JP H0334967B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fine
- filter paper
- large number
- air
- particles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Filtering Materials (AREA)
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Description
（発明の利用分野）
本発明はLSI装置の製造などにおいて要求され
る高清浄度を持つ作業環境を実現するために用い
る空気清浄化用濾過体に関するものである。 （発明の背景） 電子工業、精密工業、製薬工業など塵埃の付着
が製品の性能などに致命的な影響を及ぼすものの
製造においては、高度な無塵化環境が要求されて
いる。これに伴い0.3μｍ径の粒子を99.97％以上
の効率で捕捉することができる精密濾過用の瀘紙
が開発され、空気清浄化用の高性能瀘紙として用
いられている。 これらの高性能瀘紙は、通常、細い硝子短繊維
を強度付与のための接着用の樹脂を混入した水中
に混合して抄紙したものを乾燥して製造されてい
る。 使用する繊維の太さは要求される性能に対応し
て選ばれる。 瀘紙は、濾過容量を大にするために紙厚を大き
くすることが一般に行われており、空気中の塵埃
は瀘紙の表面及び瀘紙中に捕捉されるようになつ
ている。 例えば、第１図に示すように、瀘紙１の厚さを
400μｍとした場合、空気中の塵埃は、その空気
入口側の表面及び入口側から約200μｍの範囲に
捕捉され、瀘紙外に出てくるものは殆どない。 しかしながら、本発明者が調べたところ、上記
のように空気中の塵埃を充分に除くことができる
瀘紙を用いた場合にも、使用条件によつては、瀘
紙の出口側から微細粒子が洩れてくることが判明
した。 そこで、本発明者は、市販の平均径が約0.4〜
0.7μｍの硝子短繊維を0.4mmの厚さに抄紙して作
られた、0.3μｍ径の粒子に対して99.97％の捕捉
効率をもつ瀘紙を４cm×４cmの大きさに切断し、
これを無塵の水、即ち純粋100c.c.中に１分間宛３
回浸漬して、純水中に流出してくる微細粒子を測
定したところ第１表に示す結果を得た。
る高清浄度を持つ作業環境を実現するために用い
る空気清浄化用濾過体に関するものである。 （発明の背景） 電子工業、精密工業、製薬工業など塵埃の付着
が製品の性能などに致命的な影響を及ぼすものの
製造においては、高度な無塵化環境が要求されて
いる。これに伴い0.3μｍ径の粒子を99.97％以上
の効率で捕捉することができる精密濾過用の瀘紙
が開発され、空気清浄化用の高性能瀘紙として用
いられている。 これらの高性能瀘紙は、通常、細い硝子短繊維
を強度付与のための接着用の樹脂を混入した水中
に混合して抄紙したものを乾燥して製造されてい
る。 使用する繊維の太さは要求される性能に対応し
て選ばれる。 瀘紙は、濾過容量を大にするために紙厚を大き
くすることが一般に行われており、空気中の塵埃
は瀘紙の表面及び瀘紙中に捕捉されるようになつ
ている。 例えば、第１図に示すように、瀘紙１の厚さを
400μｍとした場合、空気中の塵埃は、その空気
入口側の表面及び入口側から約200μｍの範囲に
捕捉され、瀘紙外に出てくるものは殆どない。 しかしながら、本発明者が調べたところ、上記
のように空気中の塵埃を充分に除くことができる
瀘紙を用いた場合にも、使用条件によつては、瀘
紙の出口側から微細粒子が洩れてくることが判明
した。 そこで、本発明者は、市販の平均径が約0.4〜
0.7μｍの硝子短繊維を0.4mmの厚さに抄紙して作
られた、0.3μｍ径の粒子に対して99.97％の捕捉
効率をもつ瀘紙を４cm×４cmの大きさに切断し、
これを無塵の水、即ち純粋100c.c.中に１分間宛３
回浸漬して、純水中に流出してくる微細粒子を測
定したところ第１表に示す結果を得た。
したがつて、本発明の目的は、硝子繊維により
形成され、0.3μｍ径の粒子を99.97％以上の効率
で捕捉することができる空気清浄化用の高性能瀘
紙から脱落してくる微粒子を除き、無塵の空気を
得るための空気清浄化用濾過体を提供することに
ある。 （発明の構成） 本発明の上記目的は、 (1) 硝子繊維により形成され、0.3μｍ径の粒子を
99.97％以上の効率で捕捉することができる空
気清浄化用の高性能瀘紙の空気流出側面に、該
高性能瀘紙内に含有又は表面に付着して繊維の
再発微粒子の通過を阻止しうる径の通気細孔を
多数有し、その開孔率が大きい薄い多孔質膜か
らなる微細粒子阻止体を重畳したことを特徴と
する空気清浄化用濾過体。 (2) 特許請求の範囲第１項においてその微細粒子
阻止体を微細な多数の結節と、これらを連結す
る微細な多数の繊維とこれらによつて囲まれた
多数の微細空〓とより成るボリ四弗化エチレン
製の連続多孔質膜で構成したことを特徴とする
空気清浄化用濾過体。 によつて構成される。 （発明の具体的構成） 以下、本発明を詳細に説明する。 第２図は本発明の空気清浄化用濾過体の例を示
すものであり、本発明を第２図にしたがつて詳細
に説明する。 第２図において、１は硝子繊維により形成さ
れ、0.3μｍ径の粒子を99.97％以上の効率で捕捉
することができる空気清浄化用の高性能瀘紙、２
は高性能瀘紙１内に含有又は表面に付着している
繊維の微粒子の通過を阻止しうる径の通気細孔を
多数有し、その開孔率が大きい薄い多孔質膜から
なる微細粒子阻止体である。微細粒子阻止体２
は、図に示すように高性能瀘紙１の空気流出側面
３に重畳されている。 通気細孔を多数有し、その開孔率が大きい薄い
多孔質膜からなる微細粒子阻止体としては、例え
ば多孔質の弗素樹脂製のゴアテツクス（ジヤパン
ゴアテツクス株式会社製商品名）を用いることが
できる。 上記ゴアテツクスはポリ四弗化エチレン、四弗
化エチレン−パーフロロアルキルエーテル樹脂な
どの弗素系樹脂フイルムに延伸加工等を施し、第
３図ａ及びｂに示す微細な多数の結節Ａと、これ
らを連結する微細な多数の繊維Ｂと、これらによ
つて囲まれた多数の細長い微細空〓即ち通気細孔
Ｃを形成させたものである。これらは無塵室内で
製造することによつて微細粒子をほぼ零としたも
のを得ることができる。 上記のようにして得られた通気細孔を多数有
し、その開孔率が大きい薄い多孔質膜からなる微
細粒子阻止体の特性一例を第２表に示す。
形成され、0.3μｍ径の粒子を99.97％以上の効率
で捕捉することができる空気清浄化用の高性能瀘
紙から脱落してくる微粒子を除き、無塵の空気を
得るための空気清浄化用濾過体を提供することに
ある。 （発明の構成） 本発明の上記目的は、 (1) 硝子繊維により形成され、0.3μｍ径の粒子を
99.97％以上の効率で捕捉することができる空
気清浄化用の高性能瀘紙の空気流出側面に、該
高性能瀘紙内に含有又は表面に付着して繊維の
再発微粒子の通過を阻止しうる径の通気細孔を
多数有し、その開孔率が大きい薄い多孔質膜か
らなる微細粒子阻止体を重畳したことを特徴と
する空気清浄化用濾過体。 (2) 特許請求の範囲第１項においてその微細粒子
阻止体を微細な多数の結節と、これらを連結す
る微細な多数の繊維とこれらによつて囲まれた
多数の微細空〓とより成るボリ四弗化エチレン
製の連続多孔質膜で構成したことを特徴とする
空気清浄化用濾過体。 によつて構成される。 （発明の具体的構成） 以下、本発明を詳細に説明する。 第２図は本発明の空気清浄化用濾過体の例を示
すものであり、本発明を第２図にしたがつて詳細
に説明する。 第２図において、１は硝子繊維により形成さ
れ、0.3μｍ径の粒子を99.97％以上の効率で捕捉
することができる空気清浄化用の高性能瀘紙、２
は高性能瀘紙１内に含有又は表面に付着している
繊維の微粒子の通過を阻止しうる径の通気細孔を
多数有し、その開孔率が大きい薄い多孔質膜から
なる微細粒子阻止体である。微細粒子阻止体２
は、図に示すように高性能瀘紙１の空気流出側面
３に重畳されている。 通気細孔を多数有し、その開孔率が大きい薄い
多孔質膜からなる微細粒子阻止体としては、例え
ば多孔質の弗素樹脂製のゴアテツクス（ジヤパン
ゴアテツクス株式会社製商品名）を用いることが
できる。 上記ゴアテツクスはポリ四弗化エチレン、四弗
化エチレン−パーフロロアルキルエーテル樹脂な
どの弗素系樹脂フイルムに延伸加工等を施し、第
３図ａ及びｂに示す微細な多数の結節Ａと、これ
らを連結する微細な多数の繊維Ｂと、これらによ
つて囲まれた多数の細長い微細空〓即ち通気細孔
Ｃを形成させたものである。これらは無塵室内で
製造することによつて微細粒子をほぼ零としたも
のを得ることができる。 上記のようにして得られた通気細孔を多数有
し、その開孔率が大きい薄い多孔質膜からなる微
細粒子阻止体の特性一例を第２表に示す。
【表】
本発明においては、これらの中から高性能瀘紙
内に含有又は表面に付着している繊維の微粒子の
通過を阻止しうる径の通気細孔を多数有するもの
が選ばれる。 微細粒子阻止体を設けることにより、高性能瀘
紙から再発する高性能瀘紙内に含有又は表面に付
着している繊維の微粒子の殆どを除くことができ
る。 これらの微細粒子阻止体は、接着性がよく、例
えば第４図に示す点線丸印のように間隔をおいて
スポツト的に接着することにより、大面積の瀘紙
でもそのものの開孔率に殆ど影響を与えることな
く重畳できるので製造が容易である。また更に耐
熱性に優れていることから硝子繊維を用いた耐熱
性瀘紙に重畳して高温環境用の濾過器の実現が可
能であり、また耐薬品性をもつていることから腐
蝕性気体用濾過器の実現にも貢献することができ
る。 （実施例） 標準的な濾過器である610mm（縦）×610mm（横）
×150mm（奥行）の寸法をもつ第５図に示した枠
体４内に、厚さ400〜500μｍ、圧力損失40mm（吸
引風速5.3cm／sec、0.3μｍ径粒子に対して）、捕
捉効率99.97％の硝子短繊維から作られた高性能
瀘紙に、厚さ0.7μｍ、を風力損失20mm（吸引風速
5.3cm／secに対して）、捕捉効率99.97％（吸引風
速5.3cm／sec、0.3μｍ径の粒子に対して）最大通
気細孔径が0.3μｍのゴアテツクスを微細粒子阻止
体として重畳した、表面積が20m2ほ濾過体５を波
形に折り曲げて固定した濾過器について大気塵を
用いて試験したところ、風量17m3において、高性
能瀘紙に付着している粒子の再発塵は見られなか
つた。 なお以上の実験に使用した大気塵の粒径分布及
び濃度は第３表に示す通りである。
内に含有又は表面に付着している繊維の微粒子の
通過を阻止しうる径の通気細孔を多数有するもの
が選ばれる。 微細粒子阻止体を設けることにより、高性能瀘
紙から再発する高性能瀘紙内に含有又は表面に付
着している繊維の微粒子の殆どを除くことができ
る。 これらの微細粒子阻止体は、接着性がよく、例
えば第４図に示す点線丸印のように間隔をおいて
スポツト的に接着することにより、大面積の瀘紙
でもそのものの開孔率に殆ど影響を与えることな
く重畳できるので製造が容易である。また更に耐
熱性に優れていることから硝子繊維を用いた耐熱
性瀘紙に重畳して高温環境用の濾過器の実現が可
能であり、また耐薬品性をもつていることから腐
蝕性気体用濾過器の実現にも貢献することができ
る。 （実施例） 標準的な濾過器である610mm（縦）×610mm（横）
×150mm（奥行）の寸法をもつ第５図に示した枠
体４内に、厚さ400〜500μｍ、圧力損失40mm（吸
引風速5.3cm／sec、0.3μｍ径粒子に対して）、捕
捉効率99.97％の硝子短繊維から作られた高性能
瀘紙に、厚さ0.7μｍ、を風力損失20mm（吸引風速
5.3cm／secに対して）、捕捉効率99.97％（吸引風
速5.3cm／sec、0.3μｍ径の粒子に対して）最大通
気細孔径が0.3μｍのゴアテツクスを微細粒子阻止
体として重畳した、表面積が20m2ほ濾過体５を波
形に折り曲げて固定した濾過器について大気塵を
用いて試験したところ、風量17m3において、高性
能瀘紙に付着している粒子の再発塵は見られなか
つた。 なお以上の実験に使用した大気塵の粒径分布及
び濃度は第３表に示す通りである。
【表】
（発明の効果）
本発明の空気清浄化用濾過体においては、通気
中に含有される微量の埃等の微細粒子は、高性能
瀘紙の流入口側から1/2程度の深さまでの間にお
いて殆ど全て捕捉され、微細粒子阻止体に達する
のは僅少であるので、微細粒子阻止体の目詰まり
は高性能瀘紙のそれに比べて少なく圧力損失に大
きな影響を与えることがないので、空気清浄化用
濾過体の性能低下がなく、硝子繊維より形成され
た高性能瀘紙の再発塵を防ぎ、安定した空気清浄
化度を得ることができる。
中に含有される微量の埃等の微細粒子は、高性能
瀘紙の流入口側から1/2程度の深さまでの間にお
いて殆ど全て捕捉され、微細粒子阻止体に達する
のは僅少であるので、微細粒子阻止体の目詰まり
は高性能瀘紙のそれに比べて少なく圧力損失に大
きな影響を与えることがないので、空気清浄化用
濾過体の性能低下がなく、硝子繊維より形成され
た高性能瀘紙の再発塵を防ぎ、安定した空気清浄
化度を得ることができる。
第１図は高性能瀘紙の塵埃の捕捉状態を示す拡
大部分断面図、第２図は本発明の構成例を示す部
分斜視図、第３図は微細粒子粒子阻止体の断面
図、第４図は微細粒子阻止体お高性能瀘紙との重
畳法の一例図、第５図は標準的濾過器の部分断面
斜視図である。 １……高性能瀘紙、２……微細粒子阻止体、３
……空気流出側面、４……枠体、５……微細粒子
阻止体と高性能瀘紙を重畳した濾過体。
大部分断面図、第２図は本発明の構成例を示す部
分斜視図、第３図は微細粒子粒子阻止体の断面
図、第４図は微細粒子阻止体お高性能瀘紙との重
畳法の一例図、第５図は標準的濾過器の部分断面
斜視図である。 １……高性能瀘紙、２……微細粒子阻止体、３
……空気流出側面、４……枠体、５……微細粒子
阻止体と高性能瀘紙を重畳した濾過体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 硝子繊維により形成され、0.3μｍ径の粒子を
99.97％以上の効率で捕捉することができる空気
清浄化用の高性能瀘紙の空気流出側面に、該高性
能瀘紙内に含有又は表面に付着している繊維の再
発微粒子の通過を阻止しうる径の通気細孔を多数
有し、その開孔率が大きい薄い多孔質膜からなる
微細粒子阻止体を重畳したことを特徴とする空気
清浄化用濾過体。 ２ 特許請求の範囲第１項においてその微細粒子
阻止体を微細な多数の結節と、これらを連結する
微細な多数の繊維とこれらによつて囲まれた多数
の微細空〓とより成るボリ四弗化エチレン製の連
続多孔質膜で構成したことを特徴とする空気清浄
化用濾過体。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11749786A JPS62277119A (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 | 空気清浄化用濾過体 |
| EP87304583A EP0246917B1 (en) | 1986-05-23 | 1987-05-22 | High performance gas filter |
| DE8787304583T DE3780511T2 (de) | 1986-05-23 | 1987-05-22 | Hochleistungsgasfilter. |
| AT87304583T ATE78416T1 (de) | 1986-05-23 | 1987-05-22 | Hochleistungsgasfilter. |
| US07/230,275 US4877433A (en) | 1986-05-23 | 1988-09-26 | High performance gas filter assembly |
| HK1158/93A HK115893A (en) | 1986-05-23 | 1993-10-28 | High performance gas filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11749786A JPS62277119A (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 | 空気清浄化用濾過体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62277119A JPS62277119A (ja) | 1987-12-02 |
| JPH0334967B2 true JPH0334967B2 (ja) | 1991-05-24 |
Family
ID=14713198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11749786A Granted JPS62277119A (ja) | 1986-05-23 | 1986-05-23 | 空気清浄化用濾過体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62277119A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008031967A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Nippon Muki Co Ltd | ガスタービン吸気用フィルタ |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU4474700A (en) * | 1999-04-20 | 2000-11-02 | Gore Enterprise Holdings, Inc. | Filter media |
| JP2002370020A (ja) * | 2001-06-13 | 2002-12-24 | Nitto Denko Corp | タービン用吸気フィルタ濾材およびその使用方法と製造方法 |
| US7138057B2 (en) * | 2004-07-22 | 2006-11-21 | Gore Enterprise Holdings, Inc. | Filter media |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5125874A (ja) * | 1974-08-28 | 1976-03-03 | Yuasa Battery Co Ltd | Seimitsusekisorokazai |
| JPS6238727Y2 (ja) * | 1981-05-29 | 1987-10-02 | ||
| JPS6012579U (ja) * | 1983-07-04 | 1985-01-28 | 富士塗油器株式会社 | エスカレ−タの移動手摺と案内レ−ルの潤滑装置 |
-
1986
- 1986-05-23 JP JP11749786A patent/JPS62277119A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008031967A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Nippon Muki Co Ltd | ガスタービン吸気用フィルタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62277119A (ja) | 1987-12-02 |
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