JPH0336422B2 - - Google Patents
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- JPH0336422B2 JPH0336422B2 JP60027784A JP2778485A JPH0336422B2 JP H0336422 B2 JPH0336422 B2 JP H0336422B2 JP 60027784 A JP60027784 A JP 60027784A JP 2778485 A JP2778485 A JP 2778485A JP H0336422 B2 JPH0336422 B2 JP H0336422B2
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
- H05K3/0076—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the composition of the mask
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Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は、特にプリント配線板用アルカリ現像
型ドライフイルムレジストの形成に用いられる光
重合性樹脂組成物に関する。
〔従来の技術〕
アルカリ現像型ドライフイルムレジストに用い
られるバインダ樹脂は、アルカリ性希薄水溶液に
対して可溶性もしくは膨潤性で、かつ水に対して
不溶性でなくてはならない。かかるバインダ樹脂
としては、従来カルボン酸基含有のビニル付加重
合体が用いられている。特に、市販のアルカリ現
像型レジストでは、共重合成分としてカルボン酸
基含有量が現像して微細パターンを解像できる必
要最少量になつており、さらにまたカルボン酸基
含有のビニル単量体の他の共重合成分の選択によ
り、バインダ樹脂としてのアルカリ水溶液に対す
る溶解性も低く設計されている。このようなレジ
ストは、露光後の剥離工程においてアルカリ水溶
液単独の剥離液に浸漬すると、硬化レジストは膨
潤し、小片になることなくパターンの形態を保持
したまま剥離される。このため剥離物が剥離機中
の搬送ロールに巻きついたり、オーバーハングし
たメツキの下部にはさまれた硬化レジストが剥離
しにくい等の問題があつた。
このため、剥離液として、例えば5%水酸化ナ
トリウム水溶液にブチルセロソルブ等の有機溶剤
を添加したものを用い、硬化レジストを一部溶解
して剥離している。
このような剥離工程を用いると、薬剤コストが
上がり、それがプリント配線板製造のコストアツ
プの原因となつている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明は、上述のような従来技術の問題を克服
して、アルカリ水溶液単独で現像が可能であり、
かつ剥離時には、アルカリ水溶液単独で、従来の
溶剤現像型レジストと同様な、剥離片が細かく割
れる破砕剥離を起こす、オールアルカリ型ドライ
フイルムレジストを製造することができる光重合
性樹脂組成物を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明に係る光重合性樹脂組成物は、
(A) メタクリル酸メチル、アルタル酸メチルおよ
びメタクリル酸の共重合体であつて、メタクリ
ル酸単位を20〜50重量%、及びアクリル酸メチ
ル単位を5〜60重量%含有するバインダ樹脂
(B) 分子中に少なくとも2個のエチレン性不飽和
基を有する架橋性単量体
(C) 光重合開始剤および
(D) 上記(A),(B),(C)成分の合計量に対して0.005
〜1重量%の5−アミノテトラゾール
からなる。
本発明の組成物を構成するバインダ樹脂は、メ
タクリル酸メチル、アクリル酸メチルおよびアク
リル酸よりなる単量体混合物を重合させて得た共
重合体よりなる。共重合体中のメタクリル酸単位
の含有量は15〜50重量%、特に20〜50重量%の範
囲のものを用いることが望ましい。メタクリル酸
単位の含有量が15重量%未満のバインダ樹脂を用
いると硬化レジストが剥離時に膨潤剥離し、また
50重量%を越えると現像時間が極めて短くなり、
高解像度パターンを得る際の現像コントロールが
困難となり、また硬化部の耐水性も低下する。ま
た共重合体中のアクリル酸メチル単位の含有量は
2〜70重量%、特に5〜60重量%の範囲のものを
用いることが望ましい。アクリル酸メチル単量体
単位の含有量が2重量%未満では、酸化レジスト
になつた時フイルムが硬くなり剥離をおこしやす
くなる。また70重量%を越えると現像時間が短く
なり、高解像度パターンを得る際の現像コントロ
ールが困難となる。
本発明において使用するバインダ樹脂の重量平
均分子量は40000〜300000の範囲のものである。
重量平均分子量が40000未満の場合は、ドライフ
イルムレジストとしてロールに巻き、保存した時
に、レジスト組成物が支持フイルムの間から経時
的ににじみ出る、いわゆるコールドフロー現像を
起こし、また重量平均分子量が300000を越える場
合は、未露光部が溶解せず、現像できないか、ま
たは現像時間が極めて長くかかり、解像度の低下
を起こしたり、剥離時に破砕剥離を起こさなくな
る。
本発明の組成物を構成する分子中に少なくとも
2個のエチレン性不飽和基を有する架橋性単量体
としては、例えばポリエチレングリコールジ(メ
タ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メ
タ)アクリレート、1,3−ブタンジオールジ
(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオール
ジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコー
ルジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジ
オールジ(メタ)アクリレート、トリメチロール
プロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリ
スリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリ
スリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエ
リスリトールテトラ(メタ)アクリレート等のポ
リエステル(メタ)アクリレートの他にエポキシ
(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリ
レート等が挙げられる。これらは単独または2種
以上混合して用いられる。
架橋性単量体の配合量はバインダ樹脂100重量
部に対して10〜150重量部の範囲である。配合量
が150重量部以上では、組成物を均一に塗布でき
なかつたり、乾燥後レジスト層でマイグレーシヨ
ンを起こしたり、コールドフロー現像をひき起こ
す。一方、10重量部未満ではレジスト露光部が現
像液で急速に溶解し現像が不可能となる。
本発明の組成物を構成する光重合開始剤として
は、例えばベンゾイン、ベンゾインアルキルエー
テル類、ベンゾフエノン、ミヒラーズケトン、
4,4′−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフエノ
ン、アセトフエノン類、ベンジルケタール類、ア
ントラキノン類、チオキサントン類等が挙げられ
る。これらは単独または混合して使用される。光
重合開始剤の使用量は、架橋性単量体(B)に対して
0.1〜30重量%の範囲であることが望ましい。
また、本発明において使用する5−アミノテト
ラゾールは、フオトレジストの金属板への密着性
を改良するための極めて有効な成分である。この
化合物の組成物への添加量は、フオトレジストの
組成成分と組成比および光硬化後のフオトレジス
トの硬さによつて一概に決められないが、有効な
密着効果を得るための量はバインダ樹脂(A)、架橋
性単量体(B)および光重合開始剤(C)の合計量に対し
て0.005〜1重量%、好ましくは0.025〜0.5重量%
の範囲である。多すぎると感度が低下し、少なす
ぎるとハンダメツキ時にメツキもぐりを起こしや
すい。
本発明の組成物は、希釈溶剤の不存在でも使用
可能であるが、バインダ樹脂を溶解させ、かつ沸
点のあまり高くない溶剤、例えばメチルエチルケ
トン、塩化メチレン、塩化メチレン/メチルアル
コール混合物、イソプロピルアルコールまたはイ
ソプロピルアルコール主成分量とする他の溶剤と
の混合物等を使用することが望ましい。溶剤の使
用量は、組成物に対して200重量%以下、好まし
くは100〜200重量%である。
本発明の組成物を溶剤の存在下で使用する場合
には、組成物に溶剤を添加混合するか、バインダ
樹脂を製造する際、前記の溶剤を用いて溶液重合
させるか、あるいはそれに溶剤をさらに追加添加
する方法等が採用できる。溶液重合のバインダ樹
脂を使用する場合には、溶剤としてイソプロピル
アルコールあるいはイソプロピルアルコール80重
量%以上と20重量%以下の塩化メチレン、メチル
エチルケトン等との混合溶剤が好ましい。
本発明の組成物は、必要に応じて熱重合禁止
剤、染料、可塑剤および充填剤のような成分を添
加することもできる。
本発明の組成物を用いてドライフイルムレジス
トを形成させるには、組成物を支持体上に塗布
し、溶剤を使用する場合にはその溶剤を飛散させ
る。組成物を支持体に塗布するには、ブレードコ
ータ、ロツドコータ、ナイフコータ、ロールドク
ターコータ、コンマコータ、リバースロールコー
タ、トランスフアロールコータ、グラビアコー
タ、キスロールコータ、カーテンコータ等を用い
ることができる。これらの選択は塗工重量、塗布
液粘度、塗工速度等によつて決められる。支持体
としてはポリエステル等のプラスチツクフイルム
が主に用いられる。乾燥機としては、可燃性溶剤
を使用する場合には、安全性から蒸気による空気
加熱式の熱源を備えたものを用い、乾燥機内の熱
風を向流接触せしめる方式およびノズルより支持
体に吹きつける方式等が用いられる。乾燥機の形
状はアーチ式、フラツト式等目的にあわせて選択
して用いられる。
乾燥後のドライフイルムには必要ならば、ポリ
エチレンやポリプロピレンのような保護フイルム
をラミネートして用いても良い。
以上のようにして製造したドライフイルムレジ
ストは、エツチング用レジストまたはプレーテイ
ング用レジストとしても、保存性、作業性、工程
通過性能に優れ高解像度パターンが得られる。
〔実施例〕
以下、実施例について本発明を具体的に説明す
る。
実施例1〜8、比較例1〜4
窒素導入口、撹拌機、コンデンサ、温度計を備
えた1000mlの4つ口フラスコに、窒素雰囲気下で
イソプロピルアルコール200gおよび表1に示す
ような組成の単量体200gを入れ、撹拌しながら
湯浴の温度を80℃に上げる。次いでアゾビスイソ
ブチロニトリル1.0gを、10gのイソプロピルア
ルコールに溶解して添加し、4時間重合した。次
いで1.0gのアゾビスイソブチロニトリルを、10
gのイソプロピルアルコールに溶解し、これを30
分置きに5回に分けて添加した後、フラスコ内温
をイソプロピルアルコールの沸点まで上昇させて
その温度で2時間重合させた。重合終了後、イソ
プロピルアルコール100gを添加して重合反応物
をフラスコより取り出して、バインダ樹脂溶液を
調製した。なお、各組成における単量体混合物の
重合率はいずれも99.5%以上であつた。
次にこれらのバインダ樹脂溶液を用いて下記の
組成を有する光重合性樹脂組成物を調合した。
バインダ樹脂溶液 228 重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート
50 〃
テトラエチレングリコールジアクリレート
20 〃
ベンゾフエノン 1.0 〃
ミヒラーズケトン 0.2 〃
5−アミノテトラゾール 0.4 〃
メチレンブルー 0.75 〃
この調合した組成物をプロペラ型ミキサーで撹
拌し、ブレードコータにより厚さ25μm、幅360
mmのポリエステルフイルム上に塗工幅340mmに塗
布した。次いで幅400mm、高さ100mm、長さ8mの
クラツト型乾燥機中を向流にして熱風を送り込
み、乾燥塗工厚さを50μmとした。この時の塗工
速度は5m/分、乾燥機内風速を3m/分、熱風
温度を90℃とした。次いでその乾燥塗膜上に、厚
さ35μmのポリエチレン製保護フイルムをラミネ
ートしてその後ロールに巻き取つた。得られたド
ライフイルムレジストは、保護フイルムを剥離し
ながら塗布膜面を銅張積層板に熱ラミネートし、
銅張積層板の温度が室温に戻つた後、ポリエステ
ルフイルム面にフオトツールを密着して超高圧水
銀灯で露光した。フオトツールは50μm、60μm、
80μm、100μm幅のラインアンドスペイスパター
ンを用いた。また、超高圧水銀灯はウシオ電機
USH−102Dを用い、100mJ/cm2照射した。こ
の際の露光強度はウシオ電機紫外線強度計UIT
−100に受光器UVD−365Pを取りつけて測定し、
5mw/cm2とした。露光後20分放置して支持フイ
ルムを剥離して、1%炭酸ナトリウム水溶液で現
像した。現像は液温30℃、スプレー圧1.4Kg/cm2
とし、スプレーと基板の距離を10cmとして行なつ
た。次いで中性洗剤水溶液に室温で約1分間浸漬
し、脱脂後オーバーフロータンクでスプレー水洗
を約1分間行ない、その後約20%の過硫酸アンモ
ニウム水溶液中に1分間浸漬した。再びスプレー
水洗洗浄を約1分間行なつた後、約15%の硫酸水
溶液に1分間浸漬し、再びスプレー水洗を1分間
行なつた。次いで硫酸銅メツキ槽に入れて75分
間、2.3A/dm2でメツキを行なつた。この時の
温度は22℃で行なつた。メツキ終了後直ちに水洗
し、15%硼弗酸水溶液に浸漬し、次いで18分間、
1.8A/dm2、22℃でハイスローハンダメツキを
行なつた。
ハンダメツキ液の配合は次の通りである。
錫 15 g/
鉛 10 g/
遊離硼弗酸 400 g/
遊離硼酸 21.6g/
ペプトン 5.2g/
メツキ終了後、水洗を行ない、その後乾燥し
た。ドライフイルムの現像性と耐メツキ性を表1
に示した。
ハンダメツキ後のサンプルを用い、5%水酸化
ナトリウム水溶液でレジスト剥離した。剥離は55
℃に剥離液を調整し、スプレー圧1.0Kg/cm2とし
てスプレーと基板の距離を10cmとして行なつた。
この時の剥離状態を目視で観察した。その結果
も表1に示した。
[Industrial Application Field] The present invention particularly relates to a photopolymerizable resin composition used for forming an alkali-developable dry film resist for printed wiring boards. [Prior Art] A binder resin used in an alkaline-developable dry film resist must be soluble or swellable in a dilute alkaline aqueous solution and insoluble in water. As such a binder resin, a vinyl addition polymer containing a carboxylic acid group has conventionally been used. In particular, in commercially available alkali-developable resists, the content of carboxylic acid groups as copolymerized components is the minimum amount necessary to develop and resolve fine patterns, and furthermore, in addition to vinyl monomers containing carboxylic acid groups, the content of carboxylic acid groups is the minimum amount required to develop and resolve fine patterns. By selecting the copolymer components, the binder resin is designed to have low solubility in aqueous alkaline solutions. When such a resist is immersed in a stripping solution consisting of an alkaline aqueous solution alone in a stripping process after exposure, the cured resist swells and is stripped off while retaining the pattern form without forming into small pieces. For this reason, there were problems such as the peeled material getting wrapped around the conveyor roll in the peeling machine, and the cured resist sandwiched between the lower parts of the overhanging plating being difficult to peel off. Therefore, as a stripping solution, for example, a 5% aqueous sodium hydroxide solution to which an organic solvent such as butyl cellosolve is added is used to partially dissolve and strip the hardened resist. Use of such a peeling process increases the cost of chemicals, which is a cause of increased costs for manufacturing printed wiring boards. [Problems to be Solved by the Invention] The present invention overcomes the problems of the prior art as described above, and enables development using an alkaline aqueous solution alone.
Moreover, to provide a photopolymerizable resin composition capable of producing an all-alkaline dry film resist that causes fragmentation and peeling in which peeled pieces break into small pieces, similar to conventional solvent-developed resists, by using an alkaline aqueous solution alone during peeling. There is a particular thing. [Means for Solving the Problems] The photopolymerizable resin composition according to the present invention is (A) a copolymer of methyl methacrylate, methyl altalate, and methacrylic acid, and has 20 to 50 methacrylic acid units. Binder resin containing 5 to 60% by weight of methyl acrylate units (B), a crosslinkable monomer (C) having at least two ethylenically unsaturated groups in the molecule, a photopolymerization initiator, and (D ) 0.005 for the total amount of components (A), (B), and (C) above.
Consisting of ~1% by weight of 5-aminotetrazole. The binder resin constituting the composition of the present invention is a copolymer obtained by polymerizing a monomer mixture of methyl methacrylate, methyl acrylate, and acrylic acid. The content of methacrylic acid units in the copolymer is preferably 15 to 50% by weight, particularly 20 to 50% by weight. If a binder resin with a methacrylic acid unit content of less than 15% by weight is used, the cured resist will swell and peel off during peeling.
If it exceeds 50% by weight, the development time will be extremely short.
It becomes difficult to control development when obtaining a high-resolution pattern, and the water resistance of the cured portion also decreases. The content of methyl acrylate units in the copolymer is preferably 2 to 70% by weight, particularly 5 to 60% by weight. If the content of methyl acrylate monomer units is less than 2% by weight, the film becomes hard when it becomes an oxidized resist and is likely to peel off. Moreover, if it exceeds 70% by weight, the development time will be shortened, making it difficult to control the development when obtaining a high-resolution pattern. The weight average molecular weight of the binder resin used in the present invention is in the range of 40,000 to 300,000.
If the weight average molecular weight is less than 40,000, when it is wound into a roll as a dry film resist and stored, the resist composition oozes out from between the support films over time, which is called cold flow development, and the weight average molecular weight is less than 300,000. If it exceeds the range, unexposed areas will not be dissolved and development will not be possible, or development will take an extremely long time, resulting in a decrease in resolution and failure to cause crushing and peeling during peeling. Examples of the crosslinkable monomer having at least two ethylenically unsaturated groups in the molecule constituting the composition of the present invention include polyethylene glycol di(meth)acrylate, propylene glycol di(meth)acrylate, 1,3 -Butanediol di(meth)acrylate, 1,4-butanediol di(meth)acrylate, neopentyl glycol di(meth)acrylate, 1,6-hexanediol di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate In addition to polyester (meth)acrylates such as , pentaerythritol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, and pentaerythritol tetra(meth)acrylate, epoxy(meth)acrylates, urethane(meth)acrylates, etc. may be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more. The blending amount of the crosslinkable monomer is in the range of 10 to 150 parts by weight based on 100 parts by weight of the binder resin. If the amount is 150 parts by weight or more, the composition may not be applied uniformly, migration may occur in the resist layer after drying, or cold flow development may occur. On the other hand, if it is less than 10 parts by weight, the exposed areas of the resist will be rapidly dissolved in the developer, making development impossible. Examples of the photopolymerization initiator constituting the composition of the present invention include benzoin, benzoin alkyl ethers, benzophenone, Michler's ketone,
Examples include 4,4'-bis(diethylamino)benzophenone, acetophenones, benzyl ketals, anthraquinones, and thioxanthone. These may be used alone or in combination. The amount of photopolymerization initiator used is based on the crosslinkable monomer (B).
A range of 0.1 to 30% by weight is desirable. Furthermore, 5-aminotetrazole used in the present invention is an extremely effective component for improving the adhesion of photoresists to metal plates. The amount of this compound to be added to the composition cannot be absolutely determined depending on the composition components and composition ratio of the photoresist and the hardness of the photoresist after photocuring, but the amount to obtain an effective adhesion effect is determined by the binder. 0.005 to 1% by weight, preferably 0.025 to 0.5% by weight based on the total amount of resin (A), crosslinkable monomer (B) and photoinitiator (C)
is within the range of If it's too much, the sensitivity will decrease, and if it's too little, plating will likely occur during solder plating. The compositions of the invention can also be used in the absence of a diluting solvent, but solvents which dissolve the binder resin and whose boiling point is not very high, such as methyl ethyl ketone, methylene chloride, methylene chloride/methyl alcohol mixtures, isopropyl alcohol or isopropyl It is desirable to use a mixture with other solvents containing alcohol as the main component. The amount of the solvent used is 200% by weight or less, preferably 100 to 200% by weight, based on the composition. When the composition of the present invention is used in the presence of a solvent, the solvent is added to the composition, or the binder resin is produced by solution polymerization using the above-mentioned solvent, or the solvent is further added to the composition. A method of additional addition can be adopted. When using a solution-polymerized binder resin, the solvent is preferably isopropyl alcohol or a mixed solvent of 80% by weight or more of isopropyl alcohol and 20% by weight or less of methylene chloride, methyl ethyl ketone, or the like. The composition of the present invention may also contain components such as thermal polymerization inhibitors, dyes, plasticizers, and fillers, if necessary. To form a dry film resist using the composition of the present invention, the composition is applied onto a support and, if a solvent is used, the solvent is spattered off. To apply the composition to the support, a blade coater, rod coater, knife coater, roll doctor coater, comma coater, reverse roll coater, transfer roll coater, gravure coater, kiss roll coater, curtain coater, etc. can be used. These selections are determined by coating weight, coating liquid viscosity, coating speed, etc. As the support, a plastic film such as polyester is mainly used. When using a flammable solvent, use a dryer equipped with an air-heating heat source using steam for safety reasons, and use a method that brings the hot air inside the dryer into countercurrent contact and blows it onto the support from a nozzle. method etc. are used. The shape of the dryer can be selected depending on the purpose, such as an arch type or a flat type. If necessary, the dry film after drying may be laminated with a protective film such as polyethylene or polypropylene. The dry film resist produced as described above can be used as an etching resist or a plating resist, and has excellent storage stability, workability, and process passability, and can provide a high-resolution pattern. [Example] The present invention will be specifically described below with reference to Examples. Examples 1 to 8, Comparative Examples 1 to 4 Into a 1000 ml four-neck flask equipped with a nitrogen inlet, a stirrer, a condenser, and a thermometer, 200 g of isopropyl alcohol and a monomer of the composition shown in Table 1 were added under a nitrogen atmosphere. Add 200g of the liquid and raise the temperature of the water bath to 80℃ while stirring. Next, 1.0 g of azobisisobutyronitrile dissolved in 10 g of isopropyl alcohol was added and polymerized for 4 hours. Next, 1.0 g of azobisisobutyronitrile was added to 10
Dissolve in 30 g of isopropyl alcohol and add 30
After adding the mixture in 5 portions at intervals, the internal temperature of the flask was raised to the boiling point of isopropyl alcohol, and polymerization was carried out at that temperature for 2 hours. After the polymerization was completed, 100 g of isopropyl alcohol was added and the polymerization reaction product was taken out from the flask to prepare a binder resin solution. The polymerization rate of the monomer mixture in each composition was 99.5% or more. Next, a photopolymerizable resin composition having the following composition was prepared using these binder resin solutions. Binder resin solution 228 parts by weight Trimethylolpropane triacrylate
50 〃 Tetraethylene glycol diacrylate
20 〃 Benzophenone 1.0 〃 Michler's ketone 0.2 〃 5-aminotetrazole 0.4 〃 Methylene blue 0.75 〃 The prepared composition was stirred with a propeller type mixer and coated with a blade coater to a thickness of 25 μm and a width of 360 μm.
It was applied to a coating width of 340 mm on a 340 mm polyester film. Next, hot air was sent in a countercurrent flow through a Kratz-type dryer with a width of 400 mm, a height of 100 mm, and a length of 8 m to give a dry coating thickness of 50 μm. The coating speed at this time was 5 m/min, the air speed in the dryer was 3 m/min, and the hot air temperature was 90°C. Next, a polyethylene protective film having a thickness of 35 μm was laminated onto the dried coating film, and the film was then wound onto a roll. The obtained dry film resist was heat laminated with the coated film surface on a copper clad laminate while peeling off the protective film.
After the temperature of the copper-clad laminate returned to room temperature, a photo tool was brought into close contact with the surface of the polyester film, and the film was exposed to light using an ultra-high pressure mercury lamp. Photo tools are 50μm, 60μm,
Line and space patterns with widths of 80 μm and 100 μm were used. In addition, ultra-high pressure mercury lamps are manufactured by Ushio Inc.
Irradiation was performed at 100 mJ/cm 2 using USH-102D. The exposure intensity at this time was determined by the Ushio Inc. ultraviolet intensity meter UIT.
Attach the UVD-365P receiver to the -100 and measure.
It was set to 5mw/ cm2 . After exposure, the support film was left for 20 minutes and developed with a 1% aqueous sodium carbonate solution. Developing temperature: 30℃, spray pressure: 1.4Kg/cm 2
The distance between the spray and the substrate was 10 cm. Next, it was immersed in a neutral detergent aqueous solution at room temperature for about 1 minute, and after degreasing, it was spray washed with water in an overflow tank for about 1 minute, and then immersed in an about 20% ammonium persulfate aqueous solution for 1 minute. After spray washing was performed again for about 1 minute, it was immersed in an approximately 15% sulfuric acid aqueous solution for 1 minute, and spray washing was performed again for 1 minute. Then, it was placed in a copper sulfate plating tank and plated at 2.3 A/dm 2 for 75 minutes. The temperature at this time was 22°C. Immediately after plating, rinse with water, immerse in 15% borofluoric acid aqueous solution, and then soak for 18 minutes.
High-slow solder plating was performed at 1.8 A/dm 2 and 22°C. The composition of the solder polishing liquid is as follows. Tin 15 g / Lead 10 g / Free borofluoric acid 400 g / Free boric acid 21.6 g / Peptone 5.2 g / After plating, it was washed with water and then dried. Table 1 shows the developability and plating resistance of dry film.
It was shown to. Using the sample after solder plating, the resist was removed with a 5% aqueous sodium hydroxide solution. Peeling is 55
The stripping solution was adjusted to a temperature of .degree. C., the spray pressure was 1.0 Kg/ cm.sup.2, and the distance between the spray and the substrate was 10 cm. The state of peeling at this time was visually observed. The results are also shown in Table 1.
【表】【table】
【表】
実施例9〜15、比較例5,6
実施例3の系で、5−アミノテトラゾール添加
量を表2のように変化させ、メツキ後のレジスト
の状態を評価した。[Table] Examples 9 to 15, Comparative Examples 5 and 6 Using the system of Example 3, the amount of 5-aminotetrazole added was varied as shown in Table 2, and the state of the resist after plating was evaluated.
【表】
比較例 7,8
実施例3の系で、5−アミノテトラゾールの代
りに1−フエニルテトラゾール(比較例7)又は
5−フエニルテトラゾール(比較例8)を用い、
メツキ後のレジストの状態を評価した。得られた
結果を表3に示した。[Table] Comparative Examples 7, 8 Using the system of Example 3, using 1-phenyltetrazole (Comparative Example 7) or 5-phenyltetrazole (Comparative Example 8) instead of 5-aminotetrazole,
The state of the resist after plating was evaluated. The results obtained are shown in Table 3.
本発明の光重合性組成物から作られたドライフ
イルムレジストは、剥離工程をアルカリ性水溶液
単独で行なうことができ、このため、従来剥離片
を一部溶解するためにブチルセロソルブ等の溶剤
をアルカリ水溶液に添加して行なつていたため起
こるプリントサーキツト板生産コストの上昇を無
くすることができる。
The dry film resist made from the photopolymerizable composition of the present invention can be peeled off using an alkaline aqueous solution alone.For this reason, conventionally, a solvent such as butyl cellosolve is added to an alkaline aqueous solution to partially dissolve the peeled pieces. It is possible to eliminate the increase in printed circuit board production costs that would otherwise be caused by adding additives.
Claims (1)
およびメタクリル酸の共重合体であつて、メタ
クリル酸単位を20〜50重量%、及びアクリル酸
メチル単位を5〜60重量%含有するバインダ樹
脂 (B) 分子中に少なくとも2個のエチレン性不飽和
基を有する架橋性単量体 (C) 光重合開始剤および (D) 上記(A),(B),(C)成分の合計量に対して0.005
〜1重量%の5−アミノテトラゾール よりなる光重合性樹脂組成物。[Scope of Claims] 1 (A) A copolymer of methyl methacrylate, methyl acrylate and methacrylic acid, containing 20 to 50% by weight of methacrylic acid units and 5 to 60% by weight of methyl acrylate units. Binder resin (B) Crosslinkable monomer having at least two ethylenically unsaturated groups in the molecule (C) Photopolymerization initiator and (D) The above components (A), (B), and (C) 0.005 for total amount
A photopolymerizable resin composition comprising ~1% by weight of 5-aminotetrazole.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2778485A JPS61186952A (en) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | Photopolymerizable resin composition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2778485A JPS61186952A (en) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | Photopolymerizable resin composition |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61186952A JPS61186952A (en) | 1986-08-20 |
| JPH0336422B2 true JPH0336422B2 (en) | 1991-05-31 |
Family
ID=12230600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2778485A Granted JPS61186952A (en) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | Photopolymerizable resin composition |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61186952A (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01263645A (en) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Photopolymerizing composition |
| JP2776522B2 (en) * | 1988-12-15 | 1998-07-16 | ダイセル化学工業株式会社 | Photopolymerizable composition |
| JP2856746B2 (en) * | 1988-12-15 | 1999-02-10 | ダイセル化学工業株式会社 | Photopolymerizable composition |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57204032A (en) * | 1981-06-10 | 1982-12-14 | Somar Corp | Photosensitive material |
| JPS581142A (en) * | 1981-06-25 | 1983-01-06 | Hitachi Chem Co Ltd | Photosensitive resin composition and photosensitive resin composition laminate |
| JPS5888741A (en) * | 1981-11-20 | 1983-05-26 | Hitachi Chem Co Ltd | Photosensitive resin composition and its laminate |
| JPS59125726A (en) * | 1983-01-06 | 1984-07-20 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | Photopolymerizable resin composition |
-
1985
- 1985-02-15 JP JP2778485A patent/JPS61186952A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61186952A (en) | 1986-08-20 |
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