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JPH033883B2 - - Google Patents
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JPH033883B2 - - Google Patents

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JPH033883B2
JPH033883B2 JP58058035A JP5803583A JPH033883B2 JP H033883 B2 JPH033883 B2 JP H033883B2 JP 58058035 A JP58058035 A JP 58058035A JP 5803583 A JP5803583 A JP 5803583A JP H033883 B2 JPH033883 B2 JP H033883B2
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JP
Japan
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plate
strip
conductive
actuating
actuating plate
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Suteiibun Raito Ueido
Tomasu Boijin Jon
Suchuaato Hatsupi Guren
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Armco Inc
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Armco Inc
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    • B21MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
    • B21BROLLING OF METAL
    • B21B38/00Methods or devices for measuring, detecting or monitoring specially adapted for metal-rolling mills, e.g. position detection, inspection of the product
    • B21B38/02Methods or devices for measuring, detecting or monitoring specially adapted for metal-rolling mills, e.g. position detection, inspection of the product for measuring flatness or profile of strips
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/28Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B7/287Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures using a plurality of fixed, simultaneously operating transducers

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、動いている平らな帯状導電性鋼また
はその他の帯状金属の輪郭すなわち平担度特性を
測定するためのセンサに関するものであり、更に
詳しくいえば動いている帯状材の平担度の変化に
よるその帯状材とセンサの間の電気容量の変化を
測定するこの種のセンサに関するものである。
本発明は、帯状鋼材とくにケイ酸マグネシウム
などのミルガラス(mill glass)被覆を有する種
類の帯状材を製造する方法にとくに有用である。
コイル状に巻かれた帯状材は最終の焼きなましを
受ける場合に、高い温度にさらされることがしば
しばである。ある場合には、焼きなましされた帯
状材は「ボトム・バツクル(bottom buckles)」
として知られている縁部が波を打つている形を呈
すことがある。他の場合には、長い縁部または全
中央部が処理された帯状材となることがある。
それらの全ての特性は望ましくなく、とくに、
ある特定の平担度を求められる用途においてはと
くにそうである。ある場合には、バツクルすなわ
ち波打ちが広範囲に生じたとすると、長い帯状材
が使用できなくなる。他の用途では、ある程度の
バツクルすなわち波打ちは許容できる。
あらゆる場合に、歪み取り工程すなわち熱処理
工程を更に行う必要があるか否かを確認するため
に、処理ラインのある特定の点において帯状材の
平担度特性を連続してモニタできることが望まし
い。
本発明は、そのような帯状鋼材が処理ラインに
沿つて何百メートルという速さで働いている間
に、その帯状鋼材の平担度を決定するためのセン
サを提供するものである。センサの摩耗をなく
し、帯状材の表面、またはその表面に付着されて
いる被覆に傷がつかないようにするために、セン
サは帯状材の表面に接触しないようにして置かれ
る。
このような一般的な種類のセンサは知られてい
る。たとえば、米国特許第3161824号には、鋼材
が1個またはそれ以上の巻線型検出コイルの近く
を通る時に形成された磁気回路の透磁率の変化を
モニタする前記巻線型検出コイルにより、鋼材に
実際に接触することなしにその鋼材の平担度を測
定する方法が開示されている。測定された透磁率
の変化はその鋼材の平担度のずれに関連させるこ
とができる。
米国特許第3502968号に開示されている別の種
類の方法においては、高周波コイルが動いている
帯状材の表面にうず電流を誘導し、その帯状材平
担度が変化した時に生ずる前記うず電流のレベル
変化をピツクアツプコイルが検出する。
そのような誘導うず電流測定装置は平担度の小
さい変化の測定は満足に行えるが、たとえば約
5.1cm(2インチ)台の比較的大きい平担度の変
化の場合には正確でない結果を生ずることがあ
る。更に、それらの方法は非直線的であつて、測
定される材料の磁気特性の差異に感ずる。
本発明のセンサは、センサと動いている帯状導
電性鋼材の表面との間の容量を測定して、その鋼
材の平担度特性の測定値を与えるものである。
本発明によれば、動いている帯状導電体の大き
い表面と平行に隔て全体として平らな下面が配置
される中心に位置している導電性作動板と、全体
として平らな下面と、この下面と作動板の下面が
ほぼ共平面となるように作動板を受け入れる中央
に開孔された開孔部とを有している導電性遮へい
板と、作動板と遮へい板とを電気的に絶縁する手
段と、遮蔽へい板に高周波信号を印加する発振器
と、作動板に接続される第1の差動入力端子と遮
へい板及び発振器の出力端に接続される第2の差
動入力端子とを有している差動増幅器と、遮へい
板と作動板の間の共通信号を打消して作動板と帯
状導電体の大きい表面との間の容量を表わす出力
信号を得るために差動増幅器及び発振器からの出
力信号を減ずる手段とを備えていることを特徴と
する長さが不定の動いている帯状導電体との間の
容量の変化を測定する非接触型のセンサ装置を提
供するものである。
本発明の好適な実施例においては、センサは、
動いている帯状鋼材の大きい上面と大きい下面か
ら隔てられてそれらの表面に向き合わされる全体
として長方形の平らな導電性作動板を備える。動
いている帯状鋼材の同じ大きい表面から隔てられ
てその大きい表面に平行に全体として平らな導電
性遮へい板も位置させられる。その遮へい板は作
動板より僅かに大きい長方形の中心開口部も含
む。作動板は、両方の板の表面のうち動いている
帯状鋼材に向き合つている表面が互いに同じ拡が
りであるようにして、かつ遮へい板に電気的に接
触しないようにして前記開口部の中に位置させら
れる。したがつて、作動板と動いている帯状鋼材
の表面との間の容量の変化を測定できるように、
遮へい板は作動板により発生される電界の縁部を
小さくする。
同じ高周波電気信号が作動板と遮へい板へ与え
られる。このように構成することにより無関係な
容量変化にこの装置が応答することが防がれる。
作動板と動いている帯状鋼材の間の容量が変化す
ると、電源から供給されている電流がその容量変
化に対応する変化を行う。この変化は、センサの
作動板と帯状鋼材との間の距離の逆数に比例する
電圧に変換される。希望によつては、その電圧を
整流し、整流された電圧を低域ろ波して、作動板
と帯状鋼材との間の距離の逆数に比例する直流電
圧を得ることにより、その距離の減少の指示を得
るようにすることもできる。
帯状材の幅全体にわたる平担度特性を測定する
ために、その幅に沿つて複数のセンサを配置する
こともできる。
以下、図面を参照して本発明を詳しく説明す
る。
まず第1〜3図を参照して、本発明のセンサ1
は、アルミニウムなどのような任意の適当な導電
性材料から作られた平らな遮へい板2を含む。こ
の遮へい板2の、動いている帯状鋼材の上面に向
き合つている下面3は平らである。この遮へい板
2の中央部分には長方形の開口部4が設けられ
る。この開口部は遮へい板2の上面から下面まで
完全に貫通している。遮へい板2の下面3に近
い、開口部4の下側部分には内側に張り出した部
分すなわち棚部5が設けられる。この棚部5は平
らな上面6を有する。
センサ1は全体として長方形の作動板7も有す
る。この作動板7はアルミニウムなどのような任
意の適当な導電性材料から作ることができる。こ
の作動板7の上側部分には、全体として滑らかな
下面を有し、かつ外へ向けられたフランジ8が設
けられる。遮へい板2に関連する上面6の上に非
導電性の環状ガスケツト9が位置させられて、フ
ランジ8がこのガスケツトの上面の上に乗せられ
るようになつている。したがつて、内側に向いて
いる棚部5は作動板7を電気絶縁した状態で支持
する。図示の実施例では、作動板7と遮へい板2
は非導電性接着剤などにより互いに固定できる。
作動板7の下面10は遮へい板2の下面3とほぼ
同程度に拡がつていることがわかるであろう。ま
た、他の形、または他の構造の作動板と遮へい板
を使用できることもわかるであろう。
全体として平らな導電性カバー板11が開口部
4の上にかぶせられ、そのカバー板11の周縁部
はねじ12などにより遮へい板2に固定される。
同軸ケーブル15などの中心導体14を通すため
にカバー板11に中央開口部13が設けられる。
作動板7の上面の部分16(第1図)に中心導体
14が電気的に固定される。その中心導体14は
カバー板11から電気的に分離されていることが
わかるであろう。カバー板11の上面の部分18
に同軸ケーブル15のケーブル・シールド17が
とりつけられる。この分野においてよく知られて
いるように、ケーブル・シールド17は適当な非
導電性カバーで被覆できることがわかるであろ
う。
センサ1の上側部分にはU形の支持ブラケツト
19が設けられる。この支持ブラケツト19は、
隔てられて全体として垂直方向へ延びる一対のフ
ランジ部20が設けられる。それらのフランジ部
の下端部は外側に延びている脚21に終端する。
支持ブラケツト19は、脚21と、遮へい板2の
上面とに設けられている穴を通る複数のねじ22
などにより遮へい板2に固定できる。第1図に示
すように、支持ブラケツト19は、ゴム、プラス
チツク、テフロン(登録商標)などで作られて脚
21の下面と遮へい板の上面の間に置かれた非導
電性のガスケツトすなわち層23によつて遮へい
板2から絶縁される。同様に、支持ブラケツト1
9と遮へい板2を電気的に完全に分離するよう
に、ねじ22の上側部分は部分24において脚2
1から分離される。
支持ブラケツト19の、全体として水平方向に
延びるウエブ部25を構成する、上側部分には、
動いている帯状鋼材の上の支持部材センサ1をと
りつけるための複数の穴26が設けられる。
希望によつては、開口部4の遮へい板2と作動
板7の間の開放空間部分には適当な絶縁材27を
詰めることができる。いずれにしても、作動板7
は遮へい板2から電気的に完全に分離される。
同軸ケーブル15の中心導体14は高入力イン
ピーダンス演算増幅器Z1の反転入力端子に接続
され、ケーブルのシールドは増幅器Z1の非反転
入力端子と高周波交流電源すなわち発振器G1に
接続される。この発振器の公称動作周波数は約
100KHzである。温度補償のために増幅器Z1の
反転入力端子と非反転入力端子の間に可変抵抗器
R1が接続される。演算増幅器の反転入力端子と
出力端子の間に抵抗器R2とコンデンサC1が並
列に接続される。
増幅器Z1の出力端子はダイオードD1のアノ
ードへ接続される。このダイオードのカソード
は、コンデンサC2と抵抗器R3で構成されてい
る低域フイルタを介して演算増幅器Z2の反転入
力端子へ接続される。電源G1がダイオードD2
のカソードに接続される。ダイオードD2のアノ
ードが、コンデンサC3と可変抵抗器R3で構成
されている低域フイルタを介して、増幅器Z2の
反転入力端子へ接続される。可変抵抗器R3は零
調整器として機能する。利得調整器として機能す
る可変抵抗器R5が、増幅器Z2の反転入力端子
と出力端子の間に接続される。増幅器Z2の非反
転入力端子は接地される。増幅器Z2の出力端子
に現われる電圧Voutは、作動板と、動いている
帯状鋼材の外面との間の距離の逆数に比例する。
次に、この装置の動作を説明する。ほぼ同じ高
周波電気信号が、同軸ケーブルの中心導体14を
通じて作動板7へ与えられるとともに、ケーブ
ル・シールド17を通じて遮へい板2へ与えられ
る。増幅器Z1と、ダイオードD1とD2により
構成されているピーク検出回路との共通モード
は、増幅器Z2の入力端子において、シールドと
作動板の間の共通信号を打ち消すように機能す
る。帯状鋼材の形に関連しない変化の影響を小さ
くするピーク=ピーク検出回路を用いることによ
り、帯状鋼材の形を一層正確に測定できる。遮へ
い板と作動板に同じ高周波電気信号が存在すると
漂遊容量の影響が無くされるようになり、そのた
めに作動板7は作動板と動いている帯状鋼材の間
の容量変化のみに応答することになる。そのよう
な容量変化が生ずると、抵抗器R2とコンデンサ
C1を流れる電流が変化して増幅器Z1の出力電
圧が変化する。この増幅器は微分器と同様に機能
する。この点で、作動板と帯状鋼材の間の距離の
減少に関連する容量の増大に関係する正電圧の上
昇が起る場合には、ダイオードD1を電流が流
れ、その電流は増幅器Z2の出力電圧の変化とし
て現われる。その出力電圧の変化は帯状鋼材の容
量変化に比例する。帯状鋼材の平担度の変化を解
析または分類するために、その出力電圧Voutは
チヤート記録器その他の処理器に与えることがで
きる。
環境条件の影響を小さくするものであればどの
ようなものでもこの装置の性能を向上させること
に注意すべきである。たとえば、温度が調節され
ている環境条件では較正周波数が低くなり、かつ
較正の間の確度が高くなる。
本発明のセンサ1の典型的な構造が第4,5図
に示されている。長さが不定の帯状鋼材Sが、後
で説明する処理部の間を矢印28の向きに動く。
その帯状鋼材は回転できるように装置されている
円筒形のロールにより支持される。その支持ロー
ルは折り返えしロールで構成でき、支持構造体3
0により支持される。いずれにしても、帯状鋼材
のアースに対するインピーダンスをセンサ1のイ
ンピーダンスと比較して非常に低く(すなわち、
大容量にする)ことが必なだけである。これを行
う1つの方法は、支持構造体30を位置31で接
地することにより行われる。もつとも、ある種の
用途ではこの接地は不必要である。
折り返えしロールとの接触点を過ぎて、帯状鋼
材Sは回転できるようにして装置されている一対
の隔てられているオフセツト・ロール34の間を
全体として水平方向に進む。帯状鋼材Sのうち、
折り返えしロール29とオフセツト・ロール34
の間を延びる部分は全体として支持されず、僅か
なカテナリー曲線を描く。帯状鋼材の張力が大き
く変化すると(この場合には帯状鋼材は弾ねかえ
り運動を行う)、帯状鋼材の下面はローラなどに
より支持できる。
1個またはそれ以上のセンサ1は、帯状鋼材S
の上面の上方に狭い間隔をおいて位置させること
ができる。説明のためにセンサ1が帯状鋼材の上
方に位置させるものとしているが、帯状鋼材の下
側または、作動板7の外面が、動いている帯状鋼
材の大きな表面に対して隔てられて位置させられ
る場所であれば、他の任意の位置に置くことがで
きることがわかるであろう。
第4,5図に示す実施例では、センサ1は帯状
鋼材の幅方向に沿つて配置されている。しかし、
たとえば、ボトム・バツクルを最も含みやすい部
分に1個のセンサを配置することもできれば、帯
状鋼材の平担度特性に応じてもつと多くのセンサ
を使用できる。あるいは、第5図にセンサ1aで
示されているように、ボトム・バツクル領域のよ
うな、帯状鋼材の対象とする特定の領域にセンサ
1を置くことができる。
各センサ1は、帯状鋼材の幅方向へ水平に延び
る支持棒35にとりつけることができる。このセ
ンサ1は、全部のセンサが支持棒からつり下げら
れ、かつ作動板7の長辺が帯状鋼材の動く方向に
交わる方向へ延びるように、ねじ36などにより
支持棒35に固定される。複数のセンサが用いら
れる場合には、各センサに組合わされている高周
波発振器G1を異なる周波数、たとえば95KHg、
100KHg、105KHgなどで動作させることがで
き、かつ、要求があれば、センサ間の漏話を防ぐ
ために適切なフイルタを使用できる。
次に、このセンサの動作を説明する。センサが
約2.5〜13cm(約1〜5インチ)の範囲にわたつ
て動作するようにセンサをまず較正する。この較
正により、帯状鋼材の表面の平担度のずれをプラ
スマイナス約5.1cm(2インチ)まで測定できる。
帯状鋼材の上面と作動板の間の距離が変化すると
両者間の容量が変化して、前記したように出力電
圧Voutが変化する。帯状鋼材の弾ねかえりをな
くすように張力を制御でき、またはセンサが帯状
鋼材の表面の平担性の変化のみに応答するよう
に、センサの間の共通電圧をなくすことができ
る。更に、実際のずれ、縁部の波打ちの周期を測
定するため、または帯状鋼材の種々の形を格付け
するために自動処理において出力電圧信号を使用
できる。この装置は安価で、多くの用途に使用で
き、かつ厳しい圧延作業環境内で動作できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のセンサの好適な実施例の部分
断面正面図およびそのセンサに用いる処理電子回
路装置の回路図、第2図は第1図に示すセンサの
平面図、第2A図は本発明のセンサの底面図、第
3図は第1図に示すセンサの端部図、第4図は本
発明の帯状鋼材センサのための好適な装置の概略
部分線図、第5図は複数センサのを用いる本発明
の帯状鋼材センサのための好適な装置の概略部分
正面図である。 1……センサ、2……遮へい板、4……中心開
口部、7……作動板、11……カバー板、29…
…折り返えしロール、34……オフセツト・ロー
ル、G1……高周波発振器、Z1,Z2……演算
増幅器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 動いている帯状導電体の大きい表面と平行に
    隔て全体として平らな下面が配置される中心に位
    置している導電性作動板と、 全体として平らな下面と、この下面と前記作動
    板の下面がほぼ共平面となるように前記作動板を
    受け入れる中央に開孔された開孔部とを有してい
    る導電性遮へい板と、 前記作動板と遮へい板とを電気的に絶縁する手
    段と、 前記遮へい板に高周波信号を印加する発振器
    と、 前記作動板に接続される第1の差動入力端子と
    前記遮へい板及び発振器の出力端に接続される第
    2の差動入力端子とを有している差動増幅器と、 前記遮へい板と前記作動板の間の共通信号を打
    消して前記作動板と前記帯状導電体の大きい表面
    との間の容量を表わす出力信号を得るために前記
    差動増幅器及び発振器からの出力信号を減ずる手
    段と、 を備えていることを特徴とする長さが不定の動い
    ている帯状導電体との間の容量の変化を測定する
    非接触型のセンサ装置。 2 導電性カバー板を有し、このカバー板は、作
    動板の表面のうち前記帯状導電体の表面から離れ
    ている方の表面から隔てられて配置され、かつ前
    記帯状導電体の表面に向き合う表面を除く全ての
    側面が導電性カバー板と導電性遮へい板により囲
    まれるように、前記遮へい板に電気的に接触する
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の装
    置。 3 前記減ずる手段は、第1の低域フイルタと、
    前記差動増幅器の出力端子と前記第1の低域フイ
    ルタとの間に接続される第1のダイオードと、第
    2の低域フイルタと、前記発振器と前記第2の低
    域フイルタとの間に前記第1のダイオードとは逆
    極性で接続される第2のダイオードと、前記第1
    及び第2の低域フイルタからの出力を加え合せる
    第2の増幅器とを有し、前記第2の増幅器からの
    出力は前記作動板と帯状導電体の表面との間の容
    量に比例する電圧を含むことを特徴とする特許請
    求の範囲第1項記載の装置。 4 前記第1の差動入力端子と第2の差動入力端
    との間に接続されて温度の変化を補償する可変抵
    抗器と、前記第1及び第2のフイルタからの出力
    を平衡させる調整器とを備えていることを特徴と
    する特許請求の範囲第3項記載の装置。 5 前記作動板は長方形であり、この作動板の長
    辺は前記帯状導電体を横切つて延びていることを
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載の装置。
JP58058035A 1982-04-05 1983-04-04 長さが不定の動いている帯状導電体との間の容量の変化を測定する非接触型のセンサ装置 Granted JPS58189504A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US365791 1982-04-05
US06/365,791 US4476430A (en) 1982-04-05 1982-04-05 Non-contact sensor for determining moving flat steel strip shape profile

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58189504A JPS58189504A (ja) 1983-11-05
JPH033883B2 true JPH033883B2 (ja) 1991-01-21

Family

ID=23440376

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58058035A Granted JPS58189504A (ja) 1982-04-05 1983-04-04 長さが不定の動いている帯状導電体との間の容量の変化を測定する非接触型のセンサ装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4476430A (ja)
EP (1) EP0091288A1 (ja)
JP (1) JPS58189504A (ja)
BR (1) BR8301677A (ja)
CA (1) CA1201584A (ja)
IN (1) IN158907B (ja)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4677578A (en) * 1982-04-05 1987-06-30 Armco Inc. Non-contact sensing system for determining the relative elongation in a moving flat steel strip
US4569445A (en) * 1983-10-19 1986-02-11 At&T Technologies, Inc. Apparatus for measuring the thickness of disc-like articles
US5315884A (en) * 1990-01-08 1994-05-31 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Capacitive proximity sensor
US5337015A (en) * 1993-06-14 1994-08-09 International Business Machines Corporation In-situ endpoint detection method and apparatus for chemical-mechanical polishing using low amplitude input voltage
US5386196A (en) * 1993-08-23 1995-01-31 Denmar, Inc. System and method for accurate contactless measurement of the resistivity of a test material
US5432457A (en) * 1994-01-28 1995-07-11 Northrop Grumman Corporation Capacitive disk probe
LU90237B1 (de) * 1998-04-30 1999-11-03 Iee Sarl Kapazitive distanzmessung mit einer nicht idealen messelektrode
WO1999028702A1 (de) * 1997-11-28 1999-06-10 I.E.E. International Electronics & Engineering S.A.R.L. Kapazitive distanzmessung mit einer nicht idealen messelektrode
US6211662B1 (en) 1998-08-07 2001-04-03 The Stanley Works Hand-held hidden object sensor for sensing a location of objects hidden behind a surface of an architectural structure
JP2000180157A (ja) * 1998-12-16 2000-06-30 Super Silicon Kenkyusho:Kk 平坦度測定センサ
US6707540B1 (en) 1999-12-23 2004-03-16 Kla-Tencor Corporation In-situ metalization monitoring using eddy current and optical measurements
US6433541B1 (en) 1999-12-23 2002-08-13 Kla-Tencor Corporation In-situ metalization monitoring using eddy current measurements during the process for removing the film
US7256588B2 (en) * 2004-04-16 2007-08-14 General Electric Company Capacitive sensor and method for non-contacting gap and dielectric medium measurement
CN100398675C (zh) * 2005-07-29 2008-07-02 宝山钢铁股份有限公司 自动识别连续退火炉内带钢跑偏的方法
CN103357672B (zh) * 2012-03-30 2015-10-07 鞍钢股份有限公司 一种带钢边界在线检测方法
CN103736747B (zh) * 2013-12-30 2015-07-15 中冶南方(武汉)自动化有限公司 基于传感接触面元占比的带钢边部板形检测值补偿方法
CN110207583A (zh) * 2019-07-02 2019-09-06 唐山迪安自动化设备有限公司 酸槽内钢带位置测量传感器

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE150937C (ja) *
FR1150424A (fr) * 1956-05-03 1958-01-13 Procédé et appareil pour le contrôle de l'irrégularité de courants de matières textiles ou similaires
US3161824A (en) * 1958-06-23 1964-12-15 Armco Steel Corp Method and apparatus utilizing a magnetic armature and sensing coil for determining flatness
US3042861A (en) * 1958-07-24 1962-07-03 Armco Steel Corp Continuous resistivity gauge
GB1097760A (en) * 1965-04-27 1968-01-03 Ilford Ltd Testing material for irregularities of thickness
US3502968A (en) * 1966-05-04 1970-03-24 United Eng Foundry Co Eddy current inductive flatness measurement device
US3471780A (en) * 1967-02-27 1969-10-07 Gen Electric Moisture and temperature compensating capacitive film thickness gauge
US3706919A (en) * 1970-08-17 1972-12-19 Ade Corp Capacitive gauge
US3781672A (en) * 1971-05-10 1973-12-25 Drexelbrook Controls Continuous condition measuring system
US3764899A (en) * 1972-02-14 1973-10-09 Winzen Research Inc Apparatus for measuring variations in thickness of elongated samples of thin plastic film
US3771051A (en) * 1972-06-14 1973-11-06 Ade Corp Apparatus and method for indicating surface roughness
US4103226A (en) * 1976-09-15 1978-07-25 Westinghouse Electric Corp. Apparatus for gauging the texture of a conducting surface
US4190797A (en) * 1978-03-31 1980-02-26 Gould Inc. Capacitive gauging system utilizing a low internal capacitance, high impedance amplifier means
DD136897B1 (de) * 1978-06-20 1981-03-25 Elektromat Veb Kapazitiver messfuehler
JPS55104705A (en) * 1979-01-29 1980-08-11 Nippon Kokan Kk <Nkk> Measuring method for shape of metal strip
US4287471A (en) * 1979-05-23 1981-09-01 North American Manufacturing Company Strip center line sensor

Also Published As

Publication number Publication date
EP0091288A1 (en) 1983-10-12
CA1201584A (en) 1986-03-11
US4476430A (en) 1984-10-09
IN158907B (ja) 1987-02-14
BR8301677A (pt) 1983-12-13
JPS58189504A (ja) 1983-11-05

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