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JPH0341980B2 - - Google Patents
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JPH0341980B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH0341980B2
JPH0341980B2 JP10727182A JP10727182A JPH0341980B2 JP H0341980 B2 JPH0341980 B2 JP H0341980B2 JP 10727182 A JP10727182 A JP 10727182A JP 10727182 A JP10727182 A JP 10727182A JP H0341980 B2 JPH0341980 B2 JP H0341980B2
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JP
Japan
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cavity
resin
gate
mold
shutter
Prior art date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/26Moulds
    • B29C45/27Sprue channels ; Runner channels or runner nozzles
    • B29C45/2701Details not specific to hot or cold runner channels
    • B29C45/2708Gates

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (1) 発明の技術分野 本発明はモールド金型、詳しくは樹脂封止型半
導体装置を作るモールド金型の下型におけるゲー
ト改良に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (1) Technical Field of the Invention The present invention relates to a mold, and more particularly, to improvement of a gate in a lower die of a mold for producing a resin-sealed semiconductor device.

(2) 技術の背景 樹脂封止型半導体装置(プラスチツクICとも
呼称される)製造は、第1図aに部分的に示され
るリードフレームを用いてなされ、同図におい
て、1はリードフレーム、2はクレードル、3は
パイロツト穴、4はピンチ、5はモールドパツケ
ージを示す。リードフレーム1は同図bに示され
る下型の上に配置され、溶融樹脂が図示しないプ
ランジヤーによつて、ランナー11、ゲート12
を経てキヤビテイ内に流し込まれる。いいかえる
と、ランナー11は樹脂の流れる路、ゲート12
はモールドパツケージ5へのモールド樹脂の流入
口である。
(2) Background of the technology Resin-encapsulated semiconductor devices (also called plastic ICs) are manufactured using a lead frame partially shown in Figure 1a, in which 1 is a lead frame, 2 is 3 indicates a pilot hole, 4 indicates a pinch, and 5 indicates a molded package. The lead frame 1 is placed on the lower mold shown in FIG.
After that, it is poured into the cavity. In other words, the runner 11 is a path through which the resin flows, and the gate 12
is an inlet for mold resin into the mold package 5.

第1図bには樹脂封止用の金型の一部が断面で
示され、13は上型、14は下型、15はキヤビ
テイを示し、このキヤビテイ15内へ樹脂が入つ
てキヤビテイと同じ輪廓のモールドパツケージ5
が形成される。
Fig. 1b shows a cross section of a part of a mold for resin sealing, 13 is an upper mold, 14 is a lower mold, and 15 is a cavity. Rinne no Moldpackage 5
is formed.

従来の金型において、ゲート12は、図示のモ
ールドパツケージ5の長手方向の中心線から外れ
た片側に設けられている。かかる構成にする理由
は、ピンチ4上に樹脂が重なり合つた関係で硬化
すると、ピンチ4を切断する工程で、モールドパ
ツケージ5が部分的に破壊(クラツク)されて切
欠部が作られ、またゲートブレークの時に、モー
ルドパツケージに切欠が食い込んだり、ゲートブ
レークが完全になされないからである。なおゲー
トブレークとは、モールドパツケージからゲート
の形状に突き出る樹脂を除去することをいう。
In conventional molds, the gate 12 is located on one side of the illustrated mold package 5 off the longitudinal centerline. The reason for this configuration is that when the resin is cured in an overlapping relationship on the pinch 4, the mold package 5 is partially destroyed (cracked) and a notch is created in the process of cutting the pinch 4, and the gate is This is because the notch digs into the mold package cage during the break, or the gate break is not completed completely. Note that gate breaking refers to removing the resin that protrudes from the mold package in the shape of a gate.

(3) 従来技術と問題点 従来ゲートの位置が上記の如くモールドパツケ
ージの中心線から片よつているために、樹脂のキ
ヤビテイ内への流れが悪くなり、モールドパツケ
ージ内に樹脂未充填部分、ピンホール(気泡によ
つて形成される)、空隙部(ボイド)等が発生し、
製品不良の原因となる例が経験された。
(3) Prior art and problems Since the conventional gate position is deviated from the center line of the mold package as described above, the flow of resin into the cavity is poor, resulting in unfilled areas of resin and pins inside the mold package. Holes (formed by air bubbles), voids, etc. occur,
Instances have been experienced that have caused product defects.

(4) 発明の目的 本発明は上記従来の問題点に鑑み、樹脂封止型
半導体装置の製造に用いるモールド金型におい
て、樹脂流入口であるゲートを、樹脂の流れを悪
くすることがないように形成し、それによつてモ
ールドパツケージの不良率を減少することを目的
とする。
(4) Purpose of the Invention In view of the above-mentioned conventional problems, the present invention provides a mold for manufacturing a resin-sealed semiconductor device, in which a gate serving as a resin inflow port is designed to prevent the resin from impeding the flow of the resin. The purpose is to reduce the defective rate of molded packages.

(5) 発明の構成 そしてこの目的は本発明によると、モールド金
型の下型において、モールド樹脂の流入口である
ゲートを、その内でモールドパツケージが形成さ
れるキヤビテイの全巾にわたつてキヤビテイとほ
ぼ同じ深さに設け、樹脂注入前には開いており、
樹脂注入完了後は下型の上に配置されたリードフ
レームの下側との間に僅かの空隙を残して閉じる
シヤツターを下型に2段階で可動な如くに取り付
けた構成のモールド金型を提供することによつて
達成される。
(5) Structure of the Invention According to the present invention, in the lower mold of the mold, the gate, which is the inlet for the mold resin, is connected to the cavity over the entire width of the cavity in which the mold package is formed. It is set at approximately the same depth as , and is open before resin injection.
We provide a mold in which a shutter is movably attached to the lower mold in two stages and closes with a small gap left between it and the lower side of the lead frame placed above the lower mold after the resin injection is completed. This is achieved by doing.

(6) 発明の実施例 以下、本発明の実施例を図面によつて詳述す
る。
(6) Examples of the invention Examples of the invention will be described in detail below with reference to the drawings.

本発明の一実施例は、第2図aに平面図で、そ
のbに断面図で示され、これらの図において、リ
ードフレームに関しては第1図と同一の符号を使
用する。
An embodiment of the invention is shown in plan view in FIG. 2a and in cross-section in FIG. 2b, in which the same reference numerals as in FIG.

第2図aを参照すると、21は第1図のランナ
ーと同様のランナーを、22は本発明にかかるゲ
ートを示す。ゲート22は、モールドパツケージ
巾いいかえるとキヤビテイ23の全巾にわたつて
キヤビテイとほぼ同じ深さに設けられる。ゲート
のかかる構成によつて、溶融樹脂はなんら妨害を
受けることなくキヤビテイ23内に流入するか
ら、未充填、ピンホール、ボイド等の発生する率
は著しく減少する。
Referring to FIG. 2a, 21 indicates a runner similar to the runner of FIG. 1, and 22 indicates a gate according to the invention. The gate 22 is provided over the entire width of the cavity 23 (in other words, the width of the mold package) and at approximately the same depth as the cavity. With such a configuration of the gate, the molten resin flows into the cavity 23 without any hindrance, so that the incidence of unfilling, pinholes, voids, etc. is significantly reduced.

ゲートのキヤビテイ23に接する部分にシヤツ
タ24を設ける。第2図bを参照すると、25は
その内をシヤツタ24が矢印の方向に滑動しうる
溝、26は下型、27はエジエクタープレート、
28はエジエクターピンを示し、シヤツタ24
は、エジエクターピン28が取り付けられたエジ
エクタープレート27に取り付けられている。エ
ジエクタープレート27とエジエクターピン28
は従来のモールド金型に組み込まれているもので
あり、エジエクタープレート27が上方に動くと
それにつれてエジエクターピン28がモールドパ
ツケージ5を突き出す如くに構成されている。そ
の構成および操作は公知であるので詳細な説明は
省略する。
A shutter 24 is provided at a portion of the gate in contact with the cavity 23. Referring to FIG. 2b, 25 is a groove in which the shutter 24 can slide in the direction of the arrow, 26 is a lower die, 27 is an ejector plate,
28 indicates an ejector pin, and the shutter 24
is attached to an ejector plate 27 to which an ejector pin 28 is attached. Ejector plate 27 and ejector pin 28
is built into a conventional molding die, and is configured so that as the ejector plate 27 moves upward, the ejector pin 28 protrudes the mold package 5. Since its configuration and operation are well known, detailed explanation will be omitted.

樹脂注入に先立つて、シヤツタ24はその先端
がキヤビテイ23の底面と同一面にある如く配置
される。樹脂注入が終ると直ちにエジエクタープ
レート27が上昇し、シヤツタ24の先端がリー
ドフレームの下面よりも0.1mm程度下にくる位置
で停止する。このようなリードフレームの下面と
シヤツタの先端との間に空隙をおく理由は、モー
ルド樹脂が硬化するまで、キヤビテイ全体に樹脂
封止(トランスフア)圧力を印加するため、すな
わち、ランナー内の樹脂とキヤビテイ内の樹脂を
互いに連絡した(断ち知られていない)状態にお
くためである。かくすることによつて、ランナー
内の樹脂とキヤビテイ内の樹脂とは、図示しない
プランジヤーからの圧力を均等に受けることにな
る。
Prior to resin injection, the shutter 24 is placed so that its tip is flush with the bottom surface of the cavity 23. Immediately after resin injection is completed, the ejector plate 27 rises and stops at a position where the tip of the shutter 24 is approximately 0.1 mm below the bottom surface of the lead frame. The reason why there is a gap between the bottom surface of the lead frame and the tip of the shutter is to apply resin sealing (transfer) pressure to the entire cavity until the mold resin hardens. This is to keep the resin in the cavity and the resin in contact with each other (not disconnected). By doing so, the resin in the runner and the resin in the cavity are equally subjected to pressure from the plunger (not shown).

樹脂が硬化すると、エジエクタープレート27
を更に上昇させ、エジエクターピン28でモール
ドパツケージ5を押し上げる。このとき、シヤツ
タ24は動くことのないよう、エジエクタープレ
ートにはシヤツタのための遊び手段を設ける。エ
ジエクタープレートは上記の如く二段階の上昇運
動をなすものであり、そのためには従来のエジエ
クタープレートを持ち上げる手段である、プレス
のエジエクタロツド動作の変更によつて達成しう
る。なお、上記した0.1mm程度の空隙に入つた樹
脂は、ゲートブレークにおいて、従来見られたモ
ールドパツケージの切欠、ピンチ切断の際のクラ
ツク等の原因にはならないことが確認された。
When the resin hardens, the ejector plate 27
is further raised, and the mold package 5 is pushed up using the ejector pin 28. At this time, play means for the shutter is provided on the ejector plate so that the shutter 24 does not move. The ejector plate has a two-step upward movement as described above, which can be achieved by modifying the ejector rod operation of the press, which is the conventional means for lifting the ejector plate. It has been confirmed that the resin that has entered the above-mentioned gap of about 0.1 mm does not cause the conventional problems such as notches in the mold package or cracks during pinch cutting in gate breaks.

(7) 発明の効果 以上、詳細に説明したように、本発明にかかる
モールド金型においては、ゲートをキヤビテイと
同じ巾と深さに形成することにより、樹脂のキヤ
ビテイ内への流入がならの妨害もなく実現され、
モールドパツケージに未充填、ピンホール、ボン
ド等が発生することが防止され、不良品の発生率
を激減し、かつ、従来のゲートブレークに伴うモ
ールドパツケージの損傷が防止されるので、プラ
ツチツクICの製造歩留りの向上に効果大である。
(7) Effects of the Invention As explained above in detail, in the mold according to the present invention, by forming the gate to have the same width and depth as the cavity, the resin can smoothly flow into the cavity. realized without any hindrance,
It prevents unfilling, pinholes, bonds, etc. from occurring in the mold package, dramatically reduces the incidence of defective products, and prevents damage to the mold package caused by conventional gate breaks, making it easier to manufacture plastic ICs. This is highly effective in improving yield.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図aとbは従来のモールド金型のキヤビテ
イ部分の平面図と断面図、第2図aとbは本発明
にかかるモールド金型のキヤビテイ部分の平面図
と断面図である。 1……リードフレーム、5……モールドパツケ
ージ、21……ランナー、22……ゲート、23
……キヤビテイ、24……シヤツタ、25……
溝、26……下型、27……エジエクタープレー
ト、28……エジエクターピン。
1A and 1B are a plan view and a sectional view of a cavity portion of a conventional mold, and FIGS. 2A and 2B are a plan view and a sectional view of a cavity portion of a mold according to the present invention. 1...Lead frame, 5...Mold package, 21...Runner, 22...Gate, 23
... Cavity, 24... Shyatsuta, 25...
Groove, 26... lower die, 27... ejector plate, 28... ejector pin.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 樹脂封止型半導体装置のモールドパツケージ
が成形されるキヤビテイ、キヤビテイへ樹脂を流
すランナー、当該ランナーとキヤビテイとの間に
設けられたキヤビテイへの樹脂流入口となるゲー
トとを備えた下型を備えたモールド金型におい
て、前記ゲートはキヤビテイの全巾にわたつて同
じ巾に、かつ、キヤビテイと同じ深さに形成さ
れ、該ゲートのキヤビテイに接する部分はシヤツ
タを設け、このシヤツタは樹脂注入前には開かれ
ており、樹脂注入の後においては、下型の上に配
置されたリードフレームとの間に空隙を残して閉
じられる構成としたことを特徴とするモールド金
型。
1. A lower mold equipped with a cavity in which a mold package of a resin-sealed semiconductor device is molded, a runner for flowing resin into the cavity, and a gate provided between the runner and the cavity and serving as an inlet for resin into the cavity. In the molding die, the gate is formed to have the same width over the entire width of the cavity and the same depth as the cavity, and a shutter is provided at a portion of the gate in contact with the cavity, and this shutter is used before resin injection. 1. A molding die having a structure in which the molding die is opened, and after resin injection, the molding die is closed leaving a gap between the lead frame and the lead frame disposed on the lower die.
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