JPH0341996B2 - - Google Patents
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- JPH0341996B2 JPH0341996B2 JP62062445A JP6244587A JPH0341996B2 JP H0341996 B2 JPH0341996 B2 JP H0341996B2 JP 62062445 A JP62062445 A JP 62062445A JP 6244587 A JP6244587 A JP 6244587A JP H0341996 B2 JPH0341996 B2 JP H0341996B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- medium gas
- medium
- gas
- laser
- pressure sensor
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば精密加工等に用いられるレー
ザ発振器の配管系の異常を検出する装置に関す
る。
ザ発振器の配管系の異常を検出する装置に関す
る。
一般にレーザ発振器におけるレーザ放電管の作
動に際し、レーザ放電管内に媒質ガス、例えば炭
酸ガス、窒素ガス、およびヘリウムガスの混合物
を充填しようとする場合、レーザ放電管および該
レーザ放電管に連結される配管系内に残留してい
る使用ずみの劣化した媒質ガスを引き抜いた上
で、新しい媒質ガスを充填する必要があるが、配
管系に外気侵入、リーク等の異常が存在すると該
残留媒質ガスの引き抜きに時間を要し、または該
引き抜き操作の終止時点の判断に困難をともない
実用上不便であるという問題点がある。
動に際し、レーザ放電管内に媒質ガス、例えば炭
酸ガス、窒素ガス、およびヘリウムガスの混合物
を充填しようとする場合、レーザ放電管および該
レーザ放電管に連結される配管系内に残留してい
る使用ずみの劣化した媒質ガスを引き抜いた上
で、新しい媒質ガスを充填する必要があるが、配
管系に外気侵入、リーク等の異常が存在すると該
残留媒質ガスの引き抜きに時間を要し、または該
引き抜き操作の終止時点の判断に困難をともない
実用上不便であるという問題点がある。
前述の操作を行うためには、そのための構造設
備および該構造設備を所要の手順により作動させ
る配置を用意することになり、そのための簡単
な、しかも信頼性のある構成が要望されている
が、従来必ずしも適切なものは得られていない。
本発明は、この点に対応するための改良されたレ
ーザ発振器配管系の異常検出装置を提供すること
を目的とする。
備および該構造設備を所要の手順により作動させ
る配置を用意することになり、そのための簡単
な、しかも信頼性のある構成が要望されている
が、従来必ずしも適切なものは得られていない。
本発明は、この点に対応するための改良されたレ
ーザ発振器配管系の異常検出装置を提供すること
を目的とする。
本発明においては、充填された媒質ガス内のレ
ーザ発振が発生させられるレーザ放電管、 該レーザ放電管に連結され媒質ガスの循環が行
われる媒質ガス循環管路、 該媒質循環管路内に設けられた媒質ガス循環用
ポンプ、 該媒質ガス循環管路へ媒質ガスを供給する媒質
ガス供給管路、 該媒質ガス供給管路内に設けられた開閉弁、 該媒質ガス供給管路内に連結された圧力セン
サ、 該レーザ放電管および媒質ガス循環管路におけ
る媒質ガスを排出するための、排出管路内に設け
られた、駆動装置により駆動される媒質ガス排出
用ポンプ、および、 該配管系の動作を制御するための制御装置であ
つて、該圧力センサからの信号を受け、該排出用
ポンプ駆動装置へ供給される信号および表示装置
へ供給される信号を発生されるもの、を具備し、 該媒質管路内の開閉弁を閉路し該排出用ポンプ
を駆動開始した後、該圧力センサ動作信号が所定
の時間内に発生するか否かの判定にもとづき、該
配管系における異常の有無が検出表示されるよう
になつていることを特徴とするレーザ発振器配管
系の異常検出装置、が提供される。
ーザ発振が発生させられるレーザ放電管、 該レーザ放電管に連結され媒質ガスの循環が行
われる媒質ガス循環管路、 該媒質循環管路内に設けられた媒質ガス循環用
ポンプ、 該媒質ガス循環管路へ媒質ガスを供給する媒質
ガス供給管路、 該媒質ガス供給管路内に設けられた開閉弁、 該媒質ガス供給管路内に連結された圧力セン
サ、 該レーザ放電管および媒質ガス循環管路におけ
る媒質ガスを排出するための、排出管路内に設け
られた、駆動装置により駆動される媒質ガス排出
用ポンプ、および、 該配管系の動作を制御するための制御装置であ
つて、該圧力センサからの信号を受け、該排出用
ポンプ駆動装置へ供給される信号および表示装置
へ供給される信号を発生されるもの、を具備し、 該媒質管路内の開閉弁を閉路し該排出用ポンプ
を駆動開始した後、該圧力センサ動作信号が所定
の時間内に発生するか否かの判定にもとづき、該
配管系における異常の有無が検出表示されるよう
になつていることを特徴とするレーザ発振器配管
系の異常検出装置、が提供される。
本発明の一実施例としてのレーザ発振器配管系
の異常検出装置が第１図に示される。
の異常検出装置が第１図に示される。
第１図装置においてレーザ発振器１はレーザ放
電管１１、全反射鏡１２、出力結合鏡１３、一方
の電極１４１および１４２、および他方の電極１
４３および１４４、を具備する。一方の電極１４
１および１４２は電源装置１５の出力端子の一方
に接続され、他方の電極１４３および１４４は電
源装置１５の出力端子の他方に接続される。
電管１１、全反射鏡１２、出力結合鏡１３、一方
の電極１４１および１４２、および他方の電極１
４３および１４４、を具備する。一方の電極１４
１および１４２は電源装置１５の出力端子の一方
に接続され、他方の電極１４３および１４４は電
源装置１５の出力端子の他方に接続される。
レーザ放電管11に対してガス配管が結合される
が、ガス配管はガス循環路２１１，２１２，２１
３および２１４、ガス供給路２１７および２１
８、ガス排出路２１５、およびガス循環部排出路
２１６を有する。ガス循環路内には例えばルーツ
型の循環用ポンプ２３、および冷却器２２１およ
び２２２が設けられる。ガス循環用ポンプ２３の
動作によるレーザ放電管１１から管路２１３を通
りひき出されたガスは冷却器２２１、循環用ポン
プ２３、管路２１４、および冷却器２２２を通つ
た上、管路２１１および２１２に分流してレーザ
放電管へ復帰する。
が、ガス配管はガス循環路２１１，２１２，２１
３および２１４、ガス供給路２１７および２１
８、ガス排出路２１５、およびガス循環部排出路
２１６を有する。ガス循環路内には例えばルーツ
型の循環用ポンプ２３、および冷却器２２１およ
び２２２が設けられる。ガス循環用ポンプ２３の
動作によるレーザ放電管１１から管路２１３を通
りひき出されたガスは冷却器２２１、循環用ポン
プ２３、管路２１４、および冷却器２２２を通つ
た上、管路２１１および２１２に分流してレーザ
放電管へ復帰する。
ガス供給源２７に貯蔵されているガス例えば炭
酸ガス、窒素ガス、およびヘリウムガスの混合物
は開閉弁２６が開路されると、管路２１７および
２１８を通りレーザ放電管へ供給される。
酸ガス、窒素ガス、およびヘリウムガスの混合物
は開閉弁２６が開路されると、管路２１７および
２１８を通りレーザ放電管へ供給される。
レーザ放電管１１およびガス循環路２１１，２
１２，２１３，２１４におけるガスは、ガス排出
用ポンプ２４の動作により、管路２１５を通つて
排出される。排出ポンプ２４は電動機駆動部４に
より駆動される。
１２，２１３，２１４におけるガスは、ガス排出
用ポンプ２４の動作により、管路２１５を通つて
排出される。排出ポンプ２４は電動機駆動部４に
より駆動される。
ガス供給管路２１８には圧力センサ３が取付け
られている。ガス循環路２１１にはニードル弁形
式の制御弁２５を有するガス循環部放出路２１６
が設けられる。
られている。ガス循環路２１１にはニードル弁形
式の制御弁２５を有するガス循環部放出路２１６
が設けられる。
このレーザ発振器配管系を制御するために制御
装置７が設けられる。制御装置７はCPU７１、
クロツク部７１１、バス７２、ROM７３、
RAM７４、ラツチ部７５、キイボード信号受理
部７６、表示制御部７７、および圧力センサ信号
受理部７８を具備する。ラツチ部７５の出力信号
は排出ポンプ駆動部４に供給される。キイボード
５からの信号はキイボード信号受理部に供給され
る。表示制御部７７からの信号は陰極線管などの
表示部６に供給される。圧力センサ３の出力信号
は圧力センサ信号受理部７８に供給される。
装置７が設けられる。制御装置７はCPU７１、
クロツク部７１１、バス７２、ROM７３、
RAM７４、ラツチ部７５、キイボード信号受理
部７６、表示制御部７７、および圧力センサ信号
受理部７８を具備する。ラツチ部７５の出力信号
は排出ポンプ駆動部４に供給される。キイボード
５からの信号はキイボード信号受理部に供給され
る。表示制御部７７からの信号は陰極線管などの
表示部６に供給される。圧力センサ３の出力信号
は圧力センサ信号受理部７８に供給される。
第１図装置においてレーザ放電管１１の作動に
際し、レーザ放電管内に媒質ガス、例えば炭酸ガ
ス、窒素ガス、およびヘリウムガスの混合物を充
填しようとする場合、ガス供給路における開閉弁
２６を閉路し、排出ポンプ２４を駆動開始する。
それにより、レーザ放電管１１および配管系内に
残留していた使用ずみの劣化した媒質ガスが漸次
装置外へ排出される。配管系のガス圧力が漸次低
下する過程において、制御装置７により該経過時
間の所定値例えば15秒に対応するガス圧力値の監
視を行い、該経過時間所定値に到達したとき配管
系ガス圧力値が所定圧力値例えば2Torr以下にな
つていれば異常なしと判断して排出ポンプ２４の
停止およびそれにひきつづく正常手順の作動が行
われるが、該所定圧力値にならなければ配管系に
外気侵入、リーク等の異常が存在すると判断して
表示部６において警報表示を行う。
際し、レーザ放電管内に媒質ガス、例えば炭酸ガ
ス、窒素ガス、およびヘリウムガスの混合物を充
填しようとする場合、ガス供給路における開閉弁
２６を閉路し、排出ポンプ２４を駆動開始する。
それにより、レーザ放電管１１および配管系内に
残留していた使用ずみの劣化した媒質ガスが漸次
装置外へ排出される。配管系のガス圧力が漸次低
下する過程において、制御装置７により該経過時
間の所定値例えば15秒に対応するガス圧力値の監
視を行い、該経過時間所定値に到達したとき配管
系ガス圧力値が所定圧力値例えば2Torr以下にな
つていれば異常なしと判断して排出ポンプ２４の
停止およびそれにひきつづく正常手順の作動が行
われるが、該所定圧力値にならなければ配管系に
外気侵入、リーク等の異常が存在すると判断して
表示部６において警報表示を行う。
第１図に示されるレーザ発振器配管系の異常検
出装置の動作の一例が第２図の流れ図により説明
される。
出装置の動作の一例が第２図の流れ図により説明
される。
ステツプS0において電源オンとなると、ステ
ツプS1において排出ポンプ２４が起動し、ステ
ツプS2において制御装置７におけるタイマ機能
が起動し、ステツプS3において圧力センサ出力
信号オンか否かが判定される。判定結果がイエス
であれば、それは配管系に異常がないことをあら
わしており、ステツプS5において排出ポンプ２
４を停止し、ステツプS6において開閉弁２６を
開路し、ステツプS7において制御弁２５が作動
し、ステツプS8において循環用ポンプ２３が起
動する。
ツプS1において排出ポンプ２４が起動し、ステ
ツプS2において制御装置７におけるタイマ機能
が起動し、ステツプS3において圧力センサ出力
信号オンか否かが判定される。判定結果がイエス
であれば、それは配管系に異常がないことをあら
わしており、ステツプS5において排出ポンプ２
４を停止し、ステツプS6において開閉弁２６を
開路し、ステツプS7において制御弁２５が作動
し、ステツプS8において循環用ポンプ２３が起
動する。
ステツプS3の判定結果がノウであれば、ステ
ツプS4において時限完了したか否かが判定され
る。判定結果がノウであればステツプS3を反復
する。ステツプS4の判定結果がイエスであれば、
それは配管系に外気侵入、リーク等の異常が存在
することをあらわしており、ステツプS9におい
て表示部６における警報表示が行われる。次いで
ステツプS10において電源オフし、装置点検等の
段階へ進む。
ツプS4において時限完了したか否かが判定され
る。判定結果がノウであればステツプS3を反復
する。ステツプS4の判定結果がイエスであれば、
それは配管系に外気侵入、リーク等の異常が存在
することをあらわしており、ステツプS9におい
て表示部６における警報表示が行われる。次いで
ステツプS10において電源オフし、装置点検等の
段階へ進む。
なお前述の実施例においてはレーザ放電管は単
一個として説明されたが、それに限らず、レーザ
放電管を並列的に複数個に用いるものとすること
ができる。
一個として説明されたが、それに限らず、レーザ
放電管を並列的に複数個に用いるものとすること
ができる。
本発明によれば、媒質ガス供給路における開閉
弁の閉路、ガス排出ポンプの駆動開始後、圧力セ
ンサの動作信号が所定時間内に発生するか否かの
判定にもとづき、レーザ発振器配管系における異
常の有無が検出表示され、比較的簡単な構成によ
り配管系における異常の有無の検出表示を適切に
行うことができる。
弁の閉路、ガス排出ポンプの駆動開始後、圧力セ
ンサの動作信号が所定時間内に発生するか否かの
判定にもとづき、レーザ発振器配管系における異
常の有無が検出表示され、比較的簡単な構成によ
り配管系における異常の有無の検出表示を適切に
行うことができる。
第１図は本発明の一実施例としてのレーザ発振
器配管系の異常検出装置の構成を示す図、第２図
は第１図装置の動作の一例を示す流れ図である。 １……レーザ発振器、１１……レーザ放電管、
１２……全反射鏡、１３……出力結合鏡、１４
１，１４２，１４３，１４４……電極、１５……
電源装置、２１１，２１２，２１３，２１４……
ガス循環路、２１５……ガス排出路、２１７，２
１８……ガス供給路、２１６……ガス循環部放出
路、２２１，２２２……冷却器、２３……ガス循
環用ポンプ、２４……ガス排出ポンプ、２５……
制御弁、２６……開閉弁、２７……ガス供給源、
３……圧力センサ、４……駆動部、５……キイボ
ード、６……表示部、７……制御装置、７１……
CPU、７１１……クロツク部、７２……バス、
７３……ROM、７４……RAM、７５……ラツ
チ部、７６……キイボード信号受理部、７７……
表示制御部、７８……圧力センサ信号受理部。
器配管系の異常検出装置の構成を示す図、第２図
は第１図装置の動作の一例を示す流れ図である。 １……レーザ発振器、１１……レーザ放電管、
１２……全反射鏡、１３……出力結合鏡、１４
１，１４２，１４３，１４４……電極、１５……
電源装置、２１１，２１２，２１３，２１４……
ガス循環路、２１５……ガス排出路、２１７，２
１８……ガス供給路、２１６……ガス循環部放出
路、２２１，２２２……冷却器、２３……ガス循
環用ポンプ、２４……ガス排出ポンプ、２５……
制御弁、２６……開閉弁、２７……ガス供給源、
３……圧力センサ、４……駆動部、５……キイボ
ード、６……表示部、７……制御装置、７１……
CPU、７１１……クロツク部、７２……バス、
７３……ROM、７４……RAM、７５……ラツ
チ部、７６……キイボード信号受理部、７７……
表示制御部、７８……圧力センサ信号受理部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 充填された媒質ガス内にレーザ発振が発生さ
せられるレーザ放電管、 該レーザ放電管に連結され媒質ガスの循環が行
われる媒質ガス循環管路、 該媒質循環管路内に設けられた媒質ガス循環用
ポンプ、 該媒質ガス循環管路へ媒質ガスを供給する媒質
ガス供給管路、 該媒質ガス供給管路内に設けられた開閉弁、 該媒質ガス供給管路に連結された圧力センサ、 該レーザ放電管および媒質ガス循環管路におけ
る媒質ガスを排出するための、排出管路内に設け
られた、駆動装置により駆動される媒質ガス排出
用ポンプ、および、 該配管系の動作を制御するための制御装置であ
つて、該圧力センサからの信号を受け、該排出用
ポンプ駆動装置へ供給される信号および表示装置
へ供給される信号を発生させるもの、を具備し、 該媒質管路内の開閉弁を閉路し該排出用ポンプ
を駆動開始した後、該圧力センサ動作信号が所定
の時間内に発生するか否かの判定にもとづき、該
配管系における異常の有無が検出表示されるよう
になつていることを特徴とするレーザ発振器配管
系の異常検出装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62062445A JPS63229793A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | レ−ザ発振器配管系の異常検出装置 |
| PCT/JP1988/000171 WO1988007275A1 (fr) | 1987-03-19 | 1988-02-19 | Detecteur d'anomalies dans le systeme de conduits d'un oscillateur laser |
| DE8888901920T DE3873871T2 (de) | 1987-03-19 | 1988-02-19 | Anomalie-detektor in einem laseroszillator-leitungssystem. |
| EP88901920A EP0310670B1 (en) | 1987-03-19 | 1988-02-19 | Abnormal condition detector in a laser oscillator conduit system |
| US07/295,950 US4935937A (en) | 1987-03-19 | 1988-03-19 | Abnormality detection device for laser oscillator piping system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62062445A JPS63229793A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | レ−ザ発振器配管系の異常検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63229793A JPS63229793A (ja) | 1988-09-26 |
| JPH0341996B2 true JPH0341996B2 (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=13200414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62062445A Granted JPS63229793A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | レ−ザ発振器配管系の異常検出装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4935937A (ja) |
| EP (1) | EP0310670B1 (ja) |
| JP (1) | JPS63229793A (ja) |
| DE (1) | DE3873871T2 (ja) |
| WO (1) | WO1988007275A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0810775B2 (ja) * | 1988-08-03 | 1996-01-31 | ファナック株式会社 | Ｎｃレーザ装置 |
| US5383217A (en) * | 1989-05-09 | 1995-01-17 | Nikon Corporation | Exposure apparatus with laser source requiring new gas introduction |
| JPH081972B2 (ja) * | 1991-07-29 | 1996-01-10 | 株式会社東芝 | ガスレーザ発振器 |
| JPH09503008A (ja) | 1993-09-17 | 1997-03-25 | エクソン・ケミカル・パテンツ・インク | 重合触媒系、それらの製造及び使用 |
| JP3985416B2 (ja) * | 2000-03-02 | 2007-10-03 | 松下電器産業株式会社 | ガスレーザ発振装置 |
| US20050070673A1 (en) * | 2001-10-01 | 2005-03-31 | Novak Leo R. | Thermoformable propylene polymer compositions |
| JP3952057B2 (ja) * | 2004-10-07 | 2007-08-01 | 松下電器産業株式会社 | ガスレーザ発振装置 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4283686A (en) * | 1979-03-21 | 1981-08-11 | Avco Everett Research Laboratory, Inc. | Laser operation with closed gas and tuned duct pulsing |
| JPS55145068U (ja) * | 1979-04-06 | 1980-10-17 | ||
| JPS5937253B2 (ja) * | 1979-04-23 | 1984-09-08 | 新明和工業株式会社 | ダンプカ− |
| JPS55160483A (en) * | 1979-05-31 | 1980-12-13 | Nippon Sekigaisen Kogyo Kk | Laser device |
| JPS57104287A (en) * | 1980-12-22 | 1982-06-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Laser output controlling device |
| JPS57146356A (en) * | 1981-03-04 | 1982-09-09 | Fujitsu Ltd | Data transfer controller |
| JPS57146356U (ja) * | 1981-03-06 | 1982-09-14 | ||
| JPS6041276A (ja) * | 1983-08-17 | 1985-03-04 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ媒質ガス交換装置 |
| JPS6052081A (ja) * | 1983-09-01 | 1985-03-23 | Mitsubishi Electric Corp | 炭酸ガスレ−ザ発振器のガス交換装置 |
| JPS6185883A (ja) * | 1984-10-04 | 1986-05-01 | Mitsubishi Electric Corp | ガス循環型レ−ザ発振装置 |
| FR2591816B1 (fr) * | 1985-12-16 | 1990-10-05 | Asulab Sa | Laser a gaz equipe de vannes a trois fonctions |
| JPS62282478A (ja) * | 1986-05-31 | 1987-12-08 | Toshiba Corp | ガスレ−ザ発振装置 |
| DE3768410D1 (de) * | 1986-09-30 | 1991-04-11 | Siemens Ag | Einrichtung zur herstellung eines gasgemisches. |
| US4794613A (en) * | 1987-07-27 | 1988-12-27 | Prc Corporation | Laser fluid flow control apparatus and method |
| DE4211454C2 (de) * | 1992-04-06 | 1995-11-02 | Degussa | Verfahren zum Verlängern der Topfzeit bei der Härtung von Epoxidharzen mit Isophorondiamin-Isomerengemischen |
| JPH0652081A (ja) * | 1992-07-28 | 1994-02-25 | Fujitsu Ltd | パケット通信におけるローカルメモリ型ｄｍａ制御方式 |
-
1987
- 1987-03-19 JP JP62062445A patent/JPS63229793A/ja active Granted
-
1988
- 1988-02-19 EP EP88901920A patent/EP0310670B1/en not_active Expired
- 1988-02-19 DE DE8888901920T patent/DE3873871T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-02-19 WO PCT/JP1988/000171 patent/WO1988007275A1/ja not_active Ceased
- 1988-03-19 US US07/295,950 patent/US4935937A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3873871D1 (de) | 1992-09-24 |
| US4935937A (en) | 1990-06-19 |
| DE3873871T2 (de) | 1993-04-01 |
| WO1988007275A1 (fr) | 1988-09-22 |
| EP0310670A1 (en) | 1989-04-12 |
| JPS63229793A (ja) | 1988-09-26 |
| EP0310670B1 (en) | 1992-08-19 |
| EP0310670A4 (en) | 1989-08-09 |
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