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JPH0371691B2 - - Google Patents
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JPH0371691B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH0371691B2
JPH0371691B2 JP58076509A JP7650983A JPH0371691B2 JP H0371691 B2 JPH0371691 B2 JP H0371691B2 JP 58076509 A JP58076509 A JP 58076509A JP 7650983 A JP7650983 A JP 7650983A JP H0371691 B2 JPH0371691 B2 JP H0371691B2
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JP
Japan
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conversion element
light beam
hologram
wavefront conversion
scanning
Prior art date
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JP58076509A
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Japanese (ja)
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JPS59201017A (en
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Fumio Yamagishi
Shinya Hasegawa
Hiroyuki Ikeda
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/106Scanning systems having diffraction gratings as scanning elements, e.g. holographic scanners
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
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    • G02B27/0031Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes

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  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (a) 発明の技術分野 本発明は光ビーム走査装置に係り、とくにホロ
グラムによる回折効果を用いる光ビーム走査装置
に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Technical Field of the Invention The present invention relates to a light beam scanning device, and more particularly to a light beam scanning device that uses the diffraction effect of a hologram.

(b) 技術の背景 近年、POS(Point−of−sale)システムにおけ
るバーコード読取装置、あるいはレーザプリンタ
等においてホログラムによる回折効果を利用した
光ビーム走査方式が用いられている。
(b) Background of the Technology In recent years, a light beam scanning method that utilizes the diffraction effect of a hologram has been used in barcode reading devices in POS (Point-of-sale) systems, laser printers, and the like.

この方式によれば、従来の回転ミラーを用いる
光ビーム走査方式に比して高速の走査が可能であ
り、また広い走査幅を得るための光学系の構成が
比較的小型かつ簡単になる等の利点を得ることが
できる。
This method allows for faster scanning than the conventional light beam scanning method using a rotating mirror, and the optical system configuration to obtain a wide scanning width is relatively small and simple. benefits can be obtained.

上記のようなホログラムを利用した光ビーム走
査方式を用いる装置においては、例えばレーザプ
リンタ等に見られるように、一般に走査面におけ
る光ビームに高い解像度が要求され、走査光ビー
ム径を可及的に小さくすることが必要とされるの
であるが、広い走査幅を得るために該走査面とホ
ログラムデイスクとの間の距離を大きくすると解
像度が低下する傾向がある。
In devices that use a light beam scanning method using a hologram as described above, as seen in laser printers, etc., the light beam in the scanning plane generally requires high resolution, and it is necessary to minimize the scanning light beam diameter as much as possible. However, increasing the distance between the scanning plane and the hologram disk to obtain a wide scanning width tends to reduce resolution.

(c) 従来技術と問題点 本発明者等は、ホログラムの作成時に感光面に
入射する平面波を垂直方向からずらすことによつ
て上記解像度の低下を改善可能なことを見出した
(特開昭53−75950)。さらに本発明らは、走査面
上における光ビーム結像点を点光源とする発散波
を走査用ホログラムに逆方向に照射して得られる
回折波と、別の波面との干渉によつて形成された
ホログラムを波面変換素子として用い、光ビーム
を該波面変換素子を介して走査用ホログラムに対
して入射させることによつて非点収差を低減する
方法を提案した(特願昭57−54448)。
(c) Prior Art and Problems The present inventors have discovered that the above-mentioned decrease in resolution can be improved by shifting the plane wave incident on the photosensitive surface from the vertical direction when creating a hologram (Japanese Patent Laid-Open No. 53 −75950). Furthermore, the present invention has disclosed that a diffraction wave obtained by irradiating a scanning hologram in the opposite direction with a diverging wave using a light beam imaging point on a scanning surface as a point light source is formed by interference with another wave surface. proposed a method for reducing astigmatism by using a hologram as a wavefront conversion element and making a light beam incident on the scanning hologram through the wavefront conversion element (Japanese Patent Application No. 54448/1983).

一方、光源として半導体レーザを用いた場合、
該半導体レーザ素子の温度変化によつて出力光の
波長が変動し、その結果、走査面上での光ビーム
位置が変動し、走査精度が低下する点が問題とさ
れ、その解決方法として、ホログラムデイスクに
よる光ビーム回折方向と逆傾向の方向に光ビーム
を回折する機能を付されたホログラム板を該レー
ザ光源と該ホログラムデイスクの間に定置する方
法が提案されている(特公昭56−70517)。
On the other hand, when using a semiconductor laser as a light source,
The wavelength of the output light fluctuates due to temperature changes in the semiconductor laser element, and as a result, the position of the light beam on the scanning plane fluctuates, reducing scanning accuracy. A method has been proposed in which a hologram plate having a function of diffracting a light beam in a direction opposite to the direction of light beam diffraction by the disk is placed between the laser light source and the hologram disk (Japanese Patent Publication No. 56-70517). .

上記従来の方法においては、前記波面変換素子
の作成およびこれを用いた走査において特別な光
学系を用意する必要があること、あるいは前記ホ
ログラム板に対して光ビームを垂直に入射させる
ように走査装置を構成する必要があること等のた
めに、装置がコスト高になり、また、使用条件に
対する制約を生じる等、実用化上障害となる欠点
を有していた。
In the above conventional method, it is necessary to prepare a special optical system for creating the wavefront conversion element and scanning using the same, or a scanning device is required to make the light beam perpendicularly incident on the hologram plate. Because of the necessity of constructing a system, the cost of the device is high, and it also has drawbacks such as restrictions on usage conditions, which are obstacles to practical use.

(d) 発明の目的 本発明は上記従来の方法における問題点を解決
し、かつ走査面における収差の発生および半導体
レーザ光源の波長変動に基づく走査位置変動の双
方が防止された光ビーム走査装置を提供可能とす
ることを目的とする。
(d) Object of the Invention The present invention solves the problems in the conventional methods described above, and provides a light beam scanning device in which both the occurrence of aberration on the scanning plane and the variation in scanning position due to wavelength variation of a semiconductor laser light source are prevented. The purpose is to make it possible to provide.

(e) 発明の構成 本発明は、ホログラムフアセツトから構成され
るホログラムデイスクを用いる光ビーム走査装置
において、該ホログラムフアセツトと同一のホロ
グラムが形成された波面変換素子を光源と該ホロ
グラムデイスクとの間に固定して設け、該波面変
換素子を介して該ホログラムデイスクに走査用光
ビームを入射させることを主たる特徴とし、この
場合、ホログラムデイスクと該波面変換素子とを
平行かつ近接させ、かつまた該波面変換素子に対
する入射ビームを該ホログラムデイスクからの出
射ビームの方向から微少角ずらして入射させるこ
とによつて、あるいは該波面変換素子に対する入
射ビームをホログラムデイスクからの出射ビーム
の照射点近傍に集束するビームとするか、あるい
はまたホログラムデイスクと該波面変換素子との
間にその透過率が入射角に対して依存性を有する
フイルタを設けることによつて、透過光(0次回
折光)を分離可能とすることを特徴とする。
(e) Structure of the Invention The present invention provides a light beam scanning device using a hologram disk composed of hologram facets, in which a wavefront conversion element on which a hologram identical to the hologram facet is formed is connected between a light source and the hologram disk. The main feature is that the scanning light beam is incident on the hologram disk through the wavefront conversion element, and in this case, the hologram disk and the wavefront conversion element are parallel and close to each other, and By making the incident beam to the wavefront conversion element incident at a slight angle shift from the direction of the output beam from the hologram disk, or by focusing the incident beam to the wavefront conversion element near the irradiation point of the output beam from the hologram disk. The transmitted light (0th-order diffracted light) can be separated by creating a beam of It is characterized by:

(f) 発明の実施例 以下に本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
(f) Embodiments of the invention Examples of the invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は本発明に係る光ビーム走査装置の概要
構成を示す図であつて、例えば半導体レーザ等の
光源(図示省略)から出射され、レンズ(図示省
略)によつて集束された光ビーム1が軸X−Xを
中心として矢印方向に回転するホログラムデイス
ク2に入射し、ここで走査面3、例えばレーザプ
リンタにおける静電記録用ドラム方向に回折さ
れ、符号31で示したように走査線上を移動す
る。一般に光ビーム走査装置においては、走査面
上で光ビームを高速度で反復走査する必要から、
該ホログラムデイスク2は符号21で示したよう
なフアセツトと称される部分から構成されてお
り、ホログラムデイスク2の回転にともなつて光
ビーム1の照射位置を該フアセツト21が通過す
るごとに1走査が行われる。なお、レーザプリン
タにおけるように、光ビームが走査面3上で同一
方向の直線上を反復走査される場合には、ホログ
ラムデイスク2上に同一のフアセツト21が配置
されることになる。
FIG. 1 is a diagram showing a general configuration of a light beam scanning device according to the present invention, in which a light beam 1 is emitted from a light source (not shown) such as a semiconductor laser and is focused by a lens (not shown). is incident on the hologram disk 2 which rotates in the direction of the arrow around the axis X-X, and is diffracted here toward the scanning surface 3, for example, an electrostatic recording drum in a laser printer, and as shown by reference numeral 31, it is diffracted on the scanning line. Moving. Generally, in light beam scanning devices, it is necessary to repeatedly scan the light beam on the scanning surface at high speed.
The hologram disk 2 is composed of a portion called a facet as shown by the reference numeral 21, and as the hologram disk 2 rotates, one scan is performed each time the facet 21 passes through the irradiation position of the light beam 1. will be held. Incidentally, when the light beam is repeatedly scanned in a straight line in the same direction on the scanning surface 3 as in a laser printer, the same facet 21 will be arranged on the hologram disk 2.

本発明の光ビーム走査装置においては、ホログ
ラムデイスク2に平行かつ近接して波面変換素子
4が設けられている。該波面変換素子4は前記フ
アセツト21と同一のホログラムが形成されてお
り、光ビーム1の光路上に固定されている。第2
図は波面変換素子4近傍を中心とした断面におけ
る光ビーム1の光路を示した図であつて、入射光
ビーム1は波面変換素子4で回折され、回折光1
1となる。該回折光11はホログラムデイスク2
上のフアセツト21に入射してさらに回折され、
回折光12となる。このように波面変換素子4が
存在することによつて、走査面上における光ビー
ムの非点収差および該光ビームの波長変動に基づ
く走査位置の変動が防止されるのである。以下に
その原理を詳細に説明する。
In the optical beam scanning device of the present invention, a wavefront conversion element 4 is provided parallel to and adjacent to the hologram disk 2. The wavefront conversion element 4 has the same hologram as the facet 21 formed thereon, and is fixed on the optical path of the light beam 1. Second
The figure shows the optical path of the light beam 1 in a cross section centered near the wavefront conversion element 4. The incident light beam 1 is diffracted by the wavefront conversion element 4, and the diffracted light 1
It becomes 1. The diffracted light 11 is transmitted to the hologram disk 2
It enters the upper facet 21 and is further diffracted,
This becomes diffracted light 12. The presence of the wavefront conversion element 4 prevents astigmatism of the light beam on the scanning surface and fluctuations in the scanning position due to wavelength fluctuations of the light beam. The principle will be explained in detail below.

第3図に示すように、一般に球面波Sをホログ
ラムデイスク2のフアセツト21に入射させる
と、走査面3上における投射ビームRには収差
DSを生じる。これを避けるためには、第4図に
示すような、その回折光が走査面上の一点Pに集
束するような波面Qをフアセツト21に入射すれ
ばよい。このような波面Qを得るには、フアセツ
ト21に対して出射光波面Rと共役な波面Rcを
入射すると、前記波面Qと共役な波面Qcが得ら
れることを利用すればよい。すなわち前記波面変
換素子4としてフアセツト21と同一のホログラ
ムを該フアセツト21の前に近接して配置し、こ
れに対して前記波面Rcの光束を入射すると、フ
アセツト21に対して前記波面Qcが入射され、
該波面Qcを波面Qに等しいと見なすと、収差の
ない波面Rが出射されるのである。なお、波面
Rcとしては通常のレンズ等により得られる集束
光を用いればよい。
As shown in FIG. 3, when a spherical wave S is generally incident on the facet 21 of the hologram disk 2, the projection beam R on the scanning surface 3 has aberrations.
Causes DS. In order to avoid this, a wavefront Q such that the diffracted light is focused on one point P on the scanning plane may be made incident on the facet 21 as shown in FIG. In order to obtain such a wavefront Q, it is sufficient to utilize the fact that when a wavefront Rc that is conjugate to the output light wavefront R is incident on the facet 21, a wavefront Qc that is conjugate to the wavefront Q is obtained. That is, when a hologram identical to the facet 21 is placed as the wavefront conversion element 4 in front of the facet 21 and a beam of light with the wavefront Rc is incident thereon, the wavefront Qc is incident on the facet 21. ,
If the wavefront Qc is considered to be equal to the wavefront Q, a wavefront R without aberration is emitted. In addition, the wave surface
As Rc, a focused light obtained by an ordinary lens or the like may be used.

ところで、波面変換素子4を通過した0次回折
光Poが現れるが、フアセツト21と波面変換素
子4との間隔d、フアセツト21と波面変換素子
4の平行度、もしくは波面Rcの入射角のいずれ
かを微少量変化させることによつて走査面上にお
ける投射ビームP(通常1次回折光)と前記0次
回折光Poとを分離することができるので、第5
図に示すようにスリツト5を設けることによつて
容易にPoを除去できる。
By the way, the 0th-order diffracted light Po that has passed through the wavefront conversion element 4 appears, but the distance d between the facet 21 and the wavefront conversion element 4, the parallelism between the facet 21 and the wavefront conversion element 4, or the incident angle of the wavefront Rc is The projection beam P (normally 1st-order diffracted light) on the scanning surface and the 0th-order diffracted light Po can be separated by changing the minute amount.
By providing a slit 5 as shown in the figure, Po can be easily removed.

つぎに、上記波面変換素子4を設けることによ
る、半導体レーザを光源に用いた場合の出射光の
波長変動に基づく走査位置ずれ防止効果の原理を
第6図を用いて説明する。
Next, the principle of the effect of preventing scanning position shift based on the wavelength fluctuation of emitted light when a semiconductor laser is used as a light source by providing the wavefront conversion element 4 will be explained using FIG.

同図において、いま簡単のためにフアセツト2
1と波面変換素子4とが平行であるとし、波面変
換素子4に対する入射光の波長をλ1および入
射角をθi、波面変換素子4による回折光の出射角
をθq1、フアセツト21に対する入射角をθj1、ま
たその回折光Rの出射角をθr1、また波面変換素
子4およびフアセツト21のホログラムの空間周
波数をそれぞれfiおよびfjとすると、これらの間
には次式の関係がある。
In the same figure, for simplicity, we will use facet 2.
1 and the wavefront conversion element 4 are parallel, the wavelength of the incident light to the wavefront conversion element 4 is λ1, the incident angle is θi, the output angle of the diffracted light by the wavefront conversion element 4 is θq1, and the incident angle to the facet 21 is θj1. , and the emission angle of the diffracted light R is .theta.r1, and the spatial frequencies of the holograms of the wavefront conversion element 4 and the facet 21 are fi and fj, respectively, and the following relationship exists between them.

sinθq1=fiλ1−sinθi ……(1) sinθr1=fjλ1−sinθj1 ……(2) 波面変換素子4とフアセツト21とは平行であ
るから、 sinθq1=sinθj1 ……(3) したがつて、 sinθr1=(fi−fj)λ1+sinθi ……(4) 入射光の波長がλ2となつた場合に、それぞ
れの添字を2で表すとすると、上記と同様にし
て、 sinθr2=(fi−fj)λ2+sinθi ……(5) 式(4)および(5)から、 sinθr2=sin θr1=(fi−fj)(λ2−λ1) ≡Δf・Δλ ……(6) 波面変換素子4とフアセツト21とは同一のホ
ログラムであるからΔfは極めて小さい。したが
つて、 θr2≒θr1 ……(7) を得る。すなわち、光源として半導体レーザを用
いた場合にその出射光に波長変動Δλが生じても、
フアセツト21からの光ビームRの出射方向の変
動(θr1〜θr2)は極めて小さく、走査面上におけ
る走査位置ずれを低減できることになる。
sinθq1=fiλ1−sinθi...(1) sinθr1=fjλ1−sinθj1...(2) Since the wavefront conversion element 4 and facet 21 are parallel, sinθq1=sinθj1...(3) Therefore, sinθr1=(fi −fj)λ1+sinθi ……(4) When the wavelength of the incident light is λ2, and if each subscript is represented by 2, sinθr2=(fi−fj)λ2+sinθi ……(5) From equations (4) and (5), sinθr2=sinθr1=(fi−fj)(λ2−λ1) ≡Δf・Δλ……(6) Since the wavefront conversion element 4 and facet 21 are the same hologram, Δf is extremely small. Therefore, we obtain θr2≒θr1...(7). In other words, even if a wavelength variation Δλ occurs in the emitted light when a semiconductor laser is used as a light source,
Fluctuations (θr1 to θr2) in the emission direction of the light beam R from the facet 21 are extremely small, and scanning position deviations on the scanning plane can be reduced.

第4図の説明において波面Qと波面Qcとがほ
ぼ等しいと見なしており、第6図における波面変
換素子4とフアセツト21との間の距離dが小さ
いほど本発明の効果が大きくなることを意味す
る。
In the explanation of FIG. 4, it is assumed that the wavefront Q and the wavefront Qc are approximately equal, and this means that the smaller the distance d between the wavefront conversion element 4 and the facet 21 in FIG. 6, the greater the effect of the present invention. do.

第7図は本発明の他の実施例を示し、波面変換
素子4とフアセツト21との間に第8図に示すよ
うな透過率−入射角特性を有するフイルタ6を設
けることにより、波面変換素子4の透過光(0次
回折光)を減衰させる方法であり、フイルタ6は
図示のように波面変換素子4の出射側に接着され
た構造としてもよい。また、該フイルタ6として
は干渉フイルタの適当なものを用いることができ
る。
FIG. 7 shows another embodiment of the present invention, in which a filter 6 having a transmittance-angle of incidence characteristic as shown in FIG. 8 is provided between the wavefront conversion element 4 and the facet 21. This is a method of attenuating the transmitted light (0th-order diffracted light) of the wavefront conversion element 4, and the filter 6 may be bonded to the output side of the wavefront conversion element 4 as shown in the figure. Further, as the filter 6, an appropriate interference filter can be used.

本発明の従来の方法に対する主な利点は、ホロ
グラムを用いた光ビーム走査装置における非点収
差ならびに光源波長の変動に基づく走査精度の低
下をともに減少させることが可能であること、波
面変換素子4として、フアセツト21とまつたく
同一のホログラムを用いるのでその製造が容易で
あること、光ビームは波面変換素子4に対して垂
直に入射させる必要はなく、かつ波面変換素子4
とフアセツト21とをほぼ平行に設けるために光
ビーム走査系を小型できかつ構成が容易になるこ
と、さらに以上により光ビーム走査装置の製造コ
ストを低減できること等である。
The main advantages of the present invention over conventional methods are that it is possible to reduce both astigmatism in a light beam scanning device using a hologram as well as a decrease in scanning accuracy due to fluctuations in the light source wavelength; As a hologram that is exactly the same as the facet 21 is used, it is easy to manufacture, the light beam does not need to be incident perpendicularly to the wavefront conversion element 4, and the wavefront conversion element 4
Since the facet 21 and the facet 21 are provided substantially parallel to each other, the light beam scanning system can be made smaller and the structure can be simplified, and furthermore, the manufacturing cost of the light beam scanning device can be reduced.

(g) 発明の効果 本発明によれば、高走査精度ならびに高品質の
光ビーム走査を可能な、かつ低コストの光ビーム
走査装置を提供できる効果がある。
(g) Effects of the Invention According to the present invention, it is possible to provide a low-cost light beam scanning device that is capable of high scanning accuracy and high quality light beam scanning.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図および第2図は本発明に係る光ビーム走
査装置の構成概要を示す図および部分断面におけ
る光路を示す図、第3図から第6図は本発明によ
り非点収差および光源波長変動に基づく走査位置
ずれの発生が防止される原理を説明するための
図、第7図および第8図は本発明の他の実施例を
示す図である。 図において、1は光ビーム、2はホログラムデ
イスク、3は走査面、4は波面変換素子、5はス
リツト、6はフイルタ、11および12は回折
光、21はフアセツト、31は走査線である。
FIGS. 1 and 2 are diagrams showing an outline of the configuration of a light beam scanning device according to the present invention and diagrams showing an optical path in a partial cross section, and FIGS. FIGS. 7 and 8 are diagrams for explaining the principle of preventing the occurrence of scanning position deviation based on the above-described method, and are diagrams showing other embodiments of the present invention. In the figure, 1 is a light beam, 2 is a hologram disk, 3 is a scanning surface, 4 is a wavefront conversion element, 5 is a slit, 6 is a filter, 11 and 12 are diffracted lights, 21 is a facet, and 31 is a scanning line.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 ホログラムフアセツトから構成されるホログ
ラムデイスクを用いる光ビーム走査装置におい
て、該ホログラムフアセツトと同一のホログラム
が形成された波面変換素子を光源と該ホログラム
デイスクとの間に固定して設け、該波面変換素子
を介して該ホログラムデイスクに走査用光ビーム
を入射させることを特徴とする光ビーム走査装
置。 2 ホログラムデイスクと該波面変換素子とを平
行かつ近接させ、かつまた該波面変換素子に対す
る入射ビームを該ホログラムデイスクからの出射
ビームの方向から微少角ずらして入射させること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光ビー
ム走査装置。 3 該波面変換素子に対する入射ビームをホログ
ラムデイスクからの出射ビームの照射点近傍に集
束するビームとすることを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の光ビーム走査装置。 4 ホログラムデイスクと該波面変換素子との間
にその透過率が入射角に対して依存性を有するフ
イルタを設けることを特徴とする特許請求の範囲
第1項ないし第3項記載の光ビーム走査装置。
[Claims] 1. In a light beam scanning device using a hologram disk composed of hologram facets, a wavefront conversion element on which a hologram identical to the hologram facet is formed is fixed between a light source and the hologram disk. 1. A light beam scanning device, characterized in that the light beam scanning device is provided as a hologram disk and makes a scanning light beam incident on the hologram disk via the wavefront conversion element. 2. Claims characterized in that the hologram disk and the wavefront conversion element are arranged in parallel and close to each other, and the incident beam to the wavefront conversion element is made to be incident on the wavefront conversion element with a slight angle shift from the direction of the output beam from the hologram disk. 2. The light beam scanning device according to item 1. 3. The optical beam scanning device according to claim 1, wherein the incident beam to the wavefront conversion element is a beam that is focused near the irradiation point of the output beam from the hologram disk. 4. The light beam scanning device according to claims 1 to 3, characterized in that a filter is provided between the hologram disk and the wavefront conversion element, the transmittance of which is dependent on the angle of incidence. .
JP58076509A 1983-04-30 1983-04-30 Optical beam scanner Granted JPS59201017A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58076509A JPS59201017A (en) 1983-04-30 1983-04-30 Optical beam scanner

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58076509A JPS59201017A (en) 1983-04-30 1983-04-30 Optical beam scanner

Publications (2)

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JPS59201017A JPS59201017A (en) 1984-11-14
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