JPH03716B2 - - Google Patents
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- JPH03716B2 JPH03716B2 JP58032285A JP3228583A JPH03716B2 JP H03716 B2 JPH03716 B2 JP H03716B2 JP 58032285 A JP58032285 A JP 58032285A JP 3228583 A JP3228583 A JP 3228583A JP H03716 B2 JPH03716 B2 JP H03716B2
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- decoder
- section
- output
- node
- defective
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
- Static Random-Access Memory (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はトランジスタを用いた半導体メモリで
あつて、冗長回路を持つメモリの回路に関するも
のである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a semiconductor memory using transistors, and a memory circuit having a redundant circuit.
近年、半導体メモリは大容量化の方向へと発展
している。この大容量化は、より微細な素子、配
線技術の開発と、チツプ面積の増大とで達成され
ている。この微細化により製造ラインで発生する
微少なゴミ等も欠陥の発生源となつて来た。たと
えば、2μmの素子及び配線に2μm程度のゴミの
付着は致命的な欠陥となり、単位面積当りの欠陥
密度を増大させることとなつてきた。 In recent years, semiconductor memories have been developing in the direction of increasing capacity. This increase in capacity has been achieved through the development of finer elements and wiring technology, as well as an increase in chip area. Due to this miniaturization, minute dust generated on the manufacturing line has also become a source of defects. For example, the adhesion of dust of about 2 μm to 2 μm elements and wiring becomes a fatal defect, increasing the defect density per unit area.
一方チツプ面積の増大は当然チツプ当りの欠陥
数を増大することになる。このためにメモリが大
容量化されるに従つてチツプ当りの欠陥発生率は
幾可級数的に大きくなることは明白である。この
ようなことから、大容量化されることで無欠陥の
チツプの歩留が急速に低下することは製造技術の
向上によつても避けることができない。このよう
な困難を解決するために冗長回路をチツプ内に入
れ、欠陥を救済することが導入されはじめてい
る。 On the other hand, an increase in chip area naturally increases the number of defects per chip. For this reason, it is clear that as the memory capacity increases, the defect rate per chip increases exponentially. For this reason, even with improvements in manufacturing technology, it is unavoidable that the yield of defect-free chips will drop rapidly as capacity increases. In order to solve these difficulties, it has begun to be introduced that redundant circuits are included in chips to repair defects.
メモリの不良はチツプの有効面積の過半数を占
めるメモリマトリツクス部に発生しやすく、マト
リツクス部に発生した欠陥は1ビツトまたは少数
の複数ビツトのみのを不良とすることから、欠陥
ビツトを含む行又は列を冗長回路として用意され
た救済用の行又は列と入れ替ることにより欠陥を
救済しようとする方法である。従来より知られて
いる冗長回路への書込はヒユーズと呼ばれる導体
に大電流を流し溶断させるか、レーザーでヒユー
ズを切るかの方法が取られている。電流で溶断す
る方法は大電流を流すため比較的高い電圧をかけ
ること及び大きなトランジスタが必要とされるた
め大容量化には適さず、レーザーで書き込む方法
が多く用いられている。 Memory defects tend to occur in the memory matrix, which accounts for more than half of the effective area of the chip, and a defect occurring in the matrix causes only one bit or a small number of bits to be defective. This method attempts to repair defects by replacing columns with repair rows or columns prepared as redundant circuits. Conventionally known methods for writing to redundant circuits include passing a large current through a conductor called a fuse to blow it out, or cutting the fuse with a laser. The method of fusing with a current requires the application of a relatively high voltage and a large transistor to flow a large current, so it is not suitable for increasing the capacity, and a method of writing with a laser is often used.
第1図は従来より知られている救済法を示す図
である。C1は欠陥ビツトが存在する行又は列デ
コーダ(以下欠陥デコーダと呼ぶ)を示しC2は
欠陥デコーダを置き換えるデコーダ(以下スペア
デコーダと呼ぶ)を示す。各デコーダはトランジ
スタQ05〜Q09又はQs05〜Qs12からなるノア部、ト
ランジスタQ03とQ04又はQs03とQs04からなるノア
部出力N3又はNs3の逆相信号を出すインバータ部
及びトランジスタQ01,Q02又はQs01,Qs02からな
る出力部から構成されている。両デコーダーにノ
ア部に入力される信号はメモリが非選択状態
の時1レベルとなる信号であり、この時すべての
ワード線を非選択状態とするためである。スペア
デコーダC2のノア部の入力として3組のアドレ
スの正補信号(A0,0),(A1,1),(A2,
2)が共に入力されているためこのスペアデコー
ダC2を使用していなければ必らず接点Ns3を0〓レ
ベルにするため常に非選択状態となつている。今
欠陥デコーダC1のアドレス入力に(A0,A1,
2)が入力されているとした時、欠陥デコーダC1
をスペアデコーダC2におきかえる方法を示す。
まずレーザーによりスペアデコーダC2のヒユー
ズfs5,fs3,fs2を切断するとスペアデコーダーは
A0,A1,2,が共に0〓のときのみノア部節
点Ns3を高レベルとしデコーダが選択される。一
方この時にかぎつてのみ欠陥デコーダC1もノア
部N3は1レベルとなることから欠陥デコーダC1
がスペアデコーダC2に写し取られたことになる。
一方欠陥デコーダのヒユーズf11を切断すること
により接点N11は電位の供給手段がなくリーク等
のため0電位を保つことになり欠陥デコーダは常
に非選択状態となり欠陥デコーダC1が完全にC2
へのコピーが完了し、欠陥デコーダの出力は非活
性化される。 FIG. 1 is a diagram showing a conventionally known remedy. C1 indicates a row or column decoder in which a defective bit exists (hereinafter referred to as a defective decoder), and C2 indicates a decoder replacing the defective decoder (hereinafter referred to as a spare decoder). Each decoder consists of a NOR section consisting of transistors Q 05 to Q 09 or Qs 05 to Qs 12 , a NOR section consisting of transistors Q 03 and Q 04 or Qs 03 and Qs 04 , and an inverter section that outputs a negative phase signal of output N 3 or Ns 3 . and an output section consisting of transistors Q 01 and Q 02 or Qs 01 and Qs 02 . The signal input to the NOR section of both decoders is a signal that becomes 1 level when the memory is in a non-selected state, and at this time all word lines are made to be in a non-selected state. Three sets of address correction signals (A 0 , 0 ) , (A 1 , 1 ), (A 2 ,
2 ) are also input, so that if this spare decoder C2 is not in use, the contact Ns3 is always at the 0 level, so it is always in a non-selected state. Now the address inputs of defective decoder C 1 (A 0 , A 1 ,
2 ) is input, the defective decoder C 1
This section shows how to replace C2 with spare decoder C2 .
First, use a laser to cut fuses fs 5 , fs 3 , and fs 2 of spare decoder C 2 , and the spare decoder will be
Only when A 0 , A 1 , 2 are all 0, the NOR node Ns 3 is set to high level and the decoder is selected. On the other hand, only at this time, the defective decoder C 1 also has the NOR part N 3 at the 1 level, so the defective decoder C 1
is copied to spare decoder C2 .
On the other hand, by cutting the fuse f11 of the defective decoder, the contact N11 has no potential supply means and maintains zero potential due to leakage, etc., so the defective decoder is always in a non-selected state and the defective decoder C1 is completely switched to C2.
The copy to is completed and the output of the defective decoder is deactivated.
しかしながら従来の方法によれば切り放たれた
デコーダ出力は高インピーダンス状態になつてお
り、リーク電流でおおむね非選択状態を保つのみ
である。従つて電源変動あるいは容量性の結合で
動作時に雑音が入る等によつて切り放たれたデコ
ーダ出力は一定のレベルではなく時としてトラン
ジスタのしきい値を超えることがあり得る。欠陥
デコーダに結線されたメモリセル群は、読み出さ
れることはないためその記憶情報が破壊されるこ
とを恐れる必要はないが、他のセルの回路動作悪
影響を与える。例えばビツト線の電荷がセルある
いはI/0バスへリークすることなどでビツト線
の高レベルの低下を起す。あるいはCMOSメモ
リでは消費電力が小さく特にスタンドバイ時の電
流は数μAと小さいことが特長であるが、このよ
うな機能に対しても前述のリークによつてスタン
ドバイ時のリーク電流が増加してしまうことにな
る。 However, according to the conventional method, the cut-off decoder output is in a high impedance state, and the leakage current only maintains the non-selected state. Therefore, the decoder output, which is cut off due to power supply fluctuations or noise introduced during operation due to capacitive coupling, is not at a constant level and may sometimes exceed the threshold value of the transistor. The memory cells connected to the defective decoder will not be read out, so there is no need to fear that their stored information will be destroyed, but it will adversely affect the circuit operations of other cells. For example, charge on the bit line may leak into the cell or I/O bus, causing a high level drop on the bit line. Another feature of CMOS memory is that it has low power consumption, especially the current during standby is as small as a few μA, but even for such functions, the leakage current during standby increases due to the leakage mentioned above. It will end up being put away.
本発明はこのような欠陥デコーダが救済された
時、切りはなされたデコーダの出力、即ちワード
線あるいはI/0スイツチゲート等の電位を安定
化を計る手段を提供することである。以下本発明
を実施例に従つて説明する。 The present invention provides a means for stabilizing the output of the disconnected decoder, ie, the potential of the word line or I/O switch gate, etc., when such a defective decoder is repaired. The present invention will be explained below based on examples.
第2図は本発明の実施例の一つを示すものであ
る。図には通常のデコーダをのみ示しており、第
1図と同様の入力を持つとする。又同一記号のト
ランジスタ及び節点は第1図の欠陥デコーダと同
一機能を有する。ここでは、非活性化のためのヒ
ユーズf13をインバータ部の節点N2と、その接地
側に接続したトランジスタQ04の間に直列に入れ
てある。 FIG. 2 shows one embodiment of the invention. The figure shows only a normal decoder, and it is assumed that it has the same inputs as in FIG. Also, transistors and nodes with the same symbols have the same functions as the defect decoder of FIG. Here, a fuse f13 for deactivation is connected in series between the node N2 of the inverter section and the transistor Q04 connected to its ground side.
従つて、非選択時はノア部トランジスタQ06〜
Q09の内少なくとも一つ以上が導通状態にありノ
ア部節点N3は0レベルとなり、インバータ部節
点N2、ドライバー部節点N1は各々1レベル、0
レベルとなつている。選択状態ではノア部入力ト
ランジスタQ06〜Q09はすべて非導通であり、節
点N3は1レベルであり従つて節点N2,N1は各々
0,1レベルとなる。 Therefore, when not selected, the NOR part transistor Q 06 ~
At least one of Q 09 is in a conductive state, the node N 3 of the NOR section becomes 0 level, the node N 2 of the inverter section and the node N 1 of the driver section are respectively 1 level and 0 level.
It has become a level. In the selected state, the NOR input transistors Q 06 to Q 09 are all non-conductive, the node N 3 is at the 1 level, and the nodes N 2 and N 1 are at the 0 and 1 level, respectively.
今、このデコーダが欠陥デコーダであるなら
ば、インバータ部の節点N2とトランジスタQ04の
間に直列に入れてあるヒユーズf13を切断すると、
トランジスタは節点N2から切り離され、節点N
はトランジスタQ03を介して電源に常時接続され
ることになるため、節点N2は常に1レベルを出
力し、従つて出力N1は常に0レベルを低インピ
ーダンスで出すことが可能となり、このデコーダ
を非活性化し、常に非選択状態とする。これによ
り、安定な非選択状態が得られることになる。 Now, if this decoder is a defective decoder, cutting the fuse f 13 connected in series between the node N 2 of the inverter section and the transistor Q 04 will result in the following:
The transistor is disconnected from node N 2 and connected to node N
is always connected to the power supply via transistor Q 03 , so node N 2 always outputs 1 level, and therefore output N 1 can always output 0 level with low impedance, and this decoder is deactivated and always remains unselected. This results in a stable non-selected state.
本発明によれば、インバータ部を構成するトラ
ンジスタと節点との間にヒユーズを入れ、これを
切断することで選択すべき入力が入つても内部節
点が選択レベルになることを防ぐので、デコーダ
出力が高インピーダンス状態となることを避け、
安定な非選択状態を得ることが可能となる。 According to the present invention, a fuse is inserted between the transistors constituting the inverter section and the nodes, and by cutting the fuses, even if an input to be selected is input, the internal nodes are prevented from reaching the selection level, so that the decoder outputs to avoid high impedance state,
It becomes possible to obtain a stable non-selected state.
第1図は従来の冗長回路のデコーダC1とスペ
アデコーダC2を示し、第2図は本発明のデコー
ダ部を示す図である。
なお図において、Q01,Q02,……,Q09,
Qs01,Qs02,……,Qs12はトランジスタ、fs1,
fs2,……,fs6はヒユーズ、を示す。
FIG. 1 shows a decoder C 1 and a spare decoder C 2 of a conventional redundant circuit, and FIG. 2 shows a decoder section of the present invention. In the figure, Q 01 , Q 02 , ..., Q 09 ,
Qs 01 , Qs 02 , ..., Qs 12 are transistors, fs 1 ,
fs 2 , ..., fs 6 indicate fuses.
Claims (1)
ズを切断することにより欠陥デコーダを非活性化
させる冗長回路において、入力用のノア部と、こ
のノア部の出力を反転させるインバータ部と、こ
のインバータ部の出力を反転させるドライバ部と
で構成し、前記インバータ部では、反転出力をド
ライバ部に出力する節点と、この節点の接地側に
接続したトランジスタとの間にヒユーズを介挿
し、このヒユーズを切断したときに該インバータ
部の節点から常に電源レベルを出力し、前記ドラ
イバ部に接地レベルを出力するように構成したこ
とを特徴とする冗長回路。1 In a redundant circuit that deactivates a defective decoder by cutting the fuse inside the decoder using a laser, there is an input NOR section, an inverter section that inverts the output of this NOR section, and an output of this inverter section. In the inverter section, a fuse is inserted between a node that outputs an inverted output to the driver section and a transistor connected to the ground side of this node, and when this fuse is cut, A redundant circuit characterized in that the redundant circuit is configured to always output a power level from a node of the inverter section and output a ground level to the driver section.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58032285A JPS59157892A (en) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | Redundant circuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58032285A JPS59157892A (en) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | Redundant circuit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59157892A JPS59157892A (en) | 1984-09-07 |
| JPH03716B2 true JPH03716B2 (en) | 1991-01-08 |
Family
ID=12354688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58032285A Granted JPS59157892A (en) | 1983-02-28 | 1983-02-28 | Redundant circuit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59157892A (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60195797A (en) * | 1984-03-16 | 1985-10-04 | Mitsubishi Electric Corp | Redundancy circuit of semiconductor storage device |
| EP0213044A3 (en) * | 1985-08-20 | 1989-03-22 | STMicroelectronics, Inc. | Defective element disabling circuit having a laser-blown fuse |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57198593A (en) * | 1981-05-29 | 1982-12-06 | Hitachi Ltd | Memory circuit |
-
1983
- 1983-02-28 JP JP58032285A patent/JPS59157892A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59157892A (en) | 1984-09-07 |
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