JPH0413878B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0413878B2 JPH0413878B2 JP60137845A JP13784585A JPH0413878B2 JP H0413878 B2 JPH0413878 B2 JP H0413878B2 JP 60137845 A JP60137845 A JP 60137845A JP 13784585 A JP13784585 A JP 13784585A JP H0413878 B2 JPH0413878 B2 JP H0413878B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating layer
- wiring
- thick film
- conductor
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、厚膜印刷配線基板の製造方法に係
り、特に、厚膜基板上のクロスオーバー印刷配線
構造に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a method of manufacturing a thick film printed wiring board, and particularly relates to a cross-over printed wiring structure on a thick film board.
(従来の技術)
従来、厚膜基板上でクロスオーバー配線を行う
場合、第3図に示されるような構成となつてい
る。この図において、1はアルミナ基板、2a,
2b,3はこのアルミナ基板1上に印刷、焼成さ
れた下部配線導体(以下、下部導体という)、5
は下部導体2a,2b間を接続するための上部配
線導体(以下、上部導体という)である。4a,
4bは下部導体3と上部導体5とを電気的に絶縁
する絶縁層で、4aは第1の絶縁層、4bはその
第1の絶縁層4a上に設けられる第2の絶縁層で
ある。第1の絶縁層4aと第2の絶縁層4bは全
く重なり、絶縁層の端部5a,5aは急峻になる
ため、上部導体5の端部5aは薄くなり、断線し
易いといつた欠点がある。(Prior Art) Conventionally, when cross-over wiring is performed on a thick film substrate, the configuration is as shown in FIG. 3. In this figure, 1 is an alumina substrate, 2a,
2b, 3 are lower wiring conductors (hereinafter referred to as lower conductors) printed and fired on this alumina substrate 1;
is an upper wiring conductor (hereinafter referred to as an upper conductor) for connecting between the lower conductors 2a and 2b. 4a,
4b is an insulating layer that electrically insulates the lower conductor 3 and the upper conductor 5, 4a is a first insulating layer, and 4b is a second insulating layer provided on the first insulating layer 4a. The first insulating layer 4a and the second insulating layer 4b completely overlap, and the ends 5a, 5a of the insulating layers become steep, so the end 5a of the upper conductor 5 becomes thin and has the disadvantage of being easily broken. be.
第4図は第3図による欠点を補うために提案さ
れた従来の他の構成を示す厚膜印刷配線基板の断
面図、第5図はその平面図である。この従来例に
おいては、第4図に示されるように、第1の絶縁
層6aと第2の絶縁層6bとは寸法が異なり絶縁
層の端部はなめらかな傾斜を成すように形成さ
れ、上部導体7の端部7aも薄くなることはな
く、断線が防止できるように改善されている。 FIG. 4 is a sectional view of a thick film printed wiring board showing another conventional configuration proposed to compensate for the drawbacks shown in FIG. 3, and FIG. 5 is a plan view thereof. In this conventional example, as shown in FIG. 4, the first insulating layer 6a and the second insulating layer 6b have different dimensions, and the ends of the insulating layers are formed with a smooth slope, and the upper The end portion 7a of the conductor 7 also does not become thinner and has been improved to prevent disconnection.
(発明が解決しようとする問題点)
上記したように、第4図及び第5図に示される
ものは、上部導体がクロスしたその端部において
も厚膜が極端に薄くなることはないので、第3図
のものに比較して改善されている。(Problems to be Solved by the Invention) As mentioned above, in the case shown in FIGS. 4 and 5, the thick film does not become extremely thin even at the ends where the upper conductors cross. This is improved compared to the one in Figure 3.
しかしながら、第4図及び第5図から明らかな
ように、クロスオーバー部分に形成される第1の
絶縁層6aと第2の絶縁層6bとはそれぞれその
寸法を異ならせる必要があり、印刷マスクを2版
用意し、それぞれのマスクを用いて2度印刷を行
う必要があり、製造コストがアツプするといつた
問題があつた。 However, as is clear from FIGS. 4 and 5, the first insulating layer 6a and the second insulating layer 6b formed in the crossover portion need to have different dimensions, and the printing mask is There was a problem in that it was necessary to prepare two versions and print twice using each mask, which increased manufacturing costs.
本発明は、上記の問題点を除去し、クロスオー
バー部分の絶縁層を形成するのに1枚のマスクを
用いて、第1の絶縁層を形成後、前記マスクを斜
め方向にずらした位置に設定して第2の絶縁層を
形成するだけですみ製造コストが低減された、し
かも信頼性の高い多層配線を行い得る厚膜印刷配
線基板の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention eliminates the above-mentioned problems, uses one mask to form the insulating layer of the crossover portion, and after forming the first insulating layer, moves the mask to a diagonally shifted position. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a thick film printed wiring board, which requires only setting and forming a second insulating layer, reduces manufacturing costs, and enables highly reliable multilayer wiring.
(問題点を解決するための手段)
本発明は、上記問題点を解決するために、ま
ず、クロスオーバー部の下部導体上に所定のマス
クを用いて第1の絶縁層14aを形成し、次い
で、そのマスクを斜め方向にずらした位置に設定
し、第2の絶縁層14bを形成するようにし、そ
の形成された絶縁層上に上部導体15を形成する
ようにしたものである。(Means for Solving the Problems) In order to solve the above problems, the present invention first forms a first insulating layer 14a on the lower conductor of the crossover section using a predetermined mask, and then The mask is set at a diagonally shifted position to form the second insulating layer 14b, and the upper conductor 15 is formed on the formed insulating layer.
(作用)
本発明によれば、所定のマスクを用いて、クロ
スオーバー部の下部導体上に第1の絶縁層14a
を形成し、次に、その所定マスクを斜め方向にず
らした位置に設定し、第2の絶縁層14bを形成
する。このようにして形成された絶縁層上に上部
導体15を形成するようにしたので、上部導体1
5はなだらかな丘陵状の絶縁層上に配線されるこ
とになり、特に、上部導体15の端部15aにお
いても膜厚が薄くなることはなく、良好な多層配
線を行うことができる。(Function) According to the present invention, the first insulating layer 14a is formed on the lower conductor of the crossover portion using a predetermined mask.
Then, the predetermined mask is set at a diagonally shifted position to form the second insulating layer 14b. Since the upper conductor 15 is formed on the insulating layer formed in this way, the upper conductor 1
5 is wired on the insulating layer having a gentle hill shape, and the film thickness does not become thin especially at the end portion 15a of the upper conductor 15, so that good multilayer wiring can be achieved.
(実施例)
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail based on the drawings.
第1図は本発明に係る厚膜印刷配線基板の製造
方法の説明図、第2図は本発明の製造方法を用い
て製造された厚膜印刷配線基板の平面図である。 FIG. 1 is an explanatory diagram of a method for manufacturing a thick film printed wiring board according to the present invention, and FIG. 2 is a plan view of a thick film printed wiring board manufactured using the manufacturing method of the present invention.
図中、11はアルミナ基板、12a,12b,
13はアルミナ基板11上に印刷、焼成された下
部導体であり、14aはその下部導体13上にク
ロスオーバー配線を行うために形成される第1の
絶縁層、14bは第2の絶縁層、15は下部導体
12aと12bとを接続するための上部導体であ
る。この上部導体15は第2図に示されるよう
に、前記第1及び第2の絶縁層上に印刷配線によ
つて形成される。 In the figure, 11 is an alumina substrate, 12a, 12b,
13 is a lower conductor printed and fired on the alumina substrate 11; 14a is a first insulating layer formed on the lower conductor 13 for cross-over wiring; 14b is a second insulating layer; is an upper conductor for connecting lower conductors 12a and 12b. As shown in FIG. 2, this upper conductor 15 is formed on the first and second insulating layers by printed wiring.
次に、この厚膜印刷配線基板の製造方法につい
て説明する。 Next, a method for manufacturing this thick film printed wiring board will be explained.
まず、第1図aに示されるように、アルミナ基
板11上に下部導体12a,12b及び13を印
刷、焼成し、クロスオーバーすべき下部導体13
上に所定のマスク(図示なし)を用いて第1の絶
縁層14aを形成する。 First, as shown in FIG. 1a, lower conductors 12a, 12b, and 13 are printed and fired on an alumina substrate 11.
A first insulating layer 14a is formed thereon using a predetermined mask (not shown).
次いで、第1図bに示されるように、前記した
所定のマスクを斜め方向にずらした位置に設定
し、第2の絶縁層14bを形成する。 Next, as shown in FIG. 1b, the predetermined mask described above is set at a diagonally shifted position to form the second insulating layer 14b.
次に、第1図cに示されるように、下部導体1
2aと12bを橋絡するように前記第1及び第2
の絶縁層上に上部導体15を形成する。 Next, as shown in FIG. 1c, the lower conductor 1
said first and second so as to bridge 2a and 12b.
An upper conductor 15 is formed on the insulating layer.
このようにしてクロスオーバー配線が行われ
る。 Crossover wiring is performed in this way.
上記したように、マスクを斜め方向にシフトす
るようにしたので、絶縁層のあらゆる端部がなだ
らかな丘陵状となり、上部導体の端部15aにお
いても膜厚が薄くなることはなく、以下のような
利点がある。すなわち、第1図及び第2図におい
ては厚膜基板のクロスオーバー配線は一箇所のみ
を図示しているが、このようなクロスオーバー配
線箇所が数箇所ある場合(多ポイントクロスオー
バー配線)には、マスクを斜め方向にシフトする
とその数箇所のクロスオーバー配線の全てに有効
に対処することができる。 As mentioned above, since the mask is shifted diagonally, all edges of the insulating layer have a gentle hill shape, and the film thickness does not become thinner even at the edge 15a of the upper conductor, as shown below. There are advantages. In other words, in Figures 1 and 2, only one cross-over wiring on a thick film board is shown, but if there are several such cross-over wiring positions (multi-point crossover wiring), By shifting the mask diagonally, it is possible to effectively deal with all of the crossover wiring at several locations.
この点について、第6図を参照しながら詳細に
説明する。 This point will be explained in detail with reference to FIG.
前記したように、クロスオーバー配線箇所はA
の箇所のみならず、他の箇所にも存在する。そし
て、その箇所の上部導体、下部導体の配線方向は
必ずしも全箇所が一定とは限らない。例えば、第
6図に示されるように、B箇所におけるクロスオ
ーバー配線はA箇所におけるクロスオーバー配線
とは各導体の配線方向が逆に入れ替わつている。
つまり、A箇所においては下部導体12a,12
bはX方向に配線され、下部導体13はY方向に
配線されているのに対して、B箇所においては、
下部導体12a′,12b′はY方向に配線され、下
部導体13′はX方向に配線されている。従つて、
A箇所及びB箇所のいずれのクロスオーバー配線
に対しても有効に対処するためにはマスクは斜め
方向にシフトさせるのが得策である。 As mentioned above, the crossover wiring location is A.
It exists not only in this place, but also in other places. The wiring direction of the upper conductor and lower conductor at that location is not necessarily constant at all locations. For example, as shown in FIG. 6, the wiring direction of each conductor in the crossover wiring at location B is reversed from that of the crossover wiring at location A.
In other words, at location A, the lower conductors 12a, 12
b is wired in the X direction, and the lower conductor 13 is wired in the Y direction, whereas at location B,
The lower conductors 12a' and 12b' are wired in the Y direction, and the lower conductor 13' is wired in the X direction. Therefore,
In order to effectively deal with the crossover wiring at both locations A and B, it is a good idea to shift the mask diagonally.
また、三重の多層配線を行うような場合にもマ
スクは斜め方向にシフトさせて絶縁層を形成する
方が有利である。 Further, even in the case of performing triple multilayer wiring, it is advantageous to shift the mask in an oblique direction to form the insulating layer.
なお、本発明は上記実施例に限定されるもので
はなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するもの
ではない。 Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made based on the spirit of the present invention, and these are not excluded from the scope of the present invention.
(発明の効果)
以上、詳細に説明したように本発明によれば、
基板上においてクロスオーバー配線を行う厚膜印
刷配線基板の製造方法において、クロスオーバー
部の下部導体上に所定のマスクを用いて第1の絶
縁層を形成し、次に前記マスクを斜め方向にずら
した位置に設定して第2の絶縁層を形成し、前記
第1及び第2絶縁層上に上部導体を印刷配線する
ようにしたので、第2の絶縁層の形成時に同一の
マスクを単に斜め方向にずらして設定するだけで
複数箇所のクロスオーバー配線部の良好な絶縁層
を形成することができ、製造コストの低減を図る
ことができる。(Effects of the Invention) As described above in detail, according to the present invention,
In a method for manufacturing a thick film printed wiring board that performs crossover wiring on a substrate, a first insulating layer is formed on a lower conductor of a crossover portion using a predetermined mask, and then the mask is shifted in an oblique direction. Since the upper conductor was printed and wired on the first and second insulating layers, the same mask was simply used diagonally when forming the second insulating layer. By simply setting the cross-over wiring portions in a different direction, it is possible to form good insulating layers for the crossover wiring portions at a plurality of locations, and it is possible to reduce manufacturing costs.
第1図は本発明に係る厚膜印刷配線基板の製造
方法の説明図、第2図は本発明に係る厚膜印刷配
線基板の平面図、第3図は従来の厚膜印刷配線基
板の断面図、第4図は従来の他の厚膜印刷配線基
板の断面図、第5図は同厚膜印刷配線基板の平面
図、第6図は多ポイントクロスオーバー配線の説
明図である。
11……基板、12a,12b,12a′,12
b′,13……下部導体、14a……第1の絶縁
層、14b……第2の絶縁層、15……上部導
体、15a……上部導体の端部。
Fig. 1 is an explanatory diagram of the method for manufacturing a thick film printed wiring board according to the present invention, Fig. 2 is a plan view of the thick film printed wiring board according to the present invention, and Fig. 3 is a cross section of a conventional thick film printed wiring board. 4 is a sectional view of another conventional thick film printed wiring board, FIG. 5 is a plan view of the same thick film printed wiring board, and FIG. 6 is an explanatory diagram of multipoint crossover wiring. 11...Substrate, 12a, 12b, 12a', 12
b', 13... lower conductor, 14a... first insulating layer, 14b... second insulating layer, 15... upper conductor, 15a... end of upper conductor.
Claims (1)
膜印刷配線基板の製造方法において、 (a) クロスオーバー部の下部配線導体上に所定の
マスクを用いて第1の絶縁層を形成し、 (b) 前記マスクを斜め方向にずらした位置に設定
して第2の絶縁層を形成し、 (c) 前記第1及び第2の絶縁層上に上部配線導体
を印刷配線することを特徴とする厚膜印刷配線基
板の製造方法。[Claims] 1. A method for manufacturing a thick film printed wiring board in which crossover wiring is performed on a substrate, comprising: (a) forming a first insulating layer on the lower wiring conductor of the crossover portion using a predetermined mask; (b) forming a second insulating layer by setting the mask in a diagonally shifted position; and (c) printing and wiring an upper wiring conductor on the first and second insulating layers. A method for manufacturing a thick film printed wiring board.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13784585A JPS61296798A (en) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | Manufacture of thick film printed wiring board |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13784585A JPS61296798A (en) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | Manufacture of thick film printed wiring board |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61296798A JPS61296798A (en) | 1986-12-27 |
| JPH0413878B2 true JPH0413878B2 (en) | 1992-03-11 |
Family
ID=15208155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13784585A Granted JPS61296798A (en) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | Manufacture of thick film printed wiring board |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61296798A (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010258202A (en) * | 2009-04-24 | 2010-11-11 | Renesas Electronics Corp | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6025173U (en) * | 1983-07-28 | 1985-02-20 | 株式会社東芝 | thick film circuit |
-
1985
- 1985-06-26 JP JP13784585A patent/JPS61296798A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61296798A (en) | 1986-12-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6343895B2 (en) | ||
| JPH0413878B2 (en) | ||
| JPS63240045A (en) | Semiconductor device | |
| US4962287A (en) | Flexible printed wire board | |
| JPH0432783Y2 (en) | ||
| JPH11195850A (en) | Flexible printed circuit board | |
| JP3227828B2 (en) | Connection method between multilayer thin film device and thin film | |
| JPS63260054A (en) | Semiconductor integrated circuit device | |
| JPH10200234A (en) | Printed wiring board with fine pattern and method for manufacturing the same | |
| JP3146884B2 (en) | Circuit components | |
| JPH07162213A (en) | Manufacture of surface mounted component | |
| JPH056687Y2 (en) | ||
| JP2566986B2 (en) | Wiring board | |
| JPH0223004Y2 (en) | ||
| JPS584193Y2 (en) | Multilayer wiring device | |
| JPH0423812B2 (en) | ||
| JP2843401B2 (en) | Multilayer structure wiring board | |
| JPS6388898A (en) | Thick film circuit board | |
| JPS62171194A (en) | Matrix wiring board | |
| JPH04299895A (en) | Multilayered circuit board | |
| JPH01287991A (en) | Crossover forming method | |
| JPH0455556B2 (en) | ||
| JPS59151431A (en) | Etching method for layer of irregular thickness | |
| JPH04223395A (en) | Thin film forming board | |
| JPS63221646A (en) | Semiconductor device |