JPH0416779B2 - - Google Patents
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- JPH0416779B2 JPH0416779B2 JP8680389A JP8680389A JPH0416779B2 JP H0416779 B2 JPH0416779 B2 JP H0416779B2 JP 8680389 A JP8680389 A JP 8680389A JP 8680389 A JP8680389 A JP 8680389A JP H0416779 B2 JPH0416779 B2 JP H0416779B2
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- liquid crystal
- display device
- crystal display
- transmissive liquid
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は透過形液晶表示装置により試料上にパ
ターンを転写刻印するパターン形成装置及びその
方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a pattern forming apparatus and method for transferring and imprinting a pattern onto a sample using a transmission type liquid crystal display device.
プリント基板、高密度モジユール用配線パター
ン、フオトマスク等の各種パターンの形成の従来
例を第１図に示す。図に於いて、レーザ発振器１
から発生したレーザ光２は凹レンズ３によつて拡
大され、コリメートレンズ４によつて平行光にさ
れて原画５に照射される。原画５を通過したレー
ザ光は投影レンズ６を経て試料７の表面に集光照
射される。この際、投影レンズ６は原画５の像を
試料７の表面に縮小投影されるように配置されて
おり、試料面には、原画５の縮少像が瞬時にして
焼付けられる。
FIG. 1 shows conventional examples of forming various patterns such as printed circuit boards, wiring patterns for high-density modules, and photomasks. In the figure, laser oscillator 1
Laser light 2 generated from the laser beam 2 is expanded by a concave lens 3, converted into parallel light by a collimating lens 4, and irradiated onto an original image 5. The laser beam that has passed through the original image 5 is condensed and irradiated onto the surface of the sample 7 via a projection lens 6. At this time, the projection lens 6 is arranged so that the image of the original image 5 is projected in a reduced size onto the surface of the sample 7, and the reduced image of the original image 5 is instantaneously printed on the sample surface.
以上の従来例では、試料面に加工したいと思う
像の拡大像を一旦原画に作り、これを光路中にセ
ツトしてやる必要があり、像が変ると、そのたび
に原画を交換してやらなければならない。
In the conventional example described above, it is necessary to create an enlarged original image of the image that is desired to be processed on the sample surface, and then set this in the optical path, and whenever the image changes, the original image must be replaced.
本発明の目的は、光路中の原画を交換すること
なく、即時新しい原画に入れかえてこの原画をタ
イミングよく透過レーザ光として試料面上に投影
照射して転写刻印できるようにしたパターン形成
装置及びその方法を提供するものである。 The object of the present invention is to provide a pattern forming device and its pattern forming apparatus which can immediately replace the original image in the optical path with a new original image without replacing the original image, and project and irradiate this original image as a transmitted laser beam onto the sample surface at a timely manner to perform transfer engraving. The present invention provides a method.
本発明の要旨は、外部からの制御信号により原
画（表示パターン）を駆動表示する透過形液晶表
示装置と、制御信号により上記透過形液晶表示装
置にレーザ光を照射するレーザ発振器と、上記透
過形液晶表示装置に表示された原画を試料上に投
影して刻印する投影レンズと、上記透過形液晶表
示装置とレーザ発振器とに入力する制御信号のタ
イミングを制御する信号制御手段とを備えたこと
を特徴とするものである。
The gist of the present invention is to provide a transmissive liquid crystal display device that drives and displays an original image (display pattern) using an external control signal, a laser oscillator that irradiates laser light to the transmissive liquid crystal display device based on a control signal, and A projection lens for projecting and marking an original image displayed on a liquid crystal display device onto a sample; and a signal control means for controlling the timing of control signals input to the transmissive liquid crystal display device and the laser oscillator. This is a characteristic feature.
上記構成により所望の原画に対応するパターン
を試料上に鮮明で正確に転写刻印することができ
る。また、透過形液晶表示装置を損傷させること
なく、鮮明で正確なパターンを試料上に転写刻印
することもできる。
With the above configuration, a pattern corresponding to a desired original image can be clearly and accurately transferred and engraved onto the sample. Furthermore, a clear and accurate pattern can be imprinted onto the sample without damaging the transmissive liquid crystal display device.
以下、本発明の実施例を図面に基づいてを詳述
する。即ち第２図は本発明の実施例を示す図であ
る。図に於いて新しく設けたものは、透過形液晶
表示装置１０、信号制御部１１、撮像管１２、撮
像レンズ１４、原画１３である。透過形液晶表示
装置１０は、信号制御部１１によつて制御を受け
る。この際の制御は、透過形液晶表示装置に対し
てどの画像パターンを表示させるかということ、
及びその表示時期の設定である。信号制御部１１
によつて制御をうけた表示装置１０に対してコリ
メータレンズ４を介して送出されてきた平行レー
ザ光から入射する。この表示装置１０に入射した
レーザ光は上記画像パターンに対応する位置を介
して該表示装置１０の投影レンズ６側に出力す
る。この出力したレーザ光は投影レンズ６を介し
て試料７に照射し、試料面上に画像パターンを形
成する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail based on the drawings. That is, FIG. 2 is a diagram showing an embodiment of the present invention. Newly provided items in the figure are a transmissive liquid crystal display device 10, a signal control section 11, an image pickup tube 12, an image pickup lens 14, and an original image 13. The transmissive liquid crystal display device 10 is controlled by a signal control section 11. The control at this time is to determine which image pattern to display on the transmissive liquid crystal display device,
and the setting of its display time. Signal control section 11
The collimated laser light transmitted through the collimator lens 4 enters the display device 10 controlled by the collimator lens 4. The laser light incident on the display device 10 is output to the projection lens 6 side of the display device 10 via a position corresponding to the image pattern. This output laser light is irradiated onto the sample 7 through the projection lens 6 to form an image pattern on the sample surface.
透過形液晶表示装置１０は、従来からよく知ら
れているように、レーザ光の入射面に対して、偏
向板−ガラス−透明電極−液晶本体部−透明電極
−ガラスとを一体化させて形成させた構造となつ
ている。上記２つの透明電極は相互にマトリツク
スになるように配置されている。このマトリツク
ス構成の電極によつて表示位置の設定が行われ
る。マトリツクス電極の選択制御が信号制御部１
１によつてなされる。 As is well known in the past, the transmission type liquid crystal display device 10 is formed by integrating a polarizing plate, glass, transparent electrode, liquid crystal main body, transparent electrode, and glass with respect to the incident surface of laser light. It has a similar structure. The two transparent electrodes are mutually arranged in a matrix. The display position is set by the electrodes in this matrix configuration. The selection control of the matrix electrode is performed by the signal control section 1.
It is done by 1.
信号制御部１１への表示画像パターンは撮像管
１２で撮像された原画１３である。信号制御部１
１は、撮像管１２から得られる映像信号を一時的
にメモリに記憶させ、表示モード時に該メモリか
ら読出し表示装置１０に表示させている。信号制
御部１１の具体的構成図を第３図に示す。先ず、
撮像管１２からの映像信号を信号変換部１１０に
入力し、メモリ１１２に記憶可能なデータ、例え
ば２値信号に変換する。この変換された映像信号
を書込み読出し回路１１１を介してメモリ１１２
に送り、アドレスに従つてメモリ１１２に記憶さ
せる。メモリ１１２は、１つの表示パターン分の
容量を持つものであつても、複数の表示パターン
分の容量を持つものであつてもよい。表示に際し
ては、書込み読出し回路１１１を読出しモードと
してメモリ１１２を駆動し信号変換部１１３に必
要なデータを読出す。この信号変換部１１３は、
メモリ１１２から読出された２値信号を液晶表示
装置１０を駆動するに必要な信号、即ちＸ，Ｙ信
号に変換する。このＸ，Ｙ信号を表示装置１０に
送り、必要な表示を行う。信号変換部１１０，１
１３、読出し書込み回路１１１は制御回路１１４
の制御をうける。この制御回路１１４での制御
は、第１にモード指定、第２にそのタイミング指
定である。制御回路１１４は、更に、レーザ発振
器１の制御も行つている。第３図では、第２図に
示すモータ用テレビ１５への制御はついては省略
している。 The display image pattern to the signal control unit 11 is the original image 13 captured by the image pickup tube 12 . Signal control section 1
1 temporarily stores a video signal obtained from an image pickup tube 12 in a memory, and reads it from the memory and displays it on the display device 10 in a display mode. A specific configuration diagram of the signal control section 11 is shown in FIG. First of all,
A video signal from the image pickup tube 12 is input to the signal converter 110 and converted into data that can be stored in the memory 112, for example, a binary signal. This converted video signal is sent to the memory 112 via the write/read circuit 111.
and stores it in the memory 112 according to the address. The memory 112 may have a capacity for one display pattern, or may have a capacity for a plurality of display patterns. For display, the write/read circuit 111 is set to read mode to drive the memory 112 and read necessary data to the signal converter 113. This signal converter 113 is
The binary signal read from the memory 112 is converted into signals necessary to drive the liquid crystal display device 10, that is, X and Y signals. These X and Y signals are sent to the display device 10 to perform necessary display. Signal converter 110,1
13. The read/write circuit 111 is a control circuit 114
be controlled by. The control by this control circuit 114 firstly specifies the mode and secondly specifies its timing. The control circuit 114 also controls the laser oscillator 1. In FIG. 3, control over the motor television 15 shown in FIG. 2 is omitted.
次に具体的数値事例に基づく説明を行う。レー
ザ光のパワー密度は液晶を損傷しない程度に選
ぶ。例えば、104Ｗ／cm2以下になるようにビーム
径を約300mmとし、レーザ出力は7MWを用いた。
透過形液晶表示装置１０を通過したレーザ光は約
１／１００に縮少投影するための投影レンズ６に入り、
液晶表示された平面像を試料７の表面に1/100の
寸法で焼付けた。この時の試料面上の最大パワー
密度は約108Ｗ／cm2に達した。試料７は、ガラス
基板上に約100Åの金属膜を蒸着したものを使用
し、レーザ光が照射すると、金属膜が除去され、
液晶パターンが1/100の寸法でそのまま瞬時に転
写刻印できた。 Next, we will provide an explanation based on specific numerical examples. The power density of the laser beam is selected so as not to damage the liquid crystal. For example, the beam diameter was set to about 300 mm so as to be 10 4 W/cm 2 or less, and the laser output was 7 MW.
The laser beam that has passed through the transmissive liquid crystal display device 10 enters the projection lens 6 for reducing the projection to approximately 1/100, and
A planar image displayed on a liquid crystal display was printed on the surface of sample 7 at a size of 1/100. The maximum power density on the sample surface at this time reached approximately 10 8 W/cm 2 . Sample 7 used a glass substrate with a metal film deposited on it with a thickness of about 100 Å, and when irradiated with laser light, the metal film was removed.
A liquid crystal pattern with a size of 1/100 could be imprinted instantly.
以上の実施例に於いて、表示パターンの種類を
光路以外で設定できるため極めて汎用性の高いパ
ターン形成が可能になつた。更に、パターンの拡
大、縮少もメモリのデータそのものを拡大、縮少
可能なため、汎用性が高まつた。 In the above embodiments, the type of display pattern can be set outside the optical path, making it possible to form extremely versatile patterns. Furthermore, since it is possible to enlarge or reduce the pattern, the data itself in the memory can be enlarged or reduced, increasing versatility.
次に、他の実施例を説明する。上記実施例で
は、信号制御部１１への入力情報を撮像管１２か
ら与えたが、この他に第４図、第５図の如きやり
方もある。第４図は、ビデオ信号記録部１６を設
け、該ビデオ信号記録部１６からの情報を原画情
報として与えてなるものである。第５図は、ビデ
オ信号を無線方式によつて伝達してなるものであ
つて、ビデオ信号送信器１８から無線によりビデ
オ信号をビデオ信号受信器１７に送り、更に信号
制御部１１に原画情報として入力せしめている。
但し、この２つの実施例ではメモリ１１２は必ず
しも必要としない。前者の実施例によれば、パタ
ーン情報をビデオ記録部にストツクしておくこと
により、必要なパターンを必要な時に形成するこ
とができる利点を持つ。後者の実施例によれば、
パターン形成を行う部所とそのパターン供給部所
とが離れている場合の遠隔操作に好適である。 Next, another embodiment will be described. In the above embodiment, the input information to the signal control section 11 is given from the image pickup tube 12, but there are other methods as shown in FIGS. 4 and 5. In FIG. 4, a video signal recording section 16 is provided, and information from the video signal recording section 16 is provided as original image information. In FIG. 5, a video signal is transmitted by a wireless method, and the video signal is transmitted wirelessly from a video signal transmitter 18 to a video signal receiver 17, and is further sent to the signal control unit 11 as original image information. I am forced to input it.
However, in these two embodiments, the memory 112 is not necessarily required. The former embodiment has the advantage that by storing pattern information in the video recording section, a necessary pattern can be formed when necessary. According to the latter embodiment:
This is suitable for remote control when the part where the pattern is formed and the part where the pattern is supplied are separated.
以上説明したように本発明によれば、電気信号
として原画を扱うことができ、原画の入れ換えを
容易にし、しかも透過形液晶表示装置の表示とレ
ーザ発振器のレーザ光発振とのタイミングが制御
できるので、鮮明で正確なパターンを試料上に転
写刻印することができる効果を奏する。
As explained above, according to the present invention, the original image can be handled as an electrical signal, the original image can be easily replaced, and the timing between the display of the transmissive liquid crystal display device and the laser beam oscillation of the laser oscillator can be controlled. This has the effect that a clear and accurate pattern can be imprinted onto the sample.
また、本発明によれば、透過形液晶表示装置を
損傷させることなく、鮮明で正確なパターンを試
料上に転写刻印することができる効果も奏する。 Further, according to the present invention, a clear and accurate pattern can be transferred and engraved onto a sample without damaging the transmissive liquid crystal display device.
第１図は従来例を示す図、第２図は本発明の実
施例を示す図、第３図、第４図及び第５図は本発
明の他の実施例を示す図である。
１……レーザ発振器、７……試料、１０……透
過形液晶表示装置、１１……信号制御部、１２…
…撮像管。
FIG. 1 is a diagram showing a conventional example, FIG. 2 is a diagram showing an embodiment of the present invention, and FIGS. 3, 4, and 5 are diagrams showing other embodiments of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Laser oscillator, 7...Sample, 10...Transmissive liquid crystal display device, 11...Signal control unit, 12...
...Image tube.
Claims (1)
る透過形液晶表示装置と、制御信号により上記透
過形液晶表示装置にレーザ光を照射するレーザ発
振器と、上記透過形液晶表示装置に表示された原
画を試料上に投影して刻印する投影レンズと、上
記透過形液晶表示装置とレーザ発振器とに入力す
る制御信号のタイミングを制御する信号制御手段
とを備えたことを特徴とするパターン形成装置。 ２ 原画情報を記憶する記憶部と、制御信号によ
り上記記憶部に記録された原画情報を読出して原
画を駆動表示する透過形液晶表示装置と、制御信
号により上記透過形液晶表示装置にレーザ光を照
射するレーザ発振器と、上記透過形液晶表示装置
に表示された原画を試料上に投影して刻印する投
影レンズと、上記透過形液晶表示装置とレーザ発
振器とに入力する制御信号のタイミングを制御す
る信号制御手段とを備えたことを特徴とするパタ
ーン形成装置。 ３ 上記記憶部には、原画情報信号を受信する受
信手段を有することを特徴とする特許請求の範囲
第２項記載のパターン形成装置。 ４ 透過形液晶表示装置に表示すべき原画を制御
信号により外部から与え、該制御信号にタイミン
グをとつた制御信号によりレーザ発振器からのレ
ーザ光を、パワー密度が104Ｗ／cm2以下になるよ
うに、上記透過形液晶表示装置に照射し、該透過
形液晶表示装置に表示された原画を投影レンズに
より試料上に投影して刻印することを特徴とする
パターン形成方法。[Scope of Claims] 1. A transmissive liquid crystal display device that drives and displays an original image in response to an external control signal, a laser oscillator that irradiates laser light to the transmissive liquid crystal display device in accordance with a control signal, and the transmissive liquid crystal display device. The present invention is characterized by comprising a projection lens that projects and engraves the original image displayed on the sample onto the sample, and a signal control means that controls the timing of control signals input to the transmissive liquid crystal display device and the laser oscillator. Pattern forming device. 2. A storage section that stores original image information, a transmissive liquid crystal display device that reads out the original image information recorded in the storage section according to a control signal and drives and displays the original image, and a transmissive liquid crystal display device that emits a laser beam to the transmissive liquid crystal display device according to a control signal. A laser oscillator for irradiation, a projection lens for projecting and inscribing the original image displayed on the transmissive liquid crystal display device onto the sample, and controlling the timing of control signals input to the transmissive liquid crystal display device and the laser oscillator. A pattern forming apparatus comprising: a signal control means. 3. The pattern forming apparatus according to claim 2, wherein the storage section includes receiving means for receiving an original image information signal. 4. An original image to be displayed on a transmissive liquid crystal display device is given from the outside by a control signal, and a control signal timed with the control signal is used to control the laser beam from the laser oscillator at a power density of 10 4 W/cm 2 or less. A pattern forming method characterized by irradiating the above-mentioned transmissive liquid crystal display device, and projecting the original image displayed on the transmissive liquid crystal display device onto a sample using a projection lens to make an imprint.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1086803A JPH02307A (en) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | Pattern forming equipment and its method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1086803A JPH02307A (en) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | Pattern forming equipment and its method |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11416179A Division JPS5638888A (en) | 1979-09-07 | 1979-09-07 | Pattern forming method |
Related Child Applications (4)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6158793A Division JP2531921B2 (en) | 1993-03-22 | 1993-03-22 | Laser marking pattern marking method |
| JP5061586A Division JP2531920B2 (en) | 1993-03-22 | 1993-03-22 | Laser marking device using transmissive liquid crystal display |
| JP6084343A Division JPH07105337B2 (en) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | Pattern engraving device |
| JP6084344A Division JP2530423B2 (en) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | Pattern marking device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02307A JPH02307A (en) | 1990-01-05 |
| JPH0416779B2 true JPH0416779B2 (en) | 1992-03-25 |
Family
ID=13896959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1086803A Granted JPH02307A (en) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | Pattern forming equipment and its method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02307A (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2531920B2 (en) * | 1993-03-22 | 1996-09-04 | 株式会社日立製作所 | Laser marking device using transmissive liquid crystal display |
| KR100783324B1 (en) * | 2005-04-20 | 2007-12-10 | 증권예탁결제원 | Linkage System and Method of Standing Representative for Securities Lending |
-
1989
- 1989-04-07 JP JP1086803A patent/JPH02307A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02307A (en) | 1990-01-05 |
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