JPH0436271B2

JPH0436271B2 -

Info

Publication number: JPH0436271B2
Application number: JP1634385A
Authority: JP
Inventors: Junichi Shimizu
Original assignee: Anelva Corp
Current assignee: Canon Anelva Corp
Priority date: 1985-01-30
Filing date: 1985-01-30
Publication date: 1992-06-15
Also published as: JPS61175285A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は、スパツタ装置やドライエツチング
装置等の真空装置に用いる真空ポンプの異常を監
視するための装置に関する。

（従来の技術）基板の表面を処理するスパツタ装置やドライエ
ツチング装置等に用いる真空ポンプは、長時間運
転にも耐えられるだけの信頼性がなければならな
いので、当該装置の保守点険を怠りなく実施し、
運転中の故障等を回避しなければならない。

特に、ターボモレキユラポンプを主ポンプとし
た装置では、当該ポンプの機械寿命を考慮して、
定期的な点険をするとともに、故障に対しては早
期発見を常としなければならない。

そこで、従来はターボモレキユラポンプの駆動
電流のうち、第２図に示す過電流ｋを検出し、こ
の過電流ｋの検出によつて当該装置の故障を確認
するようにしていた。

しかし、この過電流ｋが流れるのは、特に、真
空ポンプの始動時のようにポンプ負荷が大きいと
きであつて、負荷が低い定常的な運転中には、こ
の過電流ｋが流れることはほとんどない。

（本発明が解決しようとする問題点）したがつて、従来の装置では、真空ポンプの始
動時という特定の運転状態のときにしか、その異
常を検出できないという問があつた。

この発明の目的は、バルブを閉じるだけで、い
つでも当該真空ポンプの異常を検出できる状態に
して、その異常を早期に発見できるようにするこ
とである。

（問題点を解決するための手段）この発明は、上記の目的を達成するために、真
空室を排気する真空ポンプと、この真空ポンプを
作動させるための駆動電源と、この駆動電源から
の駆動電流を検出する駆動電流検出手段と、上記
真空室と真空ポンプとを連通したりその連通を遮
断したりするバルブと、このバルブを閉じたとき
の信号を受けて作動し、そのときの電流の多寡を
判定し、当該真空ポンプの異常を検出する異常検
出手段とを備えている。

（本発明の作用）上記のように構成したので、バルブを閉じれ
ば、負荷が低い定常運転状態を人工的に現出でき
るとともに、この状態で異常検出手段が自動的に
動作して当該真空ポンプの異常を検出できる。

（本発明の効果）特許請求の範囲第１項記載の発明によれば、バ
ルブを閉じるこで、いつでも真空ポンプの異常を
検出できるので、それだけ異常を早期に発見しや
すくなる。

特許請求の範囲第２項記載の発明によれば、バ
ルブを閉じて定常運転状態を人工的につくり出
し、その異常を検出するのに加えて、真空ポンプ
の実際の定常運転状態でも、常に、その異常を検
出できる。したがつて、当該真空ポンプの異常を
検出するより機会が多くなり、その異常の早期発
見に役立つ。

（本発明の実施例）第１図に示した実施例は、真空計１を接続した
真空室２に、主ポンプしてのターボモレキユラポ
ンプ３（以下真空ポンプという）接続するととも
に、この真空室２と真空ポンプ３との間にバルブ
４を接続している。

なお、符号５は補助ポンプとしての油回転ポン
プ、６は真空室２にガスを導入するためのバルブ
である。

上記のようにした真空ポンプ３には、それを駆
動するための駆動電源７を接続する一方、この駆
動電源７には駆動電流検出手段８を接続してい
る。

この駆動電流検出手段８は異常検出手段９に接
続しているが、この異常検出手段９は真空計１及
びバルブ４にも接続している。そして、この異常
検出手段９が動作するのは、バルブ４が閉弁した
とき、あるいは真空室２内の圧力が設定圧以下に
なつたときのいずれかである。

しかも、この異常検出手段９には、ポンプ負荷
が低い定常運転時の適正な駆動電流を記憶させる
とともに、駆動電流検出手段８から出力される駆
動電流が上記適正値よりも大きいと、その差を判
定して異常を検出し、その異常信号を警報手段１
０に伝達するようにしている。

しかして、バルブ４を閉じた状態で真空ポンプ
３を駆動すると、その吸引容積がバルブ４と真空
ポンプ３とを接続する配管容積だけになるので、
真空ポンプ３は、阻座に無負荷あるいはそれに近
い状態になる。つまり、バルブ４を閉じることに
よつて、真空ポンプ３の定常運転状態を人工的に
つくることができる。

しかも、バルブ４を閉じれば、上記したように
異常検出手段９が動作するので、駆動電流検出手
段８から出力される駆動電流をこの異常検出手段
９が測定し、その値と適正値とを比較する。

この異常検出手段９による比較結果として、駆
動電流が適正値よりも大きいと判定されれば、当
該真空ポンプ３に異常があることになる。

つまり、駆動電流が適正値よりも大きいという
ことは、当該ポンプ３に必要以上の負荷が作用し
ていると考えられるので、この場合には当該ポン
プ３の内部でベアリングの摩耗、潤滑油の異常あ
るいは異物の混入など、性能劣化につながる異常
があることになる。

このようにして検出された異常信号は、警報手
段１０を介して監視者に伝達されるので、それに
対応した処置が可能になり、その保守等を確実に
実施できる。

また、真空ポンプ３を駆動して真空室２内を排
気する一方、その真空室２内の圧力を真空計１で
計測するとともに、その圧力信号を異常検出手段
９に伝達する。

そして、真空室２内の圧力が十分に低くなつた
とき、換言すれば、当該ポンプ３が無負荷あるい
はそれに近い状態である定常運転に入つたとき、
異常検出手段９が動作して、駆動電流検出手段８
から入力される駆動電流を測定し、その値と適正
値とを比較する。

そして、第２図は、定常運転に入つてからの駆
動電流Ｉと運転時間Ｔとの関係を示したもので、
セクシヨンａは、バルブ４を閉じて当該ポンプ３
を始動させた状態である。このセクシヨンａで
は、大きな始動電流が流れるが、当該ポンプ３が
定格回転速度に達して起動状態になると、駆動電
流は減少してｇとなる。

次に、ｂセクシヨンでは、バルブ４を開いて真
空室２を排気したときの電流の変化で、圧力の低
下にともなつて駆動電流が減少し、到達圧力状態
でその電流値はｈとなる。

Ｃセクシヨンは、その真空室２で作業を行なう
ためにガスを導入している時間で、当該ポンプ３
には一定の負荷が作用した状態になる。

ｄセクシヨンでは、作業が終了して再び真空室
２を排気している状態であるが、この例では、当
該ポンプ３に劣化が始まり、真空室２の圧力が十
分に低くなつていても駆動電流が正常時の電流値
ｇ、ｈよりも大きな値ｉとなつている。

ｅセクシヨンでは、次の工程に入つて再びガス
を導入している時間である。

ｆセクシヨンは、上記ガスの導入後に作業を行
なうとともに、それを終了してバルブ４を閉じ、
真空室２を大気に戻して基板の入れかえ作業を行
なう時間である。そして、この時間帯では、上記
のようにポンプ３の性能劣化が始まつているの
で、当該ポンプ３が真空室２から遮断されて無負
荷状態になつているのに、電流値ｊが正常時の駆
動電流ｇ、ｈよりも大きくなつている。

この状態から、次の作業を繰り返すために、バ
ルブ４を開いて真空室２の排気を行なうと、駆動
電流Ｉは過電流ｋにまで達してしまう。

なお、駆動電流Ｉが過電流ｋにまで達すると、
回路を保護するために駆動電源７が、自動的に電
流の供給を停止して、当該ポンプ３の運転を停止
するようにしている。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の実施例を示すもので、第１図
は実施例の回路図、第２図はこの実施例の装置を
用いて真空ポンプを運転したときの運転時間と駆
動電流との相関性を示したグラフである。１…真空計、２…真空室、３…真空ポンプ、４
…バルブ、７…駆動電源、８…駆動電流検出手
段、９…異常検出手段。

Claims

【特許請求の範囲】１真空室を排気する真空ポンプと、この真空ポ
ンプを作動させるための駆動電源と、この駆動電
源からの駆動電流を検出する駆動電流検出手段
と、上記真空室と真空ポンプとを連通したりその
連通を遮断したりするバルブと、このバルブを閉
じたときの信号を受けて作動し、そのときの電流
の多寡を判定して、当該真空ポンプの異常を検出
する異常検出手段とを備えた真空ポンプの監視装
置。２真空室の圧力を測定する真空計を設け、真空
室内の圧力が設定圧以下になつたとき、その真空
計からの信号によつて異常検出手段を動作させる
構成にした特許請求の範囲第１項記載の真空ポン
プの監視装置。