JPH044099B2 - - Google Patents
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- JPH044099B2 JPH044099B2 JP57033438A JP3343882A JPH044099B2 JP H044099 B2 JPH044099 B2 JP H044099B2 JP 57033438 A JP57033438 A JP 57033438A JP 3343882 A JP3343882 A JP 3343882A JP H044099 B2 JPH044099 B2 JP H044099B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- holding plate
- holding
- top plate
- polishing
- Prior art date
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/34—Accessories
- B24B37/345—Feeding, loading or unloading work specially adapted to lapping
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、研摩機に対してワークピースを自動
的に供給し、また、研摩機からワークピースを自
動的に搬出するための新規かつ改良されたワーク
ピース・ローデイング装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention provides a new and improved workpiece loading device for automatically feeding workpieces into and automatically unloading workpieces from a sanding machine. It is related to.
従来、ガラス板、アルミニウム製磁気デイスク
等のワークピースあるいはガラス板などからなる
ワークピース・ホルダーの表面に保持したシリコ
ーン、GGGなどの薄くてもろいワークピース
(以下単にワークピースと記す)を研摩するため
の研摩機の1つとして、ワークピースをターンテ
ーブル上の研摩面に接触配置し、砥粒を含むスラ
リー液の存在下に上記ターンテーブルを回転させ
ながら、その研摩面上のワークピースを従動回転
させてワークピースの表面を研摩する研摩機が知
られている。 Conventionally, for polishing thin and brittle workpieces such as silicone or GGG (hereinafter simply referred to as workpieces) held on the surface of workpieces such as glass plates, aluminum magnetic disks, or workpiece holders made of glass plates, etc. As one of the polishing machines, a workpiece is placed in contact with a polishing surface on a turntable, and while the turntable is rotated in the presence of a slurry liquid containing abrasive grains, the workpiece on the polishing surface is driven to rotate. A polishing machine is known that polishes the surface of a workpiece by polishing the surface of the workpiece.
しかしながら、従来公知の研摩機では、そのタ
ーンテーブルに対するワークピースの装着、ある
いは研摩後のワークピースの取出しを人手に頼つ
ているのが現状であり、また、近年ワークピース
の大口径化に伴なつてワークピースは時として10
Kg以上にも達するために、この装着、取外しには
可成りの労力を伴なうし、またこの作業中に操作
者がワークピースを落下したり、ワークピースと
ターンテーブルの間に指を挾み込む危険さえも伴
なうものであつた。 However, conventionally known polishing machines currently rely on humans to load the workpiece onto the turntable or take out the workpiece after polishing. The workpiece is sometimes 10
Kg or more, this installation and removal requires considerable effort, and during this process, the operator may drop the workpiece or get his or her fingers caught between the workpiece and the turntable. There was even a danger that it might get stuck.
そこで、従来、ワークピースの研摩装置に対す
る装着、取外しをたとえば産業用ロボツトを用い
て行なわせることが一部で検討されているが、し
かしこの場合には比較的大きな設置面積を必要と
するほか、産業用ロボツトの設計、製作に費用が
かさむという難点があるので、このような産業用
ロボツトを用いず、しかもコンパクトで全自動的
に研摩作業の行なえる装置の出現が強く望まれて
いた。 Therefore, some studies have conventionally considered using, for example, industrial robots to attach and detach workpieces to and from polishing equipment, but in this case, a relatively large installation area is required, and Since industrial robots have the disadvantage of being expensive to design and manufacture, there has been a strong desire for a compact and fully automatic polishing device that does not require such industrial robots.
本発明はかかる要望に応えるために提案され
た、研摩機に対してワークピースを自動的に供給
し、また研摩機からワークピースを自動的に搬出
するためのワークピース・ローデイング装置に関
するものであつて、これはワークピースを吸着保
持するためのトツププレートを吊下保持して研摩
機本体に取付けた揺動アーム、該研摩機の側部で
かつ該揺動アームの回転軌跡上に配置したワーク
ピース保持盤、該保持盤をアーチ形アームの先端
間に回転自在に保持して上下動する機構、該保持
盤を180゜反転する機構、該保持盤の下方に配置し
たコンベアとからなり、上記保持盤をその上限位
置で反転してから下降させ、該保持盤の周縁部を
上記コンベア上に予めセツトされたワークピース
の周縁部に接触させて該ワークピースを吸着保持
し、ついで保持盤を上昇させ、その上限位置で反
転して元の状態に戻した後、該保持盤上に上記揺
動アームを回転して上記トツププレートを下降さ
せ、該トツププレートの周縁部を該保持盤上のワ
ークピースの周縁部に接触させて該ワークピース
を吸着保持してから、該揺動アームを上記研摩機
本体のターンテーブル上に回動することを特徴と
するものである。 The present invention relates to a workpiece loading device proposed to meet such demands, and for automatically supplying workpieces to a polishing machine and automatically transporting workpieces from the polishing machine. This consists of a swinging arm attached to the main body of the polishing machine with a top plate suspended to hold the workpiece by suction, and a workpiece placed on the side of the sanding machine and on the rotation trajectory of the swinging arm. It consists of a piece holding plate, a mechanism for rotatably holding the holding plate between the tips of arch-shaped arms and moving it up and down, a mechanism for reversing the holding plate by 180 degrees, and a conveyor placed below the holding plate. The holding plate is reversed at its upper limit position and then lowered, the peripheral edge of the holding plate is brought into contact with the peripheral edge of the workpiece set in advance on the conveyor to suction and hold the workpiece, and then the holding plate is lowered. After raising it and inverting it at its upper limit position to return to its original state, the swinging arm is rotated to lower the top plate onto the holding plate, and the peripheral edge of the top plate is placed on the holding plate. The present invention is characterized in that the swinging arm is rotated onto the turntable of the polishing machine body after the workpiece is attracted and held by contact with the peripheral edge of the workpiece.
以下、添付図面に基づいて本発明を詳細に説明
する。 Hereinafter, the present invention will be explained in detail based on the accompanying drawings.
第1図は本発明のワークピース・ローデイング
装置を組込んだ研摩機の代表的実施例を示す斜視
図、第2図、第3図、第4図はそれぞれの平面
図、正面図、側面図である。 FIG. 1 is a perspective view showing a typical embodiment of a polishing machine incorporating the workpiece loading device of the present invention, and FIGS. 2, 3, and 4 are a plan view, a front view, and a side view, respectively. It is.
第1図〜第4図から明らかなように、この研摩
機は研摩機本体Aと、この本体中央に設置したタ
ーンテーブル10上にワークピース40を自動的
に装着するために、常時このワークピースを準備
待機させておく本発明になるローデイング装置B
と、研摩後に上記ターンテーブル10から取出し
たワークピース40を搬出するためのアンローデ
イング機構Cとからなるものであり、この研摩機
にはまた、研摩作業後におけるターンテーブル上
の研摩面の目詰りを解消するためのブラツシング
機構Dが取付けられている。 As is clear from FIGS. 1 to 4, this polishing machine has a main body A and a turntable 10 installed in the center of the main body, in order to automatically load the workpiece 40 thereon. Loading device B according to the present invention that keeps the
and an unloading mechanism C for unloading the workpiece 40 taken out from the turntable 10 after polishing. A brushing mechanism D is installed to eliminate this problem.
本発明のワークピース・ローデイング装置Bは
前記したように、ワークピース40を吸着保持す
るためのトツププレート20を吊下保持して研摩
機本体Aに取付けた揺動アーム30、該研摩機の
側部でかつ該揺動アーム30の回転軌跡上に配置
したワークピース保持盤50、該保持盤をアーチ
形アームの先端間に回転自在に保持して上下動す
る機構、該保持盤を180゜反転する機構、該保持盤
の下方に配置したコンベアとからなるものである
が、まずその揺動アーム30について第5図に基
いて説明する。 As described above, the workpiece loading device B of the present invention includes a swinging arm 30 attached to the polishing machine main body A while suspending the top plate 20 for suctioning and holding the workpiece 40; A workpiece holding plate 50 disposed on the rotational trajectory of the swinging arm 30, a mechanism for rotatably holding the holding plate between the tips of the arched arms and moving it up and down, and a mechanism that rotates the holding plate 180°. First, the swing arm 30 will be explained with reference to FIG. 5.
すなわち、上記揺動アーム30は回動軸31を
介して研摩機本体Aの機台に軸支されており、図
面を簡略化するために省略したが、該回動軸31
は機台内部に設置した揺動駆動装置に連結され、
研摩機本体Aのターンテーブル10に対するワー
クピース40の装着ならびにターンテーブル10
から該ワークピース40を取り出す操作を通じ
て、該揺動アーム30をローデイング装置Bとア
ンローデイング装置Cとの間に回動させ、また、
研摩作業を通じて該ワークピース40がターンテ
ーブル10上を往復運動するように揺動させるこ
とができるようにされている。 That is, the swing arm 30 is pivotally supported by the machine stand of the polishing machine main body A via a rotation shaft 31, and although it is omitted to simplify the drawing, the rotation shaft 31 is
is connected to the swing drive device installed inside the machine,
Attaching the workpiece 40 to the turntable 10 of the polishing machine body A and the turntable 10
Through the operation of taking out the workpiece 40 from the machine, the swinging arm 30 is rotated between the loading device B and the unloading device C, and
The workpiece 40 is allowed to swing back and forth on the turntable 10 during the polishing operation.
上記揺動アーム30の前方には中空回転軸21
が垂下され、その下端にはトツププレート20が
連結保持されており、このトツププレート20
は、その底面に凹陥部22が設けられると共に該
凹陥部の内周囲にゴムリング23が装着されてい
る。上記中空回転軸21は揺動アーム30内に設
置したモータ24にギアを介して連結されてお
り、必要に応じ研摩作業を通じてトツププレート
20を強制回転できるようにされている。この中
空回転軸21はまた、その内部に真空吸引パイプ
25および冷却液供給パイプ26が配設されてい
て、第5図に示すように、トツププレート20の
下方のゴムリング23にワークピース40の周縁
を密接させた状態で、上記吸引パイプ25を通じ
て凹陥部22の内部を減圧することにより、該ワ
ークピース40を吸着保持することができ、また
研摩作業中にはパイプ26を通じて該凹陥部22
内に冷却液を供給し、トツププレートの過熱を防
止することができる。なお、第5図には図示して
ないが、上記中空回転軸21にはエアシリンダ機
構が取付けられていて、ワークピース40のター
ンテーブル10に対する装着ならびに取り出し作
業を通じてトツププレート20を上下動できる構
造とされている。 A hollow rotating shaft 21 is provided in front of the swing arm 30.
is suspended, and a top plate 20 is connected and held at the lower end of the top plate 20.
is provided with a concave portion 22 on its bottom surface, and a rubber ring 23 is attached to the inner periphery of the concave portion. The hollow rotating shaft 21 is connected via a gear to a motor 24 installed in a swing arm 30, so that the top plate 20 can be forcibly rotated through polishing work as required. This hollow rotary shaft 21 is also provided with a vacuum suction pipe 25 and a coolant supply pipe 26 inside, and as shown in FIG. By reducing the pressure inside the recess 22 through the suction pipe 25 with the peripheral edges brought into close contact with each other, the workpiece 40 can be held by suction.
Coolant can be supplied inside the top plate to prevent overheating of the top plate. Although not shown in FIG. 5, an air cylinder mechanism is attached to the hollow rotating shaft 21, and has a structure that allows the top plate 20 to be moved up and down while the workpiece 40 is mounted on and taken out from the turntable 10. It is said that
つぎに、第6図〜第9図は上記揺動アーム30
を除いた本発明になるワークピース・ローデイン
グ装置Bの要部の詳細を示すものであつて、第6
図はローデイング装置の正面図、第7図はそのワ
ークピース保持盤の平面図、第8図はそのコンベ
アの平面図、第9図は側面図を示すものである。 Next, FIGS. 6 to 9 show the swing arm 30
This figure shows the details of the main parts of the workpiece loading apparatus B according to the present invention except for the sixth part.
7 is a front view of the loading device, FIG. 7 is a plan view of its workpiece holding plate, FIG. 8 is a plan view of its conveyor, and FIG. 9 is a side view.
本発明装置におけるワークピース保持盤50
は、上記トツププレート20と類似構成でその表
面に平坦な底面の凹陥部51を有すると共に該凹
陥部の内周縁にゴムリング52を装着してなり、
これはアーチ形支持アーム53に対し、反転駆動
機構54により180゜回転できるように保持され、
該支持アーム53は3本の支持脚55ならびにエ
アシリンダ56に支持されて上下動自在の構造と
されている。また、コンベア60は複数のコンベ
アローラ61を1対のフレーム62a,62bと
の間に保持すると共に、このフレームを3本の固
定支持脚63で保持してなるものである。 Workpiece holding plate 50 in the device of the present invention
has a structure similar to that of the top plate 20, and has a concave portion 51 with a flat bottom on its surface, and a rubber ring 52 is attached to the inner peripheral edge of the concave portion,
This is held with respect to an arched support arm 53 so as to be rotatable through 180° by a reversing drive mechanism 54.
The support arm 53 is supported by three support legs 55 and an air cylinder 56, and has a vertically movable structure. Further, the conveyor 60 is constructed by holding a plurality of conveyor rollers 61 between a pair of frames 62a and 62b, and holding this frame by three fixed support legs 63.
なお、上記したワークピース・ローデイング装
置Bは、研摩機本体Aのターンテーブル10上に
ワークピース40を装着するためのものである
が、しかしこのローデイング装置はまた、研摩後
のワークピース40を研摩機本体Aのターンテー
ブル10から取り出して系外に搬出するためのア
ンローデイング装置Cとしても使用することがで
き、通常は第1図〜第4図に示すように、構造的
に全く同じローデイング装置が研摩機本体Aの左
右に1個づつ取付けられ、一方はローデイング装
置Bとして、他方はアンローデイング装置Cとし
て機能するように使用される。 Note that the workpiece loading device B described above is for mounting the workpiece 40 on the turntable 10 of the polishing machine main body A, but this loading device also serves to polish the workpiece 40 after polishing. It can also be used as an unloading device C for taking out the machine body A from the turntable 10 and transporting it out of the system, and normally, as shown in Figs. 1 to 4, the loading device is structurally exactly the same. are attached to the left and right sides of the main body A of the polishing machine, and one is used to function as a loading device B and the other as an unloading device C.
つぎに、本発明装置の作動について説明する
と、まずローデイング装置Bでは、たとえば予め
準備されたワークピース40をベルトコンベアあ
るいはローラコンベア(図示せず)を用いて、コ
ンベア60上に第6図の仮想線で示される状態で
置いた後、ロータリー・エアシリンダ54を作動
してワークピース保持盤50を180゜反転させてそ
の凹陥部51を下向きにしてから、エアシリンダ
56を作動して該保持盤50を下降させ、該保持
盤に装着したゴムリング52を上記ワークピース
40の表面周縁部に密着させる。つぎに、真空吸
引装置(図示せず)を作動して保持盤凹陥部51
の内部を減圧し、保持盤50にワークピース40
を吸着保持してから、再びエアシリンダ56を作
動して保持盤50を上昇させ、その上限位置にて
反転機構54を作動して保持盤50を180゜反転さ
せ、上記ワークピース40を第6図の実線で示す
状態にセツトし、その作動を停止する。 Next, to explain the operation of the apparatus of the present invention, first, in the loading apparatus B, a workpiece 40 prepared in advance is placed onto a conveyor 60 using a belt conveyor or a roller conveyor (not shown) as shown in FIG. After placing the workpiece in the state shown by the line, actuate the rotary air cylinder 54 to invert the workpiece holding plate 50 by 180 degrees so that its concave portion 51 faces downward, and then actuate the air cylinder 56 to rotate the workpiece holding plate 50. 50 is lowered, and the rubber ring 52 attached to the holding plate is brought into close contact with the peripheral edge of the surface of the workpiece 40. Next, a vacuum suction device (not shown) is activated to remove the holding plate concave portion 51.
The pressure inside the workpiece 40 is reduced and the workpiece 40 is placed on the holding plate 50.
After suctioning and holding the workpiece 40, the air cylinder 56 is operated again to raise the holding plate 50, and at the upper limit position, the reversing mechanism 54 is operated to reverse the holding plate 50 by 180 degrees, and the workpiece 40 is moved to the sixth position. Set it to the state shown by the solid line in the figure and stop its operation.
続いて、研摩機本体Aに取付けた揺動アーム3
0を(第5図参照)、上方から見て時計方向に回
動させて、揺動アーム30に吊下保持したトツプ
プレート20がローデイング装置Bの真上にきた
ところでその回動を停止し、ついで揺動アームの
中空回転軸21に取付けたエアシリンダを作動し
て該トツププレート20を押下げ、トツププレー
トに装着したゴムリング23を、保持盤上のワー
クピース40の裏面周縁部に密接させ、中空回転
軸21内の吸引パイプ25を通じて凹陥部22内
の空気を抜き取り、トツププレート20にワーク
ピース40を吸着保持する。つぎに、該中空回転
軸21を上昇させてから、今度は揺動アーム30
を反時計方向に回動して、トツププレート20を
ターンテーブル10上に位置させ、該中空回転軸
21を再びわずかに下降してワークピース40の
被研摩面をターンテーブル上の研摩面10aに密
接させ、ついでワークピース40のトツププレー
ト20に対する真空吸着を解除して研摩作業の準
備を完了する。 Next, the swing arm 3 attached to the polishing machine body A
0 (see Fig. 5) in a clockwise direction when viewed from above, and when the top plate 20 suspended and held by the swing arm 30 comes directly above the loading device B, the rotation is stopped. Next, the air cylinder attached to the hollow rotating shaft 21 of the swing arm is operated to push down the top plate 20, and the rubber ring 23 attached to the top plate is brought into close contact with the periphery of the back surface of the workpiece 40 on the holding plate. The air in the concave portion 22 is extracted through the suction pipe 25 in the hollow rotating shaft 21, and the workpiece 40 is held by suction on the top plate 20. Next, after raising the hollow rotating shaft 21, the swing arm 30
is rotated counterclockwise to position the top plate 20 on the turntable 10, and the hollow rotating shaft 21 is again slightly lowered to bring the polished surface of the workpiece 40 onto the polished surface 10a on the turntable. Then, the vacuum suction of the workpiece 40 to the top plate 20 is released to complete preparation for the polishing operation.
このようにして準備が完了したら、従来公知の
方法にしたがつて研摩作業を行ない、ワークピー
スの表面に所定の鏡面研摩が達成されたら、再び
トツププレート20にワークピース40を吸着保
持して、中空回転軸21を上昇させてワークピー
ス40をターンテーブル10から離した後、揺動
アーム30を反時計方向に回動させて、トツププ
レート20がアンローデイング装置Cの真上に来
たところでその回動を停止し、ついで中空回転軸
21と共にトツププレート20を押下げる。 When the preparation is completed in this way, polishing is performed according to a conventionally known method, and when the surface of the workpiece has been polished to a desired mirror finish, the workpiece 40 is again held by suction on the top plate 20. After raising the hollow rotating shaft 21 to release the workpiece 40 from the turntable 10, rotate the swinging arm 30 counterclockwise until the top plate 20 is directly above the unloading device C. The rotation is stopped, and then the top plate 20 is pushed down together with the hollow rotating shaft 21.
このように上記トツププレート20に吸着保持
した下向きワークピース40の表面周縁部がアン
ローデイング装置C(第1図参照)の保持盤50
上のゴムリング52に接触したら、トツププレー
ト20の下降を停止すると共にワークピースの真
空吸着を解除する。 The surface periphery of the downward-facing workpiece 40 suctioned and held on the top plate 20 in this way is attached to the holding plate 50 of the unloading device C (see FIG. 1).
When it comes into contact with the upper rubber ring 52, the top plate 20 stops descending and the vacuum suction of the workpiece is released.
引続き上記保持盤50による真空吸着を行なつ
てから、この保持盤50を反転駆動装置54によ
り180゜反転させた後、保持盤50をエアシリンダ
56により下降させ、ワークピース40の裏面を
コンベア60に接触させ、最後に保持盤50によ
るワークピース40の真空吸着を解除する。この
ようにして、コンベア60に置かれた研摩後のワ
ークピース40は、ベルトコンベアあるいはロー
ラコンベアを用いて所定個所に搬出される。 Subsequently, the holding plate 50 performs vacuum suction, and then the holding plate 50 is reversed by 180 degrees by the reversing drive device 54, and then the holding plate 50 is lowered by the air cylinder 56, and the back side of the workpiece 40 is transferred to the conveyor 60. Finally, the vacuum suction of the workpiece 40 by the holding plate 50 is released. In this way, the polished workpiece 40 placed on the conveyor 60 is transported to a predetermined location using a belt conveyor or roller conveyor.
上記のように、本発明装置によれば研摩装置に
対するワークピースの装着、ワークピースの研
摩、研摩後にワークピースを研摩装置から取出す
操作を全自動的に行なうことができ、上記した一
連の動作はプロセス制御によつて行なうことがで
き、このプロセス制御のプログラムの設定、変更
あるいは装置の調整操作等は装置本体Aの前面に
設けた操作パネル27,28において行なうこと
ができる。 As described above, according to the apparatus of the present invention, it is possible to fully automatically perform the operations of mounting a workpiece on the polishing device, polishing the workpiece, and taking out the workpiece from the polishing device after polishing. This can be done by process control, and the process control programs can be set or changed, or the apparatus can be adjusted using operation panels 27 and 28 provided on the front side of the main body A of the apparatus.
以下説明した通り、本発明によれば、従来人手
を要していた研摩作業を全自動的に行なうことが
できて省力化に寄与するばかりでなく、ワークピ
ースの研摩装置に対する装着、装着からの取出し
を通じて反転機構の存在下にワークピースの研摩
面に全く傷をつけるおそれがないので、その歩留
りの向上、生産性の向上にも大きく寄与し、した
がつてその実用的価値はすこぶる大きい。 As explained below, according to the present invention, polishing work that conventionally required manual labor can be performed fully automatically, which not only contributes to labor savings, but also eliminates the need for attaching workpieces to the polishing device and mounting them. Since there is no risk of damaging the polished surface of the workpiece in the presence of the reversing mechanism during removal, it greatly contributes to improving the yield and productivity, and therefore has great practical value.
第1図は本発明になるワークピース・ローデイ
ング装置を組込んだ研摩機の代表的実施例を示す
概略斜視図、第2図、第3図、第4図はそれぞれ
その平面図、正面図、側面図である。第5図は上
記研摩機本体部の要部を一部断面で表わした概略
構成図である。第6図〜第9図は本発明になるロ
ーデイング装置の要部の詳細を示すものであつ
て、第6図はその正面図、第7図はそのワークピ
ース保持盤の平面図、第8図はそのコンベアロー
ラの平面図、第9図は側面図である。
A……装置本体、B……ローデイング機構、C
……アンローデイング機構、D……ブラツシング
機構、10……ターンテーブル、10a……研摩
布(研摩面)、20……トツププレート、21…
…中空回転軸、22……凹陥部(間隙)、23…
…ゴムリング、24……モータ、25……真空吸
引パイプ、26……冷却水パイプ、27,28…
…操作パネル、30……揺動アーム、31……回
転軸、40……ワークピース、50……ワークピ
ース保持盤、51……凹陥部、52……ゴムリン
グ、53……支持アーム、54……反転駆動装
置、55……支持脚、56……エアシリンダ、6
0……コンベア、61……ローラ、62……フレ
ーム、63……固定支持脚。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing a typical embodiment of a polishing machine incorporating a workpiece loading device according to the present invention, and FIGS. 2, 3, and 4 are respectively a plan view, a front view, and FIG. FIG. 5 is a schematic diagram showing a main part of the main body of the polishing machine partially in cross section. 6 to 9 show details of the main parts of the loading device according to the present invention, with FIG. 6 being a front view thereof, FIG. 7 being a plan view of its workpiece holding plate, and FIG. 9 is a plan view of the conveyor roller, and FIG. 9 is a side view. A...Device main body, B...Loading mechanism, C
... Unloading mechanism, D... Brushing mechanism, 10... Turntable, 10a... Abrasive cloth (abrasive surface), 20... Top plate, 21...
...Hollow rotating shaft, 22... Concavity (gap), 23...
...Rubber ring, 24...Motor, 25...Vacuum suction pipe, 26...Cooling water pipe, 27, 28...
...Operation panel, 30... Swinging arm, 31... Rotating shaft, 40... Workpiece, 50... Workpiece holding plate, 51... Concave portion, 52... Rubber ring, 53... Support arm, 54 ... Reversing drive device, 55 ... Support leg, 56 ... Air cylinder, 6
0... Conveyor, 61... Roller, 62... Frame, 63... Fixed support leg.
Claims (1)
レートを吊下保持して研摩機本体に取付けた揺動
アーム、該研摩機の側部でかつ該揺動アームの回
転軌跡上に配置したワークピース保持盤、該保持
盤をアーチ形アームの先端間に回転自在に保持し
て上下動する機構、該保持盤を180゜反転する機
構、該保持盤の下方に配置したコンベアとからな
り、上記保持盤をその上限位置で反転してから降
下させ、該保持盤の周縁部を上記コンベア上に予
めセツトされたワークピースの周縁部に接触させ
て該ワークピースを吸着保持し、ついで、該保持
盤を上昇させその上限位置で反転して元の状態に
戻した後、該保持盤上に上記揺動アームを回動し
て上記トツププレートを下降させ、該トツププレ
ートの周縁部を該保持盤上のワークピースの周縁
部に接触させて該ワークピースを吸着保持してか
ら、該揺動アームを上記研摩機本体のターンテー
ブル上に回動することを特徴とする研摩機用ワー
クピース・ローデイング装置。1. A swinging arm attached to the main body of the polishing machine with a suspended top plate for suctioning and holding the workpiece, and a workpiece holding plate placed on the side of the sanding machine and on the rotation trajectory of the swinging arm. , a mechanism for rotatably holding the holding plate between the tips of arch-shaped arms and moving it up and down, a mechanism for reversing the holding plate by 180 degrees, and a conveyor placed below the holding plate, After inverting at the upper limit position, the holding plate is lowered, and the peripheral edge of the holding plate is brought into contact with the peripheral edge of a workpiece previously set on the conveyor to suction and hold the workpiece, and then the holding plate is raised. After inverting at the upper limit position and returning to the original state, the swinging arm is rotated onto the holding plate to lower the top plate, and the peripheral edge of the top plate is moved around the workpiece on the holding plate. A workpiece loading device for a polishing machine, characterized in that the swinging arm is rotated onto a turntable of the polishing machine body after the workpiece is suction-held by contacting the peripheral edge of the workpiece.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57033438A JPS58126063A (en) | 1982-03-03 | 1982-03-03 | Workpiece loading device for grinding machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57033438A JPS58126063A (en) | 1982-03-03 | 1982-03-03 | Workpiece loading device for grinding machine |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57006436A Division JPS58126062A (en) | 1982-01-19 | 1982-01-19 | Grinder |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58126063A JPS58126063A (en) | 1983-07-27 |
| JPH044099B2 true JPH044099B2 (en) | 1992-01-27 |
Family
ID=12386535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57033438A Granted JPS58126063A (en) | 1982-03-03 | 1982-03-03 | Workpiece loading device for grinding machine |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58126063A (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE38878E1 (en) | 1992-09-24 | 2005-11-15 | Ebara Corporation | Polishing apparatus |
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| CN109202694B (en) * | 2018-09-27 | 2020-07-24 | 江西龙正科技发展有限公司 | Multi-layer nanofiber chemical mechanical polishing pad |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5548572A (en) * | 1978-09-26 | 1980-04-07 | Fujikoshi Kikai Kogyo Kk | Automatic work feeding equipment for lapping machine |
-
1982
- 1982-03-03 JP JP57033438A patent/JPS58126063A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58126063A (en) | 1983-07-27 |
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