JPH044545B2 - - Google Patents
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- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、PH、pNaなどのイオン測定電極(ガ
ラス電極)に関し、特に、従来は実現不可能とさ
れていた全く新規な構成のシート型のガラス電極
を開発せんとしてなされたものである。[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to an electrode (glass electrode) for measuring ions such as PH and pNa, and in particular, a sheet type electrode with a completely new configuration that was previously considered impossible. This was done in an attempt to develop a glass electrode.
従来のPH、pNa等のイオン測定電極は、一般に
ガラス電極と呼ばれ、第12図に示すように、電
気絶縁性ガラスから成る支持管aの先端に、吹き
上げによる火作り法(バルーン法)で形成された
半球形のPH、pNa等のイオン応答ガラス膜bを接
合し、その中に内部電極cおよび内部液dを封入
して構成されている。
Conventional electrodes for measuring ions such as PH and pNa are generally called glass electrodes, and as shown in Figure 12, they are attached to the tip of a support tube a made of electrically insulating glass using the balloon method. The formed hemispherical PH, pNa, etc. ion-responsive glass membrane b is bonded, and internal electrodes c and internal liquid d are sealed therein.
しかしながら、上記した従来構成のイオン測定
電極(ガラス電極)は、そのイオン応答ガラス膜
bを前記のように吹き上げによる火作り法(バル
ーン法)で形成しなければならないため、その加
工時における膜厚制御のための火加減や吹き加減
等の調節、あるいは、その支持管aへの接合時に
おけるマイクロクラツクの発生防止等には、相当
の熟練技術を要すると共に、量産が困難なため製
造コストがが非常に高くつくのみならず、全体構
造が大型にならざるを得ず、また、操作性および
保守性等の面でも不利な点が多かつた。
However, in the conventional ion measuring electrode (glass electrode) described above, the ion-responsive glass film b must be formed by the blow-up fire making method (balloon method) as described above, so the film thickness during processing is limited. Adjusting the heat and blowing temperature for control purposes, or preventing the occurrence of micro-cracks when joining them to the support tube a, requires considerable skill, and manufacturing costs are high because mass production is difficult. Not only was this extremely expensive, the overall structure had to be large, and there were many disadvantages in terms of operability and maintainability.
ところが、最近になつて、例えば本願出願人に
係る特願昭61−63564号等により提案されている
ように、内部液をゲル状化する技術が開発された
ことによつて、例えば塩分測定電極や比較電極あ
るいはその複合電極のように、ガラス応答膜を必
要としないものでは、第13図イ,ロに例示する
ように、そのシート化が可能となり、全体構造の
小型化、製造容易で量産可能であることによる製
造コストの低廉化ならびに操作性および保守性の
改善等が達成されるに至つている。なお、同第1
3図イ,ロに示している塩分測定用複合電極にお
いて、eは塩化ビニル等から成る基板であつて、
その上面に複数(この例では4個)の銀電極f…
…がスクリーン印刷などで形成され、かつ、その
各基端部がリード部g……に形成されると共に、
その各先端部が塩化銀の膜で被覆された内部電極
部h……に形成され、また、それら内部電極部h
……の存在する部分を除く基板e上に、塩化ビニ
ル等から成る支持層iがスクリーン印刷などで形
成されている。そして、j……は、夫々、基本的
な内部液(例えばAgCl過飽和の3.3NKClなど)
にゲル化剤(例えば寒天やゼラチンなど)とゲル
蒸発防止剤(例えばグリセリンやエチレングリコ
ールなど)を添加して構成されたゲル状内部液で
あつて、加熱によりペースト状としたものをスク
リーン印刷などで前記各内部電極部h……上に重
ねて設けられている。また、k,kおよびm,m
は前記各ゲル状内部液i……の上に重ねて設けら
れた例えば有機材料から成る応答膜およびKClを
含浸させた多孔体から成る液絡膜であつて、その
周囲において接着剤等により前記支持層iに固定
されている。更に、nは前記支持層iの表面側に
形成された被検液注入用凹部であり、oはその被
検液注入用凹部nに対する開閉自在な蓋体であつ
て、その一端縁部が前記支持層iの上面に固着さ
れ、また、pは前記支持層iの上面に設けられた
粘着剤層であつて、この粘着剤層pに前記蓋体o
を閉成密着させることにより前記被検液注入用凹
部nを密閉状態にすることができる。かかる構成
のシート型塩分測定用複合電極は、前記蓋体oを
開成して、前記凹部n内に被検液を1滴程度注入
した後、蓋体oを閉成してその被検液を各応答膜
k、kおよび液絡膜m、m上に押し拡げた上で、
その蓋体oを前記粘着剤層pに密着固定させ、し
かる後、このシート型塩分測定用複合電極を、前
記リード部g……において、例えばカード電卓型
に構成された測定器本体(図示せず)の装着部へ
差し込み接続することにより、被検液の塩分を測
定するものである。 However, recently, as proposed in Japanese Patent Application No. 61-63564 filed by the applicant of the present application, a technology for turning the internal liquid into a gel state has been developed. For items that do not require a glass response membrane, such as a reference electrode or a composite electrode thereof, it is possible to form them into sheets, as illustrated in Figure 13 A and B, making the overall structure smaller, easier to manufacture, and easier to mass-produce. This has led to reductions in manufacturing costs and improvements in operability and maintainability. In addition, the same No. 1
In the composite electrode for salinity measurement shown in Figure 3 A and B, e is a substrate made of vinyl chloride, etc.
A plurality of (four in this example) silver electrodes f...
... is formed by screen printing etc., and each base end thereof is formed into a lead part g...,
Each tip thereof is formed into an internal electrode portion h... coated with a film of silver chloride, and these internal electrode portions h...
A support layer i made of vinyl chloride or the like is formed by screen printing or the like on the substrate e excluding the portion where ... is present. And j... is the basic internal liquid (for example, 3.3NKCl supersaturated with AgCl), respectively.
It is a gel-like internal liquid made by adding a gelling agent (e.g. agar, gelatin, etc.) and a gel evaporation inhibitor (e.g. glycerin, ethylene glycol, etc.) to the liquid, which is made into a paste by heating and then used for screen printing, etc. Each of the internal electrode portions h...is provided in an overlapping manner. Also, k, k and m, m
is a response membrane made of, for example, an organic material and a liquid junction membrane made of a porous body impregnated with KCl, which is placed over the respective gel-like internal liquids i, and around which the above-mentioned It is fixed to the support layer i. Further, n is a test liquid injection recess formed on the surface side of the support layer i, and o is a lid body which can be opened and closed for the test liquid injection recess n, and one end thereof is connected to the test liquid injection recess n. It is fixed to the upper surface of the support layer i, and p is an adhesive layer provided on the upper surface of the support layer i, and the lid body o is attached to the adhesive layer p.
By tightly contacting the test liquid injecting recess n, the test liquid injection recess n can be brought into a sealed state. The sheet-type composite electrode for salinity measurement with such a configuration opens the lid o and injects about one drop of the test liquid into the recess n, and then closes the lid o and pours the test liquid. After pushing and spreading on each response membrane k, k and liaison membrane m, m,
The lid body o is closely fixed to the adhesive layer p, and then this sheet-type composite electrode for salinity measurement is attached to the lead part g... The salinity of the test liquid can be measured by inserting it into the mounting part of the test liquid.
そこで、かかる塩分測定電極や比較電極および
その複合電極のシート化の実現に伴つて、PH、
pNa等のイオン測定用ガラス電極についても、当
然に、そのシート化による全体構造の小型化、製
造コストの低廉化ならびに操作性および保守性の
改善等が強い要望されるに至つている。 Therefore, along with the realization of sheets for such salinity measurement electrodes, reference electrodes, and their composite electrodes, PH,
Regarding glass electrodes for measuring ions such as pNa, naturally, there is a strong demand for miniaturization of the overall structure by forming the electrode into a sheet, reduction in manufacturing cost, and improvement in operability and maintainability.
ところが、前記第12図に示した従来構成のガ
ラス電極においては、その半球形のイオン応答ガ
ラス膜bを、相当の熟練技術を要しはするもの
の、吹き上げによる火作り法(バルーン法)で、
ともかくも必要とする膜厚(0.1〜0.3mm)を有す
るものを実現させることは可能であつたが、懸案
のシート型ガラス電極を実現せんとする場合にど
うしても必要となる、平板状でガラス化限界に近
い膜厚(0.1〜0.3mm)を要求されるPH応答ガラス
膜等のイオン応答性極薄ガラス膜は、現状では製
造することが不可能なため、未だその実現をみて
いない。 However, in the conventional glass electrode shown in FIG. 12, the hemispherical ion-responsive glass membrane b can be heated using the balloon method, which requires considerable skill.
In any case, it was possible to create a film with the required film thickness (0.1 to 0.3 mm), but it was necessary to make it into a flat glass electrode, which is absolutely necessary if the sheet-type glass electrode is to be realized. Ion-responsive ultra-thin glass membranes, such as PH-responsive glass membranes, which require a film thickness close to the limit (0.1 to 0.3 mm), are currently impossible to manufacture and have not yet been realized.
即ち、従来は、厚さが最低1mm程度の薄板ガラ
スは垂直引き上げ法で製造され、それよりも薄い
板ガラス(例えばプレパラートなどに使用される
もの)は、前記垂直引き上げ法により得られる可
及的に薄い板ガラスに対して更に研磨加工を施す
ことにより製造していた。しかし、その場合に
は、製造コストが極めて高くつくばかりで無く、
ガラス表面に比較的大きな凹凸やマイクロクラツ
クが残つてしまうため、イオン濃度測定電極用の
ガラス応答膜としては使用できない。何故なら
ば、その凹凸が大きくマイクロクラツクが存在す
るガラス表面では被検腋の吸脱着が円滑に行われ
ないために、正確な測定ができないからである。 That is, in the past, thin glass sheets with a thickness of at least 1 mm were manufactured by the vertical pulling method, and thinner glass sheets (for example, those used for preparations) were produced using the vertical pulling method as much as possible. It was manufactured by further polishing thin plate glass. However, in that case, not only would the manufacturing cost be extremely high, but
Since relatively large irregularities and microcracks remain on the glass surface, it cannot be used as a glass response membrane for ion concentration measurement electrodes. This is because the glass surface, which has large irregularities and microcracks, does not allow for smooth adsorption and desorption of the subject's armpit, making accurate measurements impossible.
また、極薄平板ガラスの製造方法としては、バ
ルーン法により形成された極薄半球面ガラスの一
部週面を切り取つてから熱板プレスで平板ガラス
に再成形する方法とか、事前成形ガラスを軟化温
度以上に昇温させて引き延ばすプレフオームアニ
ユエーシヨン法が従来から知られているが、前者
のガラス再成形法の場合には、十分な大きさの極
薄平板ガラスを得ることが困難であるし、ガラス
表面にマイクロクラツクが発生し易いという欠点
があり、また、後者のプレフオームアニユエーシ
ヨン法の場合には極めて大規模な装置を必要とす
ると共に、完成した極薄平板ガラスにひずみが残
り易いという欠点がある。しかも、上記両方法
は、共に、温度−粘度曲線が比較的緩やかな傾斜
を呈して、成形操作可能な温度範囲を比較的広く
とることが可能な組成を有する通常のガラス(所
謂ナトリウムガラスなど)の場合にのみ有効な方
法であつて、イオン濃度測定電極用のガラス応答
膜として用いられるような特殊なガラス(所謂リ
チウムガラス)のように、温度−粘度曲線が比較
的急な傾斜を呈して、成形操作可能な温度範囲が
狭い組成を有するものに適用した場合には、ガラ
スの結晶化(失透)が発生するため、所望の極薄
平板ガラスを得ることは全く不可能であつた。 In addition, methods for manufacturing ultra-thin flat glass include cutting off a portion of ultra-thin hemispherical glass formed by the balloon method and then reshaping it into flat glass using a hot plate press, and softening pre-formed glass. A preform annulation method in which glass is stretched by elevating the temperature above that temperature has been known for some time, but in the case of the former glass reshaping method, it is difficult to obtain ultrathin flat glass of sufficient size. However, it has the disadvantage that microcracks are likely to occur on the glass surface, and the latter preform annealing method requires extremely large-scale equipment and causes distortion in the finished ultra-thin flat glass. It has the disadvantage that it tends to remain. Moreover, in both of the above methods, ordinary glass (such as so-called sodium glass) whose temperature-viscosity curve exhibits a relatively gentle slope and whose composition allows a relatively wide temperature range for molding operation is used. This method is effective only in cases where the temperature-viscosity curve exhibits a relatively steep slope, such as with special glass (so-called lithium glass) used as a glass response membrane for ion concentration measurement electrodes. When applied to a composition having a narrow temperature range in which the molding operation can be performed, crystallization (devitrification) of the glass occurs, making it completely impossible to obtain the desired ultra-thin flat glass.
また、十分な信頼性を有するシート型ガラス電
極を実現するためには、上記した平板状イオン応
答ガラス膜の実現という問題の他に、その平板状
イオン応答ガラス膜と支持層および基板との間に
おける高度の電気絶縁性を確保しなければならな
いという問題もある。 In order to realize a sheet-type glass electrode with sufficient reliability, in addition to the problem of realizing the flat ion-responsive glass membrane mentioned above, it is also necessary to There is also the problem of having to ensure a high degree of electrical insulation.
本発明は、上記従来実情に鑑みてなされたもの
であつて、その目的は、上述した諸問題を克服す
ることによつて、従来懸案であつたところの、極
めてコンパクトで信頼性ならびに操作性および保
守性等に優れ、かつ、容易にかつ安価に製造でき
るという利点を有するシート型ガラス電極を実現
せんとすることにある。 The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional circumstances, and its purpose is to overcome the above-mentioned problems, thereby achieving extremely compact size, reliability, and operability, which have been problems in the past. The object of the present invention is to realize a sheet-type glass electrode that has advantages such as excellent maintainability and can be easily and inexpensively manufactured.
上記目的を達成するために、本発明によるシー
ト型ガラス電極は、第1図の基本的構成図(ただ
し、実際よりも厚みを大きくして描いている)に
示すように、十分に高い電気絶縁性を有する材料
から成る基板Aの上面に、内部電極部Bおよびリ
ード部Cを備えた電極Dを付着させると共に、十
分に高い電気絶縁性を有する材料から成り且つ前
記内部電極部Bに対応する箇所に孔Eを有する支
持層Fを、前記リード部Cおよびその周辺を露出
させる状態で、前記基板Aの上面に形成し、か
つ、その支持層Fにおける前記孔E内にゲル状内
部液Gを充電し、更に、所定の大きさを有するよ
うに事前成形された平板状極薄ガラスに対して予
熱下高速表面加熱処理を施すことにより製作され
た平板状のイオン応答ガラス膜Hを、その下面を
前記ゲル状内部腋Gの上面に密着させ且つそのゲ
ル状内部液Gを前記孔E内に密封させる状態に、
十分に高い電気絶縁性を有する接合材料を用い
て、その周囲における前記支持層Fの上面に固着
してある、という特徴を備えている。
In order to achieve the above object, the sheet-type glass electrode according to the present invention has a sufficiently high electrical insulation as shown in the basic configuration diagram in Fig. 1 (however, the thickness is larger than the actual one). An electrode D having an internal electrode portion B and a lead portion C is adhered to the upper surface of a substrate A made of a material having a conductive property, and an electrode D made of a material having a sufficiently high electrical insulation property and corresponding to the internal electrode portion B. A support layer F having holes E at locations is formed on the upper surface of the substrate A in a state where the lead portion C and its surroundings are exposed, and a gel-like internal liquid G is formed in the holes E in the support layer F. A flat ion-responsive glass membrane H produced by charging the glass and subjecting the flat ultra-thin glass pre-formed to a predetermined size to high-speed surface heating treatment under preheating. Bringing the lower surface into close contact with the upper surface of the gel-like internal armpit G and sealing the gel-like internal liquid G into the hole E,
It is characterized in that it is fixed to the upper surface of the support layer F around it using a bonding material having sufficiently high electrical insulation.
〔作用〕
かかる特徴構成故に発揮される作用は次の通り
である。[Effects] The effects achieved due to this characteristic configuration are as follows.
即ち、上記本発明によれば、後述する実施例の
記載からもより一層明らかとなるように、所定の
大きさを有するように事前成形された平板状の極
薄ガラスに対して予熱下高速表面加熱処理を施す
という全く新規な手法によつて初めて製作可能と
なつた極薄平板状のイオン応答ガラス膜Hを使用
すると共に、基板Aおよび支持層Fを共に十分に
高い電気絶縁性を有する材料で構成し、かつ、そ
の支持層Fに対して前記イオン応答ガラス膜H
を、十分に高い電気絶縁性を有する接合材料に
より固着する、という対策を講じたことにより、
所要の高電気絶縁性を有するシート型のガラス電
極を、従来のガラス電極に比べて非常に容易かつ
安価に製造できるようになり、もつて、イオン測
定用ガラス電極の大幅なコンパクト化ならびに信
頼性、操作性、保守性等の向上という所期の目的
を十分に達成できるに至つた。 That is, according to the present invention, as will become clearer from the description of the examples to be described later, a flat plate-like ultrathin glass preformed to have a predetermined size is subjected to a high-speed surface treatment under preheating. In addition to using an ultra-thin, flat, ion-responsive glass membrane H that was made possible for the first time through a completely new method of heat treatment, both the substrate A and the support layer F are made of materials that have sufficiently high electrical insulation properties. and the ion-responsive glass membrane H for the supporting layer F.
By taking measures to fix the material using a bonding material with sufficiently high electrical insulation properties,
It has become possible to manufacture sheet-type glass electrodes with the required high electrical insulation properties much more easily and at a lower cost than conventional glass electrodes, which has led to significant downsizing and reliability of glass electrodes for ion measurement. , the intended purpose of improving operability, maintainability, etc. has been fully achieved.
以下、本発明に係るシート型ガラス電極の具体
的実施例を図面(第2図ないし第11図)に基い
て説明する。なお、ここではPH測定用のシート型
ガラス電極を例に挙げて説明する。
Hereinafter, specific examples of the sheet-type glass electrode according to the present invention will be described based on the drawings (FIGS. 2 to 11). Note that here, explanation will be given using a sheet-type glass electrode for PH measurement as an example.
第2図の分解斜視図ならびにその−線断面
および−線断面を示す第3図および第4図は
実施例に係るPH測定用のシート型複合電極を示し
ている。 The exploded perspective view of FIG. 2, and FIGS. 3 and 4 showing the - line cross section and the - line cross section show a sheet-type composite electrode for PH measurement according to an embodiment.
各図において、Aは、例えばポリエチレン、ポ
リプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ア
クリル、ポリフツ化エチレンなどの有機高分子材
料あるいは石英ガラス、パイレツクスガラスなど
の無機材料のように、電解物質を含有する溶液中
に浸漬しても十分に高い電気絶縁性を有する材料
から構成される基板(本例ではポリエチレンテレ
フタレート板)であつて、その基板Aの上面に
は、電気良導体であるAg、Cu、Au、Pt等およ
びその合金等のうちから選定された金属またはそ
の金属を含むペーストあるいはIrO2、SnO2など
の半導体を、真空蒸着法、CVD法などの物理的
メツキ法または電解法、無電解法などの化学的メ
ツキ法もしくはシルクスクリー法、凸版法、平板
法などの印刷法により、内外2対の電極D……が
付着形成されている(本例では、前記基板Aの上
面にグラフト加工およびシランカツプリング剤等
によるアンカー処理を施した上で、Agペースト
のシルクスクリーン印刷をした)。なお、それら
全ての電極D……における基板Aの一端縁部に位
置する基端部分はそのままでリード部C……とさ
れ、また、外側の一対の電極D,Dにおける前記
基板Aの略中央部に位置する他方の略円形先端部
分は例えばAgClなどの電極材料で被覆された
(前記と同様に、物理的メツキ法または化学的メ
ツキ法もしくは印刷法などによる)内部電極部
B,Bに形成され、内側の一対の電極D,Dにお
ける前記基板Aの略中央部に位置する他方の先端
部分間に亘つては例えばサーミスタなどの温度補
償用電極部Tが設けられている。 In each figure, A is an organic polymer material such as polyethylene, polypropylene, polyethylene terephthalate, acrylic, polyethylene fluoride, or an inorganic material such as quartz glass or Pyrex glass, immersed in a solution containing an electrolyte. The substrate A is made of a material (polyethylene terephthalate board in this example) that has sufficiently high electrical insulation properties even when A metal selected from such alloys, a paste containing the metal, or a semiconductor such as IrO 2 or SnO 2 is plated using a physical plating method such as a vacuum evaporation method or a CVD method, or a chemical plating method such as an electrolytic method or an electroless method. Two pairs of inner and outer electrodes D... are attached and formed by a printing method such as a plating method, a silk screen method, a letterpress method, or a planar method (in this example, a grafting process is performed on the upper surface of the substrate A, and a silane coupling agent is applied to the upper surface of the substrate A. etc., and then silk screen printing with Ag paste). The proximal end portion of all of these electrodes D, which is located at one end edge of the substrate A, remains as it is, and serves as a lead portion C... The other approximately circular tip portion located in the section is formed into an internal electrode section B, which is coated with an electrode material such as AgCl (by physical plating method, chemical plating method, printing method, etc. as described above). A temperature-compensating electrode portion T, such as a thermistor, is provided between the other tip portion of the inner pair of electrodes D, D located approximately at the center of the substrate A.
そして、前記基板Aの上面には、それと同様に
十分に高い電気絶縁性を有する材料から成り、か
つ、前記両内部電極部B,Bに対応する箇所に孔
E,Eを有する支持層F(本例ではポリエチレン
テレフタレート層)が、前記全てのリード部C…
…およびその周辺を露出させる状態で、前記基板
Aの上面に、例えばスクリーン印刷法、または、
十分に高い電気絶縁性(例えば10MΩ以上)を保
証し得る接合剤(例えばポリオレフイン系、シリ
コンレジン系など)を用いた熱融着手段等を用い
て形成されている。なお、この支持層Fの上面に
もグラフト加工およびシランカツプリング剤等に
よるアンカー処理を施しておく。 Then, on the upper surface of the substrate A, there is provided a support layer F (made of a material having sufficiently high electrical insulation properties) and having holes E, E at locations corresponding to the internal electrode portions B, B. In this example, the polyethylene terephthalate layer) covers all the lead portions C...
...and its periphery is exposed on the upper surface of the substrate A by, for example, screen printing, or
It is formed using a heat-sealing method using a bonding agent (eg, polyolefin, silicone resin, etc.) that can guarantee sufficiently high electrical insulation (eg, 10 MΩ or more). Incidentally, the upper surface of this support layer F is also subjected to a grafting process and an anchoring process using a silane coupling agent or the like.
また、前記支持層Fにおける前記両孔E,E内
には夫々、基本的な内部液(例えばAgCl過飽和
の3.3NKClに燐酸緩衝液を加えたものなど)にゲ
ル化剤(例えば寒天、ゼラチン、ニカワ、アルギ
ン酸、各種アクリル系吸収性ポリマーなど)とゲ
ル蒸発防止剤(例えばグリセリンやエチレングリ
コールなど)を添加して構成された円盤形のゲル
状内部液G,Gが、例えば加熱によりペースト状
とした上でスクリーン印刷法等により、自由状態
においてその上面が前記支持層Fの上面よりも若
干突出する状態に充填されて、前記内部電極部
B,B上に重ねて設けられている。 In addition, in both holes E and E of the support layer F, a basic internal solution (for example, 3.3 NKCl supersaturated with AgCl with a phosphate buffer added) and a gelling agent (for example, agar, gelatin, Disc-shaped gel-like internal liquids G and G, which are made by adding glue (glue, alginic acid, various acrylic absorbent polymers, etc.) and gel evaporation inhibitors (e.g. glycerin, ethylene glycol, etc.), can be turned into a paste by heating, for example. Then, using a screen printing method or the like, it is filled in such a manner that its upper surface slightly protrudes from the upper surface of the support layer F in a free state, and is provided on the internal electrode portions B, B in an overlapping manner.
更に、前記両孔E,Eのうちの一方の孔E内に
おけるゲル上内部液Gの上方においては、所定の
大きさを有するように事前成形された平板状極薄
ガラスに対して予熱下高速表面加熱処理を施すこ
とにより製作された平板状のPH応答ガラス膜H
が、その下面が前記ゲル状内部液Gの上面に密着
し且つそのゲル状内部液Gが前記孔E内に密封さ
れる状態に、十分に高い電気絶縁性を有する接合
材料(例えば、シランカツプリング剤等を含む
シリコン系、エポキシ系、ウレタン系などの有機
高分子接着剤)を用いて、その周囲において前記
支持層Fの上面に固着され、PH測定用ガラス電極
Pに構成されている。 Furthermore, above the gel-on-the-gel internal liquid G in one of the holes E, E, a plate-like ultra-thin glass pre-formed to have a predetermined size is heated at high speed. Flat PH-responsive glass membrane H manufactured by surface heating treatment
However, a bonding material (for example, a silane cup) having a sufficiently high electrical insulation property is used so that its lower surface is in close contact with the upper surface of the gel-like internal liquid G and the gel-like internal liquid G is sealed in the hole E. It is fixed to the upper surface of the support layer F at its periphery using an organic polymer adhesive such as a silicone-based, epoxy-based, or urethane-based adhesive containing a ring agent, etc., thereby forming a glass electrode P for PH measurement.
更にまた、他方の孔E内におけるゲル状内部液
Gの上方においては、KClを含浸させた無機焼結
多孔体または有機高分子多孔体等から成る液絡膜
Jが、その下面が前記ゲル状内部液Gの上面に密
着する状態に、その周囲において前記支持層Fの
上面に接合され、比較電極Rに構成されている。 Furthermore, above the gel-like internal liquid G in the other hole E, there is a juncture membrane J made of an inorganic sintered porous material or an organic polymer porous material impregnated with KCl, the lower surface of which is in the gel-like state. The reference electrode R is formed by being in close contact with the upper surface of the internal liquid G and being joined to the upper surface of the support layer F at its periphery.
上記のように構成されたPH測定用シート型複合
電極は、本例ではその全体厚さが0.5mm程度のも
のとされ、第5図に示すように、前記PH測定用ガ
ラス電極Pおよび比較電極Rを上面側に解放さ
せ、かつ、前記リード部C……が形成されている
基板Aの一端縁部を外側方に突出させる状態で、
合成樹脂製のケーシングK内に収納されて、チツ
プ状の測定電極ユニツトUが構成される。そのチ
ツプ状測定電極ユニツトUを構成するケーシング
Kは、被検液注入用凹部Mを形成する上部枠体N
と、その上部枠体Nに対する底蓋Oと、前記上部
枠体Nの一端縁部において揺動開閉自在に取り付
けられた前記被検液注入用凹部Mに対する上蓋Q
とから成り、更に、そのケーシングK(本例では
前記上部枠体Nの部分)における前記リード部C
……突出されている側の端縁からは、後述する測
定器本体Zに対する係合用突片Vが連設されてい
る。 The sheet-type composite electrode for PH measurement configured as described above has a total thickness of about 0.5 mm in this example, and as shown in FIG. 5, the glass electrode P for PH measurement and the reference electrode R is released to the upper surface side, and one end edge of the substrate A on which the lead portion C... is formed is made to protrude outward,
A chip-shaped measurement electrode unit U is housed in a casing K made of synthetic resin. A casing K constituting the chip-shaped measurement electrode unit U is an upper frame member N forming a recess M for injecting the test liquid.
, a bottom lid O for the upper frame N, and an upper lid Q for the test liquid injection recess M attached to one end edge of the upper frame N so as to be able to swing open and close.
Furthermore, the lead portion C in the casing K (in this example, the portion of the upper frame N)
...A projecting piece V for engagement with a measuring instrument main body Z, which will be described later, is continuously provided from the protruding edge.
かかる構成のPH測定用シート型複合電極を内蔵
するチツプ状測定電極ユニツトUは、前記上蓋Q
を開成して、前記被検液注入用凹部M内に被検液
を1滴ないし数滴程度注入することにより、その
底部に位置するPH測定用ガラス電極Pおよび比較
電極Rを十分に被検液に接液させた上で、その上
蓋Qを閉成し、しかる後、そのチツプ状測定電極
ユニツトUを、第6図に例示するように、カード
電卓型に構成された測定器本体Zの接着部Yへ、
前記リード部C……および係合用突片Vにおいて
差し込み接続し、被検液のPHを測定するのであ
る。 The chip-shaped measurement electrode unit U incorporating the sheet-type composite electrode for PH measurement with such a configuration is provided with the above-mentioned upper lid Q.
By injecting one or several drops of the test liquid into the recess M for test liquid injection, the glass electrode P for PH measurement and the reference electrode R located at the bottom of the recess M are sufficiently tested. After contacting the liquid with the liquid, the upper lid Q is closed, and then the chip-shaped measuring electrode unit U is inserted into the measuring instrument main body Z configured in the form of a card calculator, as illustrated in FIG. To the adhesive part Y,
The PH of the test liquid is measured by inserting and connecting the lead portion C... and the engagement protrusion V.
次に、前記PH応答ガラス膜H(本例では、縦×
横×厚さ=10mm×8mm×0.1mm)あるいはpNa応
答ガラス膜などのイオン応答ガラス膜の従来にな
かつた新規な製造方法の具体的手順について詳細
に説明しておく。 Next, the PH-responsive glass film H (in this example, vertical
We will now explain in detail the specific steps of a novel manufacturing method for ion-responsive glass membranes such as pNa-responsive glass membranes (width x thickness = 10mm x 8mm x 0.1mm) or pNa-responsive glass membranes.
先ず、所定の成分および量の粉末原料を混合し
て白金るつぼ等により溶融および固化させた後、
アニール処理を施すことにより、所定の組成を有
するガラス(例えばPHガラス)の大型ガラスイン
ゴツトを製造する。これにより、本例では、
縦×横×厚さ=328mm×93mm×23mm
の大型ガラスインゴツトを得た。 First, after mixing predetermined ingredients and amounts of powder raw materials and melting and solidifying them in a platinum crucible, etc.,
By performing an annealing treatment, a large glass ingot of glass having a predetermined composition (for example, PH glass) is manufactured. As a result, in this example, a large glass ingot with length x width x thickness = 328 mm x 93 mm x 23 mm was obtained.
このように、大型ガラスインゴツトを製造すれ
ば、相当のコストダウンを図れるのみならず、品
質の安定性および組成の均一性を確保できる利点
がある。 Producing large-sized glass ingots in this manner not only allows considerable cost reduction, but also has the advantage of ensuring quality stability and composition uniformity.
次に、上記大型ガラスインゴツトを、機械的な
切断手段(例えばワイヤーカツト法、内周刃切削
法、外周刃切削法などの比較的容易に実施できる
公知手段がある)を用いて、適当な大きさのガラ
スブロツクに分断する。これにより、本例では、
縦×横×厚さ=45mm×mm×23mm
のガラスブロツクを14個得た。 Next, the large glass ingot is cut into a suitable cutting method using a mechanical cutting method (for example, there are known methods that can be carried out relatively easily, such as a wire cutting method, an inner peripheral cutting method, an outer peripheral cutting method, etc.). Divide into sized glass blocks. As a result, in this example, 14 glass blocks with length x width x thickness = 45 mm x mm x 23 mm were obtained.
続いて、上記各ガラスブロツクを同じく機械的
切断手段を用いてスライスすることにより、目標
厚さ(0.1mm)に可及的に近い厚目(0.2mm)の第
1ガラスシートを製作する。これにより、本例で
は、
縦×横×厚さ=45mm×45mm×0.2mm
の第1ガラスシートを多数得た。 Subsequently, by slicing each of the above-mentioned glass blocks using the same mechanical cutting means, a first glass sheet having a thickness (0.2 mm) as close as possible to the target thickness (0.1 mm) is manufactured. As a result, in this example, a large number of first glass sheets having length x width x thickness = 45 mm x 45 mm x 0.2 mm were obtained.
而して、前記各第1ガラスシートは、まだ目標
厚さ(0.1mm)よりも大きな厚み(0.2mm)を有し
ていると共に、その表面には前記機械的切断によ
る比較的大きな凹凸が残存しているので、不透明
(スリガラス状)の状態で、まだ前記PH応答ガラ
ス膜Hとして使用し得る完成状態にはならない。 Therefore, each of the first glass sheets still has a thickness (0.2 mm) larger than the target thickness (0.1 mm), and relatively large unevenness caused by the mechanical cutting remains on its surface. Therefore, it is in an opaque (ground glass-like) state and is not yet in a completed state that can be used as the PH-responsive glass film H.
そこで、前記各第1ガラスシートを、例えば5
%NH4F水溶液などに浸漬して、更にその表面
(表裏両面)から所定厚さ分(本例では0.05mm)
だけエツチング処理を施すことにより、目標厚さ
(0.1mm)を有し、かつ、表面凹凸がある程度減少
した第2ガラスシートを製作する。このエツチン
グ処理により一層薄くて、且つ、表面凹凸がある
程度減少した第2ガラスシートを得ることができ
るが、それでも未だ半透明な状態で完成状態には
ならない。これにより、本例では、
縦×横×厚さ=45mm×45mm×0.1mm
の第2ガラスシートを得た。 Therefore, each of the first glass sheets is
%NH 4 F aqueous solution, etc., and further coat the surface (both front and back sides) to a specified thickness (0.05 mm in this example).
By performing the etching process, a second glass sheet having the target thickness (0.1 mm) and having surface irregularities reduced to some extent is manufactured. Although this etching process makes it possible to obtain a second glass sheet that is thinner and has surface irregularities reduced to some extent, it is still in a translucent state and not in a completed state. As a result, in this example, a second glass sheet having dimensions of length x width x thickness = 45 mm x 45 mm x 0.1 mm was obtained.
なお、前記機械的切断手段によつて最終的な目
的厚さに切断した場合には、その目標厚さの第1
ガラスシートを直接得られるので、このエツチン
グ処理による第2ガラスシートの製作工程は、必
ずしも必要ではない。 In addition, when cutting to the final target thickness by the mechanical cutting means, the first thickness of the target thickness is
Since the glass sheet can be obtained directly, this etching process for manufacturing the second glass sheet is not necessarily required.
次に、前記各第2ガラスシートを、機械的切断
手段(スクライバーによるダイシングなど)によ
つて、所定の大きさを有する有するチツプ状に分
断する。これにより、本例では、所期の大きさお
よび厚さを有するところの、
縦×横×厚さ=10mm×8mm×0.1mm
のチツプ状第2ガラスシートを得た。 Next, each of the second glass sheets is cut into chips having a predetermined size by mechanical cutting means (such as dicing using a scriber). As a result, in this example, a chip-shaped second glass sheet having the desired size and thickness of length x width x thickness = 10 mm x 8 mm x 0.1 mm was obtained.
なお、このチツプ状第2ガラスシートは、ワツ
クスあるいはフツ素等を除去するため、例えば超
音波洗浄等により十分に洗浄される。 Note that this chip-shaped second glass sheet is thoroughly cleaned, for example, by ultrasonic cleaning or the like, in order to remove wax, fluorine, etc.
さて、上記のようにして得られた各チツプ状第
2ガラスシートは、その表面に残存する凹凸を無
くして、透明で表面が十分に平滑な状態にする必
要があるため、下記のような全く新規な熱処理手
段によつて表面処理が施される。 Now, each chip-shaped second glass sheet obtained as described above needs to be transparent and have a sufficiently smooth surface by eliminating any remaining unevenness on its surface, so it is necessary to make it transparent and have a sufficiently smooth surface. Surface treatment is performed by a novel heat treatment means.
即ち、ガラスの熱処理時において従来非常に困
難な問題となつていた急激な温度変化あるいは極
めて不均一な温度分布の発生によるガラスの割れ
や溶融凝縮を効果的に防止できるように、そのチ
ツプ状第2ガラスシート全体を、予め、溶融温度
直前まで昇温させておき、その溶融寸前の予熱状
態において、その表面に対して更に所定量の熱エ
ネルギーを短時間で加えることにより、その表面
のみを溶融させてから固化させる、という予熱下
高速表面熱処理を施すようにしたのである。 In other words, the chip-like structure is designed to effectively prevent glass cracking and melting and condensation caused by rapid temperature changes or extremely uneven temperature distribution, which have traditionally been very difficult problems during glass heat treatment. 2. The entire glass sheet is heated in advance to just before the melting temperature, and in the preheated state on the verge of melting, a predetermined amount of thermal energy is further applied to the surface in a short period of time to melt only the surface. The team applied high-speed surface heat treatment under preheating to allow the material to dry and then solidify.
そして、その結果、従来の如何なる方法によつ
ても実現できなかつた、十分な大きさを有し、マ
イクロクラツク、ひずみ、結晶化(失透)が発生
せず、しかも、表面も十分に平滑で透明であると
いう厳しい条件を満たし、PH応答ガラス膜Hとし
て十分に使用できる極薄平板ガラスを、その組成
の如何に拘らず、容易かつ安価に製造できるよう
になつた。 As a result, it has a sufficient size, does not cause microcracks, distortion, or crystallization (devitrification), and has a sufficiently smooth surface, which could not be achieved using any conventional method. It has now become possible to easily and inexpensively produce ultrathin flat glass that satisfies the strict condition of being transparent and can be used satisfactorily as a PH-responsive glass membrane H, regardless of its composition.
ところで、前記予熱下高速表面熱処理の具得的
な実施手段としては、種々の方法が考えられる
が、現在までの試作試験によれば、下記の3方式
が最も適当であつた。 By the way, various methods can be considered as specific implementation means for the above-mentioned high-speed surface heat treatment under preheating, but according to the prototype tests to date, the following three methods have been found to be the most suitable.
そのひとつ(第1方式)は、言わば予熱下レー
ザー熱照射方式であつて、第7図に示すように、
XYテーブル1と、そのXYテーブル1上に載置
したヒータブロツク2と、そのヒータブロツク2
に対する温度調節器3と、前記XYテーブル1上
の一定点に対して例えばCO2レーザーR(数Wな
いし10W程度で十分)を照射可能なレーザー照射
装置4と、それらXYテーブル1、温度調節器
3、レーザー照射装置4等を夫々制御するための
コントローラー5とから成るシステムを構成し、
そして、前述のようにして得られたチツプ状第2
ガラスシートSを前記ヒータブロツク2上に載置
した上で、先ず、前記ヒータブロツク2に対する
温度調節器3をコントローラー5により制御し
て、そのチツプ状第2ガラスシートS全体を予め
溶融温度直前まで昇温させ(本例では軟化点以下
の約600℃とした)、しかる後、その溶融寸前の予
熱状態において、前記XYテーブル1およびレー
ザー照射装置4をコントローラー5により制御し
て、ヒータブロツク2上のチツプ状第2ガラスシ
ートSの表面における所要箇所あるいは表面全体
に亘つて、CO2レーザーRを所定速度の(本例で
は数cm/sec程度とした)走査(スキヤニング)
により照射して所定量の熱エネルギーを短時間で
加えることによつて、その表面のみを溶融させて
から固化させる、という予熱下高速表面熱処理を
行うのである。なお、一般に、ガラスに対して光
を照射した場合、先ずその界面(表面)において
熱吸収が生じるため、上記のようにチツプ状第2
ガラスシートSの片面側からCO2レーザーRを照
射するだけで、その表裏両面を同時に処理でき
る。また、この予熱下レーザー熱照射方式は、チ
ツプ状第2ガラスシートSの一部(所要箇所)表
面のみを精密ガラス化すれば足りるという場合に
特に好適である。 One of them (first method) is a preheating laser heat irradiation method, as shown in Figure 7.
XY table 1, heater block 2 placed on the XY table 1, and heater block 2
a temperature controller 3 for the XY table 1, a laser irradiation device 4 capable of irradiating, for example, a CO 2 laser R (several W to about 10 W is sufficient) to a fixed point on the XY table 1, the XY table 1, and the temperature controller. 3. Constructing a system consisting of a controller 5 for controlling the laser irradiation device 4, etc., respectively,
Then, the second chip-shaped product obtained as described above was used.
After placing the glass sheet S on the heater block 2, first, the temperature regulator 3 for the heater block 2 is controlled by the controller 5 to heat the entire chip-shaped second glass sheet S in advance to just before the melting temperature. The temperature is raised (in this example, it is about 600°C below the softening point), and then, in the preheated state on the verge of melting, the XY table 1 and the laser irradiation device 4 are controlled by the controller 5, and the heater block 2 is heated. A CO 2 laser R is scanned at a predetermined speed (in this example, about several cm/sec) over a required location or the entire surface of the chip-shaped second glass sheet S.
By applying a predetermined amount of thermal energy in a short period of time by irradiating the surface with the metal, high-speed surface heat treatment is performed under preheating, in which only the surface is melted and then solidified. Generally, when light is irradiated onto glass, heat absorption occurs first at the interface (surface), so as mentioned above, the chip-shaped second
By simply irradiating the CO 2 laser R from one side of the glass sheet S, both the front and back sides can be treated at the same time. Further, this preheating laser heat irradiation method is particularly suitable when it is sufficient to precisely vitrify only a part (required part) of the surface of the chip-shaped second glass sheet S.
他のひとつ(第2方式)は、言わば予熱下ラン
プ熱照射方式であつて、第8図に示すように、断
熱材から成る固定基台6と、その基台6上に載置
した耐熱性、熱伝導性および放熱性に優れた材料
から成り且つ望ましくは黒色のワーキングボード
(例えばカーボン板)7と、そのワーキングボー
ド7上にランプ光(例えばハロゲンランプ光)L
を集光可能であつて、その発光出力、集光度、照
射時間等を調節可能で且つ十分な発光出力を得ら
れる(集光部において最大千数百℃を実現でき
る)ランプ光照射装置8と、そのランプ光照射装
置8を制御するためのコントローラー9とから成
るシステムを構成し、そして、前述のようにして
得られたチツプ状第2ガラスシートSを前記ワー
キングボード7上に載置した上で、前記ランプ光
照射装置8をコントローラー5により制御して、
先ず、そのチツプ状第2ガラスシートSに対し
て、それと同じ大きさ又はそれよりもやや大き目
に集光させる状態で、徐々に発光出力を挙げなが
らランプ光Lを照射し、そのチツプ状第2ガラス
シートS全体を予め溶融温度直前までゆつくりと
昇温させ(本例では軟化点以下の約600℃とし
た)、しかる後、その溶融寸前の予熱状態におい
て更に続けて、比較的高い発光出力(本例では
1200℃程度とした)のランプ光Lを、チツプ状第
2ガラスシートSの表面全体に亘つて極く短時間
(本例では数病程度)照射して所定量の熱エネル
ギーを加えることにより、その表面のみを全体的
に均一性良く溶融させてから固化させる、という
予熱下高速表面熱処理を行うのである。なお、こ
の場合にも、チツプ状第2ガラスシートSの片面
側からリンプ光Lを照射するだけで、その表裏両
面を同時に処理できる。また、この予熱下ランプ
熱照射方式は、チツプ状第2ガラスシートSの表
面全体を精密ガラス化する場合に特に好適である
が、予熱後の表面処理の際において集光度を絞つ
たり、あるいは、その状態で走査による照射を行
うことによつて、前述の予熱下ランプ熱照射方式
と同様に、チツプ状第2ガラスシートSの一部
(所要箇所)方面のみの精密ガラス化を、比較的
少ないエネルギー消費にて実現することも可能で
ある。 The other method (second method) is a preheating lamp heat irradiation method, and as shown in FIG. 8, a fixed base 6 made of a heat insulating material and a heat-resistant , a working board 7 made of a material with excellent thermal conductivity and heat dissipation, and preferably black in color (e.g. carbon plate), and a lamp light (e.g. halogen lamp light) L on the working board 7.
A lamp light irradiation device 8 that can collect light, adjust the light emission output, light concentration, irradiation time, etc., and obtain sufficient light emission output (achieves a maximum temperature of several hundred degrees Celsius in the light collection part). , a controller 9 for controlling the lamp light irradiation device 8, and a chip-shaped second glass sheet S obtained as described above is placed on the working board 7. Then, the lamp light irradiation device 8 is controlled by the controller 5,
First, the chip-shaped second glass sheet S is irradiated with lamp light L while gradually increasing the light emitting output while condensing the light to the same size or slightly larger than the chip-shaped second glass sheet S. The entire glass sheet S is heated slowly in advance to just before the melting temperature (in this example, it was about 600°C, which is below the softening point), and then continued in the preheated state on the verge of melting to achieve a relatively high light emitting output. (In this example
By applying a predetermined amount of thermal energy by irradiating the entire surface of the chip-shaped second glass sheet S with lamp light L (approximately 1200°C) for a very short period of time (in this example, for a few seconds), High-speed surface heat treatment is performed under preheating to melt only the surface with good uniformity and then solidify it. In this case as well, by simply irradiating the limp light L from one side of the chip-shaped second glass sheet S, both the front and back sides can be treated at the same time. In addition, this preheating lamp heat irradiation method is particularly suitable for precision vitrification of the entire surface of the chip-shaped second glass sheet S. By performing scanning irradiation in this state, similar to the preheating lamp heat irradiation method described above, precision vitrification of only a part (required location) of the chip-shaped second glass sheet S can be achieved relatively easily. It is also possible to realize this with less energy consumption.
更に他のひとつ(第3方式)は、言わばベルト
移動炉方式であつて、第9図に示すように、炉1
0内を設定速度にて一方向に移動すえる回転ベル
ト11と、前記炉10のベルト移動方向に沿つて
設けられる各別に温度設定可能とされた複数個
(本例では上下3対)のヒーター12……と、そ
れら回転ベルト11およびヒーター12……制御
するためのコントローラー13とから成る電気式
加熱炉システムを構成し、そして、前述のように
して得られたチツプ状第2ガラスシートSの複数
枚を、第10図に示すように、熱伝導性に優れた
上下2枚の基板(例えば、窒化硼素、窒化硼素な
どの非酸化物セラミツクス板、カーボン板、カー
ボングラフアイト板、アルミナ板など:本例では
縦×横×厚さ=50mm×50mm×0.635mmのアルミナ
板)14,14の間に、夫々極く薄いスペーサ
(本例では、厚さ0.635mm のアルミナ板)15,
15を介して挟持させたワーキングブロツク16
の状態とし、それらワーキングブロツク16……
を、前記回転ベルト11上に連続的に載置して、
前記炉10内をその入口10Aから出口10Bへ
所定時間(速度)で通過させるのである。なお、
その炉10内における移動距離Dと温度Tの関係
は、前記コントローラー13によるベルト11の
速度制御および各ヒーター11……に対する個別
の温度制御により、例えば第11図に模式的に示
しているように任意に設定可能である。即ち、前
記炉10の入口10Aから導入されたワーキング
ブロツク16に挟持されたチツプ状第2ガラスシ
ートS……は、夫々、第11図におけるA点に至
るまでの予熱期間の間に、その全体が徐々に溶融
温度直前まで昇温され(本例では軟化点以下の約
600℃とした。pNaガラス応答膜の場合には700℃
とする)、その溶融寸前の予熱状態において更に
続けて、第11図におけるB点に至るまでの極く
短かい表面溶融期間(本例では10秒程度)の間に
所定量の熱エネルギーを加えられることにより、
その表面(表裏両面)のみが全体的に均一性良く
溶融し、その後、第11図におけるC点(冷却
点)に至つて固化する、という予熱下高速表面熱
処理が施されるのである。なお、前記第9図にお
いて、10aは入口エアカーテン用空気(又は
N2ガス)噴出器、10bは出口エアカーテン用
空気(又はN2ガス)噴出器、10Cはフアイヤ
リング兼冷却ガス用空気(またはN2ガス)噴出
器、10Dはフアイヤリング兼冷却ガス排出管で
ある。 Still another method (third method) is a so-called belt moving furnace method, as shown in FIG.
A rotary belt 11 that moves in one direction at a set speed in the furnace 10, and a plurality of heaters 12 (in this example, three pairs of upper and lower pairs) each of which can be individually set in temperature and provided along the belt movement direction of the furnace 10. . . . and a rotating belt 11 and a heater 12 . . . and a controller 13 for controlling the electric heating furnace system. As shown in Fig. 10, two upper and lower substrates with excellent thermal conductivity (for example, boron nitride, non-oxide ceramic plates such as boron nitride, carbon plates, carbon graphite plates, alumina plates, etc.) are used. In this example, an extremely thin spacer (in this example, an alumina plate with a thickness of 0.635 mm) 15,
Working block 16 sandwiched through 15
The state of these working blocks 16...
are continuously placed on the rotating belt 11,
It is passed through the furnace 10 from the inlet 10A to the outlet 10B at a predetermined time (speed). In addition,
The relationship between the moving distance D and the temperature T in the furnace 10 is determined by the speed control of the belt 11 by the controller 13 and the individual temperature control for each heater 11, for example, as schematically shown in FIG. Can be set arbitrarily. That is, the chip-shaped second glass sheets S held between the working blocks 16 introduced from the inlet 10A of the furnace 10 are heated in their entirety during the preheating period up to point A in FIG. is gradually heated to just before the melting temperature (in this example, the temperature is approximately below the softening point).
The temperature was 600℃. 700℃ for pNa glass responsive membrane
In the preheated state on the verge of melting, a predetermined amount of thermal energy is then applied during an extremely short surface melting period (about 10 seconds in this example) until reaching point B in Figure 11. By being
A high-speed surface heat treatment is performed under preheating in which only the surfaces (front and back surfaces) are melted with good uniformity as a whole, and then solidified at point C (cooling point) in FIG. 11. In addition, in FIG. 9, 10a is the inlet air curtain air (or
N2 gas) jetter, 10b is the air (or N2 gas) jetter for the exit air curtain, 10C is the air (or N2 gas) jetter for the firing ring and cooling gas, 10D is the firing ring and cooling gas discharge pipe. It is.
ところで、上記ベルト移動炉方式は、前記予熱
下ランプ熱照射方式と同様に、チツプ状第2ガラ
スシートSの表面全体を精密ガラス化する場合に
特に好適であると共に、大量生産を行う場合に極
めて好適である。ただし、前記第7図および第8
図に示した予熱下レーザ熱照射方式および予熱下
ランプ熱照射方式においても、チツプ状第2ガラ
スシートSまたはそれを支持するヒータブロツク
2あるいはワーキングボード7を自動変換するハ
ンドリング装置などを付設することによつて、量
産システムを構築することは可能である。 By the way, like the preheating lamp heat irradiation method, the belt moving furnace method is particularly suitable for precision vitrification of the entire surface of the chip-shaped second glass sheet S, and is extremely suitable for mass production. suitable. However, as shown in Figures 7 and 8 above,
Even in the preheating laser heat irradiation method and the preheating lamp heat irradiation method shown in the figure, a handling device etc. for automatically converting the chip-shaped second glass sheet S or the heater block 2 or working board 7 that supports it may be attached. It is possible to build a mass production system.
また、前記エツチング処理による第2ガラスシ
ートを製作する必要がない場合には、機械的切断
によるスライス後の第1ガラスシートをダイシン
グしてチツプ化した上で、そのチツプ状第1ガラ
スシートを、前記チツプ状第2ガラスシートSと
同様に、上記予熱下高速表面熱処理に供すればよ
い。 In addition, if it is not necessary to manufacture the second glass sheet by the etching process, the first glass sheet after slicing by mechanical cutting is diced into chips, and the chip-shaped first glass sheet is As with the chip-shaped second glass sheet S, it may be subjected to the high-speed surface heat treatment under preheating.
以上詳述したところから明らかなように、本発
明によれば、所定の大きさを有するように事前成
形された平板状の極薄ガラスに対して予熱下高速
表面加熱処理を施すという全く新規な手法に用い
たことにより初めて製作可能となつた極薄平板状
のイオン応答ガラス膜を使用すると供に、基板お
よび支持層を共に十分に高い電気絶縁性を有する
材料で構成し、かつ、その支持層に対して前記イ
オン応答ガラス膜を、十分に高い電気絶縁性を有
する接合材料により固着するようにしたことによ
つて、所要の高電気絶縁性を有するシート型のガ
ラス電極を、従来のガラス電極に比べて非常に容
易かつ安価に製造できるようになり、もつて、イ
オン測定用ガラス電極の大幅なコンパクト化なら
びに信頼性、操作性、保守性等の向上という所期
の目的を十分に達成できる、という優れた効果が
発揮されるに至つた。
As is clear from the detailed description above, the present invention is a completely novel method in which a flat plate-like ultrathin glass preformed to have a predetermined size is subjected to high-speed surface heating treatment under preheating. In addition to using an ultra-thin flat plate-shaped ion-responsive glass membrane, which was made possible for the first time by using this method, the substrate and supporting layer are both made of materials with sufficiently high electrical insulation, and the supporting layer is By fixing the ion-responsive glass membrane to the layer using a bonding material with sufficiently high electrical insulation, a sheet-shaped glass electrode with the required high electrical insulation can be formed using conventional glass. It is now much easier and cheaper to manufacture than conventional electrodes, and has fully achieved the intended purpose of significantly downsizing glass electrodes for ion measurement and improving reliability, operability, maintainability, etc. This has led to excellent results.
第1図は本発明に係るシート型ガラス電極の基
本的構成を示す一部断面外観斜視図(クレーム対
応図)を示している。また、第2図ないし第6図
は本発明に係るシート型ガラス電極の具体的実施
例としてのPH測定用シート型複合電極の構成を説
明するためのものであつて、第2図は分解斜視
図、第3図は第2図の−線断面図、第4図は
第2図の−線断面図を示し、また、第5図は
そのPH測定用シート型複合電極をケーシング内に
収納したユニツト状態の外観斜視図、第6図はそ
のユニツトを測定器本体へ接続する状態を表す外
観斜視図を示し、更に、第7図ないし第11図は
主要構成部材である平板状イオン応答ガラス膜の
製造手順を説明するためのものであつて、第7図
は第1方式の概略システム構成図、第8図は第2
方式の概略システム構成図、第9図は第3方式の
概略システム構成図、第10図はその要部側面
図、第11図はその制御特性例を表すグラフを
夫々示している。そして、第12図および第13
図は本発明の技術的背景ならびに従来技術の問題
点を説明するためのものであつて、第12図は従
来構成に係るイオン測定用ガラス電極の一部断面
側面図を示し、第13図イ,ロは夫々シート型塩
分測定用複合電極の縦断面図および外観斜視図を
示している。
A……高電気絶縁性基板、B……内部電極部、
C……リード部、D……電極、E……孔、F……
高電気絶縁性支持層、G……ゲル状内部液、H…
…平板状イオン応答ガラス膜、I……高電気絶縁
性接合材料。
FIG. 1 shows a partially sectional external perspective view (view corresponding to claims) showing the basic structure of a sheet-type glass electrode according to the present invention. In addition, FIGS. 2 to 6 are for explaining the structure of a sheet-type composite electrode for PH measurement as a specific example of the sheet-type glass electrode according to the present invention, and FIG. 2 is an exploded perspective view. Figure 3 shows a cross-sectional view taken along the - line in Figure 2, Figure 4 shows a cross-sectional view taken along the - line in Figure 2, and Figure 5 shows the sheet-type composite electrode for PH measurement housed in the casing. Fig. 6 shows a perspective view of the unit as it is connected to the main body of the measuring instrument, and Figs. Figure 7 is a schematic system configuration diagram of the first method, and Figure 8 is a diagram of the second method.
FIG. 9 is a schematic system configuration diagram of the third method, FIG. 10 is a side view of its main parts, and FIG. 11 is a graph showing an example of its control characteristics. and Figures 12 and 13.
The drawings are for explaining the technical background of the present invention and the problems of the prior art. , b respectively show a longitudinal cross-sectional view and an external perspective view of a sheet-type composite electrode for salinity measurement. A... Highly electrically insulating substrate, B... Internal electrode part,
C... Lead part, D... Electrode, E... Hole, F...
Highly electrically insulating support layer, G...Gel-like internal liquid, H...
... Flat ion-responsive glass membrane, I... Highly electrically insulating bonding material.
Claims (1)
基板の上面に、内部電極部およびリード部を備え
た電極を付着させると共に、十分に高い電気絶縁
性を有する材料から成り且つ前記内部電極部に対
応する箇所に孔を有する支持層を、前記リード部
およびその周辺を露出させる状態で、前記基板の
上面に形成し、かつ、その支持層における前記孔
内にゲル状内部液を充填し、更に、所定の大きさ
を有するように事前成形された平板状極薄ガラス
に対して予熱下高速表面加熱処理を施すことによ
り製作された平板状のイオン応答ガラス膜を、そ
の下面を前記ゲル状内部液の上面に密着させ且つ
そのゲル状内部液を前記孔内に密封させる状態
に、十分に高い電気絶縁性を有する接合材料を用
いて、その周囲において前記支持層の上面に固着
してあることを特徴とするシート型ガラス電極。1. An electrode having an internal electrode part and a lead part is attached to the upper surface of a substrate made of a material having sufficiently high electrical insulation properties, and an electrode made of a material having sufficiently high electrical insulation properties and corresponding to the internal electrode part. forming a support layer having holes at locations exposed on the upper surface of the substrate with the lead portion and its surroundings exposed; and filling the holes in the support layer with a gel-like internal liquid; A flat ion-responsive glass membrane is fabricated by subjecting a flat ultrathin glass preformed to a predetermined size to high-speed surface heating treatment under preheating. A bonding material having sufficiently high electrical insulation properties is used to tightly contact the upper surface of the support layer and seal the gel-like internal liquid in the holes, and the support layer is fixed to the upper surface of the supporting layer around the bonding material. Characteristic sheet type glass electrode.
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61285371A JPS63138255A (en) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | Sheet type glass electrode |
| DE3789491T DE3789491T2 (en) | 1986-11-27 | 1987-11-20 | Plate-shaped glass electrode. |
| EP87117176A EP0269031B1 (en) | 1986-11-27 | 1987-11-20 | Sheet type glass electrode |
| US07/124,567 US4816132A (en) | 1986-11-27 | 1987-11-24 | Sheet type electrode |
| CN89104626A CN1013575B (en) | 1986-11-27 | 1987-11-26 | Method for producing ultra-thin glass sheets |
| CN87107994A CN1010255B (en) | 1986-11-27 | 1987-11-26 | Thin slice type electrode |
| KR1019870013425A KR900005244B1 (en) | 1986-11-27 | 1987-11-27 | Sheet type electrode |
| US07/264,143 US4883563A (en) | 1986-11-27 | 1988-10-28 | Method of manufacturing a thin glass membrane |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61285371A JPS63138255A (en) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | Sheet type glass electrode |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63138255A JPS63138255A (en) | 1988-06-10 |
| JPH044545B2 true JPH044545B2 (en) | 1992-01-28 |
Family
ID=17690680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61285371A Granted JPS63138255A (en) | 1986-11-27 | 1986-11-28 | Sheet type glass electrode |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPS63138255A (en) |
Families Citing this family (5)
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|---|---|---|---|---|
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| JPH089636Y2 (en) * | 1990-04-09 | 1996-03-21 | 株式会社堀場製作所 | Ion concentration measuring device |
| JPH0810208B2 (en) * | 1990-07-20 | 1996-01-31 | 松下電器産業株式会社 | Biosensor and biosensor measuring device |
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| DE102018204476A1 (en) * | 2018-03-23 | 2019-09-26 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Device with a furnace and method of use |
-
1986
- 1986-11-28 JP JP61285371A patent/JPS63138255A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63138255A (en) | 1988-06-10 |
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