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JPH0448185B2 - - Google Patents
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JPH0448185B2 - - Google Patents

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JPH0448185B2
JPH0448185B2 JP27564884A JP27564884A JPH0448185B2 JP H0448185 B2 JPH0448185 B2 JP H0448185B2 JP 27564884 A JP27564884 A JP 27564884A JP 27564884 A JP27564884 A JP 27564884A JP H0448185 B2 JPH0448185 B2 JP H0448185B2
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JP
Japan
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pulse
stop
time
measurement channel
pulses
Prior art date
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JP27564884A
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Masaru Tanaka
Kyoaki Hara
Kazunari Yokoyama
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Horiba Ltd
Original Assignee
Horiba Ltd
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】
<産業上の利用分野> 本発明はパルス光により励起された試料の発光
の過渡波形すなわちその発光強度の時間的変化を
測定する装置に関し、特に、マルチ時間−電圧変
換装置を用いた測定装置に関する。 <従来の技術> 時間−電圧変換装置(time to ampiitude
converter)は発光の基準時間から光電子発生ま
での時間をアナログ電圧に変換するもので、ピコ
秒(10-12秒)領域まで利用可能であり、ナノ秒
(10-9秒)〜マイクロ秒(10-6秒)領域の発光寿
命測定の有効な手段の一つである。 そして、この測定原理は次の通りである。即
ち、発光の基準時間のスタートパルスでコンデン
サを定電流充電し、後述するストツプパルスで充
電を停止するのである。更に、この電圧をマルチ
チヤンネル波高分析器への入力信号とすると、電
圧を横軸にとつたストツプパルス発生頻度のヒス
トグラムが得られる。このとき電圧∝時間である
から、このヒストグラムは発光強度の時間的変化
即ち発光過渡波形を表わすものとなり、この過渡
波形解析から試料の発光寿命を算出することがで
きる。 上述の時間−電圧変換装置を1個だけ備えた測
定装置では、1回の発光で利用できる光電子パル
ス数は最大1個に制限されるため、光電子パルス
の利用効率が悪い。 そこで、この効率を上げるものとして、第2図
に示す如き構成の試料の発光寿命測定装置が出願
されている(特開昭57−137843号)。この従来技
術の概要を同図に基づいて説明すると、31はパ
ルス光を発するパルス光源で、この光源31が1
回閃光(フラツシユ)すると、その光はスタート
用光検出器32で検出され、該検出器32からス
タートパルスRK(第3図A参照)が発せられてマ
ルチ時間−電圧変換装置(以下、マルチTACと
いう)33に入力される。このマルチTAC33
にはコンデンサから成る定電流充電回路が複数個
設けられてあり、前記スタートパルスPKによつ
て前記充電回路は同時に充電を開始する。一方、
前記閃光によつて34が励起され、該試料34が
発光すると、そのはストツプ用光検出器35で検
出され、該検出器35からストツプパルスPT(第
3図B参照)が発せられてマルチTAC33に入
力される。そして、前記ストツプパルスPTが入
力される毎にコンデンサの充電を順次停止させる
ようにしてある。 なお、同図において36は光学的しぼり、37
は分光器などの分光手段、38,39はパルス整
形回路、40は切換スイツチ、41はAD変換
器、42はマルチヤンネル波高分析器である。 しかしながら、装置には有限の応答速度がある
から、時間的に近接して入力される2つのストツ
プパルスPTを個々に区別して認識できない時間
間隔弁の下限界があり、これを装置のパルス対分
解時間ΔTという。即ち、第3図Bに示すよう
に、先に入力されたストツプパルスPT1とその後
から入力されたストツプパルスPT2との間のパル
スセパレーシヨンTPSが前記パルス対分解時間
ΔTより小さいと、後のストツプパルスPT2は認
識されない。 従つて、上述のようにマルチTACを用いても、
例えば光学的絞り36を開きすぎて光子計数率を
増大させすぎると、パルス対分解時間ΔT内に2
個以上の光電子パルス(ストツプパルス)が発生
する頻度が増し、測定結果に波形歪が生ずる。即
ち、第3図Dにおいて、実線はパルス対分解時間
ΔT内に2以上の光電子パルスが発生する頻度が
多い場合の波形歪のある測定結果を示し、破線は
パルス対分解時間ΔT=0の時に得られるべき真
の発光過渡波形測定結果を示している。 <発明が解決しようとする問題点> 本発明は、パルス対分解時間ΔT内に2以上の
光電子パルスが頻度多く発生しても、各測定チヤ
ンネルで真のパルス計数値を得、これによつて波
形歪のない発光過渡波形測定結果を得ることを目
的とするものである。 本発明者らは、種々検討した結果、パルス対分
解時間ΔTに起用する波形歪が、計算によつて補
正することが可能であることを見出し、測定の
際、通常は装置によつて不定であるパルス対分解
時間ΔTを一定の値に固定し、測定終了後にこれ
を計算によつて補正し、真のパルス計数値を得る
ことを可能にしたのである。 <問題点を解決するための手段> 本発明に係る試料の発光寿命測定装置は、パル
ス光の発光源と、前記パルス光を受けてスタート
パルスを発生するスタートパルス発生手段と、前
記パルス光を受けた試料からの発光を受けてスト
ツプパルスを発生するストツプパルス発生手段
と、前記スタートパルスにより動作開始し前記ス
トツプパルスによつて順次動作停止する複数の定
電流充電回路を有するマルチ時間−電圧変換装置
を備えた試料の発光寿命測定装置において、前記
ストツプパルス発生手段とマルチ時間−電圧変換
装置との間にパルス対分解時間を測定チヤンネル
の整数倍に設定するパルス対分解時間固定手段を
設けるとともに、ストツプパルスの個数を下記の
式に基いて補正し真の個数を求めるようにしたこ
とを要旨としている。 Nc 1=N1 2≦i≦Nのと
【式】 i>Nのとき
【式】 但し、Ni:第i測定チヤンネルにおけるスト
ツプパルスの測定値 Nc/i:第i測定チヤンネルにおけるストツ
プパルスの真の個数値 N:パルス対分解時間を測定チヤンネル
の整数倍に設定したときのその整数 Ne:スタートパルスの積算値(フラツシ
ユ回数) <実施例> 以下、本発明の一実施例を第1図に基づいて説
明する。 第1図において、1はパルス光Pの発光源、2
は前記パルス光Pを受けてスタートパルスPK
発生するスタートパルス発生手段で、例えばフオ
トマルチプライヤ2aとパルス整形回路2bとで
構成されている。3は試料、4は前記パルス光P
を受けた試料3からの発光を受けてストツプパル
スPTを発生するストツプパルス発生手段で、例
えばフオトマルチプライヤ4aとパルス整形回路
4bとで構成されている。5は光学的絞り、6は
分光器などの分光手段である。7は前記スタート
パルスPKにより動作開始し前記ストツプパルス
PTによつて順次動作停止する複数の定電流充電
回路を有する公知のマルチTACである(例えば
前記特開昭57−137843号公報第2図参照)。8は
前記マルチTAC7の出力を各TAC毎に選択的に
取出すための切換スイツチで、例えばマルチプレ
クサである。9はAD変換器、10はマルチチヤ
ンネル波高分析器である。以上1〜10の構成部材
は従来装置と変わるところがない。 11はストツプパルス発生手段4とマルチ
TAC7との間に介装されるパルス対分解時間固
定手段で、例えばモノマルチバイブレータより成
り、パルス対分解時間ΔT(以下、単にΔTで表わ
す)を測定チヤンネルの整数倍に設定するもので
ある。ここで、測定チヤンネルとは測定装置の時
間軸の測定レンジの最小単位を意味し、第3図D
における横軸、即ち、時間を表わす1区切(1単
位)である。例えば、測定レンジの最小単位が
0.1nS/チヤンネルのとき、前述のΔTはN×
0.1nS(Nは整数)と表わされる。このようにして
ΔTを人為的に固定することにより、あるΔT内
においては最初ストツプパルスPT1のみを有効と
みなし、それよりあとにくるストツプパルスPT2
……は無視する。つまり、ストツプパルス発生手
段4から、1つのストツプパルスPT1が出力され
ると、パルス対分解時間固定手段11からは第3
図Cに示す如きΔTなるパルス幅を有するTAC入
力ストツプ信号(すなわちパルス対分解時間固定
手段11を通したストツプパルス出力)PSが出力
される。従つて、前記ΔTなるパルス幅の時間内
に、別のストツプパルスPT2……が入力されても
前記パルス対分解時間固定手段11からPT2に相
当するパルス出力はない。12はパルスカウンタ
で、スタートパルスPKの発生個数、即ち、発光
源1のフラツシユ回数をカウントするものであ
る。13はマルチチヤンネル波高分析器10から
のデータとパルスカウンタ12により得られるス
タートパルスPKの積算値を入力として、後述す
る式に基づいて演算を行う演算処理部である。 上記構成において、発光源1が1回の閃光によ
りパルス光Pを発すると、スタートパルス発生手
段2が例えばパルス光Pの立上り時を検出してス
タートパルスPKを発する。このスタートパルス
PKによつてマルチTAC7内の全ての定電流充電
回路が同時に充電を開始する。他方、試料3はパ
ルス光Pによつて励起され発光する。そして、ス
トツプパルス発生手段4は前記試料3からの発光
を検出する都度、ストツプパルスPT1,PT2……を
発生する。前記各ストツプパルスPT1,PT2……が
パルス対分解時間固定手段11に入力され、つい
で当該手段11からの前記ストツプ信号PSがマル
チTAC7に入力されると、複数の定電流充電回
路は順次充電動作を停止する。そして、前記マル
チTAC7はスタートパルスPKによつて同時に動
作してから、各ストツプ信号PS……がそれぞれ入
力されるまでの時間に比例したアナログ電圧を出
力する。これらの出力信号は、切換スイツチ8に
よつて順次切換えられ、AD変換器9を経てマル
チチヤンネル波高分析器10に入力され、そのメ
モリ内に記憶される。 かくして、発光源1を繰返して発光させて、そ
の都度、マルチTAC7からの出力信号を各TAC
毎に取り出し、AD変換後マルチチヤンネル波高
分析器10に入力すると、横軸を時間(電圧)と
したストツプパルス発生頻度のヒストグラムが得
られる。 そして、第1図において、光学的絞り5の開度
が大きいと、光子計数倍が大きくなるが、この光
子計数率が大き過ぎると、前述したとおり従来装
置では第3図Dにおいて実線で示すように、測定
結果に波形歪が生ずる。 そこで、本発明においては、マルチチヤンネル
波高分析器10の後段に演算処理部13を設け、
ストツプパルスの個数を補正するようにしてい
る。 次に、演算処理部13における動作について詳
細に説明する。 パルス対分解時間ΔT(以下、単にΔTという)
内に2個以上のストツプパルスが出力される場合
の試料は次のように計算できる。 Pi c:ΔT=0(理想状態)の時に、i番目の測
定チヤンネルにストツプパルスが入る確実
(真の確率) Pi:ΔTが0でないある有限の値を有する装置
のi番目の測定チヤンネルにストツプパル
スが入る確率 N:ΔTを測定チヤンネル数で表わすときの整
数 (例えば、測定レンジの最小単位が1nS/
チヤンネルである時、ΔT=5nSであれば、
N=5となる) とするとき、 最初の1測定チヤンネル目に来るストツプパ
ルスは、ΔTの影響を受けずに全てカウントさ
れるから、 P1=Pc/1 ……(1) 測定チヤンネルが、2≦i≦Nでは、iチヤ
ンネル目にくるストツプパルスはi−1チヤン
ネル目までにストツプパルスがこなつたという
条件のもとで、iチヤンネル目にストツプパル
スがくる確率であるから Pi=Pic i-1 πj=1 (1−Pc/j) ……(2) 測定チヤンネルがi>Nでは Pi=Pic i-1 πj=i-(N-1) (1−Pc/j) ……(3) ここで、上記(1)〜(3)式において、それぞれ光源
のフラツシユ回数(スタートパルスPKの積算値
でもある)Neを乗算する。 粗 NeP1=NePc/1 ∴N1=Nc/1 ……(1)′ NePi=NePc/i i-1 πj=1 (1−Pc/j) ∴Ni=Nc/i i-1 πj=1 (1−Pc/j) ……(2)′ NePi=NePc/i i-1 πj=1-(N-1) (1−Pc/j) ∴iNi=Nc/i i-1 πj=1(N-1) (1−Pc/j) ……(3)′ 但し、Nc/i=NePc/i:ΔT=0のとき、i番目の
測定チヤンネルに積載されるべき
ストツプパルスの個数 Ni=NePi:ΔTが0でないある値を有する装
置のi番目の測定チヤンネルに積
載されたストツプパルスの個数 上記(1)′,(2)′,(3)′より、測定値(マルチチヤ
ンネル波高分析器10及びカウンタ12の出力)
から、各測定チヤンネルにおける真のストツプパ
ルスの個数値を算出することができる。 Nc/1=N1 ……(1)″ 第1番目の測定チヤンネルのデータはそのま
ま真のストツプパルスの個数値として使用でき
る。 上記1番目の測定チヤンネルのデータを用いて
第2番目の測定チヤンネルの真のストツプパルス
の個数値を計算できる。そして、第2番目の測定
チヤンネルの真のストツプパルスの個数値を用い
て第3番目の測定チヤンネルの真のストツプパル
スの個数値を計算できる。以下、同様にして計算
できる。 これも上記と同様に各測定チヤンネル毎に、
順々に真のストツプパルスの個数値を計算でき
る。 次に、N=3の場合の計算例を示す。これは、
測定レンジが1nS/測定チヤンネルで、ΔT=3nS
の場合である。 第1測定チヤンネルにおいては、 N1c=N1 第2測定チヤンネルにおいては N2c=N2/1−N1c/Ne 第3測定チヤンネルにおいては、 N3c=N3/(1−N2c/Ne)(1−N1c/Ne) 第4測定チヤンネルにおいては Nc 4=N4/(1−N3c/Ne)(1−N2c/Ne) 以下、同様にして、各測定チヤンネルにおける
真のストツプパルスの個数値を算出できる。 上述のようにして、各測定チヤンネルにおける
ストツプパルスの数が補正され、真のストツプパ
ルスの個数値が、得られることにより、従来問題
となつていた測定結果における波形歪が解消され
る。 上述の実施例において、ΔTを設定するのにモ
ノマルチバイブレータを用いているが、これに代
えて、パルス対分解時間が既知のコンスタントフ
ラクシヨン型弁別器を使用してもよい。 また、マルチチヤンネル波高分析器12及び演
算処理部13における処理をプログラムによつて
行うべく、コンピユータを用いてもよい。 <発明の効果> 以上詳述したように、本発明によればパルス対
分解時間を人為的に固定し、パルス対分解時間に
起因する出力波形の歪を計算によつて補正したも
のであるから、平均測光子数を大きくすることが
可能となり、従つて測定を正確かつ短時間で行な
える。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る試料の試料の構成例を示
すブロツク図、第2図は従来装置を示すブロツク
図、第3図A,B,C,Dは動作説明図である。 1……発光源、2……スタートパルス発生手
段、3……試料、4……ストツプパルス発生手
段、7……マルチ時間−電圧変換装置(マルチ
TAC)、11……パルス対分解時間固定手段、P
……パルス光、PK……スタートパルス、PT……
ストツプパルス。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 パルス光の発光源と、前記パルス光を受けて
    スタートパルスを発生するスタートパルス発生手
    段と、前記パルス光を受けた試料からの発光を受
    けてストツプパルスを発生するストツプパルス発
    生手段と、前記スタートパルスにより動作開始し
    前記ストツプパルスによつて順次動作停止する複
    数の定電流充電回路を有するマルチ時間−電圧変
    換装置を備えた試料の発光寿命測定装置におい
    て、前記ストツプパルス発生手段とマルチ時間−
    電圧変換装置との間にパルス対分解時間を測定チ
    ヤンネルの整数倍に設定するパルス対分解時間固
    定手段を設けるとともに、ストツプパルスの個数
    を下記の式に基いて補正し真の個数を求めるよう
    にしたことを特徴とする試料の発光寿命測定装
    置。 Nc 1=N1 2≦i≦Nのと【式】 i>Nのとき
    【式】 但し、Ni:第i測定チヤンネルにおけるスト
    ツプパルスの測定値 Nc i:第i測定チヤンネルにおけるストツ
    プパルスの真の個数値 N:パルス対分解時間を測定チヤンネル
    の整数倍に設定したときのその整数 Ne:スタートパルスの積算値(フラツシ
    ユ回数)
JP27564884A 1984-12-22 1984-12-22 試料の発光寿命測定装置 Granted JPS61148352A (ja)

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JPS61148352A JPS61148352A (ja) 1986-07-07
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