JPH045245B2 - - Google Patents
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- JPH045245B2 JPH045245B2 JP58100834A JP10083483A JPH045245B2 JP H045245 B2 JPH045245 B2 JP H045245B2 JP 58100834 A JP58100834 A JP 58100834A JP 10083483 A JP10083483 A JP 10083483A JP H045245 B2 JPH045245 B2 JP H045245B2
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- thin film
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- recording medium
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/656—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing Co
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気記録用媒体に関するものであり、
特に磁性薄膜からなる磁気記録用媒体に係るもの
である。
特に磁性薄膜からなる磁気記録用媒体に係るもの
である。
最近の磁気記録技術においては、記録密度のよ
り一層の高密度化が強く要求されている。高密度
記録を達成するために、記録用媒体には、磁性
膜がきわめて薄くできること、磁気特性が優れ
ること、特に保磁力Hcが大きいこと、、化学的
あるいは熱的に安定であること、などの特性が要
求される。
り一層の高密度化が強く要求されている。高密度
記録を達成するために、記録用媒体には、磁性
膜がきわめて薄くできること、磁気特性が優れ
ること、特に保磁力Hcが大きいこと、、化学的
あるいは熱的に安定であること、などの特性が要
求される。
従来、このような要求に対応する材料として、
γ−Fe2O3あるいはCo−γFe2O3などの鉄酸化物
材料が用いられてきた。しかし、従来の成膜技術
では、これら材料を用いた膜の厚さおよびHcの
値には限界があつた。
γ−Fe2O3あるいはCo−γFe2O3などの鉄酸化物
材料が用いられてきた。しかし、従来の成膜技術
では、これら材料を用いた膜の厚さおよびHcの
値には限界があつた。
近年かかる問題点を改善するものとして、金属
薄膜による記録用媒体が開発研究されており、面
内磁気記録用媒体としてCo−Ｐ合金薄膜が、ま
た、垂直磁気記録用媒体としてCo−Cr合金薄膜
が検討されてきている。しかし、これら公知の金
属薄膜材料は、その製造方法が複雑であり高品質
のものが得にくいこと、その特性が必ずしも満足
するものではないこと、などの問題点がある。
薄膜による記録用媒体が開発研究されており、面
内磁気記録用媒体としてCo−Ｐ合金薄膜が、ま
た、垂直磁気記録用媒体としてCo−Cr合金薄膜
が検討されてきている。しかし、これら公知の金
属薄膜材料は、その製造方法が複雑であり高品質
のものが得にくいこと、その特性が必ずしも満足
するものではないこと、などの問題点がある。
例えば、Co−Cr合金薄膜ではキユリー温度が
低いこと、薄膜の結晶組織を詳細に検討すると必
ずしも均一な組織とならず組成の一部が析出して
いること、そしてこれがノイズの原因となるこ
と、および薄膜に亀裂が生じ易く不安定であるこ
と等の問題がある。
低いこと、薄膜の結晶組織を詳細に検討すると必
ずしも均一な組織とならず組成の一部が析出して
いること、そしてこれがノイズの原因となるこ
と、および薄膜に亀裂が生じ易く不安定であるこ
と等の問題がある。
これら合金薄膜の問題点を解決したものとし
て、昭和57年秋の応用磁気学会で提案されたPt
−Co合金薄膜がある。このPt−Co磁性薄膜はキ
ユリー温度が高いため熱安定性が良く、また酸化
し難く化学的な安定性も良く、さらには保磁力
Hcも比較的大きい、などの優れた特長がある。
て、昭和57年秋の応用磁気学会で提案されたPt
−Co合金薄膜がある。このPt−Co磁性薄膜はキ
ユリー温度が高いため熱安定性が良く、また酸化
し難く化学的な安定性も良く、さらには保磁力
Hcも比較的大きい、などの優れた特長がある。
しかし、現在、当該技術分野で要求されている
程度の高密度記録を達成するためには、上記従来
のPt−Co合金薄膜の保磁力Hcの大きさの程度で
は必ずしも満足できるものではない。
程度の高密度記録を達成するためには、上記従来
のPt−Co合金薄膜の保磁力Hcの大きさの程度で
は必ずしも満足できるものではない。
本発明は、上記従来技術の問題点を見直し、よ
り高密度記録に適した特性を有する新規な構成の
磁気記録用媒体を提供することを目的とするもの
である。
り高密度記録に適した特性を有する新規な構成の
磁気記録用媒体を提供することを目的とするもの
である。
上記目的を達成するために、本発明は、原子比
で、Pt4〜15％、Co77.0〜95.5％、Pr0.5〜８％か
らなる組成の合金薄膜を磁気記録用媒体として実
現したことを特徴とするものである。
で、Pt4〜15％、Co77.0〜95.5％、Pr0.5〜８％か
らなる組成の合金薄膜を磁気記録用媒体として実
現したことを特徴とするものである。
すなわち、本発明は、公知のPt−Co系合金薄
膜において、Prを所定量添加することにより、
従来技術からは予測できない程度のHcの大幅な
改良をしたことを特長とするものである。
膜において、Prを所定量添加することにより、
従来技術からは予測できない程度のHcの大幅な
改良をしたことを特長とするものである。
以下、本発明を、比較例および実施例に基づい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
比較例
原子比でPt9％、Co91％の組成のターゲツト材
料を使用し、Ar分圧20m Torr、基板温度290℃
の作成条件でスパツター法によりPt−Co合金薄
膜を作成した。得られた膜厚は3000Åであつた。
この薄膜の組成分析をした結果、原子比でPt9.3
％、Co90.7％であつた。
料を使用し、Ar分圧20m Torr、基板温度290℃
の作成条件でスパツター法によりPt−Co合金薄
膜を作成した。得られた膜厚は3000Åであつた。
この薄膜の組成分析をした結果、原子比でPt9.3
％、Co90.7％であつた。
また、その保磁力Hcは510Oe、4πMsの値は
13.1KGであつた。
13.1KGであつた。
実施例 １
原子比で、Pt9％、Co91％である比較例と同じ
組成比のCo−Pt合金に種々の量のPrを加えたタ
ーゲツト材料を用いて、スパツター法によりCo
−Pt−Pr合金薄膜を製造した。製造条件は上記
比較例と同じである。得られた合金薄膜の膜厚は
約3000Åであつた。また、磁気特性を測定した結
果、その保磁力Hcは、Prを0.5％含むと
Hc560Oe、1.0％で570Oe、3.0％で590Oe、5.0％
で580Oe、8.0％で570Oeとなり10.0％含むとHcは
280Oeと急激に低下することがわかつた。したが
つて、Prの含有量は0.5〜８％の範囲とすること
が好ましい。
組成比のCo−Pt合金に種々の量のPrを加えたタ
ーゲツト材料を用いて、スパツター法によりCo
−Pt−Pr合金薄膜を製造した。製造条件は上記
比較例と同じである。得られた合金薄膜の膜厚は
約3000Åであつた。また、磁気特性を測定した結
果、その保磁力Hcは、Prを0.5％含むと
Hc560Oe、1.0％で570Oe、3.0％で590Oe、5.0％
で580Oe、8.0％で570Oeとなり10.0％含むとHcは
280Oeと急激に低下することがわかつた。したが
つて、Prの含有量は0.5〜８％の範囲とすること
が好ましい。
実施例 ２
実施例１と同様の製造条件として、Prを３％
一定としてPtおよびCoの比を変化させたターゲ
ツト材料を用い、スパツター法により合金薄膜を
作成してその特性を測定した。その結果、Ptの
含有量が、原子比で、３％でHc280Oe、４％で
420Oe、５％で510Oe、9.3％で560Oe、12％で
1280Oe、15％で1620Oeとなつた。
一定としてPtおよびCoの比を変化させたターゲ
ツト材料を用い、スパツター法により合金薄膜を
作成してその特性を測定した。その結果、Ptの
含有量が、原子比で、３％でHc280Oe、４％で
420Oe、５％で510Oe、9.3％で560Oe、12％で
1280Oe、15％で1620Oeとなつた。
以上の結果からPt−Co薄膜にPrを添加するこ
とにより、保磁力Hcは大幅に改善されその含有
量は0.5原子％から８原子％が最もよく、また、
このPr含有量の範囲では、Pt含有量が４原子％
から15原子％の範囲で特に良い特性を示すことが
わかつた。
とにより、保磁力Hcは大幅に改善されその含有
量は0.5原子％から８原子％が最もよく、また、
このPr含有量の範囲では、Pt含有量が４原子％
から15原子％の範囲で特に良い特性を示すことが
わかつた。
以上述べたことから明らかなように、本発明の
効果は、原子比で、Pt4〜15％、Co77.0〜95.5％、
Pr0.5〜８％の組成範囲が最も良い特性を示す。
さらにこの物質は化学的にも安定していることが
確認された。
効果は、原子比で、Pt4〜15％、Co77.0〜95.5％、
Pr0.5〜８％の組成範囲が最も良い特性を示す。
さらにこの物質は化学的にも安定していることが
確認された。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 原子比で、Pt4〜15％、Co77.0〜95.5％、
Pr0.5〜８％からなることを特徴とする磁気記録
用媒体。 ２ 特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、
上記媒体がスパツター法を用いて作製された薄膜
状であることを特徴とする磁気記録用媒体。 ３ 特許請求の範囲第２項記載のものにおいて、
上記スパツター法を実施するに際し、原子比で、
Pt4〜15％、Co77.0〜95.5％、Pr0.5〜８％の組成
からなるターゲツト材料を用いたことを特徴とす
る磁気記録用媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58100834A JPS59227106A (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 磁気記録用媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58100834A JPS59227106A (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 磁気記録用媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59227106A JPS59227106A (ja) | 1984-12-20 |
| JPH045245B2 true JPH045245B2 (ja) | 1992-01-30 |
Family
ID=14284340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58100834A Granted JPS59227106A (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 磁気記録用媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59227106A (ja) |
-
1983
- 1983-06-08 JP JP58100834A patent/JPS59227106A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59227106A (ja) | 1984-12-20 |
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