JPH0455841B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 (a) 発明の技術分野 本発明は、セラミツク基板用グリーンシートに
係り、特に、該グリーンシートの製造装置に関
す。

(b) 技術の背景 半導体装置およびその他の回路部品を搭載する
基板は、合成樹脂を基材にしたプリント配線基板
が主流をなしているが、搭載密度が高くなるに従
い、プリント配線基板の耐熱性や放熱性が問題に
なり、その点で優れているセラミツクを基材にし
たセラミツク回路基板が使用されるようになつて
きた。

然も、プリント配線基板の場合と同様にセラミ
ツク回路基板の場合も、導体層の多層化が求めら
れ、実用化の域に入つている。

多層セラミツク回路基板の製造においては、通
常、最初にセラミツクのグリーンシートを製造
し、これを所定の大きさに切断し、配線を印刷し
たうえで、積層し、焼成を行うが、この場合、焼
成収縮率に影響を与える該グリーンシートの密度
の均一性が重要である。

(c) 従来技術と問題点 弟１図は従来のグリーンシート製造装置の一例
を示した図で、１はキヤリヤフイルム、２は台、
３はドクターブレード、４は未乾燥グリーンシー
ト、５はグリーンシート、６は乾燥機をそれぞれ
示す。

図に示す製造装置はドクターブレード法を採用
するもので、グリーンシートの製造過程は次の通
りである。

グリーンシートを載せるキヤリヤフイルム１が
台２の上を滑つて図の右から左に移動していると
ころへ、ドクターブレード３から、グリーンシー
ト５の材料である泥しよう（セラミツク基板材料
粉末とバインダーと溶剤の混合体）が一定の厚さ
で連続して載置され未乾燥グリーンシート４とな
る。キヤリヤフイルム１の移動と共に移動する未
乾燥グリーンシート４は、乾燥機の下を通りなが
ら乾燥してグリーンシート５になつて、その製造
を完了する。

この製造方法においては、前記泥しようがドク
ターブレード３から出て来た際は、該泥しよう内
即ち未乾燥グリーンシート４内における前記混合
体の分散が必ずしも均一であるとは限らないの
で、この状態で乾燥して得たグリーンシート５
は、該分散の影響を受けて密度偏差が大きくなる
欠点がある。

(d) 発明の目的 本発明の目的は上記従来の欠点に鑑み、グリー
ンシートの密度偏差が小さくなるグリーンシート
の製造装置を提供するにある。

(e) 発明の構成 上記目的は、上部にドクターブレードの配置さ
れた第１の台と、振動子の載置された第２の台と
を有し、該第１の台と該第２の台が間〓をもつて
配置されたグリーンシートの製造装置であつて、
該ドクターブレードが該第１の台となす間〓から
該第２の台上にキヤリヤフイルムに載つて移動す
る未乾燥グリーンシートに、該振動子により該キ
ヤリヤフイルムを介して振動を与えるグリーンシ
ートの製造装置によつて達成される。それは、乾
燥前に振動を与えることにより前記分散の均一化
を図ることが出来、キヤリヤフイルムを介するこ
とにより、未乾燥グリーンシートの全面に振動を
与えるのが容易になるからである。

(f) 発明の実施例 以下本発明の一実施例を図により説明する。全
図を通じ同一符号は同一対象物を示す。

第２図は本発明の構成によるグリーンシート製
造装置の一例を示した図で、２ａ，２ｂは台、５
ａはグリーンシート、７はガラス基板、８は振動
子、９は発振器をそれぞれ示す。

本実施例の製造装置は、第１図の製造装置にお
ける移動中の未乾燥グリーンシート４に、キヤリ
ヤフイルム１から振動を与える手段を有する装置
である。

台２ａの上面にガラス基板７と振動子８とが密
接して並べられ、それらの上面をキヤリヤフイル
ム１が滑つて移動するようになつており、発振機
９によつて駆動される振動子８の振動が、ガラス
基板７を介したものも加わり伝えられて、キヤリ
ヤフイルム１が振動し、未乾燥グリーンシート４
の全面に振動を与えるようになつている。なお、
ドクターブレード３の下でキヤリヤフイルム１を
支えている台２ｂは振動せぬよう台２ｂから独立
している。

本実施例の製造装置により、セラミツク基板材
料として、硼珪酸ガラス粉末（粒径：約40μｍ）
とアルミナ粉末（粒径：約5μｍ）とを重量比
１：１にして使用し、このセラミツク基板材料
100に対して、バインダーであるポリビニルブチ
ラールと溶剤であるメチルエチルケトンとをそれ
ぞれ７および80の重量比で加え、ボールミリング
で混合して泥しようを製造した。これをドクター
ブレード３により約0.3mmの厚さでキヤリヤフイ
ルム１に載せ、振動子８の振動数を30KHzにして
厚さ約0.2mmのグリーンシート５ａを得た。

この装置で得たグリーンシート５ａの密度の均
一性は、表１に示すように、従来の装置で得たグ
リーンシート５より極めて優れたものである。ま
た、表面の平滑性も優れていた。

表 １ グリーンシートの密度偏差（％） 本発明の製造装置：0.2 従来の製造装置：0.7 なお、キヤリヤフイルム１とガラス基板７・振
動子８との間に、例えばグリセリンの如き液体を
介在させると、キヤリヤフイルム１の振動は更に
効果的になる。

以上に説明した本製造装置は、量産にも適用が
容易であり、密度偏差の少ないグリーンシートの
生産を期待することが出来る。

(g) 発明の効果 以上に説明したように、本発明による構成によ
れば、グリーンシートの密度偏差が小さくなり、
且つ、量産にも適用容易なグリーンシートの製造
装置を提供することが出来、品質の優れた多層セ
ラミツク回路基板の製造を可能にさせる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のグリーンシート製造装置の一例
を示した図、第２図は本発明の構成によるグリー
ンシート製造装置の一例を示した図である。 図面において、１はキヤリヤフイルム、２，２
ａ，２ｂは台、３はドクターブレード、４は未乾
燥グリーンシート、５，５ａはグリーンシート、
６は乾燥機、７はガラス基板、８は振動子、９は
発振機をそれぞれ示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 上部にドクターブレードの配置された第１の
   台と、振動子の載置された第２の台とを有し、該
   第１の台と該第２の台が間〓をもつて配置された
   グリーンシートの製造装置であつて、 該ドクターブレードが該第１の台となす間〓か
   ら該第２の台上にキヤリヤフイルムに載つて移動
   する未乾燥グリーンシートに、該振動子により該
   キヤリヤフイルムを介して振動を与えることを特
   徴とするグリーンシートの製造装置。