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JPH0463807B2 - - Google Patents
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JPH0463807B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH0463807B2
JPH0463807B2 JP4316687A JP4316687A JPH0463807B2 JP H0463807 B2 JPH0463807 B2 JP H0463807B2 JP 4316687 A JP4316687 A JP 4316687A JP 4316687 A JP4316687 A JP 4316687A JP H0463807 B2 JPH0463807 B2 JP H0463807B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
particles
inorganic oxide
particle size
oxide particles
group
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP4316687A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS63210014A (en
Inventor
Takeo Suzuki
Genji Taga
Hiroyuki Kono
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokuyama Corp
Original Assignee
Tokuyama Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Tokuyama Corp filed Critical Tokuyama Corp
Priority to JP4316687A priority Critical patent/JPS63210014A/en
Publication of JPS63210014A publication Critical patent/JPS63210014A/en
Publication of JPH0463807B2 publication Critical patent/JPH0463807B2/ja
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Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

(産業上の利用分野) 本発明は、シリカと周期律表第族の金属の酸
化物とを主な構成成分とし、粒子径が非常によく
そろつた球状の無機酸化物粒子に関するものであ
る。 (従来の技術及び発明が解決しようとする問題
点) 従来、電子顕微鏡観察や粉体粒度計測用の標準
粒子としては、粒子径が非常によく揃つた球状の
粒子が用いられる。ポリスチレンは、その粒子径
がよく揃つていること、形状が真球状であるこ
と、任意の粒子径の粒子を合成できること等の利
点を有しており、上記のような標準粒子として使
用されている。しかし、ポリスチレンのような重
合体粒子を原子顕微鏡観察の標準粒子として用い
た場合、電子線の影響を受けて重合体粒子径が小
さくなり、正確な観察ができないと言われてい
る。 そこで、電子線による影響を受けにくい無機化
合物粒子を標準粒子とすることが考えられる。無
機化合物粒子としては、粒子径がよく揃つた1.0μ
mまでのシリカ粒子が知られている(特開昭58−
41810号公報)。また、金属アルコキサイドを噴霧
熱分解することにより製造され、粒子径が1.5〜
20μmの範囲のシリカ粒子も知られているが、こ
のシリカ粒子は、粒子の分布が広いために上記し
た標準粒子としての用途には適さない。 このように、無機化合物粒子であつて粒子径が
よく揃つた1.5〜20μmの範囲の粒子は現在は未だ
得られていない。 (問題点を解決するための手段) そこで、本発明者らは、電子顕微鏡観察や粉体
粒度計測用の標準粒子として好適に使用される粒
子径がよく揃つた1.5μm以上の球状の無機化合物
粒子を合成することを目的として研究を重ねてき
た。その結果、シリカと周期律表第族の金属の
酸化物とを主な構成成分とすることによつて、目
的とする無機酸化物粒子の合成に成功し、本発明
を完成するに至つた。 即ち、本発明は、シリカと周期律表第族の金
属の酸化物とを主な構成成分とし、粒子径が1.5
〜20μmであり、且つ粒子径の標準偏差値が1.00
〜1.10の範囲である球状の無機酸化物粒子であ
る。 尚、本明細書でいう標準偏差値とは、後に定義
したように無機酸化物粒子の粒子径のばらつきの
程度を示す指標である。 本発明の無機酸化物粒子は、シリカのシリコン
原子と周期律表第族の金属の酸化物、例えば、
酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウム等
が酸素を仲介に結合しており、周期律表第族の
金属の酸化物とシリカとがその主な構成成分とな
つている。 本発明の無機酸化物粒子は、シリカと周期律表
第族の金属の酸化物とが化学的に結合して存在
するもので、これらの構成成分を物理的に分離す
ることは出来ない。また、両成分が化学的に結合
していることは、無機酸化物粒子の赤外スペクト
ルを測定することで確認することができる。 周期律表第族の金属の酸化物は、本発明の無
機酸化物粒子の粒子径を1.5〜20μmという比較的
大きな値にするために必要である。無機酸化物粒
子中に占める周期律表第族の金属の酸化物の構
成比率は、広い範囲から選択されるが、得られる
無機酸化物粒子の粒子径の標準偏差値を良好にす
るため及び形状を球状に保つためには、0.1〜20
モル%、さらに2〜13モル%の範囲であることが
好ましい。 本発明の無機酸化物粒子中には、上記の周期律
表第族の金属の酸化物の他に、無機酸化物粒子
の粒子径のばらつきや形状に悪影響を与えない程
度であれば、他の金属の酸化物が含まれていても
良い。他の金属の酸化物としては、例えば、酸化
マグネシウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチ
ウム、酸化バリウム等の周期律表第族の金属の
酸化物;酸化アルミニウム等の周期律表第族の
金属の酸化物;酸化チタン、酸化ジルコニウム、
酸化ハフニウム等の周期律表第族の金属の酸化
物等を挙げることができる。これらの金属の酸化
物は、無機酸化物粒子の粒子径のばらつきを小さ
くするため及びその形状を球形に保つためには、
無機酸化物粒子中に占める構成比率が20モル%以
下、好ましくは10モル%以下であることが好適で
ある。 本発明の無機酸化物粒子は、走査型電子顕微鏡
観察により、その形状、粒子径、粒度分布等の測
定を行なうことができる。本発明の無機酸化物粒
子は、粒子径が1.5μm〜20μm、好ましくは、
2.0μm〜15μmの範囲のもので、その粒度分布は
非常に狭く、粒子径の標準偏差値は1.00〜1.10の
範囲であり、好ましくは1.00〜1.05の範囲、さら
に1.00〜1.03の範囲とすることもできる。粒子径
が1.5μm未満の場合には、粒子径のばらつきが大
きく、標準偏差値が本発明で特定する1.00〜1.10
の範囲に入らないことがある。また、粒子径が
20μmを越えるような無機酸化物粒子は、その製
造に時間がかかり過ぎるため実用的ではない。 本発明のシリカと周期律表第族の金属の酸化
物とを主な構成成分とする無機酸化物粒子は、焼
結工程を経ないにもかかわらず、一般の無機化合
物の粒子に比べて比表面積が小さく、一般に0.01
〜50m2/gの範囲、通常は0.01〜5m2/gの範囲
の比表面積である。 本発明の無機酸化物粒子は、そのほとんどが非
晶質或いは非晶質と一部結晶質との混合物であ
る。この判定は、本発明の無機酸化物粒子をX線
回折分析することにより確認することができる。 また、本発明の無機酸化物粒子は、その表面に
−OH基を結合して有している。該OH基の量は
アルカリ中和法の測定で確認することが出来る。
本発明の無機酸化物粒子は、一般には、比表面積
の大小にもよるが、0.00001〜0.5mmol/gの範
囲でOH基を有している。 更にまた、本発明の無機酸化物粒子の比重は、
シリカと周期律表第族の金属酸化物との構成比
率によつて異なるので一概に表示することが出来
ないが、最も一般的には比重が1.90〜2.20の範囲
のものが多い。 本発明の無機酸化物粒子は前記した種々の性状
を有するので種々の用途に使用されるが、その製
法は前記性状を与える方法である限り特に限定さ
れるものではない。最も代表的な方法について、
以下詳細に説明する。 即ち、加水分解可能な有機珪素化合物を反応液
中において、周期律表第族のアルカリ金属イオ
ンの存在下に加水分解する方法である。 この方法は、一般に水、アンモニア及び溶媒か
らなる反応液に周期律表第族のアルカリ金属イ
オンを存在させればよく、他の条件は特に制限さ
れない。 原料である加水分解可能な有機珪素化合物は特
に限定されないが、代表的には一般式Si(OR)4
たはSiR′o(OR)4-oで示されるアルコキシシラン、
またはアルコキシシランを部分的に加水分解的し
て得られる低縮合物が工業的に入手し易く、その
1種または2種以上の混合物が好ましく使用され
る。なお、上記の一般式において、Rおよび
R′はアルキル基で、例えばメチル基、エチル基、
イソプロピル基、ブチル基などの低級アルキル基
が好適である。nは1〜3の整数である。 また、上記した加水分解可能な有機珪素化合物
に加えて、得られる無機酸化物粒子の粒子径のば
らつきや形状に影響を与えない範囲、例えば、20
モル%以下、好ましくは10モル%以下であれば、
加水分解可能な他の有機金属化合物を併せて使用
することもできる。他の有機金属化合物として
は、公知の化合物が何ら制限なく採用される。例
えば、一般式M1(OR′),M2(OR′)2,M3(OR′)3
M4(OR′)4(但しR′はアルキル基)で表示される
金属アルコキシド化合物又は上記一般式中の一つ
又は二つのアルコキシド基(OR′)がカルボキシ
ル基あるいはβ−ジカルボニル基で置換された化
合物が好ましい。ここでM1は第族の金属、M2
は第族の金属、M3は第族の金属、M4は第
族の金属で、具体的には例えばリチウム、ナトリ
ウム、カリウム、マグネシウム、カルシウム、ス
トロンチウム、バリウム、アルミニウム、チタニ
ウム、ジルコニウム、ゲルマニウム、ハフニウ
ム、錫又は鉛が好適に使用される。本発明に於い
て一般に好適に使用される上記化合物を具体的に
例示すると、NaOCH3、NaOC2H5、NaOC3H7
等の有機ナトリウム化合物及び上記Naに代つて、
Li、K等で代替した第族化合物、Mg
(OCH32、Mg(OC2H52、Mg(OC3H72、Mg
(OC4H92、Mg(OC5H112等の有機マグネシウム
化合物及び上記Mgに代つて、Ca、Sr、Ba等で
代替した第族化合物、Al(OC2H52、Al
(OC3H72、Al(OC4H92等の化合物及び上記Al
に代つて、Bなどで代替した第族化合物、Ti
(O−isoC3H74、Ti(O−nC4H94、Ti(O−
CH2CH(C2H5)C4H94、Ti(O−C17H354、Ti
(O−isoC3H72〔CO(CH3)CHCOCH32、Ti(O
−nC4H92〔OC2H4N(C2H4OH)22、Ti(OH)2
〔OCH(CH3)COOH〕2、Ti(OCH2CH(C2H5
CH(OH)C3H74、Ti(O−nC4H92
(OCOC17H35)等の化合物及び上記Tiに代つて、
Zr、Ge、Hf、Sn、Pb等で代替した第族金属化
合物等である。また、CaCl2、Ca
〔HOC6H4COO〕2・2H2Oなどの化合物も好適に
使用出来る。 尚、以下の説明に於いては、上記した有機珪素
化合物及び必要に応じて使用される他の有機金属
化合物を併せて単に有機金属化合物と呼ぶことも
ある。 本発明において、上記した加水分解可能な有機
金属化合物は溶媒を用いることなく、そのまま反
応液に添加することも可能であるが、反応の制御
を容易にするために、該有機珪素化合物の濃度或
いは他の有機金属化合物を使用する場合にはそれ
らの合計の濃度を一般に50重量%以下、特に5〜
50重量%の範囲に稀釈して使用することが好まし
い。この稀釈溶の溶用としては、加水分解可能な
有機金属化合物を溶解することが出来、しかも水
と一定の割合で均一に混合できるものであれば特
に制限されないが、一般に容易に入手可能な例え
ばメタノール、エタノール、イソプロピルアルコ
ール、ブタノール、エチレングリコール、プロピ
レングリコールなどのアルコール類が好適に用い
られる。 次に、反応液としては一般に水、アンモニアお
よび溶媒よりなり、かつ周期律表第族のアルカ
リ金属イオンを含む均一混合液を調整する。反応
液に用いる溶媒としては、水およびアンモニアと
均一な溶液を調整できるものであれば特に制限さ
れず、一般に前記したアルコール類が好適であ
り、一般に炭素原子数の多いアルコール類を用い
るほど、得られる無機酸化物粒子の粒径を大きく
出来る傾向にある。また、反応液における水およ
びアンモニアの濃度は、一般に、それぞれ0.5〜
50mol/、1.0〜10mol/の範囲から選択して
決定すればよい。 なお、反応液における水の濃度およびアンモニ
アの濃度は、それぞれ水/溶媒(合計)、アンモ
ニア/溶媒(合計)で表される量であり溶媒(合
計)とは、初期反応液の溶媒+有機金属化合物の
溶液の溶媒+該有機金属化合物の加水分解反応に
おいて生じる溶媒+後記するアンモニアおよび水
のコントロール用混合液の溶媒の合計量を示す。 次に、周期律表第族のアルカリ金属イオンを
存在させる反応液は、一般に上記した水、アンモ
ニアおよび溶媒の混合溶液中に該アルカリ金属イ
オンを生成し得る化合物であれば特に限定なく添
加、混合して所定の濃度に調整される。上記のア
ルカリ金属イオンを生成し得る化合物としては、
例えば水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸
化カリウムなど周期律第族のアルカリ金属水酸
化物が好適に用いられる。 反応液における上記したアルカリ金属イオンの
濃度は、製造する無機酸化物粒子の粒子径等々の
条件により異なるため一概に決められないが、一
般に反応液に用いる水、アンモニアおよび溶媒の
合計重量に対して0.001〜1mol/、特に0.002〜
0.1mol/の範囲にすることが好ましい。即ち、
反応液における該アルカリ金属イオンの濃度が上
記した範囲より低い場合には、本発明の効果が充
分に発揮されず無機酸化物粒子の粒径が大きくな
らず、また反応液におけるアルカリ金属イオンの
濃度が高いほど粒径の大きい無機酸化物粒子が得
られる傾向にあるが、上記した範囲より高い場合
には種々の粒径の無機酸化物粒子が生成し均一粒
径の無機酸化物粒子が得られない。したがつて、
本発明は反応の継続中において、一般に所定のア
ルカリ金属イオン濃度を維持するように初期の反
応液に調製すればよいが、また必要に応じて途中
でアルカリ金属イオンを生成し得る化合物を添加
して所定のアルカリ金属イオン濃度に調整するこ
とも出来る。 加水分解反応において、反応を続行する間、反
応液における水およびアンモニアをそれぞれ前記
した一般に0.5〜50mol/、1〜10mol/の範
囲で選択した所定の初期値に対して実質的に変化
させないようにコントロールすることは粒径の均
一性をより一層高める方法として有効である。こ
のような反応液における水およびアンモニアの濃
度を実質的に変化させることなく均一に維持する
方法としては、一般に予め所定の濃度に調整した
水、アンモニアおよび溶媒の反応液に原料である
加水分解可能な有機珪素化合物と水およびアンモ
ニアを所定濃度を維持する割合で、逐次に同時添
加することにより簡便に達成される。なお、上記
した反応液の水およびアンモニアの濃度をそれぞ
れ実質的に変化させないとは、所定の初期濃度
(値)に対して±50%以内、好ましくは±30%以
内に維持すればよい。 反応温度は種々の条件により異なり一概に限定
することが出来ないが、一般に大気圧下で0〜40
℃、好ましくは5〜30℃で実施される。 以上の方法により本発明の無機酸化物粒子を得
ることができるが、上述の加水分解反応を連続し
て長時間行なうと、微細な新粒子が少量ではある
が発生し、粒子径の揃つた無機酸化物粒子が得難
くなる。従つて、本発明の無機酸化物粒子の中で
も比較的粒子径の大きいものを製造する場合に
は、微細な新粒子が発生する前に加水分解反応を
止め、得られた無機酸化物粒子を反応液から分離
した後、種粒子として反応液中に再度分散させて
前述の加水分解反応を行ない種粒子を成長させる
という方法が好適に採用される。 (効果) 本発明の無機酸化物粒子は、1.5〜20μmという
比較的大きな粒子径を有している。そして、この
範囲内であれば任意の大きさの粒子径に調製可能
である。しかも、粒子径が極めてよく揃つてお
り、後に定義する標準偏差値で1.00〜1.10、好ま
しくは1.00〜1.05、さらに1.00〜1.03という優れ
た値とすることもできる。このような1.5〜20μm
という比較的大きい粒子径で、このように粒子径
がよく揃つた球状の無機酸化物粒子は、本発明が
初めて提供するものである。 以上のような特徴を有する本発明の無機酸化物
粒子は、電子顕微鏡観察や粉体粒度計測用の標準
粒子として好適に使用される他、免疫、臨床検査
用、液晶等のマイクロエレクトロニクスのスペー
サー用、濾過材評価試験用、液クロ、ガスクロの
担体などに好適に用いられる。 以下に実施例を挙げ、本発明をさらに具体的に
説明するが、以下の実施例で利用した種々の性状
の測定は特にことわらない限り次のようにして実
施した。 (1) 比重 ピクノメーター法に従つて比重を測定した。 (2) 粒子径および粒子径分布の標準偏差値 粉体の走査型電子顕微鏡写真を撮り、その写
真の単位視野内に観察される粒子の数(n)、
および粒子径(直径Xi)を求め、次式により算
出される。 標準偏差値=X+σo/X 但し (3) 比表面積 柴田化学器械工業(株)迅速表面測定装置SA−
1000を用いた。測定原理はBET法である。 (4) 真球度 走査型電子顕微鏡に接続した画像解析装置
(日本アビオニクス社製、商品名:EXCEL+
Image Command98)により、任意の無機酸
化物粒子20個の平面像より真円度(Ci)を求
め、その値の数平均をもつて、真球度とした。 (ただし、n=20) 実施例 1 撹拌機付きのガラス製反応器(内容積5)
に、メタノール、アンモニア水(25重量%)およ
び5N−NaOH水溶液をそれぞれ1600ml、350mlお
よび8mlを仕込み良く混合して反応液とした。な
お、ナトリウムイオン濃度は、約20mmol/で
あつた。 次に、メタノール1に対してテトラエチルシ
リケート〔Si(OC2H54、日本コルコート化学社
製、商品名:エチルシリケート28〕を205gの割
合で溶解させ原料溶液を調製した。 また、メタノール、アンモニア水(25重量%)
および5N−NaOH水溶液を、それぞれ700ml、
200mlおよび100mlの割合で混合して、添加用アル
カリ溶液を調製した。 反応液の温度を20℃に保ちながら、上記原料溶
液を定量ポンプを用いて、1ml/分の速度で反応
液中に滴々添加した。原料溶液添加開始後、約10
分で反応液は自濁し始め、反応液中のナトリウム
イオン濃度は次第に低下した。添加開始後、約2
時間でナトリウムイオン濃度は5mmol/まで
低下し、これ以後、反応液中のナトリウムイオン
濃度が5mmol/、水の濃度が7.0〜8.5mol/
、アンモニアの濃度が2.5〜3.0mol/で一定
となるように反応を停止させるまで、上記の添加
用アルカリ溶液を適宜、滴々添加した。 なお、反応液中のナトリウムイオン濃度を一定
に保つ方法として、反応液中の電気伝導度を測定
し、電気伝導度が0.6mS/cmで一定となるよう
に、電気伝導度コントローラーに接続した定量ポ
ンプにより添加用アルカリ溶液を断続的に添加し
た。 反応開始後、約30時間で反応液中の無機酸化物
粒子の粒径は3.0μmとなり、原料溶液および添加
用アルカリ溶液の添加を停止させ、反応液を静
置、無機酸化物粒子を沈降させ、上澄み液を分離
した。更に、メタノール中に再分散させ、デカン
テーシヨン処理を行ない、洗浄した後、走査型電
子顕微鏡で観察した。その結果、該粒子は完全真
球状であり、粒径の標準偏差値は1.019であつた。 上記のようにして得られた粒子50gをメタノー
ル1600mlおよびアンモニア水(25重量%)400ml
の混合溶液に再分散させ、反応液スラリーとし
た。 また、メタノール800ml、アンモニア水(25重
量%)200mlおよび5N−NaOH水溶液10mlを混合
した添加用アンモニア溶液を調製した。なお、原
料溶液は、前記の原料溶液と同組成のものを使用
した。 次に、該添加用アンモニア溶液を該反応液スラ
リー中に2ml/分の速度で添加し、約30分後、該
原料溶液を1ml/分の速度で、該添加用アンモニ
ア溶液と並行して添加した。該添加用アンモニア
溶液の添加は反応停止まで続け、ナトリウムイオ
ン濃度が3.5mmol/、水の濃度が7.5〜
8.5mol/、アンモニア濃度が2.5〜3.0mol/
で一定となるようにした。 原料溶液の添加開始後、約48時間で無機酸化物
粒子の粒径は4.6μmに成長した。走査型電子顕微
鏡観察より、得られた無機酸化物粒子は完全真球
状で、粒径の標準偏差値は1.017であつた。 さらに、得られた粒径4.6μmの粒子を種粒子と
して、上記の操作を2度くり返したところ、粒径
は6.2μmとなつた。その後、反応液を静置、無機
酸化物粒子を沈降させ、上澄み液を分離した。更
に、メタノール中に再分散させ、デカンテーシヨ
ン処理を3回くり返し、エバポレーターでメタノ
ールを除き、120℃で減圧乾燥して、無機酸化物
粒子を粉体として得た。 走査型電子顕微鏡写真による観察の結果(第1
図)、粉体の形状は完全球形で、その平均粒径は
6.23μmであり、その粒径の標準偏差値は1.015で
あつた。またBET法による比表面積は1m2/g
以下であつた。X線分析によるとおよそ2θ=25°
を中心にしてゆるやかな山形の吸収が見られ非晶
質構造を有するものであることが確認された。 さらに、示差熱分析計及び熱天秤による熱変化
および重量変化を測定した。その結果100〜200℃
に脱水によると思われる吸熱、重量減少がみら
れ、さらに200〜650℃付近では発熱重量減少がみ
られた。その後1000℃までには熱変化、重量変化
はほとんどみられなかつた。 また、原子吸光分析によるNa2Oの含有率は
6.8mol%であり、粒子の比重は2.12、真球度は
1.00で完全真球であつた。 反応継続中、一定に保持した反応液中のナトリ
ウムイオン濃度および種粒子の再成長回数を表1
に示した値とした以外は、全て実施例1と同様な
条件で無機酸化物粒子の製造を行なつた。その結
果は表1に示す通りであつた。
(Industrial Application Field) The present invention relates to spherical inorganic oxide particles whose main constituents are silica and an oxide of a group metal of the periodic table, and whose particle diameters are very uniform. (Prior Art and Problems to be Solved by the Invention) Conventionally, spherical particles with very uniform particle diameters have been used as standard particles for electron microscopic observation and powder particle size measurement. Polystyrene has the advantages of having a well-uniformed particle size, a true spherical shape, and the ability to synthesize particles of any particle size, and is used as the standard particle mentioned above. . However, it is said that when polymer particles such as polystyrene are used as standard particles for atomic microscopic observation, the polymer particle diameter becomes small due to the influence of the electron beam, making accurate observation impossible. Therefore, it is conceivable to use inorganic compound particles that are not easily affected by electron beams as standard particles. As inorganic compound particles, 1.0 μ with a well-uniformed particle size is recommended.
It is known that silica particles up to
Publication No. 41810). It is also produced by spray pyrolysis of metal alkoxide, and the particle size is 1.5~
Silica particles in the 20 μm range are also known, but these silica particles have a wide particle distribution and are therefore not suitable for use as standard particles as described above. As described above, inorganic compound particles with well-uniform particle diameters in the range of 1.5 to 20 μm have not yet been obtained. (Means for Solving the Problems) Therefore, the present inventors developed a spherical inorganic compound with well-uniformed particle diameters of 1.5 μm or more, which is suitably used as standard particles for electron microscopy and powder particle size measurement. We have been conducting research with the aim of synthesizing particles. As a result, they succeeded in synthesizing the desired inorganic oxide particles by using silica and an oxide of a metal from group 3 of the periodic table as the main constituents, and completed the present invention. That is, the present invention has silica and an oxide of a metal of group 3 of the periodic table as main components, and has a particle size of 1.5.
~20μm, and the standard deviation value of particle size is 1.00
It is a spherical inorganic oxide particle that ranges from ~1.10. Note that the standard deviation value as used herein is an index indicating the degree of variation in particle diameter of inorganic oxide particles, as defined later. The inorganic oxide particles of the present invention are an oxide of a silicon atom of silica and a metal of group of the periodic table, for example,
Lithium oxide, sodium oxide, potassium oxide, etc. are bonded through oxygen, and the main constituents are oxides of metals from Group 3 of the periodic table and silica. In the inorganic oxide particles of the present invention, silica and an oxide of a group metal of the periodic table are chemically bonded, and these constituent components cannot be physically separated. Moreover, the chemical bonding of both components can be confirmed by measuring the infrared spectrum of the inorganic oxide particles. The oxide of a metal belonging to group 1 of the periodic table is necessary in order to make the particle size of the inorganic oxide particles of the present invention a relatively large value of 1.5 to 20 μm. The composition ratio of the oxides of metals in Group 1 of the periodic table in the inorganic oxide particles is selected from a wide range, but in order to improve the standard deviation value of the particle size of the obtained inorganic oxide particles and the shape 0.1 to 20 to keep it spherical.
mol %, preferably in the range of 2 to 13 mol %. The inorganic oxide particles of the present invention may contain, in addition to the above-mentioned oxides of metals from group 3 of the periodic table, other substances as long as they do not adversely affect the variation in particle size or shape of the inorganic oxide particles. A metal oxide may be included. Examples of oxides of other metals include oxides of metals in Group Group of the Periodic Table, such as magnesium oxide, calcium oxide, strontium oxide, and barium oxide; oxides of metals in Group Group of the Periodic Table, such as aluminum oxide; titanium oxide, zirconium oxide,
Examples include oxides of metals in group 3 of the periodic table, such as hafnium oxide. In order to reduce the variation in the particle size of the inorganic oxide particles and to maintain the spherical shape of these metal oxides,
It is suitable that the composition ratio in the inorganic oxide particles is 20 mol% or less, preferably 10 mol% or less. The shape, particle size, particle size distribution, etc. of the inorganic oxide particles of the present invention can be measured by observation using a scanning electron microscope. The inorganic oxide particles of the present invention have a particle size of 1.5 μm to 20 μm, preferably,
The particle size is in the range of 2.0 μm to 15 μm, and the particle size distribution is very narrow, and the standard deviation value of the particle size is in the range of 1.00 to 1.10, preferably in the range of 1.00 to 1.05, and more preferably in the range of 1.00 to 1.03. You can also do it. When the particle size is less than 1.5 μm, the variation in particle size is large, and the standard deviation value is 1.00 to 1.10 specified by the present invention.
may not fall within the range. In addition, the particle size
Inorganic oxide particles exceeding 20 μm are not practical because it takes too much time to produce them. The inorganic oxide particles of the present invention, which are mainly composed of silica and an oxide of a metal from group 3 of the periodic table, are compared to general inorganic compound particles even though they do not undergo a sintering process. Small surface area, typically 0.01
The specific surface area is in the range ˜50 m 2 /g, usually in the range 0.01 to 5 m 2 /g. The inorganic oxide particles of the present invention are mostly amorphous or a mixture of amorphous and partially crystalline particles. This determination can be confirmed by X-ray diffraction analysis of the inorganic oxide particles of the present invention. Further, the inorganic oxide particles of the present invention have -OH groups bonded to their surfaces. The amount of OH groups can be confirmed by measurement using an alkali neutralization method.
The inorganic oxide particles of the present invention generally have OH groups in the range of 0.00001 to 0.5 mmol/g, depending on the specific surface area. Furthermore, the specific gravity of the inorganic oxide particles of the present invention is
Although it is not possible to give a general indication because it varies depending on the composition ratio of silica and metal oxide of group 3 of the periodic table, the most common specific gravity is in the range of 1.90 to 2.20. Since the inorganic oxide particles of the present invention have the various properties described above, they can be used for various purposes, but the production method is not particularly limited as long as the method provides the above properties. Regarding the most typical methods,
This will be explained in detail below. That is, this is a method in which a hydrolyzable organosilicon compound is hydrolyzed in a reaction solution in the presence of an alkali metal ion from group 3 of the periodic table. In this method, it is sufficient that an alkali metal ion of Group 1 of the periodic table is generally present in a reaction solution consisting of water, ammonia, and a solvent, and other conditions are not particularly limited. The hydrolyzable organosilicon compound that is the raw material is not particularly limited, but typically includes alkoxysilanes represented by the general formula Si(OR) 4 or SiR′ o (OR) 4-o ,
Alternatively, low condensates obtained by partially hydrolyzing alkoxysilanes are easily available industrially, and one or a mixture of two or more thereof is preferably used. In addition, in the above general formula, R and
R′ is an alkyl group, such as methyl group, ethyl group,
Lower alkyl groups such as isopropyl group and butyl group are preferred. n is an integer from 1 to 3. In addition to the above-mentioned hydrolyzable organosilicon compound, a 20%
If it is less than mol%, preferably less than 10 mol%,
Other hydrolyzable organometallic compounds can also be used in conjunction. As other organometallic compounds, known compounds may be employed without any restrictions. For example, the general formula M 1 (OR′), M 2 (OR′) 2 , M 3 (OR′) 3 ,
M 4 (OR') 4 (where R' is an alkyl group) metal alkoxide compound or one or two alkoxide groups (OR') in the above general formula are substituted with a carboxyl group or β-dicarbonyl group Compounds that have been used are preferred. where M 1 is a group metal, M 2
is a group metal, M3 is a group metal, and M4 is a group metal, such as lithium, sodium, potassium, magnesium, calcium, strontium, barium, aluminum, titanium, zirconium, germanium, Hafnium, tin or lead are preferably used. Specific examples of the above-mentioned compounds that are generally preferably used in the present invention include NaOCH 3 , NaOC 2 H 5 , NaOC 3 H 7
In place of organic sodium compounds such as and the above Na,
Group compounds substituted with Li, K, etc., Mg
( OCH3 ) 2 , Mg( OC2H5 ) 2 , Mg( OC3H7 ) 2 , Mg
Organomagnesium compounds such as (OC 4 H 9 ) 2 , Mg(OC 5 H 11 ) 2 , group compounds in which Ca, Sr, Ba, etc. are substituted for the above Mg, Al(OC 2 H 5 ) 2 , Al
Compounds such as (OC 3 H 7 ) 2 , Al(OC 4 H 9 ) 2 and the above Al
In place of B, group compound, Ti
(O-isoC 3 H 7 ) 4 , Ti(O-nC 4 H 9 ) 4 , Ti(O-
CH 2 CH (C 2 H 5 ) C 4 H 9 ) 4 , Ti (OC 17 H 35 ) 4 , Ti
(O-isoC 3 H 7 ) 2 [CO(CH 3 )CHCOCH 3 ] 2 , Ti(O
−nC 4 H 9 ) 2 [OC 2 H 4 N(C 2 H 4 OH) 2 ] 2 , Ti(OH) 2
[OCH (CH 3 ) COOH] 2 , Ti (OCH 2 CH (C 2 H 5 )
CH(OH) C3H7 ) 4 , Ti ( O - nC4H9 ) 2
(OCOC 17 H 35 ) and other compounds and instead of the above Ti,
Group metal compounds substituted with Zr, Ge, Hf, Sn, Pb, etc. Also, CaCl 2 , Ca
[HOC 6 H 4 COO] Compounds such as 2.2H 2 O can also be suitably used. In the following description, the above-mentioned organosilicon compound and other organometallic compounds used as necessary may be simply referred to as an organometallic compound. In the present invention, the above-mentioned hydrolyzable organometallic compound can be added to the reaction solution as it is without using a solvent, but in order to easily control the reaction, the concentration of the organosilicon compound or If other organometallic compounds are used, their total concentration is generally below 50% by weight, especially between 5 and 5%.
It is preferable to use it diluted to a range of 50% by weight. There are no particular restrictions on the use of this diluted solution, as long as it can dissolve hydrolyzable organometallic compounds and can be mixed uniformly with water at a certain ratio. Alcohols such as methanol, ethanol, isopropyl alcohol, butanol, ethylene glycol, and propylene glycol are preferably used. Next, a homogeneous mixed solution is prepared as a reaction solution, which generally consists of water, ammonia, and a solvent, and also contains an alkali metal ion of group 1 of the periodic table. The solvent used for the reaction solution is not particularly limited as long as it can prepare a homogeneous solution with water and ammonia, and the above-mentioned alcohols are generally preferred, and generally the more carbon atoms are used, the better the yield. There is a tendency for the particle size of the inorganic oxide particles to be increased. In addition, the concentrations of water and ammonia in the reaction solution are generally 0.5 to 0.
It may be determined by selecting from the range of 50 mol/, 1.0 to 10 mol/. Note that the concentrations of water and ammonia in the reaction solution are amounts expressed as water/solvent (total) and ammonia/solvent (total), respectively.Solvent (total) means the solvent of the initial reaction solution + organic metal. The total amount of the solvent of the solution of the compound + the solvent generated in the hydrolysis reaction of the organometallic compound + the solvent of the control mixture of ammonia and water described later is shown. Next, the reaction solution in which an alkali metal ion of group 1 of the periodic table is present is generally a compound capable of producing the alkali metal ion in the above-mentioned mixed solution of water, ammonia, and a solvent, and is added and mixed without particular limitation. The concentration is adjusted to a predetermined concentration. Compounds that can generate the above alkali metal ions include:
For example, alkali metal hydroxides of periodic group such as lithium hydroxide, sodium hydroxide, and potassium hydroxide are preferably used. The concentration of the above-mentioned alkali metal ions in the reaction solution cannot be determined unconditionally because it varies depending on conditions such as the particle size of the inorganic oxide particles to be produced, but it is generally determined based on the total weight of water, ammonia, and solvent used in the reaction solution. 0.001~1mol/, especially 0.002~
It is preferably in the range of 0.1 mol/. That is,
If the concentration of the alkali metal ions in the reaction solution is lower than the above range, the effect of the present invention will not be sufficiently exhibited, the particle size of the inorganic oxide particles will not increase, and the concentration of the alkali metal ions in the reaction solution will be lower. The higher the value, the more likely it is that inorganic oxide particles with a larger particle size will be obtained, but if the value is higher than the above range, inorganic oxide particles with various particle sizes will be produced, making it difficult to obtain inorganic oxide particles with a uniform particle size. do not have. Therefore,
In the present invention, the initial reaction solution may generally be prepared to maintain a predetermined alkali metal ion concentration during the continuation of the reaction, but if necessary, a compound capable of producing alkali metal ions may be added during the reaction. It is also possible to adjust the alkali metal ion concentration to a predetermined value. In the hydrolysis reaction, while the reaction is continued, water and ammonia in the reaction solution are kept substantially unchanged from the predetermined initial values generally selected in the ranges of 0.5 to 50 mol/ and 1 to 10 mol/, respectively. Control is an effective way to further improve particle size uniformity. As a method for maintaining the concentrations of water and ammonia in such a reaction solution uniform without substantially changing them, it is common to add a hydrolyzable raw material to a reaction solution of water, ammonia, and a solvent that has been adjusted to a predetermined concentration in advance. This can be easily achieved by sequentially and simultaneously adding an organic silicon compound, water, and ammonia at a rate that maintains a predetermined concentration. Note that the above-mentioned concentration of water and ammonia in the reaction solution is not substantially changed by maintaining them within ±50%, preferably within ±30% of the predetermined initial concentration (value). The reaction temperature varies depending on various conditions and cannot be absolutely limited, but it is generally 0 to 40°C under atmospheric pressure.
℃, preferably 5 to 30℃. The inorganic oxide particles of the present invention can be obtained by the above method, but if the above-mentioned hydrolysis reaction is continuously carried out for a long time, a small amount of new fine particles will be generated, and the inorganic oxide particles of uniform particle size will be generated. It becomes difficult to obtain oxide particles. Therefore, when producing inorganic oxide particles of the present invention that have a relatively large particle size, the hydrolysis reaction is stopped before fine new particles are generated, and the resulting inorganic oxide particles are subjected to the reaction. After separation from the liquid, a method is preferably adopted in which the seed particles are dispersed again in the reaction liquid and the above-mentioned hydrolysis reaction is performed to grow the seed particles. (Effects) The inorganic oxide particles of the present invention have a relatively large particle size of 1.5 to 20 μm. The particle size can be adjusted to any desired size within this range. Moreover, the particle diameters are extremely uniform, and the standard deviation value defined later can be an excellent value of 1.00 to 1.10, preferably 1.00 to 1.05, and further 1.00 to 1.03. 1.5~20μm like this
The present invention is the first to provide spherical inorganic oxide particles with relatively large particle diameters and well-uniform particle diameters. The inorganic oxide particles of the present invention having the above characteristics are suitable for use as standard particles for electron microscopy and powder particle size measurement, as well as for immunology, clinical testing, and spacers for microelectronics such as liquid crystals. Suitable for use in filter media evaluation tests, liquid chromatography, gas chromatography carriers, etc. EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to Examples below. Measurements of various properties used in the Examples below were carried out as follows unless otherwise specified. (1) Specific gravity Specific gravity was measured according to the pycnometer method. (2) Standard deviation value of particle size and particle size distribution Take a scanning electron micrograph of the powder, and calculate the number of particles observed within the unit field of view of the photograph (n),
and the particle diameter (diameter X i ), which is calculated using the following formula. Standard deviation value = X + σ o /X However (3) Specific surface area Shibata Chemical Instruments Co., Ltd. Rapid surface measuring device SA−
1000 was used. The measurement principle is the BET method. (4) Sphericity Image analysis device connected to a scanning electron microscope (manufactured by Nippon Avionics, product name: EXCEL+
Circularity (Ci) was determined from a plane image of 20 arbitrary inorganic oxide particles using Image Command 98), and the number average of the values was taken as the sphericity. (However, n = 20) Example 1 Glass reactor with stirrer (inner volume 5)
Then, 1600 ml, 350 ml and 8 ml of methanol, aqueous ammonia (25% by weight) and 5N-NaOH aqueous solution were charged and mixed thoroughly to prepare a reaction solution. Note that the sodium ion concentration was approximately 20 mmol/. Next, a raw material solution was prepared by dissolving 205 g of tetraethyl silicate [Si(OC 2 H 5 ) 4 , manufactured by Nippon Colcoat Chemical Co., Ltd., trade name: Ethyl silicate 28] in 1 methanol. Also, methanol, ammonia water (25% by weight)
and 700ml each of 5N-NaOH aqueous solution,
An alkaline solution for addition was prepared by mixing 200 ml and 100 ml. While maintaining the temperature of the reaction solution at 20° C., the above raw material solution was added dropwise to the reaction solution at a rate of 1 ml/min using a metering pump. Approximately 10 minutes after starting addition of raw material solution
Within minutes, the reaction solution began to become cloudy, and the sodium ion concentration in the reaction solution gradually decreased. After starting addition, approx. 2
The sodium ion concentration decreased to 5 mmol/in the course of time, and after this, the sodium ion concentration in the reaction solution decreased to 5 mmol/in and the water concentration decreased to 7.0 to 8.5 mol/in.
The above alkaline solution for addition was appropriately added dropwise until the reaction was stopped so that the ammonia concentration remained constant at 2.5 to 3.0 mol/. In addition, as a method to keep the sodium ion concentration in the reaction solution constant, measure the electrical conductivity in the reaction solution, and use a quantitative meter connected to an electrical conductivity controller to keep the electrical conductivity constant at 0.6 mS/cm. The additive alkaline solution was added intermittently by a pump. Approximately 30 hours after the start of the reaction, the particle size of the inorganic oxide particles in the reaction solution reached 3.0 μm, and the addition of the raw material solution and the alkaline solution for addition was stopped, and the reaction solution was allowed to stand still, allowing the inorganic oxide particles to settle. , the supernatant was separated. Furthermore, it was redispersed in methanol, subjected to decantation treatment, washed, and then observed with a scanning electron microscope. As a result, the particles were completely spherical, and the standard deviation value of the particle size was 1.019. 50g of the particles obtained above were mixed with 1600ml of methanol and 400ml of ammonia water (25% by weight).
The mixture was redispersed in a mixed solution to obtain a reaction liquid slurry. In addition, an ammonia solution for addition was prepared by mixing 800 ml of methanol, 200 ml of aqueous ammonia (25% by weight), and 10 ml of a 5N-NaOH aqueous solution. The raw material solution used had the same composition as the raw material solution described above. Next, the ammonia solution for addition is added into the reaction liquid slurry at a rate of 2 ml/min, and after about 30 minutes, the raw material solution is added at a rate of 1 ml/min in parallel with the ammonia solution for addition. did. Addition of the ammonia solution for addition is continued until the reaction is stopped, and the sodium ion concentration is 3.5 mmol/, and the water concentration is 7.5~
8.5mol/, ammonia concentration 2.5-3.0mol/
It was made to be constant. Approximately 48 hours after the start of addition of the raw material solution, the particle size of the inorganic oxide particles grew to 4.6 μm. Observation with a scanning electron microscope revealed that the obtained inorganic oxide particles were completely spherical, and the standard deviation value of the particle size was 1.017. Furthermore, when the above operation was repeated twice using the obtained particles with a particle size of 4.6 μm as seed particles, the particle size became 6.2 μm. Thereafter, the reaction solution was allowed to stand still, the inorganic oxide particles were allowed to settle, and the supernatant liquid was separated. Furthermore, the mixture was redispersed in methanol, the decantation process was repeated three times, methanol was removed using an evaporator, and the mixture was dried under reduced pressure at 120°C to obtain inorganic oxide particles as a powder. Observation results using scanning electron microscopy (first
), the shape of the powder is perfectly spherical, and its average particle size is
The particle diameter was 6.23 μm, and the standard deviation value of the particle size was 1.015. Also, the specific surface area by BET method is 1 m 2 /g
It was below. According to X-ray analysis, approximately 2θ=25°
A gentle mountain-shaped absorption was observed around , and it was confirmed that the material had an amorphous structure. Furthermore, thermal changes and weight changes were measured using a differential thermal analyzer and a thermobalance. The result is 100-200℃
There was an endotherm and weight loss that was thought to be due to dehydration, and furthermore, there was an exothermic weight loss around 200-650°C. Thereafter, almost no thermal or weight changes were observed up to 1000°C. In addition, the content of Na 2 O by atomic absorption spectrometry is
6.8mol%, the specific gravity of the particles is 2.12, and the sphericity is
At 1.00, it was a perfect sphere. Table 1 shows the sodium ion concentration in the reaction solution that was kept constant during the reaction and the number of times the seed particles regrown.
Inorganic oxide particles were produced under the same conditions as in Example 1 except for the values shown in . The results were as shown in Table 1.

【表】 実施例 2 実施例1の反応液、添加用アルカリ溶液および
添加用アンモニア溶液中の5N−NaOH水溶液の
代わりに4N−KOH水溶液を用いた以外は、全て
実施例1と同様な条件で実施した。表2に、その
結果を示した。
[Table] Example 2 All conditions were the same as in Example 1, except that a 4N-KOH aqueous solution was used instead of the 5N-NaOH aqueous solution in the reaction solution, the alkaline solution for addition, and the ammonia solution for addition. carried out. Table 2 shows the results.

【表】 実施例 3 メタノール1に対して0.1%塩酸およびテト
ラエチルシリケート〔Si(OC2H54、日本コルコ
ート化学社製、商品名:エチルシリケート28〕と
を、それぞれ3gおよび130gの割合で混合し、
この溶液を室温で約2時間撹拌しながら加水分解
した。その後、これを、テトラブチルチタネート
〔Ti(O−nC4H94、日本曹達製〕34gをイソプロ
パノール420mlに溶かした溶液に撹拌しながら添
加し、テトラエチルシリケートの加水分解物とテ
トラブチルチタネートとの混合溶液を調製し原料
溶液とした。 次に、実施例1と同様の操作により製造した平
均粒径2.5μmの無機酸化物粒子(Na2O含有)を
種粒子として、上記原料溶液を用いて種粒子の再
成長を行つた。種粒子を成長させる操作は、上記
の原料溶液を用いた以外は、全て実施例1と同じ
条件によつた。 さらに上記操作において、テトラブチルチタネ
ート34gを表3に示す原料に変えた以外は全て上
記と同様にして行なつた。その結果は、表3に示
した。
[Table] Example 3 0.1% hydrochloric acid and tetraethyl silicate [Si(OC 2 H 5 ) 4 , manufactured by Nippon Colcoat Chemical Co., Ltd., trade name: ethyl silicate 28] were added at a ratio of 3 g and 130 g to 1 methanol, respectively. mix,
This solution was hydrolyzed at room temperature with stirring for about 2 hours. Thereafter, this was added to a solution of 34 g of tetrabutyl titanate [Ti(O-nC 4 H 9 ) 4 , manufactured by Nippon Soda] dissolved in 420 ml of isopropanol while stirring, and the hydrolyzate of tetraethyl silicate and tetrabutyl titanate were combined. A mixed solution was prepared and used as a raw material solution. Next, inorganic oxide particles (containing Na 2 O) having an average particle diameter of 2.5 μm produced in the same manner as in Example 1 were used as seed particles, and the seed particles were regrown using the above raw material solution. The operation for growing the seed particles was carried out under the same conditions as in Example 1, except that the above raw material solution was used. Further, in the above operation, all procedures were carried out in the same manner as above except that 34 g of tetrabutyl titanate was changed to the raw materials shown in Table 3. The results are shown in Table 3.

【表】【table】 【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、実施例1で得られた本発明の無機酸
化物粒子の形態を示す走査型電子顕微鏡写真であ
る。
FIG. 1 is a scanning electron micrograph showing the morphology of the inorganic oxide particles of the present invention obtained in Example 1.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 シリカと周期律表第族の金属の酸化物とを
主な構成成分とし、粒子径が1.5〜20μmであり、
且つ粒子径の標準偏差値が1.00〜1.10の範囲であ
る球状の無機酸化物粒子。
1 The main constituents are silica and an oxide of a metal from group 3 of the periodic table, and the particle size is 1.5 to 20 μm,
Spherical inorganic oxide particles having a standard deviation value of particle diameter in the range of 1.00 to 1.10.
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