JPH0472907B2 - - Google Patents
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- JPH0472907B2 JPH0472907B2 JP58248501A JP24850183A JPH0472907B2 JP H0472907 B2 JPH0472907 B2 JP H0472907B2 JP 58248501 A JP58248501 A JP 58248501A JP 24850183 A JP24850183 A JP 24850183A JP H0472907 B2 JPH0472907 B2 JP H0472907B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- guide tube
- manufacturing
- dissociation
- ammonia gas
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- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21C—NUCLEAR REACTORS
- G21C17/00—Monitoring; Testing ; Maintaining
- G21C17/10—Structural combination of fuel element, control rod, reactor core, or moderator structure with sensitive instruments, e.g. for measuring radioactivity, strain
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/04—Treatment of selected surface areas, e.g. using masks
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/30—Nuclear fission reactors
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
- Monitoring And Testing Of Nuclear Reactors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は原子炉計測素子用案内管の製造方法
および製造装置に関する。
および製造装置に関する。
例えば沸騰水形原子炉においては、第１図に示
すように原子炉圧力容器１１内に燃料集合体１２
および冷却水１３が容れられ、各部の中性子検出
あるいは炉内温度検出のために複数組の中性子検
出器集合体１４（１組のみ図示）が設置される。
このため集合体１４には複数個の中性子検出器１
５，１５…が挿入されている。すなわち集合体１
４は第２図および第３図に示すように保護管１６
の内部に複数の中性子検出器１５，１５…および
その出力リード１７，１７…が挿通され、さらに
この発明の対象である案内管１８が挿入されてい
る。この案内管１８は径小長尺のステンレス鋼の
パイプからなり、原子炉の運転にあたつて各中性
子検出器の検出性能を校正する目的で校正用の計
測素子（図示せず）をその内部に通すためのもの
である。これは、校正用計測素子をくり返し挿
入、引抜きするため、その内面に第４図に示すよ
うに窒化鋼の層１９が形成されている。この窒化
層１９は、案内管の全長にわたつて十分な硬度
と、とくに全体にわたつて均一な層厚で形成され
ていなければならない。なぜならば、層が全体的
に或いは部分的に薄すぎると耐摩耗性の点で寿命
が短くなり、また逆に厚すぎると脆弱となり、い
ずれの場合も信頼性の乏しいものとなる。案内管
は例えば、内直径寸法が７mm、肉厚が1.5mm、全
長が14mという、径小で長尺のステンレス鋼パイ
プで形成される。そしてこの案内管を高温に加熱
しつつアンモニアガスを通して窒化層を形成す
る。生成される窒化層の厚さは処理温度、時間、
およびアンモニアガスの解離度に依存する。上記
のように案内管は径小で長尺であるため、温度を
全体にわたつて均一に保つこと、またアンモニア
ガスを全体に均一に接触させることは容易なく、
さらにまたガスの解離度を均一に保つことも容易
ではない。このような事情のため案内管の内面窒
化層の厚さを高硬度で均一に形成することは困難
であつた。
すように原子炉圧力容器１１内に燃料集合体１２
および冷却水１３が容れられ、各部の中性子検出
あるいは炉内温度検出のために複数組の中性子検
出器集合体１４（１組のみ図示）が設置される。
このため集合体１４には複数個の中性子検出器１
５，１５…が挿入されている。すなわち集合体１
４は第２図および第３図に示すように保護管１６
の内部に複数の中性子検出器１５，１５…および
その出力リード１７，１７…が挿通され、さらに
この発明の対象である案内管１８が挿入されてい
る。この案内管１８は径小長尺のステンレス鋼の
パイプからなり、原子炉の運転にあたつて各中性
子検出器の検出性能を校正する目的で校正用の計
測素子（図示せず）をその内部に通すためのもの
である。これは、校正用計測素子をくり返し挿
入、引抜きするため、その内面に第４図に示すよ
うに窒化鋼の層１９が形成されている。この窒化
層１９は、案内管の全長にわたつて十分な硬度
と、とくに全体にわたつて均一な層厚で形成され
ていなければならない。なぜならば、層が全体的
に或いは部分的に薄すぎると耐摩耗性の点で寿命
が短くなり、また逆に厚すぎると脆弱となり、い
ずれの場合も信頼性の乏しいものとなる。案内管
は例えば、内直径寸法が７mm、肉厚が1.5mm、全
長が14mという、径小で長尺のステンレス鋼パイ
プで形成される。そしてこの案内管を高温に加熱
しつつアンモニアガスを通して窒化層を形成す
る。生成される窒化層の厚さは処理温度、時間、
およびアンモニアガスの解離度に依存する。上記
のように案内管は径小で長尺であるため、温度を
全体にわたつて均一に保つこと、またアンモニア
ガスを全体に均一に接触させることは容易なく、
さらにまたガスの解離度を均一に保つことも容易
ではない。このような事情のため案内管の内面窒
化層の厚さを高硬度で均一に形成することは困難
であつた。
この発明は、案内管の内面に全体にわたつて所
望の厚さで均一な質の窒化層を能率よく形成し
て、信頼性の高い原子炉計測素子用の案内管を製
造する方法、およびこの方法の実施に直接使用す
る製造装置を提供するものである。
望の厚さで均一な質の窒化層を能率よく形成し
て、信頼性の高い原子炉計測素子用の案内管を製
造する方法、およびこの方法の実施に直接使用す
る製造装置を提供するものである。
この発明の製造方法の特徴は、案内管を高温に
加熱するとともにアンモニアガスを案内管の両開
口端の一方から他方に交互に複数回流通方向を変
えて導入、排出させ窒化層を形成する点にある。
さらにまた、案内管を所定の高温度に保持すると
ともに、その間のアンモニアガスの解離度を20％
乃至45％の範囲内に制御して処理することも一特
徴としている。
加熱するとともにアンモニアガスを案内管の両開
口端の一方から他方に交互に複数回流通方向を変
えて導入、排出させ窒化層を形成する点にある。
さらにまた、案内管を所定の高温度に保持すると
ともに、その間のアンモニアガスの解離度を20％
乃至45％の範囲内に制御して処理することも一特
徴としている。
またこの発明の製造装置は、径小長尺の複数本
の被処理案内管を収容する加熱炉と、案内管の両
端に共通に接続される一対のマニホールドと、こ
れら各マニホールドに各々接続されたガス導入パ
イプおよびガス排出パイプと、これら各パイプへ
のガス導入、排出を切換える如く接続された一対
の切換バルブと、ガス導入用切換バルブの上流に
圧力制御バルブを介して接続されたアンモニアガ
ス源と、上記ガス排出用切換バルブの下流に接続
されアンモニアガスの解離度を検出するガス分析
計とを具備してなることを特徴としている。
の被処理案内管を収容する加熱炉と、案内管の両
端に共通に接続される一対のマニホールドと、こ
れら各マニホールドに各々接続されたガス導入パ
イプおよびガス排出パイプと、これら各パイプへ
のガス導入、排出を切換える如く接続された一対
の切換バルブと、ガス導入用切換バルブの上流に
圧力制御バルブを介して接続されたアンモニアガ
ス源と、上記ガス排出用切換バルブの下流に接続
されアンモニアガスの解離度を検出するガス分析
計とを具備してなることを特徴としている。
これによつて所望の厚さで且つ全体にわたつて
比較的均一な窒化層を形成でき、信頼性の高い案
内管を得ることができる。
比較的均一な窒化層を形成でき、信頼性の高い案
内管を得ることができる。
以下第５図および第６図を参照してこの発明の
実施例を説明する。なお、同一部分は同一符号で
あらわす。
実施例を説明する。なお、同一部分は同一符号で
あらわす。
まずこの発明の製造方法の実施に直接使用する
製造装置の構成を第５図により説明する。この装
置は長い電熱炉２１を有し、その両端部に一対の
マニホールド２２，２３を有し、これらマニホー
ルドに被処理ステンレス鋼長尺案内管１８が複数
本接続される。マニホールド２２，２３にはガス
導入管２４ａ，２４ｂおよび排出管２５ａ，２５
ｂがそれぞれ接続されている。ガス導入径路につ
いて述べると、アンモニアガス（NH3）ガス源
２６は、バルブ２７、電磁バルブ２８、圧力制御
バルブ２９、流量計３０、逆止弁３１を経て電磁
切換バルブ３２，３３に接続されている。また、
窒素N2のような不活性ガス源３４は、バルブ３
５、電磁バルブ３６、流量計３７逆止弁３８を介
して同じく切換バルブ３２，３３に接続されてい
る。切換バルブの一方３２は一方のマニホールド
２２に、他方のバルブ３３は他方のマニホールド
２３にそれぞれガス導入管２４ａ，２４ｂを介し
て接続されている。なお図中の符号Ｇは圧力計を
あらわし、ガス管径路に示した矢印はガスの流れ
方向をあらわしている。各マニホールド２２，２
３のガス排出管２５ａ，２５ｂは、もう１組の電
磁切換バルブ３９，４０に接続され、その出口は
電磁バルブ４１、流量計４２、ガス分析計４３、
電磁バルブ４４を介してガス排出器すなわちスク
ラバ４５に接続されている。また切換バルブ２
９，４０の出口は、バイパス用のバルブ４６を介
してバイパス路からスクラバ４５へ通じており、
さらにバルブ４７を介してビユーレツト４８を介
して同じくスクラバ４５に接続されている。なお
符号５３は水タンク、４９は水バルブをあらわ
し、いずれもビユーレツト４８に付属している。
このビユーレツト４８、およびガス分析計４３
は、被処理案内管を通つて出てきたアンモニアガ
スの解離度を測定するものであり、分析計４３の
出力信号はレコーダ５０に自動記録され、また同
じくこの出力信号は圧力制御器５１に与えられ、
この制御器５１はNH3ガス源経路の圧力制御バ
ルブ２９の圧力を自動制御するようになつてい
る。切換バルブ３２，３３，３９，４０は、切換
制御器５２により、導入ガスがマニホールドから
被処理案内管１８に流れる方向を図の左、右方向
に自動的に切換える。すなわち切換バルブ３２か
ら導入パイプ２４ａ、図の左のマニホールド２２
から案内管を通り、図の右のマニホールド２３を
通つて排出管２５ｂを経て切換バルブ４０を通り
排出経路に至る順路と、この順路を遮断するとと
もに切換バルブ３３から導入管２４ｂ、図の右側
のマニホールド２３、案内管、左のマニホールド
２２、排出管２５ａ、切換バルブ３９を通る順路
とが、各切換バルブの電磁コイルへの通電制御に
よつて切換えるものである。
製造装置の構成を第５図により説明する。この装
置は長い電熱炉２１を有し、その両端部に一対の
マニホールド２２，２３を有し、これらマニホー
ルドに被処理ステンレス鋼長尺案内管１８が複数
本接続される。マニホールド２２，２３にはガス
導入管２４ａ，２４ｂおよび排出管２５ａ，２５
ｂがそれぞれ接続されている。ガス導入径路につ
いて述べると、アンモニアガス（NH3）ガス源
２６は、バルブ２７、電磁バルブ２８、圧力制御
バルブ２９、流量計３０、逆止弁３１を経て電磁
切換バルブ３２，３３に接続されている。また、
窒素N2のような不活性ガス源３４は、バルブ３
５、電磁バルブ３６、流量計３７逆止弁３８を介
して同じく切換バルブ３２，３３に接続されてい
る。切換バルブの一方３２は一方のマニホールド
２２に、他方のバルブ３３は他方のマニホールド
２３にそれぞれガス導入管２４ａ，２４ｂを介し
て接続されている。なお図中の符号Ｇは圧力計を
あらわし、ガス管径路に示した矢印はガスの流れ
方向をあらわしている。各マニホールド２２，２
３のガス排出管２５ａ，２５ｂは、もう１組の電
磁切換バルブ３９，４０に接続され、その出口は
電磁バルブ４１、流量計４２、ガス分析計４３、
電磁バルブ４４を介してガス排出器すなわちスク
ラバ４５に接続されている。また切換バルブ２
９，４０の出口は、バイパス用のバルブ４６を介
してバイパス路からスクラバ４５へ通じており、
さらにバルブ４７を介してビユーレツト４８を介
して同じくスクラバ４５に接続されている。なお
符号５３は水タンク、４９は水バルブをあらわ
し、いずれもビユーレツト４８に付属している。
このビユーレツト４８、およびガス分析計４３
は、被処理案内管を通つて出てきたアンモニアガ
スの解離度を測定するものであり、分析計４３の
出力信号はレコーダ５０に自動記録され、また同
じくこの出力信号は圧力制御器５１に与えられ、
この制御器５１はNH3ガス源経路の圧力制御バ
ルブ２９の圧力を自動制御するようになつてい
る。切換バルブ３２，３３，３９，４０は、切換
制御器５２により、導入ガスがマニホールドから
被処理案内管１８に流れる方向を図の左、右方向
に自動的に切換える。すなわち切換バルブ３２か
ら導入パイプ２４ａ、図の左のマニホールド２２
から案内管を通り、図の右のマニホールド２３を
通つて排出管２５ｂを経て切換バルブ４０を通り
排出経路に至る順路と、この順路を遮断するとと
もに切換バルブ３３から導入管２４ｂ、図の右側
のマニホールド２３、案内管、左のマニホールド
２２、排出管２５ａ、切換バルブ３９を通る順路
とが、各切換バルブの電磁コイルへの通電制御に
よつて切換えるものである。
次に、第６図をも参照しながら処理手順を説明
する。まず第６図に符号ａで示す工程すなわち被
処理案内管の両端をマニホールドに接続して電熱
炉内に装着し、炉温を上げる前に案内管の内部に
NH3ガスを十分流し、内部の空気を排出してガ
ス置換する工程からはじめる。同図において実線
曲線（NH3）がアンモニアガスの流量をあらわ
している。この工程ａのあと、NH3ガスの流量
を低減し、電熱炉の温度を上昇させ案内管の温度
Ｔを上昇させてゆく工程ｂにすすむ。なおこの温
度上昇途中において案内管の内表面酸化層の除去
のためHN3ガスを微量流しながらマニホールド
内に塩化ビニール系樹脂のビーズを投入しその気
化ガスを案内管に通す。この工程ｂの後段で炉内
温度を一定に保持して案内管の温度の均一化をは
かる。次に工程ｃにおいて温度をさらに上げつつ
NH3ガスの流量を一気に増加し、窒化処理をは
じめる。すなわちNH3ガスが高温分解に適する
温度に保ちながら工程ｄでNH3ガスの流量を制
御しつつ装置の切換制御器５２により各切換バル
ブを切換え動作させて所定時間ごとにNH3ガス
の流れ方向を交互に切換える。例えばNH3ガス
の流れ方向を５分ごとに逆転させ、５〜20回、自
動的にくり返す。その間、装置のガス分析計４３
あるいはビユーレツト４８による排出経路の
NH3ガスの解離度（2NH3→3H2＋2N）を検出
し、その解離度に応じて圧力制御器５１および圧
力制御バルブ２９を制御して導入NH3ガスの流
量を制御する。この制御領域を第６図に斜線領域
Ｐであらわしている。例えば解離度が20％以下と
いう低い場合には圧力制御バルブ２９を締めてゆ
き流量を減らし、解離度が上昇するように制御す
る。また逆に排出NH3ガスの解離度が45％以上
という高い場合はNH3導入ガス流量を増加して
解離度が低下してゆくように制御する。そしてこ
の工程の間、好ましくは解離度が20％乃至45％の
範囲内になるように制御される。こうして所定時
間処理したのち炉温を降下させると同時にNH3
ガスの導入を停止し、引き続いて案内管の酸化防
止のためN2ガスを導入しつつ徐冷する工程ｅに
移る。
する。まず第６図に符号ａで示す工程すなわち被
処理案内管の両端をマニホールドに接続して電熱
炉内に装着し、炉温を上げる前に案内管の内部に
NH3ガスを十分流し、内部の空気を排出してガ
ス置換する工程からはじめる。同図において実線
曲線（NH3）がアンモニアガスの流量をあらわ
している。この工程ａのあと、NH3ガスの流量
を低減し、電熱炉の温度を上昇させ案内管の温度
Ｔを上昇させてゆく工程ｂにすすむ。なおこの温
度上昇途中において案内管の内表面酸化層の除去
のためHN3ガスを微量流しながらマニホールド
内に塩化ビニール系樹脂のビーズを投入しその気
化ガスを案内管に通す。この工程ｂの後段で炉内
温度を一定に保持して案内管の温度の均一化をは
かる。次に工程ｃにおいて温度をさらに上げつつ
NH3ガスの流量を一気に増加し、窒化処理をは
じめる。すなわちNH3ガスが高温分解に適する
温度に保ちながら工程ｄでNH3ガスの流量を制
御しつつ装置の切換制御器５２により各切換バル
ブを切換え動作させて所定時間ごとにNH3ガス
の流れ方向を交互に切換える。例えばNH3ガス
の流れ方向を５分ごとに逆転させ、５〜20回、自
動的にくり返す。その間、装置のガス分析計４３
あるいはビユーレツト４８による排出経路の
NH3ガスの解離度（2NH3→3H2＋2N）を検出
し、その解離度に応じて圧力制御器５１および圧
力制御バルブ２９を制御して導入NH3ガスの流
量を制御する。この制御領域を第６図に斜線領域
Ｐであらわしている。例えば解離度が20％以下と
いう低い場合には圧力制御バルブ２９を締めてゆ
き流量を減らし、解離度が上昇するように制御す
る。また逆に排出NH3ガスの解離度が45％以上
という高い場合はNH3導入ガス流量を増加して
解離度が低下してゆくように制御する。そしてこ
の工程の間、好ましくは解離度が20％乃至45％の
範囲内になるように制御される。こうして所定時
間処理したのち炉温を降下させると同時にNH3
ガスの導入を停止し、引き続いて案内管の酸化防
止のためN2ガスを導入しつつ徐冷する工程ｅに
移る。
以上の処理によつて案内管の内面に好ましくは
60μm〜70μmの厚さの窒化鋼の層を形成すること
ができる。なおこの発明の装置において各バルブ
等は以上の処理を行なうように制御され、またガ
ス分析計に並列に設けられたバイパス経路は、分
析計へのガス流量が計測精度を最適とする量に設
定するための径路である。またビユーレツトは計
測の校正のためなどに用い、総合的なガス分析精
度を高め、維持するのにも有効である。勿論
NH3源からの流量制御は手動で行なうこともで
き、あるいは前述の如く自動制御とすることもで
きる。
60μm〜70μmの厚さの窒化鋼の層を形成すること
ができる。なおこの発明の装置において各バルブ
等は以上の処理を行なうように制御され、またガ
ス分析計に並列に設けられたバイパス経路は、分
析計へのガス流量が計測精度を最適とする量に設
定するための径路である。またビユーレツトは計
測の校正のためなどに用い、総合的なガス分析精
度を高め、維持するのにも有効である。勿論
NH3源からの流量制御は手動で行なうこともで
き、あるいは前述の如く自動制御とすることもで
きる。
この発明の製造方法は、アンモニアガスを高温
で分解し径小長尺の案内管に流れ方向を交互に切
り換えて複数回くり返しながら窒化処理するた
め、例えば内直径が７mmで長さが14mというよう
な案内管でも、窒化鋼層の厚さのばらつきをわず
かなものとし、再現性よく製造することができ
る。とくに解離度を20％〜45％の範囲内に制御し
て処理することにより、硬度のすぐれた所定膜厚
の窒化層をせいぜい30分〜１時間の窒化処理（工
程ｄ）により得ることができる。
で分解し径小長尺の案内管に流れ方向を交互に切
り換えて複数回くり返しながら窒化処理するた
め、例えば内直径が７mmで長さが14mというよう
な案内管でも、窒化鋼層の厚さのばらつきをわず
かなものとし、再現性よく製造することができ
る。とくに解離度を20％〜45％の範囲内に制御し
て処理することにより、硬度のすぐれた所定膜厚
の窒化層をせいぜい30分〜１時間の窒化処理（工
程ｄ）により得ることができる。
またこの発明の装置により、自動的に上記製造
方法を確実に実施でき、高能率に、且つ安定に処
理できる。
方法を確実に実施でき、高能率に、且つ安定に処
理できる。
このように原子炉用部材として信頼性の高い案
内管を製造することができる。
内管を製造することができる。
第１図は原子炉の概略構成図、第２図はその検
出器集合体の縦断面図、第３図は第２図の３−３
における横断面図、第４図はその案内管の拡大横
断面図、第５図はこの発明の装置の実施例を示す
構成系統図、第６図はこの発明の製造方法の実施
例の工程における温度、ガス流量制御曲線図であ
る。 １８…案内管、１９…窒化層、２１…電熱炉、
２２，２３…マニホールド、３２，３３，３９，
４０…切換制御バルブ、２６…アンモニアガス
源、２９…圧力制御バルブ、４３…ガス分析計、
４８…ビユーレツト、５１…圧力制御器。
出器集合体の縦断面図、第３図は第２図の３−３
における横断面図、第４図はその案内管の拡大横
断面図、第５図はこの発明の装置の実施例を示す
構成系統図、第６図はこの発明の製造方法の実施
例の工程における温度、ガス流量制御曲線図であ
る。 １８…案内管、１９…窒化層、２１…電熱炉、
２２，２３…マニホールド、３２，３３，３９，
４０…切換制御バルブ、２６…アンモニアガス
源、２９…圧力制御バルブ、４３…ガス分析計、
４８…ビユーレツト、５１…圧力制御器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ステンレス鋼からなる径小長尺の原子炉計測
素子用案内管の内面に窒化層を形成する製造方法
において、上記案内管を高温に加熱するとともに
アンモニアガスを案内管の両開口端の一方から他
方に交互に複数回流通方向を変えて導入、排出さ
せ窒化層を形成することを特徴とする原子炉計測
素子用案内管の製造方法。 ２ 案内管を所定の高温度に保持するとともに、
その間のアンモニアガスの解離度を20％乃至45％
の範囲内に制御して処理する特許請求の範囲第１
項記載の製造方法。 ３ 径小長尺の複数本の原子炉計測素子用案内管
を収容する加熱炉と、上記案内管の両端に共通に
接続される一対のマニホールドと、これら各マニ
ホールドに各々接続されたガス導入パイプおよび
ガス排出パイプと、これら各パイプへのガス導
入、排出を切換える如く接続された一対の切換バ
ルブと、ガス導入用切換バルブの上流に圧力制御
バルブを介して接続されたアンモニアガス源と、
上記ガス排出用切換バルブの下流に接続されたア
ンモニアガスの解離度を検出するガス分析計とを
具備してなる原子炉計測素子用案内管の製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58248501A JPS60135563A (ja) | 1983-12-24 | 1983-12-24 | 原子炉計測素子用案内管の製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58248501A JPS60135563A (ja) | 1983-12-24 | 1983-12-24 | 原子炉計測素子用案内管の製造方法および製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60135563A JPS60135563A (ja) | 1985-07-18 |
| JPH0472907B2 true JPH0472907B2 (ja) | 1992-11-19 |
Family
ID=17179107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58248501A Granted JPS60135563A (ja) | 1983-12-24 | 1983-12-24 | 原子炉計測素子用案内管の製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60135563A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03111552A (ja) * | 1989-09-26 | 1991-05-13 | Osaka Oxygen Ind Ltd | 金属管酸化処理装置 |
-
1983
- 1983-12-24 JP JP58248501A patent/JPS60135563A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60135563A (ja) | 1985-07-18 |
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