JPH0474953B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0474953B2 JPH0474953B2 JP58160700A JP16070083A JPH0474953B2 JP H0474953 B2 JPH0474953 B2 JP H0474953B2 JP 58160700 A JP58160700 A JP 58160700A JP 16070083 A JP16070083 A JP 16070083A JP H0474953 B2 JPH0474953 B2 JP H0474953B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating body
- piezoelectric elements
- ultrasonic motor
- rotor
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、片面に圧電素子を固定した振動体
が励振されて表面に振動波を発生し、振動体の他
面に接触する回転子が駆動される、超音波モータ
に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention is characterized in that a vibrating body having a piezoelectric element fixed to one side is excited to generate vibration waves on the surface, and a rotor in contact with the other side of the vibrating body is excited. The invention relates to a driven ultrasonic motor.
この発明は、固定子と回転子を有する超音波モ
ータにおいて、振動体が弾性材料からなり、振動
体が励振されて表面に振動波を発生し、複数の圧
電素子が互いに積層されて振動体の片面に固定さ
れ、他面には回転子が所定の圧力により接触され
て駆動される、構成とした。
This invention provides an ultrasonic motor having a stator and a rotor, in which the vibrating body is made of an elastic material, the vibrating body is excited to generate vibration waves on the surface, and a plurality of piezoelectric elements are stacked on each other to form the vibrating body. It was configured such that it was fixed on one side, and the rotor was brought into contact with the other side and driven by a predetermined pressure.
そして、出力トルクが高く、効率の良い超音波
モータを得ることを目的としている。 The aim is to obtain an ultrasonic motor with high output torque and high efficiency.
〔従来の技術〕
従来、所定の分極をした圧電素子を振動体に接
着固定して、圧電素子に所定の電圧を印加して振
動体に振動波を発生させていた。そして、振動体
に接触するロータを回転させる超音波モータの構
造が知られていた。[Prior Art] Conventionally, a piezoelectric element having a predetermined polarization is adhesively fixed to a vibrating body, and a predetermined voltage is applied to the piezoelectric element to generate vibration waves in the vibrating body. The structure of an ultrasonic motor that rotates a rotor in contact with a vibrating body has been known.
第２図は、従来の超音波モータの動作原理図で
ある。 FIG. 2 is a diagram showing the operating principle of a conventional ultrasonic motor.
振動体１０は、弾性材料により形成する。圧電
素子９ａ，９ｂは、振動体１０に対して、接着に
より固定する。圧電素子９ａ，９ｂは、極の方向
を同一にして、所定の分極処理がされている。 The vibrating body 10 is made of an elastic material. The piezoelectric elements 9a and 9b are fixed to the vibrating body 10 by adhesive. The piezoelectric elements 9a and 9b are polarized in a predetermined manner so that their polar directions are the same.
圧電素子９ａ，９ｂの有効長をraとして、圧電
素子９ａ，９ｂの間隔をrbとする。 Let ra be the effective length of the piezoelectric elements 9a and 9b, and let rb be the interval between the piezoelectric elements 9a and 9b.
raとrbの関係は、
ra＝2rb (1)
ここで、
ra＝λ／２
rb＝λ／４
λ／2π
発振回路８ａから、圧電素子９ａにAsinωtの
信号を印加する。 The relationship between ra and rb is: ra=2rb (1) Here, ra=λ/2 rb=λ/4 λ/2π A signal of Asinωt is applied from the oscillation circuit 8a to the piezoelectric element 9a.
発振回路８ｂから、圧電素子９ｂにAcosωtの
信号を印加する。 A signal Acosωt is applied from the oscillation circuit 8b to the piezoelectric element 9b.
振動の方向は、第２図の右方向を＋ｘ、左方向
を−ｘ、とする。 Regarding the direction of vibration, the right direction in FIG. 2 is +x, and the left direction is -x.
第一に、＋ｘ方向に働く力は、
Ｆ＋ｘ＝Asin（ωt＋α）
＋Acos（ωt＋α＋3λ／４）
＝Asin（ωt＋α）
＋Ａ〔cos（ωt＋α）＊cos（3π／２）
−sin（ωt＋α）＊sin（3π／２）〕
＝Aisn（ωt＋α）
＋Asin（ωt＋α）
よつて、
Ｆ＋ｘ＝2Asin（ωt＋α） (2)
次に、−ｘ方向に働く力は、
Ｆ−ｘ＝Asin（ωt＋α）
Acos（ωt＋α）
＋Acos（ωt＋α−3λ／４）
＝Asin（ωt＋α）
＋Ａ〔cos（ωt＋α）＊cos（3π／２）
＋sin（ωt＋α）＊sin（3π／２）〕
＝Asin（ωt＋α）
−Asin（ωt＋α）
よつて、
Ｆ−ｘ＝０ (3)
つまり、与えられたエネルギは、すべて、＋ｘ
方向のみに働く振動波、即ち進行波となる。 First, the force acting in the +x direction is F+x=Asin(ωt+α) +Acos(ωt+α+3λ/4) =Asin(ωt+α) +A[cos(ωt+α)*cos(3π/2) −sin(ωt+α)*sin(3π /2)] =Aisn(ωt+α) +Asin(ωt+α) Therefore, F+x=2Asin(ωt+α) (2) Next, the force acting in the -x direction is F−x=Asin(ωt+α) Acos(ωt+α) +Acos( ωt+α−3λ/4) = Asin(ωt+α) +A[cos(ωt+α)*cos(3π/2) +sin(ωt+α)*sin(3π/2)] =Asin(ωt+α) −Asin(ωt+α) Therefore, F −x=0 (3) In other words, all given energy is +x
It becomes a vibration wave that acts only in one direction, that is, a traveling wave.
なお、発振回路８ｂに印加する信号をAcosωt
とすれば、与えられたエネルギは、すべて−ｘ方
向のみに働く振動波、即ち進行波となる。 Note that the signal applied to the oscillation circuit 8b is Acosωt
If so, all the given energy becomes a vibration wave that acts only in the -x direction, that is, a traveling wave.
ここで、上記の計算においては、進行波の減衰
は無視してある。 Here, in the above calculation, the attenuation of the traveling wave is ignored.
振動体１０の矢印Ｂ方向の側に回転子８を配置
すると、回転子２は進行波の方向と逆方向へ回転
する。 When the rotor 8 is placed on the side of the vibrating body 10 in the direction of arrow B, the rotor 2 rotates in a direction opposite to the direction of the traveling wave.
例えば特開昭52−29192号公報などに従来のこ
のような開示がされている。 For example, such a conventional technique has been disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 52-29192.
しかし、従来の超音波モータでは、下記の課題
があつた。
However, conventional ultrasonic motors have the following problems.
圧電素子が一層であるので、超音波モータの
出力トルクを高すすることが困難である。 Since the piezoelectric element is one layer, it is difficult to increase the output torque of the ultrasonic motor.
低い電圧で超音波モータを駆動することが困
難である。 It is difficult to drive an ultrasonic motor with low voltage.
そこで、この発明の目的は、従来のこのような
課題を解決するため、小型で高トルクで効率の良
い超音波モータを得ることとしている。 Therefore, an object of the present invention is to obtain a small, high-torque, and efficient ultrasonic motor in order to solve the conventional problems.
この発明は、超音波モータにおいて、出力トル
クを高くして、しかも、低い電圧で駆動できるよ
うにするために、固定子は振動体と複数の圧電素
子を有し、振動体が弾性材料からなり励振されて
表面に振動波を発生する構成とした。
In an ultrasonic motor, the stator has a vibrating body and a plurality of piezoelectric elements, and the vibrating body is made of an elastic material in order to increase the output torque and drive at a low voltage. The structure is such that vibration waves are generated on the surface when excited.
さらに、複数の圧電素子が互いに積層されて振
動体の片面に固定され、他面には回転子が所定の
圧力により接触される。複数の圧電素子に所定の
電圧を印加することにより、回転子は振動体に発
生する振動波により駆動される構成とした。 Further, a plurality of piezoelectric elements are stacked on each other and fixed to one side of the vibrating body, and a rotor is brought into contact with the other side with a predetermined pressure. By applying a predetermined voltage to a plurality of piezoelectric elements, the rotor was configured to be driven by vibration waves generated in the vibrating body.
そして、本発明の超音波モータは、小型で出力
トルクが高く、しかも、モータの動作の効率の良
い。 The ultrasonic motor of the present invention is small in size, has a high output torque, and has high efficiency in motor operation.
本発明の超音波モータは、回転子と固定子を備
えている。
The ultrasonic motor of the present invention includes a rotor and a stator.
固定子は振動体と複数の圧電素子を有する。 The stator has a vibrating body and a plurality of piezoelectric elements.
振動体は、弾性材料からなる。 The vibrating body is made of an elastic material.
複数の圧電素子は、互いに積層されて発動体の
片面に固定されている。 A plurality of piezoelectric elements are stacked on each other and fixed to one side of the moving body.
振動体の他面には、回転子が所定の圧力により
接触され、駆動できるように組み込まれている。 A rotor is mounted on the other surface of the vibrating body so that it can be brought into contact with a predetermined pressure and driven.
複数の圧電素子に発振回路から所定の電圧を印
加すると、振動体が励振されて表面に振動波を発
生する。 When a predetermined voltage is applied from an oscillation circuit to a plurality of piezoelectric elements, the vibrating body is excited and generates vibration waves on its surface.
振動体に発生した振動波により、振動体に接触
している回転子は駆動する。 The vibration waves generated in the vibrating body drive the rotor that is in contact with the vibrating body.
本発明の超音波モータは、出力トルクが高く、
かつ、モータの効率が良い。 The ultrasonic motor of the present invention has high output torque,
Moreover, the motor efficiency is good.
以下に、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。
Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.
第１図は、超音波モータの構造を示す原理図で
ある。 FIG. 1 is a principle diagram showing the structure of an ultrasonic motor.
第１図において、軸受５を、基台６の上に配置
する。振動体受台４を、軸受５の上に配置する。
振動体３は、弾性材料により形成する。圧電素子
７は、振動体３に対して、矢印Ａ方向から接着な
どにより固定する。振動体３、圧電素子７、及
び、振動体受台４により、超音波モータの固定子
２１を構成する。圧電素子７は、所定の電圧を印
加すると、それぞれの部分が伸縮するように分極
処理がされている。 In FIG. 1, a bearing 5 is placed on a base 6. As shown in FIG. A vibrating body pedestal 4 is placed on the bearing 5.
The vibrating body 3 is made of an elastic material. The piezoelectric element 7 is fixed to the vibrating body 3 from the direction of arrow A by adhesive or the like. The vibrating body 3, the piezoelectric element 7, and the vibrating body pedestal 4 constitute a stator 21 of the ultrasonic motor. The piezoelectric element 7 is polarized so that each portion expands and contracts when a predetermined voltage is applied.
回転子軸１は、回転子２に固定する。回転子軸
１の一端は、軸受５に組み込む。回転子２は、所
定の接触圧力で振動体３に接触する。回転子２
は、回転することができるように組み込む。 The rotor shaft 1 is fixed to the rotor 2. One end of the rotor shaft 1 is assembled into a bearing 5. The rotor 2 contacts the vibrating body 3 with a predetermined contact pressure. Rotor 2
is built in so that it can be rotated.
第３図は、本発明に係る超音波モータの圧電素
子の構造原理図である。 FIG. 3 is a diagram showing the structural principle of the piezoelectric element of the ultrasonic motor according to the present invention.
振動体１４の一方の面に２組の圧電素子１２
ａ，１２ｂと１２ｃ，１２ｄをそれぞれ積層して
固定する。振動体１４、圧電素子１２ａ，１２
ｂ，１２ｃ，１２ｄにより、超音波モータの固定
子２１を構成する。本実施例では、１組の圧電素
子は、２枚の圧電素子により構成する。２枚の圧
電素子は、所定の電圧を印加したときに、それぞ
れが同じ方向に伸縮するように分極されている。
圧電素子１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄには、
電極１３ａ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ，１３ｆを
取り付ける。 Two sets of piezoelectric elements 12 are placed on one side of the vibrating body 14.
a, 12b and 12c, 12d are stacked and fixed, respectively. Vibrating body 14, piezoelectric elements 12a, 12
b, 12c, and 12d constitute the stator 21 of the ultrasonic motor. In this embodiment, one set of piezoelectric elements is composed of two piezoelectric elements. The two piezoelectric elements are polarized so that they each expand and contract in the same direction when a predetermined voltage is applied.
The piezoelectric elements 12a, 12b, 12c, 12d include
Attach electrodes 13a, 13c, 13d, 13e, and 13f.
発振回路１１ａ，１１ｂより、圧電素子１２
ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄの電極１３ａ，１３
ｂ，１３ｃ，１３ｅ，１３ｆに所定の信号を印加
する。 From the oscillation circuits 11a and 11b, the piezoelectric element 12
Electrodes 13a, 13 of a, 12b, 12c, 12d
A predetermined signal is applied to pins b, 13c, 13e, and 13f.
圧電素子内の電解強度Ｅは、印加電圧をＶ、圧
電素子の圧さをｄとすると、
Ｅ＝Ｖ／ｄ (4)
ここに、第２図に示す従来の圧電素子９ａ，９
ｂの圧さをｄ、第３図に示す本発明の実施例の圧
電素子１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄの厚さを
ｄ／２とする。 The electrolytic strength E in the piezoelectric element is E=V/d (4) where the applied voltage is V and the pressure of the piezoelectric element is d.
Let the pressure of b be d, and the thickness of the piezoelectric elements 12a, 12b, 12c, and 12d of the embodiment of the present invention shown in FIG. 3 be d/2.
第３図において、電極１３ａ，１３ｂ，１３
ｃ，１３ｄ，１３ｅ，１３ｆの厚さは、圧電素子
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄの厚さに比べて
充分薄い。 In FIG. 3, electrodes 13a, 13b, 13
The thicknesses of piezoelectric elements 12a, 12b, 12c, and 12d are sufficiently thinner than those of piezoelectric elements 12a, 12b, 12c, and 12d.
第３図に示す本発明の実施例の２組の厚電素子
１２ａ，１２ｂの合計の厚さ、１２ｃ，１２ｄの
合計の厚さと、第２図に示す従来の厚電素子９
ａ，９ｂのそれぞれの厚さはすべて同等である。 The total thickness of the two sets of thick electric elements 12a, 12b and the total thickness of 12c, 12d of the embodiment of the present invention shown in FIG. 3, and the conventional thick electric element 9 shown in FIG.
The thicknesses of a and 9b are all the same.
圧電素子１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄの厚
さは、圧電素子９ａ，９ｂの半分であるので、圧
電素子１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄにかかる
電解強度は、圧電素子９ａ，９ｂにかかる電解強
度の２倍となる。 Since the thickness of the piezoelectric elements 12a, 12b, 12c, 12d is half that of the piezoelectric elements 9a, 9b, the electrolytic strength applied to the piezoelectric elements 12a, 12b, 12c, 12d is equal to the electrolytic strength applied to the piezoelectric elements 9a, 9b. It will be doubled.
圧電素子１２ａと１２ｂの合計体積と、圧電素
子１２ｃと１２ｄの合計体積と、圧電素子９ａの
体積と、圧電素子９ｂの体積とはすべて同等であ
る。 The total volume of piezoelectric elements 12a and 12b, the total volume of piezoelectric elements 12c and 12d, the volume of piezoelectric element 9a, and the volume of piezoelectric element 9b are all equivalent.
従つて、第２図に示す従来の構造に比べて第３
図に示す本発明の実施例の構造は２倍の出力トル
クが出る。 Therefore, compared to the conventional structure shown in FIG.
The structure of the embodiment of the present invention shown in the figure produces twice the output torque.
すなわち、同体積、同印加電圧の超音波モータ
であつても、本発明の実施例に示すように、複数
の圧電素子を積層して固定することにより、出力
トルクの向上がはかれる。また、圧電素子の厚さ
を半分にすれば、入力インピーダンスもほぼ半分
となり、印加電圧を低くしても従来と同等の出力
トルクが得られる。 That is, even if the ultrasonic motor has the same volume and the same applied voltage, the output torque can be improved by stacking and fixing a plurality of piezoelectric elements as shown in the embodiments of the present invention. Furthermore, if the thickness of the piezoelectric element is halved, the input impedance is also approximately halved, and the output torque equivalent to that of the conventional piezoelectric element can be obtained even if the applied voltage is lowered.
この発明は、固定子と回転子を有する超音波モ
ータにおいて、固定子は振動体と複数の圧電素子
を有し、振動体が弾性材料からなり、励振されて
表面に振動波を発生し、複数の圧電素子が互いに
積層されて振動体の片面に固定され、他面には回
転子が所定の圧力により接触されて駆動される、
構成としたので、以下に記載する効果を有する。
The present invention provides an ultrasonic motor having a stator and a rotor, in which the stator has a vibrating body and a plurality of piezoelectric elements, the vibrating body is made of an elastic material, and is excited to generate vibration waves on its surface. piezoelectric elements are stacked on top of each other and fixed on one side of the vibrating body, and a rotor is brought into contact with the other side and driven by a predetermined pressure.
This configuration has the following effects.
出力トルクの高い超音波モータが得られる。 An ultrasonic motor with high output torque can be obtained.
低い電圧で駆動する超音波モータが得られ
る。 An ultrasonic motor driven at low voltage can be obtained.
小型の超音波モータが得られる。 A small ultrasonic motor can be obtained.
第１図は、超音波モータの構造を示す原理図、
第２図は、従来の超音波モータの動作原理図、第
３図は、本発明に係る超音波モータの圧電素子の
構造原理図である。
１……回転子軸、２……回転子、３，１０……
振動体、４……振動体受台、５……軸受、６……
基台、７……圧電素子、８ａ，８ｂ，１１ａ，１
１ｂ……発振回路、９ａ，９ｂ，１２ａ，１２
ｂ，１２ｃ，１２ｄ……圧電素子、１３ａ，１３
ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ，１３ｆ……電極、
１４……振動体、２１……固定子。
Figure 1 is a principle diagram showing the structure of an ultrasonic motor.
FIG. 2 is a diagram of the operating principle of a conventional ultrasonic motor, and FIG. 3 is a diagram of the structural principle of a piezoelectric element of the ultrasonic motor according to the present invention. 1...Rotor shaft, 2...Rotor, 3,10...
Vibrating body, 4... Vibrating body pedestal, 5... Bearing, 6...
Base, 7...Piezoelectric element, 8a, 8b, 11a, 1
1b...Oscillation circuit, 9a, 9b, 12a, 12
b, 12c, 12d...piezoelectric element, 13a, 13
b, 13c, 13d, 13e, 13f... electrode,
14... Vibrating body, 21... Stator.
Claims (1)
であつて、 固定子２１は振動体１４と複数の圧電素子１２
ａ，１２ｂを有し、振動体１４が弾性材料からな
り、励振されて表面に振動波を発生し、複数の圧
電素子１２ａ，１２ｂが互いに積層されて振動体
１４の片面に固定され、他面には回転子２が所定
の圧力により接触されて駆動される、 超音波モータ。[Claims] 1. An ultrasonic motor including a rotor 2 and a stator 21, wherein the stator 21 includes a vibrating body 14 and a plurality of piezoelectric elements 12.
a, 12b, the vibrating body 14 is made of an elastic material, is excited and generates vibration waves on the surface, and a plurality of piezoelectric elements 12a, 12b are stacked on each other and fixed to one side of the vibrating body 14, and the other side is In this ultrasonic motor, the rotor 2 is brought into contact with a predetermined pressure and driven.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58160700A JPS6055865A (en) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | Piezoelectric motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58160700A JPS6055865A (en) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | Piezoelectric motor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6055865A JPS6055865A (en) | 1985-04-01 |
| JPH0474953B2 true JPH0474953B2 (en) | 1992-11-27 |
Family
ID=15720576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58160700A Granted JPS6055865A (en) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | Piezoelectric motor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6055865A (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6091878A (en) * | 1983-10-21 | 1985-05-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ultrasonic motor |
| JPS6258885A (en) * | 1985-09-04 | 1987-03-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ultrasonic motor |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5832518B2 (en) * | 1975-09-01 | 1983-07-13 | キエフスキ−．ポリチエフニチエスキ−．Ｉｎｓｔ．イメニ．５０−レチア．ベリコイ．オクチヤブルスコイ．ソシイアリスチチエスコイ．レボリユツイ− | piezoelectric motor |
| JPS5326911A (en) * | 1976-08-25 | 1978-03-13 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Pulse motor |
| CA1208269A (en) * | 1982-02-25 | 1986-07-22 | Toshiiku Sashida | Motor device utilizing ultrasonic oscillation |
-
1983
- 1983-08-31 JP JP58160700A patent/JPS6055865A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6055865A (en) | 1985-04-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4678956A (en) | Vibration wave motor | |
| JPH07163162A (en) | Ultrasonic oscillator | |
| JPH0534909B2 (en) | ||
| JPH06269183A (en) | Ultrasonic motor | |
| JPS61224880A (en) | Vibration wave motor | |
| JPH0474953B2 (en) | ||
| JPS62247770A (en) | Ultrasonic motor | |
| JP2585583B2 (en) | Ultrasonic motor | |
| JPH0332377A (en) | Ultrasonic motor | |
| JPS61277384A (en) | Motor for utilizing ultrasonic wave oscillation | |
| JPH05236767A (en) | Oscillation motor | |
| JPS60207467A (en) | Supersonic motor | |
| JPH056430B2 (en) | ||
| JPH08228491A (en) | Ultrasonic motor | |
| JPS63167686A (en) | Ultrasonic motor | |
| JPH0628951Y2 (en) | Piezoelectric actuator | |
| JP3432056B2 (en) | Laminated piezoelectric element, method of manufacturing laminated piezoelectric element, vibration device using laminated piezoelectric element, and driving device using the same | |
| JPH0681523B2 (en) | Vibration wave motor | |
| JP2506859B2 (en) | Ultrasonic motor | |
| JP2995665B2 (en) | Ultrasonic motor | |
| JP2669013B2 (en) | Electrode structure of ultrasonic motor | |
| JPS63268476A (en) | vibration wave motor | |
| JPH05948B2 (en) | ||
| JPH0993965A (en) | Ultrasonic oscillator and ultrasonic motor using the ultrasonic oscillator | |
| JPH0479238B2 (en) |