JPH0476614B2 - - Google Patents
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- JPH0476614B2 JPH0476614B2 JP62142297A JP14229787A JPH0476614B2 JP H0476614 B2 JPH0476614 B2 JP H0476614B2 JP 62142297 A JP62142297 A JP 62142297A JP 14229787 A JP14229787 A JP 14229787A JP H0476614 B2 JPH0476614 B2 JP H0476614B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
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- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
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- G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、薄膜状発熱抵抗体を用いた熱線式流
量計に係り、特に自動車用内燃機関の吸入空気流
量計に好適なホツトフイルム形空気流量計に関す
る。
量計に係り、特に自動車用内燃機関の吸入空気流
量計に好適なホツトフイルム形空気流量計に関す
る。
近年、自動車用ガソリンエンジン等の制御用に
吸入空気流量計が広く用いられるようになつてい
るが、さらに最近では、この吸入空気流量計とし
て熱線式空気流量計の一種であるホツトフイルム
形空気流量計が使用されるようになつてきてお
り、その例を特開昭60−236029号公報などにみる
ことができる。
吸入空気流量計が広く用いられるようになつてい
るが、さらに最近では、この吸入空気流量計とし
て熱線式空気流量計の一種であるホツトフイルム
形空気流量計が使用されるようになつてきてお
り、その例を特開昭60−236029号公報などにみる
ことができる。
そして、このホツトフイルム形空気流量計によ
れば、空気流量検出用と温度補償用の抵抗素子の
信頼性向上やコストダウンが、さらに可能になる
と考えられており、期待がかけられているもので
ある。
れば、空気流量検出用と温度補償用の抵抗素子の
信頼性向上やコストダウンが、さらに可能になる
と考えられており、期待がかけられているもので
ある。
しかしながら、上記従来技術では、ホツトフイ
ルム形抵抗素子部での耐電波障害性の点について
配慮されておらず、自動車などで電装品として無
線機や各種の発振部を備えた場合などに、電波誘
導による誤動作の問題があつた。
ルム形抵抗素子部での耐電波障害性の点について
配慮されておらず、自動車などで電装品として無
線機や各種の発振部を備えた場合などに、電波誘
導による誤動作の問題があつた。
特に、近年、自動車用エンジンなどでは、その
空気流量計のボデイのプラスチツク化が行なわれ
ており、このときに、上記した従来技術では、耐
電波障害性が大きな問題となつてしまうのであ
る。
空気流量計のボデイのプラスチツク化が行なわれ
ており、このときに、上記した従来技術では、耐
電波障害性が大きな問題となつてしまうのであ
る。
本発明の目的は、充分な耐電波障害性を備え、
本体のプラスチツク化などに容易に対応可能なホ
ツトフイルム形空気流量計の提供にある。
本体のプラスチツク化などに容易に対応可能なホ
ツトフイルム形空気流量計の提供にある。
上記目的は、誘電体基材の表面に膜状導電体を
形成して抵抗素子としたホツトフイルム形空気流
量計において、上記膜状導電体の近傍に電極用膜
状導電体を設け、この電極用膜状導電体を共通電
位に保つことにより達成される。
形成して抵抗素子としたホツトフイルム形空気流
量計において、上記膜状導電体の近傍に電極用膜
状導電体を設け、この電極用膜状導電体を共通電
位に保つことにより達成される。
膜状導電体からなる抵抗素子に電極用導電体が
近接して設けられていることにより、これらの間
に静電容量が形成され、かつ、この電極用導電体
が共通電位に保たれていることにより、上記静電
容量はバイパスコンデンサとして機能し、高周波
電波の侵入による抵抗素子への誘導は効果的に抑
えられ、耐電波障害性が向上される。
近接して設けられていることにより、これらの間
に静電容量が形成され、かつ、この電極用導電体
が共通電位に保たれていることにより、上記静電
容量はバイパスコンデンサとして機能し、高周波
電波の侵入による抵抗素子への誘導は効果的に抑
えられ、耐電波障害性が向上される。
以下、本発明によるホツトフイルム形空気流量
計について、図示の実施例により詳細に説明す
る。
計について、図示の実施例により詳細に説明す
る。
第２図は本発明の自動車用エンジンの吸入空気
流量計に適用したもので、この第２図において、
１は空気流量を検出するためのフイルム形発熱抵
抗素子、２は空気流の温度を検出するためのフイ
ルム形感温抵抗素子、３は空気流量検出回路を搭
載した制御モジユール、４はエンジンの吸入空気
通路の一部を構成する流量計ボデイである。
流量計に適用したもので、この第２図において、
１は空気流量を検出するためのフイルム形発熱抵
抗素子、２は空気流の温度を検出するためのフイ
ルム形感温抵抗素子、３は空気流量検出回路を搭
載した制御モジユール、４はエンジンの吸入空気
通路の一部を構成する流量計ボデイである。
フイルム計発熱抵抗素子（以下、発熱素子と略
記する）１とフイルム形感温抵抗素子（同じく、
感温素子）２とは同じ構成で、その一実施例は第
１図ａ，ｂに示すようになつており、例えば、厚
さが0.2〜0.5mmで、10.0mm×5.0mm位の方形のアル
ミナ板からなる誘電体基材５の一面に、２〜20Ω
の抵抗値を示すようにしてPt（白金）の蒸着によ
る膜状導電体６を形成し、これを抵抗素子とする
と共に、この膜状導電体６と同一面で、その周辺
部に、さらに別のPt蒸着による膜状導電体７を
形成し、これを電極素子とする。そして、これら
の膜状導電体６，７には端子８を設け、外部に接
続できるようにしてある。
記する）１とフイルム形感温抵抗素子（同じく、
感温素子）２とは同じ構成で、その一実施例は第
１図ａ，ｂに示すようになつており、例えば、厚
さが0.2〜0.5mmで、10.0mm×5.0mm位の方形のアル
ミナ板からなる誘電体基材５の一面に、２〜20Ω
の抵抗値を示すようにしてPt（白金）の蒸着によ
る膜状導電体６を形成し、これを抵抗素子とする
と共に、この膜状導電体６と同一面で、その周辺
部に、さらに別のPt蒸着による膜状導電体７を
形成し、これを電極素子とする。そして、これら
の膜状導電体６，７には端子８を設け、外部に接
続できるようにしてある。
第３図は制御モジユール３に搭載してある検出
回路と、第２図のようにして構成された発熱素子
１及び感温素子２との接続状態を示したもので、
各素子１，２の膜状導電体６はそれぞれ端子８を
介して回路内の所定の部分に接続されるが、この
とき、電極素子となる膜状導電体７をアース（エ
ンジンブロツクが自動車の車体）Ｅに接続し、共
通電位に保つようになつている。
回路と、第２図のようにして構成された発熱素子
１及び感温素子２との接続状態を示したもので、
各素子１，２の膜状導電体６はそれぞれ端子８を
介して回路内の所定の部分に接続されるが、この
とき、電極素子となる膜状導電体７をアース（エ
ンジンブロツクが自動車の車体）Ｅに接続し、共
通電位に保つようになつている。
また、このとき、これらの発熱素子１及び感温
素子２は制御モジユール３と一体的に組立られ、
制御モジユール３をPBT樹脂又はPPS樹脂の一
体成形品からなる流量計ボデイ４に取付けること
により、発熱素子１及び感温素子２が吸入空気通
路中の所定の位置に保持されるようになつてい
る。
素子２は制御モジユール３と一体的に組立られ、
制御モジユール３をPBT樹脂又はPPS樹脂の一
体成形品からなる流量計ボデイ４に取付けること
により、発熱素子１及び感温素子２が吸入空気通
路中の所定の位置に保持されるようになつてい
る。
次に、この実施例の動作について説明する。
周知のとおり、ホツトフイルム形流量計では、
発熱素子１の膜状導電体６に電流が供給され、例
えば200℃程度の一定温度に保たれるように制御
され、これにより、この発熱素子１に供給される
電流の関数として空気流量Qaの検出が得られる
ものであるが、このため、発熱素子１と感温素子
２とは流量を検出すべき空気流中に充分にさらさ
れる必要があり、第２図のように、制御モジユー
ル３から大きく突出して保持される。
発熱素子１の膜状導電体６に電流が供給され、例
えば200℃程度の一定温度に保たれるように制御
され、これにより、この発熱素子１に供給される
電流の関数として空気流量Qaの検出が得られる
ものであるが、このため、発熱素子１と感温素子
２とは流量を検出すべき空気流中に充分にさらさ
れる必要があり、第２図のように、制御モジユー
ル３から大きく突出して保持される。
また、これと共に、コストダウンを目的とし、
流量計ボデイ４としても、プラスチツク成形品が
用いられるようになつており、このため、例えば
電装品として無線機などが装備されたときには、
発熱素子１や感温素子２がかなりの高周波電界中
にさらされることになる。
流量計ボデイ４としても、プラスチツク成形品が
用いられるようになつており、このため、例えば
電装品として無線機などが装備されたときには、
発熱素子１や感温素子２がかなりの高周波電界中
にさらされることになる。
この結果、これらの発熱素子１や感温素子２が
アンテナの役目をはたすことになつてしまい、か
なりの高周波雑音電圧を制御モジユール３の中に
導くようになり、耐電波障害性を低下させること
になる。
アンテナの役目をはたすことになつてしまい、か
なりの高周波雑音電圧を制御モジユール３の中に
導くようになり、耐電波障害性を低下させること
になる。
具体例について第４図で説明すると、従来例で
は第４図の特性ａのようになり、特に470MHz付
近で大きく悪化しており、このままではほとんど
実用に耐えない状態となつていた。
は第４図の特性ａのようになり、特に470MHz付
近で大きく悪化しており、このままではほとんど
実用に耐えない状態となつていた。
一方、従来から制御モジユール３のシールド構
造によつて対処する提案もなされており、具体的
にはモジユール内でのアースへの接続点を現行の
１点から２〜３点に増すのであるが、このときの
特性は第４図のｂであり、僅かな改善がもたらさ
れるにすぎず、このような対策では対応が困難で
あることが判る。
造によつて対処する提案もなされており、具体的
にはモジユール内でのアースへの接続点を現行の
１点から２〜３点に増すのであるが、このときの
特性は第４図のｂであり、僅かな改善がもたらさ
れるにすぎず、このような対策では対応が困難で
あることが判る。
しかして、第１図の実施例によれば、電極用膜
状導電体７が設けられ、これがアースＥに接続さ
れて共通電位に保たれるように構成されているこ
とにより、抵抗素子となる膜状導電体６は、問題
としている周波数範囲では充分に低いインピーダ
ンスで共通電位に保たれることになり、第６図ｃ
の特性で示すように、100V／ｍ以上の耐電波障
害性を得ることができ、流量計ボデイのプラスチ
ツク化などにもかかわらず充分な実用性を得るこ
とができる。
状導電体７が設けられ、これがアースＥに接続さ
れて共通電位に保たれるように構成されているこ
とにより、抵抗素子となる膜状導電体６は、問題
としている周波数範囲では充分に低いインピーダ
ンスで共通電位に保たれることになり、第６図ｃ
の特性で示すように、100V／ｍ以上の耐電波障
害性を得ることができ、流量計ボデイのプラスチ
ツク化などにもかかわらず充分な実用性を得るこ
とができる。
次に、第５図は本発明における発熱抵抗素子１
及び感温抵抗素子２の他の一実施例で、電極用膜
状導電体７を、アルミナ製の誘電体基材５の、抵
抗素子となる膜状導電体６が形成されている面の
裏側の面に、ほぼ全面にわたつて形成したもので
ある。
及び感温抵抗素子２の他の一実施例で、電極用膜
状導電体７を、アルミナ製の誘電体基材５の、抵
抗素子となる膜状導電体６が形成されている面の
裏側の面に、ほぼ全面にわたつて形成したもので
ある。
従つて、この実施例によれば、バイパスコンデ
ンサとしての静電容量をかなり大きく得ることが
でき、バイパス効果を高め、さらに良好な耐電波
障害性を与えることができる。
ンサとしての静電容量をかなり大きく得ることが
でき、バイパス効果を高め、さらに良好な耐電波
障害性を与えることができる。
第６図及び第７図は本発明のさらに別の一実施
例で、まず、第６図の実施例では、直径が約0.5
mm、長さが約2.0mmのアルミナ管５ａを誘電体基
材とし、その両端にPt−Ir製のワイヤ９を挿入し
てガラス接着剤１０で固着したものを用い、その
外周面に順次、膜状導電体６，７を、ガラスの誘
電体膜１１を介在させて形成したものであり、電
極用の膜状導電体７に対してはリード線１２を接
続し、アースＥに接続できるようにしたものであ
る。
例で、まず、第６図の実施例では、直径が約0.5
mm、長さが約2.0mmのアルミナ管５ａを誘電体基
材とし、その両端にPt−Ir製のワイヤ９を挿入し
てガラス接着剤１０で固着したものを用い、その
外周面に順次、膜状導電体６，７を、ガラスの誘
電体膜１１を介在させて形成したものであり、電
極用の膜状導電体７に対してはリード線１２を接
続し、アースＥに接続できるようにしたものであ
る。
また、第７図は袋管タイプの実施例で、アルミ
ナ製の袋管又は棒状の誘電体基材５ｂを用い、こ
れに膜状導電体６，７を、ガラス誘電体膜１１を
介して積層したものである。
ナ製の袋管又は棒状の誘電体基材５ｂを用い、こ
れに膜状導電体６，７を、ガラス誘電体膜１１を
介して積層したものである。
従つて、これら第６図及び第７図の実施例にお
いても、それらの内側と外側の膜状導電体６，７
間に静電容量が形成されることになり、外側の膜
状導電体７をアースに接続することにより充分な
耐電波障害性を与えることができる。
いても、それらの内側と外側の膜状導電体６，７
間に静電容量が形成されることになり、外側の膜
状導電体７をアースに接続することにより充分な
耐電波障害性を与えることができる。
本発明によれば、静電容量形成用の膜状導電体
を設けるという簡単な構成で、第４図で説明した
ように優れた耐電波障害性を与えることができる
から、流量計ボデイの樹脂化などを充分に行なう
ことができ、大きなローコスト化が容易に得られ
るという効果がある。
を設けるという簡単な構成で、第４図で説明した
ように優れた耐電波障害性を与えることができる
から、流量計ボデイの樹脂化などを充分に行なう
ことができ、大きなローコスト化が容易に得られ
るという効果がある。
第１図ａ，ｂは本発明によるホツトフイルム形
空気流量計におけるフイルム形抵抗素子の一実施
例を示す正面図と側面図、第２図は本発明の一実
施例が適用された空気流量計の一例を示す断面
図、第３図は制御モジユールの回路図、第４図は
耐電波障害性の特性図、第５図ａ〜ｃは本発明の
他の一実施例を示す正面図と側面図とそれに後面
図、第６図及び第７図はそれぞれ本発明のさらに
別の一実施例を示す断面図である。 １……発熱素子、２……感熱素子、３……制御
モジユール、４……流量計ボデイ、５……誘電体
基材、６，７……膜状導電体、８……端子。
空気流量計におけるフイルム形抵抗素子の一実施
例を示す正面図と側面図、第２図は本発明の一実
施例が適用された空気流量計の一例を示す断面
図、第３図は制御モジユールの回路図、第４図は
耐電波障害性の特性図、第５図ａ〜ｃは本発明の
他の一実施例を示す正面図と側面図とそれに後面
図、第６図及び第７図はそれぞれ本発明のさらに
別の一実施例を示す断面図である。 １……発熱素子、２……感熱素子、３……制御
モジユール、４……流量計ボデイ、５……誘電体
基材、６，７……膜状導電体、８……端子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 誘電体基材面に形成した膜状導電体を空気流
量検出用抵抗素子として用いたホツトフイルム形
空気流量計において、上記膜状導電体の近傍に電
極用膜状導電体を設け、該電極用膜状導電体を共
通電位点に接続したことを特徴とするホツトフイ
ルム形空気流量計。 ２ 特許請求の範囲第１項において、上記誘電体
基材が平板状部材であり、該平板状部材の一方の
面に上記空気流量検出用の膜状導電体を形成する
と共に、この一方の面の膜状導電体の周辺に上記
電極用膜状導電体が形成されていることを特徴と
するホツトフイルム形空気流量計。 ３ 特許請求の範囲第１項において、上記誘電体
基材が平板状部材であり、該平板状部材の一方の
面に上記空気流量検出用の膜状導電体が形成さ
れ、上記平板状部材の他方の面に上記電極用膜状
導電体が形成されていることを特徴とするホツト
フイルム形空気流量計。 ４ 特許請求の範囲第１項において、上記誘電体
基材が円柱形外周面を有する部材で形成され、こ
の円柱形外周面に上記空気流量検出用の膜状導電
体と電極用膜状導電体が形成されていることを特
徴とするホツトフイルム形空気流量計。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62142297A JPS63307315A (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | ホツトフイルム形空気流量計 |
| EP88108679A EP0294689B1 (en) | 1987-06-09 | 1988-05-31 | Hot film type air flow meter |
| DE8888108679T DE3869664D1 (de) | 1987-06-09 | 1988-05-31 | Luftstroemungsmessgeraet des heissfilmtyps. |
| US07/203,447 US4829814A (en) | 1987-06-09 | 1988-06-07 | Hot film type air flow meter |
| KR1019880006875A KR920006963B1 (ko) | 1987-06-09 | 1988-06-09 | 호트필름형 공기유량계 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62142297A JPS63307315A (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | ホツトフイルム形空気流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63307315A JPS63307315A (ja) | 1988-12-15 |
| JPH0476614B2 true JPH0476614B2 (ja) | 1992-12-04 |
Family
ID=15312101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62142297A Granted JPS63307315A (ja) | 1987-06-09 | 1987-06-09 | ホツトフイルム形空気流量計 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4829814A (ja) |
| EP (1) | EP0294689B1 (ja) |
| JP (1) | JPS63307315A (ja) |
| KR (1) | KR920006963B1 (ja) |
| DE (1) | DE3869664D1 (ja) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0820292B2 (ja) * | 1989-04-14 | 1996-03-04 | 株式会社日立製作所 | 内燃機関用吸入空気流量計測装置 |
| JPH06105177B2 (ja) * | 1989-08-29 | 1994-12-21 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量センサ |
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