JPH048833B2 - - Google Patents
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
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Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、被検査物体の表面の色欠陥および表
面に発生する凹凸、異物混入、傷またはひび割れ
などの形状欠陥を検査する画像処理方法に関す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION TECHNICAL FIELD The present invention relates to an image processing method for inspecting color defects on the surface of an object to be inspected and shape defects such as irregularities, foreign matter contamination, scratches, or cracks occurring on the surface.
背景技術
従来からの画像処理装置では、被検査物体をテ
レビカメラで撮像し、テレビカメラからの画像信
号を2値化処理する。そして2値化された画像デ
ータを画像メモリにストアし、その画像データを
演算処理して被検査物体の色欠陥や形状欠陥を検
出している。BACKGROUND ART In conventional image processing apparatuses, an object to be inspected is imaged by a television camera, and the image signal from the television camera is binarized. Then, the binarized image data is stored in an image memory, and the image data is subjected to arithmetic processing to detect color defects and shape defects of the object to be inspected.
前述のような2値化処理では、画像データの情
報量が少ないため、処理過程において混入した電
気的ノイズの影響を受けたり、テレビカメラが受
光する光量の変動によつて、正確なデータを得る
ことができない問題があつた。 In the binarization process mentioned above, since the amount of information in the image data is small, it is difficult to obtain accurate data due to the influence of electrical noise mixed in during the processing process or fluctuations in the amount of light received by the TV camera. There was a problem that I couldn't do.
目 的
本発明の目的は、ノイズに強く高精度で被検査
物体の表面の欠陥を検出することができる画像処
理方法を提供することである。Purpose An object of the present invention is to provide an image processing method that is resistant to noise and can detect defects on the surface of an object to be inspected with high accuracy.
実施例
第1図は、本発明の一実施例の画像処理装置1
のブロツク図であり、第2図は画像処理装置1の
動作を説明するための図である。画像処理装置1
は、被検査物体2の表面の色むらなどによる色欠
陥やその表面に発生する凹凸、異物混入、傷また
はひび割れなどの形状欠陥を検査する装置であ
る。光源3は、被検査物体2の表面が正反射しな
い角度で配置され、ななめ方向から被検査物体2
を照明する。工業用テレビカメラ4は、被検査物
体2からの光を撮像する。工業用テレビカメラ4
からのアナログの画像データは、映像処理回路5
内のアナログ/デジタル変換器6に与えられてデ
ジタルの画像データに変換され、フレームメモリ
F2にストアされる。フレームメモリF2は、1
画素につき8ビツトの容量を有しているため第2
図1で示す被検査物体2の画像が、たとえば256
段階の濃淡画像としてストアされる。Embodiment FIG. 1 shows an image processing device 1 according to an embodiment of the present invention.
2 is a block diagram of the image processing apparatus 1, and FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of the image processing apparatus 1. Image processing device 1
This is an apparatus for inspecting color defects such as color unevenness on the surface of the object to be inspected 2, and shape defects such as irregularities, foreign matter contamination, scratches, or cracks occurring on the surface. The light source 3 is arranged at an angle that does not cause specular reflection on the surface of the object to be inspected 2, and is arranged at an angle that prevents specular reflection from the surface of the object to be inspected.
to illuminate. The industrial television camera 4 images the light from the object 2 to be inspected. Industrial TV camera 4
The analog image data from the video processing circuit 5
The image data is supplied to an analog/digital converter 6 in the frame memory F2, where it is converted into digital image data and stored in the frame memory F2. Frame memory F2 is 1
Since each pixel has a capacity of 8 bits, the second
For example, if the image of the object 2 to be inspected shown in FIG.
Stored as a step-by-step grayscale image.
アナログ/デジタル変換器6から出力されたデ
ジタルの画像データは、また微分回路7に与えら
れる。微分回路7では入力された被検査物体2の
濃淡画像の方向微分により画像中のエツジを抽出
する。濃淡画像からエツジを抽出するには画像中
の濃度の変化を取り出せばよいので一般に微分法
が用いられ、この微分回路7によつて画像のエツ
ジの濃淡差に対応したエツジ値とそのエツジの延
びる方向が求められる。微分回路7から出力され
るエツジ方向を示すデータはコード化され、方向
コードメモリ8にストアされる。微分回路7から
出力されるエツジが連続したエツジ線は、第2図
2のように幅広いため細線化処理回路9で第2図
3のように幅1画素の線に細められる。さらに細
線化されたエツジ線は、しきい値処理回路10で
そのエツジ値と予め定められたしきい値と比較し
て、しきい値以下のエツジ値を有する画素の消去
が行なわれる。この処理によつて、画素処理過程
で混入する電気的ノイズによる画像データの除去
が行なわれる。 The digital image data output from the analog/digital converter 6 is also provided to a differentiating circuit 7. The differentiation circuit 7 extracts edges in the image by directional differentiation of the grayscale image of the input object 2 to be inspected. To extract edges from a grayscale image, a differential method is generally used because it is sufficient to extract changes in density in the image, and this differential circuit 7 extracts the edge value corresponding to the grayscale difference between the edges of the image and the length of the edge. Direction is required. Data indicating the edge direction output from the differentiating circuit 7 is encoded and stored in the direction code memory 8. Since the edge line with continuous edges outputted from the differentiating circuit 7 is wide as shown in FIG. 2, it is thinned by the thinning processing circuit 9 to a line with a width of one pixel as shown in FIG. 2. Furthermore, the edge value of the thinned edge line is compared with a predetermined threshold value in a threshold processing circuit 10, and pixels having edge values below the threshold value are erased. Through this processing, image data due to electrical noise mixed in during the pixel processing process is removed.
しきい値処理回路10のしきい値が高かつた
り、原画像のコントラストが不十分であつたり、
あるいは電気的ノイズが多いときには、しきい値
処理されたエツジ線は、第2図4のように不連続
となる。これを完全な線画にするために細線延長
化処理回路11では、不連続となるエツジ線の端
点より始めて、着目する画素とその周囲点との間
で評価関数を計算し、その値の最も大きい周囲点
へとエツジ線を延長して行く。この評価関数は例
えば第1式のように表わせる。 The threshold value of the threshold processing circuit 10 is high, the contrast of the original image is insufficient,
Alternatively, when there is a lot of electrical noise, the threshold-processed edge line becomes discontinuous as shown in FIG. 24. In order to make this a complete line drawing, the thin line extension processing circuit 11 calculates an evaluation function between the pixel of interest and its surrounding points, starting from the end point of the discontinuous edge line, and calculates an evaluation function between the pixel of interest and its surrounding points, and Extend edge lines to surrounding points. This evaluation function can be expressed, for example, as in the first equation.
Hi=|ei|2×cos(∠e0−∠ei) …(1)
但しi=1,2,…,8
ここで|ei|は着目する画素の任意の周囲点の
微分値の大きさであり、∠eiはその画素の微分方
向値であり、∠e0は着目する画素の微分方向値で
ある。このように他のエツジ線に交れるまで延長
化処理を行なつたエツジ線は第2図5のように連
続となり、完全な線画としてフレームメモリF1
にストアされる。 H i = |e i | 2 × cos (∠e 0 −∠e i ) …(1) where i = 1, 2, …, 8 Here, |e i | is the differential of any surrounding point of the pixel of interest It is the magnitude of the value, ∠e i is the differential direction value of the pixel, and ∠e 0 is the differential direction value of the pixel of interest. The edge lines that have been extended until they intersect with other edge lines become continuous as shown in FIG. 2, and are stored in the frame memory F1 as a complete line drawing.
Stored in
フレームメモリF1,F2および方向コードメ
モリ8はデータバス12に接続されている。処理
回路13は、データバス12を介して被検査物体
2の色欠陥および形状欠陥を検出するための処理
を行なう。 Frame memories F1, F2 and direction code memory 8 are connected to data bus 12. The processing circuit 13 performs processing for detecting color defects and shape defects in the object to be inspected 2 via the data bus 12 .
第3図は前述の方向微分および細線化処理を説
明するための図である。第3図1で示される参照
符A〜Iは、任意に抽出された9個の画素の濃度
にそれぞれ対応している。参照符Eの水平方向お
よび垂直方向の差分値は、第2式および第3式に
よつて表される。 FIG. 3 is a diagram for explaining the above-mentioned directional differentiation and thinning processing. Reference symbols A to I shown in FIG. 31 correspond to the densities of nine arbitrarily extracted pixels, respectively. The horizontal and vertical difference values of reference mark E are expressed by the second and third equations.
△V=(G+H+I)−(A+B+C) …(2) △V=(A+D+C)−(C+F+I) …(3) 画素Eでの微分値|e|Eは第4式で表される。 ΔV=(G+H+I)−(A+B+C)…(2) ΔV=(A+D+C)−(C+F+I)…(3) Differential value |e| E at pixel E is expressed by the fourth equation.
|e|E=√(△)2+(△)2 …(4)
また画素Eでの方向値∠eEは第5式で表され
る。 |e| E =√(△) 2 +(△) 2 (4) Further, the direction value ∠e E at the pixel E is expressed by the fifth equation.
∠eE=tan-1(△V/△H)+π/2 …(5)
このようにして各画素について方向微分を行な
い、微分値によつて示されるエツジが連続したエ
ツジ線は、幅広いため細線化処理を行ない幅1画
素の線に細められる。 ∠e E = tan -1 (△V/△H) + π/2 ...(5) In this way, directional differentiation is performed for each pixel, and since the edge line with continuous edges indicated by the differential value is wide, Line thinning processing is performed to narrow the line to a line with a width of 1 pixel.
第3図2は、画素A〜Iに対応する分値|e|
A〜|e|Iを示す図である。|e|A〜|e|Iは、
各画素の微分値の画素Eに着目し、∠eEの方向と
直角方向にある2つの画素の微分値と画素Eの微
分値|e|Eとを比較し、|e|Eがこの両隣の2
つの微分値よりも大きいとき、たとえばπ/4≦
∠eE≦3π/4のとき、|e|E>|e|Dかつ|e
|E≧|e|Fであれば、細線化画像上に対応する
アドレスにフラグを立てる。このようにアナロ
グ/デジタル変換器5からの画像データを逐次的
に走査し、フラグを立ててゆく。これをすべての
画素について行なうことによつて第2図3に示す
細線化画像を得ることができる。 FIG. 3 2 shows the minute values |e| corresponding to pixels A to I.
It is a figure showing A ~|e| I . |e| A ~ |e| I is
Focusing on the pixel E of the differential value of each pixel, compare the differential values of the two pixels in the direction perpendicular to the direction of ∠e E with the differential value |e| E of the pixel E, and | e | 2
For example, π/4≦
When ∠e E ≦3π/4, |e| E > |e| D and |e
If | E ≧|e| F , a flag is set at the corresponding address on the thinned image. In this way, the image data from the analog/digital converter 5 is sequentially scanned and flags are set. By performing this for all pixels, the thinned image shown in FIG. 2 can be obtained.
第4図および第5図は、エツジフラグのある画
素Eのエツジ方向に交差するマスク領域M,Nを
説明するための図である。処理回路13は、フレ
ームメモリF1をラスタスキヤンしてエツジフラ
グの有無を検出し、エツジフラグが検出されると
その画素Eのエツジ方向が方向コードメモリ9か
ら読み出され、その方向に対して交差する方向に
左右対称なマスク領域M,Nが設定される。マス
ク領域Mは、複数(本実施例では3個)の領域部
分m1〜m3を有し、マスク領域Nは領域部分m1〜
m3と同じ数の領域部分n1〜n3を有する。これら
領域部分m1〜m3,n1〜n3は、たとえば3画素×
3画素の大きさであり、画素Eを中心として前記
交差する方向にそれぞれ一列に配置される。この
マスク領域M,N内のアドレスに対応する各画素
の濃度をフレームメモリF2より読み出し、マス
ク領域M,N内のそれぞれの平均濃度を算出す
る。ここで平均濃度を用いるのは、平滑化により
画像ノイズを除去するためである。 FIGS. 4 and 5 are diagrams for explaining mask regions M and N that intersect in the edge direction of a pixel E having an edge flag. The processing circuit 13 raster-scans the frame memory F1 to detect the presence or absence of an edge flag. When an edge flag is detected, the edge direction of the pixel E is read out from the direction code memory 9, and a direction intersecting with the direction is read out from the direction code memory 9. Laterally symmetrical mask areas M and N are set. The mask region M has a plurality of (three in this embodiment) region portions m 1 to m 3 , and the mask region N has region portions m 1 to m 3 .
It has the same number of area portions n 1 to n 3 as m 3 . These area portions m 1 to m 3 and n 1 to n 3 are, for example, 3 pixels×
It has a size of three pixels, and is arranged in a row in the intersecting directions with the pixel E as the center. The density of each pixel corresponding to the address in the mask areas M, N is read out from the frame memory F2, and the average density in each of the mask areas M, N is calculated. The reason why the average density is used here is to remove image noise by smoothing.
次に領域部分m1,n1と領域部分m2,n2と、領
域部分m3,n3の各平均濃度の差または比(≧1)
をそれぞれ算出し、この3組の中の最大値を求め
て予め定められた弁別レベルと比較演算する。た
とえば着目する画素Eの平均濃度の差I1および比
I2は、第6式、第7式で示される。 Next, the difference or ratio (≧1) of each average concentration of area portions m 1 , n 1 , area portions m 2 , n 2 , and area portions m 3 , n 3
are calculated respectively, and the maximum value among these three sets is calculated and compared with a predetermined discrimination level. For example, the difference I 1 and the ratio of the average density of the pixel E of interest
I 2 is shown by the sixth and seventh equations.
I1=MAX(|1−1|,
|2−2|,
3−3|) …(6)
I2=MAX(1/1,
2/2,3/3) …(7)
ここで1,2,3,1,2,3はマスク
領域部分m1〜m3,n1〜n3のそれぞれの平均濃度
であり、1≧1,2≧2,3≧3の関係に
ある。いま予め定められた弁別レベルの値をS1、
比をS2とすると、I1≦S1またはI2≦S2のときフレ
ームメモリF1上でそのフラグを消去し、I1>S1ま
たはI2>S2のときフレームメモリF1上でそのフラ
グを残す。以下同様の方法でフレームメモリF1
のすべての画素についてフラグ処理を行なうと、
欠陥部の強いエツジのみが最終的に残り、ノイズ
および欠陥部の弱いエツジは消去することができ
る。 I 1 = MAX (| 1 − 1 |, | 2 − 2 |, 3 − 3 |) …(6) I 2 = MAX ( 1 / 1 , 2 / 2 , 3 / 3 ) … (7) Here 1 , 2 , 3 , 1 , 2 , and 3 are the respective average densities of the mask area portions m1 to m3 and n1 to n3 , and have the relationships of 1 ≧ 1 , 2 ≧ 2 , and 3 ≧ 3 . Now let S 1 be the value of the predetermined discrimination level,
If the ratio is S 2 , when I 1 ≦S 1 or I 2 ≦S 2 , the flag is erased in frame memory F1, and when I 1 > S 1 or I 2 > S 2 , it is erased in frame memory F1. Leave a flag. Below, use the same method to save frame memory F1.
When flag processing is performed on all pixels of
Only the strong edges of the defect will ultimately remain, while the noise and weak edges of the defect can be erased.
このようにマスク領域M,Nを前記のように各
3組設定することにより、微分方式では第5図に
示すように従来困難であつた比較的なめらかな濃
度差のある欠陥も抽出することが可能である。マ
スク領域M,Nの組数および各マスク領域部分
m1〜m3,n1〜n3間の距離は、対象となる欠陥に
より適切な値を選ぶと良い。またフレームメモリ
F1上で弱いフラグを消去していくかわりに、別
の1ビツトデータがストア可能なフレームメモリ
に残すフラグのみをストアしていくような構成で
あつてもよい。 By setting three sets of each of the mask regions M and N as described above, it is possible to extract defects with relatively smooth density differences, which was previously difficult with the differential method, as shown in Figure 5. It is possible. Number of pairs of mask areas M and N and each mask area part
The distances between m 1 to m 3 and n 1 to n 3 are preferably selected to be appropriate values depending on the target defect. Furthermore, instead of erasing weak flags on the frame memory F1, only the flags remaining in the frame memory where another 1-bit data can be stored may be stored.
効 果
以上のように本発明によれば、被検査物体の欠
陥部を輪郭線として抽出でき、高精度で欠陥を検
出することができる。また、微分方式では従来困
難であつた比較的なめらかな濃度差のある欠陥も
検出することができる。Effects As described above, according to the present invention, a defective part of an object to be inspected can be extracted as a contour line, and a defect can be detected with high accuracy. Furthermore, it is also possible to detect defects with relatively smooth density differences, which has been difficult with the differential method.
第1図は本発明の一実施例の画像処理装置1の
ブロツク図、第2図は画像処理装置1の動作を説
明するための図、第3図は方向微分および細線化
処理を示す図、第4図および第5図はエツジフラ
グのある画素のエツジ方向に交差する領域を説明
するための図である。
1……画像処理装置、2……被検査物体、6…
…アナログ/デジタル変換器、7……微分回路、
8……方向コードメモリ、9……細線化処理回
路、10……しきい値処理回路、11……細線延
長処理回路、F1,F2……フレームメモリ。
FIG. 1 is a block diagram of an image processing device 1 according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of the image processing device 1, and FIG. 3 is a diagram showing directional differentiation and thinning processing. FIG. 4 and FIG. 5 are diagrams for explaining a region intersecting the edge direction of a pixel with an edge flag. 1...Image processing device, 2...Object to be inspected, 6...
...analog/digital converter, 7...differentiation circuit,
8... Direction code memory, 9... Thinning processing circuit, 10... Threshold processing circuit, 11... Thin line extension processing circuit, F1, F2... Frame memory.
Claims (1)
手段からのアナログ信号出力をデジタル信号に変
換するアナログ/デジタル変換器と、 アナログ/デジタル変換器からの画像データを
2値化処理によつて撮像画面内の被検査物体の画
像のみを取り出す2値化処理ゲート回路と、 被検査物体の濃淡画像をストアする第1のフレ
ームメモリと、 被検査物体の画像を方向微分し、画像エツジの
濃淡差に対応したエツジ値とそのエツジの延びる
方向を示す値を求める微分回路と、 微分回路によつて求められた前記方向値をコー
ドデータとしてストアする方向コードメモリと、 微分された画像のエツジを細くする細線化処理
回路と、 細線化された画像のエツジ値を予め定められた
しきい値とレベル弁別し、 しきい値以下のエツジ値を有する画素を消去す
るしきい値処理回路と、 しきい値処理されたエツジを延長して連続した
細線にする細線延長化処理回路と、 細線延長化処理された画像をストアする第2の
フレームメモリと、 各メモリにストアされたデータを処理する処理
回路とを含み、 細線延長処理画像のエツジを検出し、エツジが
検出された複数の画素のエツジ方向を前記方向コ
ードメモリから読み出し、前記複数の画素のエツ
ジ方向と交差する方向に延びる左右両側の対称な
予め定めたビツト数を有する領域の濃度差または
濃度比を相互に比較演算し、この比較演算結果を
予め定められた弁別レベルと比較し、前記複数の
画素のうち、前記弁別レベル以上である画素また
は弁別レベル以下である画素を検出することを特
徴とする画像処理装置。[Scope of Claims] 1. An imaging means for imaging an object to be inspected, an analog/digital converter for converting an analog signal output from the imaging means into a digital signal, and converting image data from the analog/digital converter into binary values. a binarization processing gate circuit that extracts only the image of the object to be inspected from within the imaging screen through conversion processing; a first frame memory that stores gray scale images of the object to be inspected; , a differentiating circuit for obtaining an edge value corresponding to the difference in density of an image edge and a value indicating the direction in which the edge extends; a direction code memory for storing the direction value obtained by the differentiating circuit as code data; a thinning processing circuit that thins the edges of the thinned image, and a threshold that level-discriminates the edge value of the thinned image with a predetermined threshold and erases pixels with edge values below the threshold. a processing circuit, a thin line extension processing circuit that extends threshold-processed edges to form a continuous thin line, a second frame memory for storing an image subjected to the thin line extension processing, and a second frame memory for storing an image subjected to the thin line extension processing; a processing circuit that processes data, detects edges of the thin line extension processed image, reads edge directions of a plurality of pixels in which edges have been detected from the direction code memory, and reads a direction intersecting the edge direction of the plurality of pixels. The density differences or density ratios of areas having a predetermined number of bits that are symmetrical on both the left and right sides extending in the area are compared with each other, and the results of this comparison calculation are compared with a predetermined discrimination level, and among the plurality of pixels, An image processing device that detects pixels that are above the discrimination level or pixels that are below the discrimination level.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59248908A JPS61126437A (en) | 1984-11-26 | 1984-11-26 | Video processor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59248908A JPS61126437A (en) | 1984-11-26 | 1984-11-26 | Video processor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61126437A JPS61126437A (en) | 1986-06-13 |
| JPH048833B2 true JPH048833B2 (en) | 1992-02-18 |
Family
ID=17185212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59248908A Granted JPS61126437A (en) | 1984-11-26 | 1984-11-26 | Video processor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61126437A (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0827841B2 (en) * | 1988-04-25 | 1996-03-21 | 松下電工株式会社 | Appearance inspection method |
| JPH09304292A (en) * | 1996-05-10 | 1997-11-28 | Komatsu Ltd | Defect detection device and method |
-
1984
- 1984-11-26 JP JP59248908A patent/JPS61126437A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61126437A (en) | 1986-06-13 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |