JPH048945B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は静電防止型収容治具に関する。

半導体装置の製造に用いる半導体薄板（ウエ
ハ）はその取り扱いの便のために、洗浄治具、エ
ツチング治具、保管治具等の収容治具に収容され
て取り扱われる。ウエハのエツチング、洗浄、乾
燥の一連の作業においては、耐薬品性の四ふつ化
エチレン樹脂あるいはポリプロピレン樹脂等の樹
脂収容治具が一般に用いられている。

ところで、洗浄後の乾燥作業では、収容治具全
体をたとえば1200r.p.m.で高速回転させて収容治
具内のウエハの乾燥を図つている。

しかし、樹脂収容治具およびウエハは絶縁体で
あることから、高速回転時の空気との摩擦で静電
気が帯電する。このため、周囲の浮遊異物などが
引き付けられ、ウエハの表面に付着し、ウエハに
整列配置形成された電気回路素子の不良原因とな
る。たとえば、5μm幅配線の５mm□ ペレツトの
LSIの外観不良率のうちの約70％が静電気に起因
する不良となる。

したがつて、本発明の目的は被収容物である半
導体ウエハおよび収容治具が帯電しない構造の収
容治具を提供することにある。

このような目的を達成するために本発明は、半
導体ウエハを収容する収容治具であつて、前記収
容治具は少なくともその表面をパーフルオロアル
キルビニールエーテルとテトラフルオロエチレン
の共重合体にカーボンを含ませて導電性でかつ耐
酸性となつた複合材料によつて構成されてなるも
のであつて、以下実施例により本発明を説明す
る。

図面は本発明の一実施例による収容治具を示す
斜視図である。この収容治具１はパーフルオロア
ルキルビニールエーテルとテトラフルオロエチレ
ンの共重合体（PFA）にカーボン繊維を混合さ
せた複合材料によつて形作られ、耐酸性と導電性
を有している。収容治具１は箱型枠構造からなる
とともに、対面する内側壁には対応して複数の収
容溝２が設けられている。そして、対面する１対
の収容溝２に１枚のウエハ３の周縁を挿入して収
容がなされるようになつている。また、側壁４に
は窓５が設けられ、収容治具１内に洗浄液等が流
入し易いようになつている。

このような収容治具では、回転乾燥時に帯電し
ても、収容治具が導電性となつていることから、
帯電後極めて短時間内に除電される。たとえば、
4KVのコロナ放電を30秒行なつた後（回転1000
〜1500rpm）の帯電後の減衰率測定によれば、従
来の四ふつ化エチレン樹脂収容治具の場合は、
60V程度の帯電量が１時間経過後でも変化しない
のに対して、本実施例収容治具では60V程度の帯
電量が10秒後には16〜24Vと約1/3となり、120秒
後には5Vとなり、その後完全に除電された。

このような実施例によれば、回転乾燥時の帯電
も数十秒後には除電されるため、ウエハへの浮遊
異物の付着は起きにくくなり、静電気に起因する
不良の発生を低減できるようになる。

なお、本発明は前記実施例に限定されない。た
とえば、カーボン繊維に代えてカーボンブラツク
等の導電体を混合してもよい。また、収容治具を
形作る母材はPFA以外のものでもよい。さらに、
収容治具はその表面のみを導電性としてもよい。

以上のように、本発明によれば、回転乾燥時に
帯電してもその後短時間に除電が成される治具溝
となつていることから、被収容物に浮遊異物が付
着し難くなるため、半導体装置の製造におけるウ
エハの収容治具として用いれば、静電気に起因す
る不良の発生を抑止することができるので歩留の
向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例によるウエハ収容治具
の斜視図である。 １…収容治具、２…収容溝、３…ウエハ、４…
側壁、５…窓。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 半導体ウエハを収容する収容治具であつて、
   前記収容治具は少なくともその表面をパーフルオ
   ロアルキルビニールエーテルとテトラフルオロエ
   チレンの共重合体にカーボンを含ませて導電性で
   かつ耐酸性となつた複合材料によつて構成してい
   ることを特徴とする静電防止型半導体ウエハ収容
   治具。