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JPH0512693B2 - - Google Patents
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JPH0512693B2 - - Google Patents

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JPH0512693B2
JPH0512693B2 JP4705388A JP4705388A JPH0512693B2 JP H0512693 B2 JPH0512693 B2 JP H0512693B2 JP 4705388 A JP4705388 A JP 4705388A JP 4705388 A JP4705388 A JP 4705388A JP H0512693 B2 JPH0512693 B2 JP H0512693B2
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Japan
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exposed
matrix
light source
focusing screen
photosensitive material
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Toshiharu Takahashi
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Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
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Publication date
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、一眼レフカラメ等の焦点合わせ用
ピント板に具えるフオーカシングスクリーンを製
造する際に用いられるフオーカシングスクリーン
用母型の作製方法に関するものである。
Detailed Description of the Invention (Field of Industrial Application) This invention relates to the production of a focusing screen matrix used in manufacturing a focusing screen to be included in a focusing plate of a single-lens reflex camera, etc. It is about the method.

(従来の技術) 従来、一眼レフカメラ等の焦点合わせ用ピント
板に具えるためのフオーカシングスクリーンを製
造する方法として、表面に凹凸形状を有する成形
型を作製し、例えばアクリル樹脂を始めとするプ
ラスチツク光学材料に、上述した凹凸形状を転写
成形する技術が知られている。
(Prior Art) Conventionally, as a method for manufacturing a focusing screen for use in a focusing plate of a single-lens reflex camera, a mold having an uneven surface is prepared, and a mold made of, for example, acrylic resin is used. A technique is known in which the above-described uneven shape is transfer-molded onto a plastic optical material.

この成形型を作製する方法として、例えば金属
板の表面に砂等を摺擦して凹凸部を形成すること
が成されていた。しかしながら、成形型の概略的
断面によつて示す第3図からも理解できるよう
に、この方法により得られる成形型11の凹凸部
13は、その大部分が尖頭形状を以つて形成され
る。これがため、この凹凸部13を転写して製造
されるフオーカシングスクリーン(図示せず)で
は入射する光が急角度で曲げられ、フアインダー
を介して得られる像の明度が低く、かつ粒状性が
目立つという欠点が有つた。
As a method for producing this mold, for example, sand or the like is rubbed on the surface of a metal plate to form uneven portions. However, as can be seen from FIG. 3, which shows a schematic cross-section of the mold, most of the concavo-convex portions 13 of the mold 11 obtained by this method are formed in a pointed shape. For this reason, in a focusing screen (not shown) manufactured by transferring the uneven portion 13, the incident light is bent at a steep angle, and the image obtained through the finder has low brightness and graininess. It had a noticeable drawback.

上述した欠点を改善するため、光学的に凹凸部
を形成したフオーカシングスクリーン用母型(以
下、単に母型と称する場合も有る。)を作製し、
さらに、電鋳法により、母型の凹凸部を転写した
成形型を用いて光学材料を成形してフオーカシン
グスクリーンを製造する技術が開発され、実用に
供されている。
In order to improve the above-mentioned drawbacks, a focusing screen matrix (hereinafter sometimes simply referred to as a matrix) with optically uneven parts was produced,
Furthermore, a technique for manufacturing a focusing screen by molding an optical material using a mold onto which the irregularities of a mother mold are transferred has been developed and put into practical use by electroforming.

このような製造技術において、フオーカシング
スクリーンの表面形状を規定する母型の形状は、
電鋳法により転写される成形型を介して、製品と
してのフオーカシングスクリーンに正確に反映さ
れる。これがため、上述の製造技術においては、
母型の作製技術が重要となり、係る技術として、
例えば特開昭57−148728号公報、或いは特開昭59
−208536号公報に開示されるものが知られてい
る。
In such manufacturing technology, the shape of the matrix that defines the surface shape of the focusing screen is
It is accurately reflected on the focusing screen as a product through a mold that is transferred by electroforming. Therefore, in the manufacturing technology mentioned above,
The production technology of the matrix becomes important, and related technologies include:
For example, JP-A-57-148728, or JP-A-59
The one disclosed in Japanese Patent No. 208536 is known.

これらの技術のうち、特開昭57−148728号公報
で提案されている母型の作製技術によれば、例え
ばレジスト材を塗布した基板やゼラチン乾板とい
つた感光材の表面に、マスク上に画成した規則的
な微細パターンを投影し、所定の現像(或いはブ
リーチ)処理を行ない、上述した感光材を凹凸部
として形成して母型が作製される。
Among these techniques, according to the matrix manufacturing technique proposed in JP-A No. 57-148728, a mask is placed on the surface of a photosensitive material such as a substrate coated with a resist material or a gelatin dry plate. A master mold is produced by projecting the defined regular fine pattern, performing a predetermined development (or bleaching) process, and forming the above-mentioned photosensitive material as an uneven portion.

このようにして得られる母型では、例えば微細
パターンを画成したマスクと、感光材料を塗布し
た感光材との距離Δtを所定の値に変化させて露
光することにより、母型表面に形成される凹凸部
の形状を変化せしめることが可能である。
In the matrix obtained in this way, for example, the distance Δt between a mask defining a fine pattern and a photosensitive material coated with a photosensitive material is changed to a predetermined value and exposure is performed, thereby forming a pattern on the surface of the matrix. It is possible to change the shape of the uneven portion.

以下、図面を参照して、上述した公報に開示さ
れる技術につき説明する。
Hereinafter, the technology disclosed in the above-mentioned publication will be explained with reference to the drawings.

第4図A〜Cは、母型の模式的断面により示す
説明図である。これら図中、同一の機能を有する
構成成分には同一の符号を付して示す。
FIGS. 4A to 4C are explanatory diagrams showing schematic cross sections of the matrix. In these figures, components having the same functions are designated by the same reference numerals.

まず始めに、マスクと感光材とを密着させ、前
述した距離Δtを実質的に0として露光させた場
合には、第4図Aから理解できるように、基板1
5上に形成される凹凸部17aの形状は、図示し
ていないマスクの微細パターンの平面形状を正確
に転写し、夫々の凹凸部17aは平坦部19を有
し、かつ稜線が直角な角度を以つて、母型21が
構成される。
First, when the mask and the photosensitive material are brought into close contact with each other and exposed with the aforementioned distance Δt being substantially 0, as can be understood from FIG. 4A, the substrate 1
5, the shape of the uneven portion 17a formed on the mask accurately transfers the planar shape of a fine pattern of a mask (not shown), and each uneven portion 17a has a flat portion 19, and the ridge line has a right angle. Thus, the matrix 21 is constructed.

また、距離Δtを約20μm程度として露光させる
場合には、マスクを介して感光材表面に結ばれる
像の輪郭が、回折光によつてボケる。これがた
め、第4図Bに示すように、凹凸部17bの形状
は、上述した平坦部19を有すると共に、稜線を
斜面とする母型23が得られる。
Furthermore, when exposure is performed with a distance Δt of about 20 μm, the outline of the image formed on the surface of the photosensitive material through the mask is blurred by the diffracted light. Therefore, as shown in FIG. 4B, a matrix 23 is obtained in which the uneven portion 17b has the above-described flat portion 19 and the ridge line is a slope.

さらに、距離Δtを上述の値よりも大きくし、
回折の度合を大きくすれば、第4図Cに示すよう
に、上述の平坦部19は消失し、母型25を構成
する凹凸部17cは、連続した緩やかな曲線とな
る。
Furthermore, the distance Δt is made larger than the above value,
If the degree of diffraction is increased, the above-mentioned flat portion 19 disappears and the uneven portion 17c forming the matrix 25 becomes a continuous gentle curve, as shown in FIG. 4C.

(発明が解決しようとする課題) しかしながら、上述した従来の技術では、光学
的な手法により、マスクに画成した微細パターン
を投影し、この際、マスクと感光材料との離間距
離Δtを変えることによつてのみ、凹凸部の形状
を変える構成と成している。これがため、良好な
ボケ味を得ることが難しいという問題点が有つ
た。
(Problem to be Solved by the Invention) However, in the above-mentioned conventional technology, a defined fine pattern is projected onto a mask using an optical method, and at this time, the separation distance Δt between the mask and the photosensitive material is changed. The configuration is such that the shape of the uneven portion is changed only by the following. For this reason, there was a problem in that it was difficult to obtain good bokeh.

この点につき詳述すれば、まず、第4図A及び
Bから理解できるように、平坦部19を含む凹凸
部17a及び17bでは、製品としてのフオーカ
シングスクリーンを通過した光の直進成分がおお
くなり、ボケが不十分となる。
To explain this point in detail, first, as can be understood from FIGS. 4A and 4B, in the uneven parts 17a and 17b including the flat part 19, the straight component of the light that has passed through the focusing screen as a product is large. This results in insufficient bokeh.

さらに、第4図Cに示すように、連続した緩や
かな曲線から成る凹凸部17cでは、同図中、2
7の符号を付して示す変曲点において、上述した
平坦部19と同様な現象を生じ、光の拡散効率が
低下して、不十分なボケ味となる。
Furthermore, as shown in FIG. 4C, in the uneven portion 17c consisting of a continuous gentle curve,
At the inflection point indicated by the reference numeral 7, a phenomenon similar to that of the flat portion 19 described above occurs, and the light diffusion efficiency decreases, resulting in insufficient blur.

この発明の目的は、上述した従来の問題点を解
消するフオーカシングスクリーン用母型の作製方
法を提供し、以つて良好なボケを実現可能なフオ
ーカシングスクリーンを簡単かつ容易に製造する
ことに有る。
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a focusing screen matrix that solves the above-mentioned conventional problems, and to easily and easily manufacture a focusing screen that can achieve good blur. There is.

(課題を解決するための手段) この目的の達成を図るため、この発明のフオー
カシングスクリーン用母型の作製方法によれば、 感光材料と微細パターンを画成したマスクとを
具えて成る被露光材に対して、光源からの光を照
射させ、上述した微細パターンを前述の感光材料
の表面に投影して露光することにより、感光材料
を凹凸部として形成するフオーカシングスクリー
ン用母型の作製方法において、 上述した光源と前述の被露光材とを相対的に回
転移動させて露光する ことを特徴としている。
(Means for Solving the Problems) In order to achieve this object, according to the method for producing a focusing screen matrix of the present invention, a covering comprising a photosensitive material and a mask defining a fine pattern is provided. A matrix for a focusing screen in which an exposed material is irradiated with light from a light source, and the above-mentioned fine pattern is projected onto the surface of the photosensitive material and exposed, thereby forming uneven parts on the photosensitive material. The manufacturing method is characterized in that the light source described above and the material to be exposed are relatively rotated and exposed.

尚、ここで言う回転移動とは、光源と被露光材
との相対的な回転運動のみを示す場合と、当該回
転運動に加えて、光源と被露光材とのうちの、い
ずれか一方または双方が、個々に、設計に応じた
運動を伴なう場合とを包括的に表わすものであ
る。
Note that the term "rotational movement" here refers only to the relative rotational movement between the light source and the exposed material, and in addition to the rotational movement, it refers to either or both of the light source and the exposed material. This comprehensively represents cases in which each movement is accompanied by a design.

(作用) この発明のフオーカシングスクリーン用母型の
作製方法の構成によれば、既に述べた従来の作製
方法に加えて、少なくともマスクと感光材料とを
具えて成る被露光材に相対的な回転移動をさせな
がら露光を行なう。これがため、各微細パターン
の投影像の輪郭に相当する部分に、上述の回転移
動による光の回り込みを生じさせ、滑らかな凹凸
部を形成することができる。
(Function) According to the configuration of the method for producing a focusing screen matrix of the present invention, in addition to the conventional production method described above, the method for producing a matrix for a focusing screen according to the present invention provides a Exposure is performed while rotating. Therefore, the above-mentioned rotational movement causes the light to wrap around the portion corresponding to the outline of the projected image of each fine pattern, and smooth uneven portions can be formed.

(実施例) 以下、図面を参照して、この発明のフオーカシ
ングスクリーン用母型の作製方法の実施例につき
説明する。
(Example) Hereinafter, with reference to the drawings, an example of the method for producing a focusing screen matrix according to the present invention will be described.

尚、以下の説明で参照する図面は、この発明が
理解できる程度に概略的に示してあるに過ぎず、
この発明は、これら図示例にのみ限定されるもの
ではないことを理解されたい。
It should be noted that the drawings referred to in the following description are merely shown schematically to the extent that the present invention can be understood.
It should be understood that the invention is not limited only to these illustrated examples.

また、以下の説明においては、説明の理解を容
易とするため、従来周知の工程をも含めて説明す
る場合も有る。
In addition, in the following description, conventionally well-known processes may also be explained in order to facilitate understanding of the explanation.

第1実施例 まず始めに、この発明の相対的な回転移動の一
例として、被露光材を静止状態として光源を回転
運動させる場合を第1実施例として説明する。
First Embodiment First, as an example of relative rotational movement of the present invention, a first embodiment will be described in which a light source is rotated while the material to be exposed is in a stationary state.

第1図A〜Cは、母型を得るための各作製工程
毎に、概略的に示す説明図である。尚、図中、既
に説明した構成成分と同一の機能を有する構成成
分については同一の符号を付して示す。また、こ
れら図においては、実施例で用いた種々の構成成
分を図示するに当つて、第1図Aはマスクの要部
平面により示し、第1図B及びCは母型を構成す
る基板15の断面により示した第4図A〜Cと同
様に示す。さらに、これら図のうち、第1図Bに
おいては、経時的な位置変化を伴なう構成成分を
破線により示してある。
FIGS. 1A to 1C are explanatory diagrams schematically showing each manufacturing process for obtaining a matrix. In the drawings, components having the same functions as those already described are designated by the same reference numerals. In addition, in these figures, in illustrating the various components used in the examples, FIG. 1A shows a plane view of the main part of the mask, and FIGS. 1B and C show the substrate 15 constituting the matrix. 4A to 4C, which are shown in cross section. Further, among these figures, in FIG. 1B, constituent components whose positions change over time are indicated by broken lines.

まず始めに、第1図Aを参照して、この実施例
で用いたマスクにつき簡単に説明する。
First, the mask used in this example will be briefly explained with reference to FIG. 1A.

この実施例で用いたマスク29はガラス板で構
成され、クロム(Cr)から成るドツト状の微細
パターン31を、約15〜25(μm)程度のピツチp
及び約10〜16(μm)の直径で印刷して作製した。
The mask 29 used in this example is made of a glass plate, and has a dot-like fine pattern 31 made of chromium (Cr) with a pitch of about 15 to 25 (μm).
and printed with a diameter of about 10 to 16 (μm).

次に、この第1実施例の露光工程につき、第1
図Bを参照して詳細に説明する。
Next, regarding the exposure process of this first example, the first
This will be explained in detail with reference to FIG.

まず、露光に先立つて、ガラスから成る基板1
5上に、約2〜3(μm)程度の膜厚範囲内の所定
の厚さで、感光材料33としてのポシ型レジスト
材料を均一に塗布し、感光材35を作製する。
First, prior to exposure, a substrate 1 made of glass is
5, a positive resist material as a photosensitive material 33 is uniformly applied to a predetermined thickness within a film thickness range of approximately 2 to 3 (μm), thereby producing a photosensitive material 35.

次に、前述した公報に開示される技術と同様
に、マスク29の微細パターン31側表面と、感
光材35の感光材料33側表面とを、所定の離間
距離Δtを以つて対向配置させて被露光材37を
得る。
Next, similarly to the technique disclosed in the above-mentioned publication, the surface of the mask 29 on the fine pattern 31 side and the surface of the photosensitive material 35 on the photosensitive material 33 side are placed facing each other with a predetermined distance Δt, and are covered. An exposure material 37 is obtained.

さらに、同図中に一例として一点鎖線を付して
示す設計に応じた回転軸a1とは所定の水平離間距
離l1及び所定の垂直離間距離l2とをおいて光源3
9aを設置する。
Furthermore, the rotation axis a 1 according to the design shown with a dashed line as an example in the figure is a predetermined horizontal separation distance l 1 and a predetermined vertical separation distance l 2 from the light source 3.
Install 9a.

続いて、従来周知の任意好適な技術により、上
述の位置に設置された光源39aに関して、例え
ば前述した被露光材37の表面に平行な面内で、
矢印bを付して示す回転運動を行なう。即ち、こ
のような回転運動により、所定の時間単位におい
ては、第1図B中に破線で示す光源39bの位置
に光源を移動させて露光を行なうこととなる。従
つて、例えば上述した光源39aの位置で露光が
行なわれる場合には、図中、一例として矢印cで
示す経路を以つて微細パターン31が投影される
ことに成り、同様に、光源39bの位置で露光が
行なわれる場合には矢印dを付して示す経路によ
つて投影される。
Next, using any suitable conventionally known technique, for example, in a plane parallel to the surface of the exposed material 37 described above, with respect to the light source 39a installed at the above-mentioned position,
A rotational movement is performed as indicated by the arrow b. That is, by such rotational movement, in a predetermined time unit, the light source is moved to the position of the light source 39b shown by the broken line in FIG. 1B to perform exposure. Therefore, for example, when exposure is performed at the position of the light source 39a mentioned above, the fine pattern 31 is projected along the path indicated by arrow c in the figure, and similarly, the position of the light source 39b is When exposure is performed at , the image is projected along a path indicated by an arrow d.

第1図B及び上述の説明からも理解できるよう
に、この第1実施例に係る回転運動を行ないなが
ら露光せしめることにより光源からの光の照射角
を変化させ、矢印c及び矢印dに示す如く、各微
細パターン31の投影像に光の回りこみを生じさ
せる。
As can be understood from FIG. 1B and the above explanation, by exposing while performing the rotational movement according to the first embodiment, the irradiation angle of the light from the light source is changed, as shown by arrows c and d. , causing light to wrap around in the projected image of each fine pattern 31.

次に、上述した露光工程を経た後に現像処理を
行ない、露光後の感光材料33を、第1図Cに示
すような所定の形状を有する凹凸部41として形
成する。この第1実施例では、第1図Cからも理
解できるように、断面形状が連続した円弧状の凹
凸部として、この実施例に係る母型43が得られ
た。
Next, after the above-described exposure process, a development process is performed, and the exposed photosensitive material 33 is formed into uneven portions 41 having a predetermined shape as shown in FIG. 1C. In this first example, as can be seen from FIG. 1C, the mother mold 43 according to this example was obtained as a concavo-convex portion having a continuous arcuate cross-sectional shape.

この図からも理解できるように、この実施例に
より作製された母型43では、第4図A〜Cを参
照して説明した平坦部19や変曲点27といつた
部分を解消することができる。従つて、上述の母
型43を利用して、従来と同様な技術により成形
型を作製し、さらに最終製品としてのフオーカシ
ングスクリーンを製造した。既に述べたように、
母型の形状は、成形型を介して、製品としてのフ
オーカシングスクリーンに正確に反映される。
As can be understood from this figure, in the mother die 43 manufactured according to this example, the flat portion 19 and the inflection point 27 described with reference to FIGS. 4A to 4C can be eliminated. can. Therefore, using the above-mentioned mother die 43, a mold was produced by the same technique as in the prior art, and a focusing screen was further produced as a final product. As already mentioned,
The shape of the mother mold is accurately reflected on the focusing screen as a product through the mold.

これがため、当該スクリーンの図示を省略する
が、第1図Cからも明らかなように、光を直接透
過してしまう部分を解消することができ、拡散性
に優れ、自然なボケ味を有する。明るいフオーカ
シングスクリーンを製造することができた。
Therefore, although the screen is not shown, as is clear from FIG. 1C, it is possible to eliminate the portion that directly transmits light, and it has excellent diffusivity and a natural blur. A bright focusing screen could be manufactured.

この第1実施例では、被露光材37の表面上に
回転軸a1を設定し、この被露光材37の表面に平
行な面内での回転運動bを例示して説明した。し
かしながら、これに限定されるものではなく、例
えば複数の被露光材37を配列させた状態で光源
のみを回転運動させ、設計に応じた水平離間距離
l1を以つて、上述と同様な露光を行なうこともで
きる。この場合には、上述した回転軸a1を設計に
応じた所定の位置に設定することができる。さら
に、光源の回転運動に関しては、円運動、楕円運
動またはその他の回転運動として行なうことがで
き、これに加えて、これら回転運動が垂直離間距
離l2を周期的に変える移動運動であつたも良い。
尚、円軌道、楕円軌道等に沿つた回転運動を含め
て、これら光源の回転運動の速度、加速度または
その他の条件を周期的に変化させる場合には、最
終的に製造されるフオーカシングスクリーン用母
型の品質を考慮して、感光材料の特性に応じた1
露光時間単位に比して、上述した移動運動の周期
的変化の時間単位を小さくし、1露光工程中で、
方向性を示すような周期的変化を複数回行なうの
が好適である。
In this first embodiment, the rotational axis a1 is set on the surface of the exposed material 37, and the rotational movement b in a plane parallel to the surface of the exposed material 37 is exemplified and explained. However, the present invention is not limited to this, and for example, only the light source may be rotated with a plurality of exposed materials 37 arranged, and the horizontal separation distance may be set according to the design.
Exposure similar to that described above can also be performed using l 1 . In this case, the rotation axis a1 described above can be set at a predetermined position according to the design. Furthermore, the rotational movement of the light source can be carried out as a circular, elliptical or other rotational movement; in addition, these rotational movements may also be translational movements that periodically change the vertical separation l 2 . good.
In addition, when the speed, acceleration, or other conditions of the rotational movement of these light sources, including rotational movement along a circular orbit, an elliptical orbit, etc., are changed periodically, the focusing screen that is finally manufactured 1 depending on the characteristics of the photosensitive material, taking into consideration the quality of the matrix for use.
Compared to the exposure time unit, the time unit of the periodic change of the movement described above is made smaller, and during one exposure process,
It is preferable to make periodic changes that indicate directionality multiple times.

以上、第1図Bを参照して説明した上述の第1
実施例では、被露光材を静止状態として光源を回
転運動させる場合につき説明した。しかしなが
ら、この発明の作製方法は、この実施例にのみ限
定されるものではない。
Above, the above-mentioned first part explained with reference to FIG.
In the embodiment, a case has been described in which the light source is rotated while the material to be exposed is in a stationary state. However, the manufacturing method of the present invention is not limited to this example.

第2実施例 次に、この発明の第2実施例につき説明する。
尚、以下の説明においては、この実施例の特徴と
なる露光工程についてのみ、図面を参照して説明
し、また、既に説明した構成成分と同様の機能を
有するものには、同一の符号を付して示す。
Second Embodiment Next, a second embodiment of the present invention will be described.
In the following explanation, only the exposure process, which is a feature of this embodiment, will be explained with reference to the drawings, and components having the same functions as those already explained will be denoted by the same reference numerals. and show.

第2図Aは、この第2実施例を説明するため、
第1図Bと同様に、被露光材の概略的断面により
示す説明図、第2図Bは、被露光材の表面方向に
亙る概略的平面により示す説明図である。
FIG. 2A shows, for explaining this second embodiment,
Similar to FIG. 1B, FIG. 2B is an explanatory diagram showing a schematic cross section of the exposed material, and FIG. 2B is an explanatory diagram showing a schematic plane extending in the surface direction of the exposed material.

まず始めに、光源と被露光材との配置関係につ
き、第2図Aを参照して説明する。
First, the arrangement relationship between the light source and the exposed material will be explained with reference to FIG. 2A.

この第2実施例では、被露光材37の表面とは
異なる所定の位置上に回転軸a2を設定し、当該軸
a2に一致して光源39cを配置する。また、この
際、上述の回転軸a2に対して、被露光材37の表
面に垂直である。被露光材37の中心軸(以下、
回転軸e1と称する。)が所定の水平離間距離l1
び所定の垂直離間距離l2となるように、光源39
cと被露光材37との位置関係に設定する。
In this second embodiment, the rotation axis a2 is set at a predetermined position different from the surface of the exposed material 37, and
The light source 39c is arranged in accordance with a2 . Further, at this time, the rotation axis a2 is perpendicular to the surface of the exposed material 37. The central axis of the exposed material 37 (hereinafter referred to as
The axis of rotation is called e1 . ) is a predetermined horizontal spacing l 1 and a predetermined vertical spacing l 2 .
c and the exposed material 37.

次に、第2図Bをも参照して、露光工程につ
き、さらに詳細に説明する。
Next, the exposure process will be explained in more detail with reference to FIG. 2B.

上述した被露光材37と光源39cとの配置の
状態で光源39cを静止させたまま、上述の回転
軸a2の周りで被露光材37を矢印fで示すように
回転させる。これと同時に、上述の回転軸e1の周
りで、他の回転運動gを行なう。換言すれば、従
来の蒸着装置等で周知のような、所謂、遊星回転
と同様な回転移動運動とし、この間に露光を行な
う。従つて、第2図Aからも理解できるように、
静止した光源39cと、矢印f及びgの回転移動
運動を与えられた被露光材37との、経時的な相
対的位置の変化を生じ、一例として矢印h及びi
で示す経路を以つて微細パターン31が投影され
る。
With the light source 39c kept stationary in the above-described arrangement of the exposed material 37 and the light source 39c, the exposed material 37 is rotated as shown by arrow f around the aforementioned rotation axis a2 . At the same time, another rotational movement g is performed around the rotational axis e1 mentioned above. In other words, the rotational movement is similar to so-called planetary rotation, which is well known in conventional vapor deposition apparatuses, and exposure is performed during this rotational movement. Therefore, as can be understood from Figure 2A,
The relative position of the stationary light source 39c and the exposed material 37 subjected to rotational movements indicated by arrows f and g changes over time.
A fine pattern 31 is projected along a path shown by .

第2図A及びBと、上述の説明とからも理解で
きるように、この第2実施例に係る回転移動運動
を行ないながら露光せしめることにより、第1実
施例と同様な各微細パターン31の投影像に光の
回りこみを生じる。
As can be understood from FIGS. 2A and 2B and the above explanation, by exposing while performing the rotation movement according to the second embodiment, each fine pattern 31 is projected in the same manner as in the first embodiment. This causes light to wrap around the image.

次に、前述と同様に現像処理を行ない、凹凸部
を形成したところ、第1図Cと同様な凹凸部を有
する母型(図示せず)を作製することができた。
Next, development was performed in the same manner as described above to form uneven portions, and it was possible to produce a matrix (not shown) having uneven portions similar to those shown in FIG. 1C.

従つて、この母型を利用してフオーカシングス
クリーンを製造しても、前述と同様に優れた特性
を有するフオーカシングスクリーンを製造するこ
とができた。
Therefore, even if a focusing screen was manufactured using this matrix, it was possible to manufacture a focusing screen having excellent characteristics as described above.

この第2実施例では、被露光材37の表面上で
あり、かつ当該被露光材37の中心に回転軸e1
設定し、特定の回転運動gを例示して説明した。
しかしながら、被露光材37の回転軸e1及び回転
運動gは図示例にのみ限定されるものではない。
例えば回転軸e1は、回転軸a2と異なる位置に設定
されていれば、被露光材37の上以外の位置とし
て設定されても良い。さらに、夫々の回転運動f
及びgの夫々は、円運動のみに限定されるもので
はなく、第1実施例と同様に、周期的移動運動を
伴なう種々の回転移動運動として実施しても良
い。
In this second embodiment, the rotation axis e 1 is set on the surface of the exposed material 37 and at the center of the exposed material 37, and a specific rotational movement g is exemplified and explained.
However, the rotational axis e1 and rotational movement g of the exposed material 37 are not limited to the illustrated example.
For example, the rotation axis e 1 may be set at a position other than above the exposed material 37 as long as it is set at a position different from the rotation axis a 2 . Furthermore, each rotational motion f
and g are not limited to only circular motions, but may be implemented as various rotational motions accompanied by periodic motions, as in the first embodiment.

以上、この発明の第1及び第2実施例につき説
明したが、この発明は上述の実施例にのみ限定さ
れるものではない。
Although the first and second embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited only to the above-mentioned embodiments.

例えば、上述の実施例では感光材料としてポジ
型のレジスト材料を用いた場合につき説明した
が、これに限定されるものではなく、ネガ型のレ
ジスト材料として行なうこともできる。また、こ
れらレジスト材料のみならず、基板上にゼラチン
またはその他任意好適な感光材料を被着して行な
うこともできる。
For example, in the above-described embodiments, a positive resist material is used as the photosensitive material, but the present invention is not limited to this, and a negative resist material may also be used. In addition to these resist materials, gelatin or any other suitable photosensitive material may also be coated on the substrate.

さらに、この発明の方法によれば、前述した距
離Δtの値、光源と被露光材との離間距離l1及び
l2、露光量、感光材料33の膜厚、当該材料の現
像条件、マスクの作製条件、またはその他の条件
を任意好適に選択することにより、種々の形状を
有する凹凸部として、母型を作製することができ
る。
Furthermore, according to the method of the present invention, the value of the distance Δt described above, the separation distance l 1 between the light source and the exposed material, and
l 2 , the exposure amount, the film thickness of the photosensitive material 33, the development conditions for the material, the mask production conditions, or other conditions are arbitrarily selected to create a matrix with uneven parts having various shapes. can do.

これら材料、形状、配置関係、数値的条件及び
その他の条件は、この発明の目的の範囲内で、設
計に応じた任意好適な変形及び変更を行ない得る
こと明らかでる。
It is obvious that these materials, shapes, arrangement relationships, numerical conditions, and other conditions can be modified and changed as desired according to the design without departing from the scope of the present invention.

(発明の効果) 上述した説明からも明らかなように、この発明
のフオーカシングスクリーン用母型の作製方法に
よれば、相対的な回転移動をさせながら被露光材
に対して露光を行ない、各微細パターンの投影像
の輪郭に相当する部分に光の回り込みを生じさせ
る。これがため、微細パターンと、上述した相対
的な回転移動による光の回り込みとにより、前述
した平坦面を解消し、かつ変曲点の舞い滑らかな
凹凸部を形成することが可能となる。
(Effects of the Invention) As is clear from the above description, according to the method for manufacturing a focusing screen matrix of the present invention, the material to be exposed is exposed to light while relative rotational movement is performed, Light is caused to wrap around a portion corresponding to the outline of the projected image of each fine pattern. Therefore, due to the fine pattern and the light going around due to the above-described relative rotational movement, it is possible to eliminate the above-mentioned flat surface and form smooth uneven parts with dancing inflection points.

従つて、この発明の作製方法により得られるフ
オーカシングスクリーン用母型を利用することに
より、明度を損なうことなく、かつ粒状性を解消
し、良好なボケ味を以つて光を効率良く拡散せし
める優れたフオーカシングスクリーンを簡単かつ
容易に製造することが可能となる。
Therefore, by using the focusing screen matrix obtained by the manufacturing method of the present invention, it is possible to efficiently diffuse light without impairing brightness, eliminating graininess, and producing good bokeh. It becomes possible to simply and easily manufacture an excellent focusing screen.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図A〜Cは、この発明の第1実施例の説明
に供する図、第2図は、第1図Bと同様にして、
この発明の第2実施例の説明に供する図、第3図
及び第4図A〜Cは、従来技術の説明に供する図
である。 11……成形型、13,17a,17b,17
c,41……凹凸部、15……基板、19……平
坦部、21,23,25,43……母型、27…
…変曲点、29……マスク、31……微細パター
ン、33……感光材料、35……感光材、37…
…被露光材、39a,39b,39c……光源、
a1,a2,e1……回転軸、b,f,g……回転運動
の方向、c,d,h,i……光の経路、l1……水
平離間距離、l2……垂直離間距離。
1A to 1C are diagrams for explaining the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is similar to FIG. 1B,
The drawings used to explain the second embodiment of the present invention, FIG. 3, and FIGS. 4A to 4C are drawings used to explain the prior art. 11... Molding mold, 13, 17a, 17b, 17
c, 41... Uneven part, 15... Substrate, 19... Flat part, 21, 23, 25, 43... Mother mold, 27...
...Inflection point, 29...Mask, 31...Fine pattern, 33...Photosensitive material, 35...Photosensitive material, 37...
...Exposed material, 39a, 39b, 39c...Light source,
a 1 , a 2 , e 1 ...rotation axis, b, f, g ... direction of rotational movement, c, d, h, i ... light path, l 1 ... horizontal separation distance, l 2 ... Vertical separation distance.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 感光材料と微細パターンを画成したマスクと
を具えて成る被露光材に対して光源からの光を照
射させ、前記微細パターンを前記感光材料の表面
に投影して露光することにより、前記感光材料を
凹凸部として形成するフオーカシングスクリーン
用母型の作製方法において、 前記光源と前記被露光材とを相対的に回転移動
させて露光する ことを特徴とするフオーカシングスクリーン用母
型の作製方法。
[Scope of Claims] 1. A material to be exposed comprising a photosensitive material and a mask defining a fine pattern is irradiated with light from a light source, and the fine pattern is projected onto the surface of the photosensitive material for exposure. In the method for producing a focusing screen matrix in which the photosensitive material is formed as an uneven portion, the focusing screen is characterized in that the light source and the material to be exposed are exposed by rotating relative to each other. Method for manufacturing a matrix for single screen.
JP4705388A 1988-02-29 1988-02-29 Manufacture of matrix for focusing screen Granted JPH01221729A (en)

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