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JPH0515082B2 - - Google Patents
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JPH0515082B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH0515082B2
JPH0515082B2 JP58240521A JP24052183A JPH0515082B2 JP H0515082 B2 JPH0515082 B2 JP H0515082B2 JP 58240521 A JP58240521 A JP 58240521A JP 24052183 A JP24052183 A JP 24052183A JP H0515082 B2 JPH0515082 B2 JP H0515082B2
Authority
JP
Japan
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crystal resonator
temperature
self
vibration
frequency
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP58240521A
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English (en)
Other versions
JPS60130904A (ja
Inventor
Toshitsugu Ueda
Fusao Kosaka
Toshio Iino
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP24052183A priority Critical patent/JPS60130904A/ja
Publication of JPS60130904A publication Critical patent/JPS60130904A/ja
Publication of JPH0515082B2 publication Critical patent/JPH0515082B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03BGENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
    • H03B5/00Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
    • H03B5/30Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator
    • H03B5/32Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element being electromechanical resonator being a piezoelectric resonator
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03LAUTOMATIC CONTROL, STARTING, SYNCHRONISATION OR STABILISATION OF GENERATORS OF ELECTRONIC OSCILLATIONS OR PULSES
    • H03L1/00Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply
    • H03L1/02Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply against variations of temperature only
    • H03L1/022Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply against variations of temperature only by indirect stabilisation, i.e. by generating an electrical correction signal which is a function of the temperature
    • H03L1/027Stabilisation of generator output against variations of physical values, e.g. power supply against variations of temperature only by indirect stabilisation, i.e. by generating an electrical correction signal which is a function of the temperature by using frequency conversion means which is variable with temperature, e.g. mixer, frequency divider, pulse add/subtract logic circuit

Landscapes

  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は、水晶振動子を利用して、安定な基準
周波数信号を出力する周波数信号出力装置に関す
るものである。
〔従来技術〕
従来より水晶振動子の共振周波数を基準信号と
して利用する装置は公知である。
水晶振動子は、共振周波数が温度によつて影響
を受けるために、従来装置においては、水晶振動
子を恒温槽に入れたり、VCOX(電圧制御型水晶
発振器)あるいは、TCXO(温度制御型水晶発振
器)を用いている。
しかしながら、これらは、温度検出のための手
段が必要で構成が複雑となる欠点がある。
また、例えば、特開昭55−163481号公報に開示
されているように、1つの圧電振動子を用いて、
第1,第2の自励発振ループを構成し、2つの発
振ループから得られる2つの発振周波数信号の差
から温度情報を得て、一つの周波数信号を補正
し、温度に影響しない時間基準周波数信号を得る
ように構成した時間基準発生装置がある。
しかしながら、ここに開示されている時間基準
発生装置は、圧電振動子を基本振動とその高調波
振動とを利用すること想定したもので、2つの発
振周波数の温度特性の相違が似たようなものとな
り、温度情報が正確に得られないという課題があ
つた。
〔発明の目的〕
本発明はこの様な従来技術に鑑みてなされたも
ので、温度検出手段を用いることなく、安定した
周波数信号を得ることのできる信号出力装置を実
現しようとするものである。
〔本発明の概要〕
本発明に係る装置は、音叉形水晶振動子、この
水晶振動子を屈曲振動させる第1の自励発振ルー
プと、水晶振動子をねじり振動させる第2の自励
発振ループと、第1,第2の各自励発振ループか
ら得られる共振周波数信号12を入力し(1
2)に関連して水晶振動子の負荷容量又は水晶振
動子の温度を制御する制御ループとで構成される
点に特徴がある。
〔実施例の説明〕
第1図は本発明に係る装置の一例を示す構成ブ
ロツク図である。図において、1は腕1a,1b
を有する音叉状の水晶振動子で、これには図示し
てないが水晶振動子を励振させる励振電極と、振
動を検出する検出電極とが設けられている。この
水晶振動子1は、例えば、厚さtが0.025〜0.2mm
程度、両腕1a,1bの長さlが2.5〜20mm
(100.t)程度、両腕1a,1bの幅wが0.05〜0.5
mm程度の大きさであつて、形状の製作及び各電極
の形成は、ホトリソグラフイーとエツチングの技
術を利用して行なわれる。21,22は振動検出
電極に結合するフイルタ回路で、一方のフイルタ
回路21は、水晶振動子1の屈曲振動周波数1
通過する低域フイルタであり、他方のフイルタ回
路22は、水晶振動子1のねじり振動周波数2
通過する帯域フイルタとなつている。31,32
は各フイルタ回路21,22からの周波数信号を
増幅するアンプ、4は各アンプ31,32からの
信号を加算し、この加算信号を励振用の電極に出
力する加算回路である。
低域フイルタ回路21、アンプ31、加算回路
4を含んで形成されるループは、水晶振動子1を
屈曲振動させる自励発振ループOSC1を構成し、
低域フイルタ回路22、アンプ32、加算回路4
を含んで形成されるループは、水晶振動子1をね
じり振動させる自励発振ループOSC2を構成し
ている。
5は2つの自励発振ループOSC1,OSC2か
ら得られる周波数信号12を入力し、水晶振動
子1の負荷容量を周波数信号の差(12)に応
じて制御する制御ループで、12の差信号を演
算する演算回路51と、水晶振動子1に接続され
た負荷容量52と、この負荷容量を演算回路51
からの信号によつて変化させる駆動回路53とで
構成されている。
第2図は、水晶振動子1の屈曲振動の説明図で
ある。音叉状の水晶振動子1の両腕1a,1bが
矢印に示すように振動(振動モードは対称振
動)するのが屈曲振動であつて、その共振周波数
1は、振動子1の各寸法を図示するようにとれ
ば、(1)式で表わすことができる。
ただし、 α:固有値 k:補正係数 ρ:水晶振動子の密度 S22′:水晶振動子のヤング率に関連した値 S44′:水晶振動子のねじり剛性に関連した値 第3図は、水晶振動子1のねじり振動の説明図
である。音叉状振動子1の両腕1a,1bが矢印
に示すように振動(振動モードは対称でも非対
称でもよい)するのがねじり振動であつて、その
共振周波数2は、(2)式で表わすことができる。
ただし、 β:固有値 λ=w/t S′44/S′66 S′66:水晶振動子のねじり剛性に関連した値 n:振動モードの次数 第4図は、水晶振動子1を作る水晶基板とし
て、Z板(Zカツト板)を基準として、1回目の
回転がX軸に対して±10°Y軸に対して±10°の範
囲のものを使用し、これを屈曲振動させた場合の
共振周波数1の温度特性を示す線図である。
この線図において、屈曲振動の共振周波数1
温度に対する変化は全体として小さく、特に20℃
〜30℃の常温付近での温度係数α1は非常に小さく
なり、例えばα1=0.04ppm/℃2程度となる。
ここで、2次以後の温度係数を無視すれば、屈
曲振動の共振周波数1と、屈曲振動の1次温度係
数α1とは、温度Tに対して(3)式に示す関係があ
る。
101{1+α1(T−T0)} (3) ただし、01:温度0の時の屈曲振動の周波数 また、1は(1)式から明らかなように、形状寸法
w/l等によつても変わるもので、これらを特定
な値に選定することにより、1を温度T0におい
て、2nに相当する例えば32.768kHzとすることが
できる。
第5図は、前記の水晶振動子1をねじり振動さ
せた場合の共振周波数2の温度特性を示す線図で
ある。
この線図において、ねじり振動の共振周波数2
の温度に対する変化は、直線的に変化し、その温
度係数α2は、水晶振動子の寸法形状を例えばt/
w≒0.4、l=2.5mmとした場合、α2=40ppm/℃
程度となる。
第1図において、水晶振動子1は、2つの自励
発振ループOSC1,OSC2によつて、屈曲振動
と、ねじり振動とを同時に行ない、各自励発振ル
ープOSC1,OSC2から周波数信号1と、2とを
出力する。通常、ねじり振動の共振周波数2は、
屈曲振動の共振周波数1よりも高く(21)、
これらの周波数信号は低域フイルタ回路21と、
帯域フイルタ回路22とによつて分離され、各自
励発振ループは互いに非同期で自励発振を持続す
る。
制御回路5は、各自励発振ループOSC1,
OSC2からの周波数信号12を入力し、12
なる演算を行なうことによつて、温度依存性のあ
る差信号tを得る。この差信号tは駆動回路53
に印加され、駆動回路53は温度による共振周波
12のドリフト分を補償するように負荷容量
52の容量を連続的に変化させる。
この様な動作によつて、自励発振ループOSC
1の共振周波数1は、温度の影響を受けない安定
な基準周波数信号となる。
第6図は本発明に係る装置の他の例を示す構成
ブロツク図である。この実施例においては、水晶
振動子1を容器10内に設置するとともに、水晶
振動子1を駆動回路53の出力で加熱するための
ヒータ54を設けたものである。このヒータ54
によつて、水晶振動子1は周囲温度の変化に対応
して加熱され、共振周波数1は、温度の影響を受
けない安定な基準周波数信号となる。
第7図及び第8図は水晶振動子1に設ける電極
の形成例を示したもので、いずれもaは斜視図、
bはa図におけるX−X断面図である。
いずれのものも、水晶振動子1の両腕の両表面
に、互いに平行して並ぶ対向電極15,16及び
17,18を形成させたものである。周知のよう
に水晶は弾性体であり、しかも圧電体であること
から、例えば電極15,16間に加算回路4から
の励振信号を与えることによつて屈曲振動及びね
じり振動をし、また、電極17,18間には水晶
振動子1の振動に応じた電圧信号が発生する。
なお、電極は各腕1a,1bの側面に設けても
よい。
〔本発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、温度検
出手段を用いることなく、周囲温度に影響されな
いで安定した基準周波数信号を得ることのできる
装置が実現できる。
また、本発明に於いては、音叉形の水晶振動子
を、屈曲振動とねじり振動の互いに異なる振動モ
ードで振動させる点に特徴がある。これにより、
屈曲振動によつて得られる周波数信号と、ねじり
振動によつて得られる周波数信号とのそれぞれの
温度係数が著しく相違して、温度情報が正確に得
られるという格別の効果がでてくる。
従つて、正確な温度情報に基づいて、水晶振動
子の負荷容量または水晶振動子の温度を制御する
ことが可能となり、水晶振動子を含む発振ループ
から、直接、温度の影響を受けない正確な基準周
波数信号を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る装置の一例を示す構成ブ
ロツク図、第2図は水晶振動子の屈曲振動の説明
図、第3図は水晶振動子のねじり振動の説明図、
第4図は本発明において用いられている水晶振動
子の屈曲振動の共振周波数1と温度との関係を示
す線図、第5はねじり振動の共振周波数2と温度
との関係を示す線図、第6図は本発明に係る装置
の他の実施例の構成ブロツク図、第7図及び第8
図は水晶振動子に設ける電極の形成例を示す説明
図である。 1……水晶振動子、OSC1,OSC2……自励
発振ループ、4……加算回路、5……制御ルー
プ、52……負荷容量、54……ヒータ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 音叉形水晶振動子、この水晶振動子を屈曲振
    動させる第1の自励発振ループ、前記水晶振動子
    をねじり振動させる第2の自励発振ループ、前記
    第1,第2の自励発振ループから得られる共振周
    波数信号f1,f2を入力し両周波数信号の差に関連
    して前記水晶振動子の負荷容量又は水晶振動子の
    温度を制御する制御ループを備え、 前記第1の自励発振ループから得られる共振周
    波数信号f1を基準周波数信号として出力するよう
    にした周波数信号出力装置。
JP24052183A 1983-12-20 1983-12-20 周波数信号出力装置 Granted JPS60130904A (ja)

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JP24052183A JPS60130904A (ja) 1983-12-20 1983-12-20 周波数信号出力装置

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JPS60130904A JPS60130904A (ja) 1985-07-12
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2002371636A (ja) * 2001-06-18 2002-12-26 Sanyo Showa Panel System Co Ltd パネルの連結兼目地部カバー装置
JP6003453B2 (ja) 2012-09-21 2016-10-05 富士通株式会社 温度センサー及び温度補償発振器

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS6316169U (ja) * 1986-07-18 1988-02-02

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