【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]
本発明はテトラアルキルアンモニウム・ハイド
ロオキシドを含有する廃液を逆浸透膜装置によつ
て処理する方法に関するものである。
テトラアルキルアンモニウム・ハイドロオキシ
ドは分析用試薬やアルカリ溶剤として一般に使用
されているが、使用後のテトラアルキルアンモニ
ウム・ハイドロオキシドを含む廃液は強アルカリ
性で刺激臭が強く、これまで工場等で簡易に処理
する適当な方法がなく、廃棄物取扱業者に引渡し
ていたのが実状である。
本発明はこのような廃液を廃液発生場所で、効
率よく高濃度に濃縮することができるとともに、
良好な水質の処理水を得ることを目的とするもの
であつて、廃液をPH９〜12の条件下に逆浸透膜装
置に加圧供給することを要旨とするものである。
すなわち、テトラアルキルアンモニウム・ハイド
ロオキシドは、PH９以上において逆浸透膜による
排除率がきわめて高く、本発明は良好な透過水が
得られる一方、濃縮度を十分に上げることができ
る。
以下本発明を図面に示した一実施例に基いて説
明する。
図中１は原水槽であり、テトラアルキルアンモ
ニウム・ハイドロオキシド含有廃液が導入され
る。テトラメチルアンモニウム・ハイドロオキシ
ドまたはテトラエチルアンモニウム・ハイドロオ
キシなどのテトラアルキルアンモニウムハイドロ
オキシドを含有する廃液としては、これらの物質
が分析用試薬として、あるいはアルカリ溶液剤例
えばプリント配線盤製造時のレジスト剥離剤とし
て使われたりすることから、研究所廃液や産業廃
液として排出されてくる。
この廃液は原水槽１からPH調整槽２においてPH
調整をうけた後、逆浸透膜装置３に加圧供給され
て処理される。
PH調整槽２では、PH調整剤例えば硫酸を管２′
を介して添加し廃液のPHを９〜12好ましくは10〜
11に調整する。この廃液はPHが高いことからPH９
より中性ないし酸性側に調整するには多量の酸が
必要となり、塩類濃度が高くなつて透過水量が低
下し水の回収率が著るしく悪化する。また、レジ
ストを含む廃液ではPHが低いとレジストが析出し
て逆浸透膜面を汚染し、分離機能が低下する。一
方、PHが12以上になると逆浸透膜が劣化し、透過
水水質が悪化する傾向が強くなる。
逆浸透装置３に使用する逆浸透膜としては非酢
酸セルロース系の有機合成膜、例えばポリアミド
系、ポリエーテル系膜などの耐アリカリ性膜を使
用する。逆浸透膜装置は１段でもよく、また図示
のように逆浸透膜装置３′を加えて２段に設けて
もよい。
図中５は保安フイルター、６，６′は加圧ポン
プ、７，７′は透過水管、８は濃縮液槽、９，
９′は濃縮液管、１０は循環パイプであつて、循
環パイプ１０はPH調整槽２の入口側または排出側
に連絡されている。
テトラアルキルアンモニム・ハイドロオキシド
を含む廃液はPH調整後、保安フイルターに通さ
れ、液中の懸濁物質が除去され、ついでポンプ６
で塩類濃度に応じて加圧されて逆浸透膜装置３に
供給され、ついで必要に応じ透過水は逆浸透膜装
置３′に供給される。廃液中のテトラアルキルア
ンモニウム・ハイドロオキシドは膜によつて排除
され、透過水はきわめて良好な水質となつて管
７，７′から排出される。一方、逆浸透膜装置３，
３′からの濃縮液は、濃縮液管９，９′、循環パイ
プ１０を介して原水ラインに戻され、循環される
とともに一部は濃縮液として槽８に回収される。
このような循環処理によつて逆浸透膜装置への供
給流量が安定し、また濃縮度が向上する。この循
環処理中、ポンプの発熱により液温が上昇するの
で好ましくは系内に例えば保安フイルターの前に
冷却器を設置するのがよい。
このような処理により、逆浸透膜によるテトア
ラルキルアンモニウム・ハイドロオキシドの除去
率は高く、99.8％前後を得ることができる。した
がつて、処理水は殆どテトラアルキルアンモニウ
ム・ハイドロオキシドを含まず、また、原水濃度
が高い場合でも、逆浸透膜装置を２段に設けるこ
とにより処理水水質は極めて良好にすることがで
きる。そして、膜透過水量も高く効率よく処理す
ることができる。加えて、濃縮液は加圧程度にも
よるが数倍に濃縮でき、焼却処分も可能となる
上、液量が大巾に少なくなり取扱いが容易とな
る。
実施例
テトラメチルアンモニウム・ハイドロオキシド
を含有する廃液（PH13.1）に硫酸250mg／を加
えてPH10.1に調整し、逆浸透膜装置への給水とし
た。この給水を圧力40Kg／cm2で、逆浸透膜PEC
−1000（東レ株式会社商品）を備えた膜分離装置
に供給したところ下表のとおりの結果が得られ
た。また、逆浸透膜としてFT−30（フイルムテツ
ク コーポレーシヨン商品）を使用した例につい
ても結果を併記した。
The present invention relates to a method for treating waste liquid containing tetraalkylammonium hydroxide using a reverse osmosis membrane device. Tetraalkylammonium hydroxide is generally used as an analytical reagent or an alkaline solvent, but the waste liquid containing tetraalkylammonium hydroxide after use is strongly alkaline and has a strong pungent odor, so until now it has not been easily disposed of in factories. The reality is that there is no suitable way to do this, so the waste is handed over to a waste handling company. The present invention can efficiently concentrate such waste liquid to a high concentration at the place where the waste liquid is generated, and
The purpose is to obtain treated water of good quality, and the gist is to supply waste liquid under pressure to a reverse osmosis membrane device under conditions of pH 9 to 12.
That is, the rejection rate of tetraalkylammonium hydroxide by a reverse osmosis membrane is extremely high at pH 9 or higher, and the present invention can obtain good permeate water while sufficiently increasing the degree of concentration. The present invention will be explained below based on an embodiment shown in the drawings. 1 in the figure is a raw water tank, into which a waste liquid containing tetraalkylammonium hydroxide is introduced. For waste liquids containing tetraalkylammonium hydroxide such as tetramethylammonium hydroxide or tetraethylammonium hydroxide, these substances can be used as analytical reagents or as alkaline solutions, such as resist strippers during printed wiring board manufacturing. Because it is often used, it is discharged as laboratory waste fluid or industrial waste fluid. This waste liquid is transferred from raw water tank 1 to PH adjustment tank 2 to
After being adjusted, it is supplied under pressure to the reverse osmosis membrane device 3 and processed. In the PH adjustment tank 2, a PH adjustment agent such as sulfuric acid is added to the tube 2'.
Add through to adjust the pH of the waste liquid to 9-12, preferably 10-10.
Adjust to 11. This waste liquid has a high pH, so the pH is 9.
In order to adjust to a more neutral or acidic side, a large amount of acid is required, which increases the salt concentration, reduces the amount of permeated water, and significantly deteriorates the water recovery rate. Furthermore, if the pH of waste liquid containing resist is low, the resist will precipitate and contaminate the reverse osmosis membrane surface, reducing the separation function. On the other hand, when the pH is higher than 12, the reverse osmosis membrane deteriorates and the quality of the permeate water tends to deteriorate. As the reverse osmosis membrane used in the reverse osmosis device 3, an alkali-resistant membrane such as a non-cellulose acetate-based organic synthetic membrane, for example, a polyamide-based or polyether-based membrane is used. The reverse osmosis membrane device may be provided in one stage, or may be provided in two stages by adding a reverse osmosis membrane device 3' as shown. In the figure, 5 is a safety filter, 6, 6' are pressure pumps, 7, 7' are permeate pipes, 8 is a concentrated liquid tank, 9,
9' is a concentrated liquid pipe, and 10 is a circulation pipe, and the circulation pipe 10 is connected to the inlet side or the discharge side of the PH adjustment tank 2. After adjusting the pH of the waste liquid containing tetraalkylammonium hydroxide, it is passed through a safety filter to remove suspended substances in the liquid, and then pumped to pump 6.
The water is pressurized according to the salt concentration and supplied to the reverse osmosis membrane device 3, and then the permeated water is supplied to the reverse osmosis membrane device 3' as required. Tetraalkylammonium hydroxide in the waste liquid is removed by the membrane, and the permeated water is discharged from the pipes 7, 7' with very good water quality. On the other hand, reverse osmosis membrane device 3,
The concentrated liquid from the tank 3' is returned to the raw water line via the concentrated liquid pipes 9, 9' and the circulation pipe 10, and is circulated, and a portion is recovered in the tank 8 as a concentrated liquid.
Such circulation processing stabilizes the supply flow rate to the reverse osmosis membrane device and improves the degree of concentration. During this circulation process, the temperature of the liquid increases due to the heat generated by the pump, so it is preferable to install a cooler in the system, for example, in front of a safety filter. Through such treatment, the removal rate of tetraralkylammonium hydroxide by the reverse osmosis membrane is high, and can be achieved at around 99.8%. Therefore, the treated water contains almost no tetraalkylammonium hydroxide, and even when the raw water concentration is high, the quality of the treated water can be made extremely good by providing two stages of reverse osmosis membrane devices. Furthermore, the amount of water permeated through the membrane is high and can be efficiently treated. In addition, the concentrated liquid can be concentrated several times, depending on the degree of pressurization, and can be incinerated, and the amount of liquid can be greatly reduced, making it easier to handle. Example 250 mg of sulfuric acid was added to a waste liquid (PH13.1) containing tetramethylammonium hydroxide to adjust the pH to 10.1, and the water was supplied to a reverse osmosis membrane device. This water supply is subjected to reverse osmosis membrane PEC at a pressure of 40Kg/ cm2 .
-1000 (product of Toray Industries, Inc.) was supplied to a membrane separation device, and the results shown in the table below were obtained. The results are also listed for an example in which FT-30 (Filmtech Corporation product) was used as the reverse osmosis membrane.
【表】
この結果から明らかなように、導電率の除去率
は99.7〜99.8％、TOC除去率は99.9％となり、テ
トラメチルアンモニウム・ハイドロオキシドは膜
によりほとんど排除された。[Table] As is clear from the results, the conductivity removal rate was 99.7-99.8%, the TOC removal rate was 99.9%, and most of the tetramethylammonium hydroxide was removed by the membrane.
【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]
図面は本発明の一実施例を示すフロシートであ
る。
１：原水槽、２：PH調整槽、３：逆浸透膜装
置。
The drawing is a flow sheet showing an embodiment of the present invention. 1: Raw water tank, 2: PH adjustment tank, 3: Reverse osmosis membrane device.