JPH0525038B2 - - Google Patents
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- JPH0525038B2 JPH0525038B2 JP61143041A JP14304186A JPH0525038B2 JP H0525038 B2 JPH0525038 B2 JP H0525038B2 JP 61143041 A JP61143041 A JP 61143041A JP 14304186 A JP14304186 A JP 14304186A JP H0525038 B2 JPH0525038 B2 JP H0525038B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- relay
- contact
- vacuum pump
- microcomputer
- normally open
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- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は真空排気制御装置に関するものであ
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a vacuum exhaust control device.
従来の真空排気装置は、特開昭60−79405号公
報に記載のように、機器の制御はマイクロコンピ
ユータを経由している。しかし、マイクロコンピ
ユータがOFFしても、真空ポンプを停止させな
いようにする点については配慮されていなかつ
た。
In the conventional vacuum evacuation apparatus, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-79405, the equipment is controlled via a microcomputer. However, no consideration was given to ensuring that the vacuum pump would not stop even if the microcomputer was turned off.
上記従来技術は、マイクロコンピユータが
OFFしても、真空ポンプを停止させないように
する点について配慮がされておらず、マイクロコ
ンピユータがOFFした時には、真空ポンプも全
て停止してしまい、特に超高真空機器の場合には
真空の再立ち上げに時間を要するという問題があ
つた。
In the above conventional technology, a microcomputer
No consideration was given to ensuring that the vacuum pump does not stop even when the microcomputer is turned off, and when the microcomputer is turned off, all the vacuum pumps also stop, making it difficult to restart the vacuum, especially in the case of ultra-high vacuum equipment. There was a problem that it took time to start up.
本発明の目的は、真空ポンプへの制御指令が停
止しても、真空ポンプを停止させずに運転を続行
できる真空排気制御装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a vacuum exhaust control device that can continue operating the vacuum pump without stopping even if the control command to the vacuum pump stops.
本発明は、真空ポンプと、該真空ポンプの作動
を指令するマイクロコンピユータと、からなる真
空排気制御装置において、前記マイクロコンピユ
ータの第１の出力によつてONする動作指令用の
第１のトランジスタに直列に接続した第１のリレ
ーと、前記マイクロコンピユータの第２の出力に
よつてONする動作指令用の第２のトランジスタ
に直列に接続した第２のリレーと、３点式のマニ
ユアルスイツチと、該マニユアルスイツチの第１
の接点に接続している第３のリレーと、前記マニ
ユアルスイツチの第２の接点に接続している第４
のリレーと、前記真空ポンプに直列に接続した第
１の常開接点を有する第５のリレーと、警報又は
表示用の第６のリレーと、からなり、前記第１の
リレーの常開接点、前記第２のリレーの常閉接
点、前記第３のリレーの常閉接点、および前記第
５のリレーとを直列に接続しており、前記第４の
リレーの常開接点、前記第５のリレーの第２の常
開接点のそれぞれを前記第１のリレーの常開接点
に並列に接続しており、前記第５のリレーの第３
の常開接点と前記第６のリレーに直列に接続して
いること、を特徴とする。
The present invention provides a vacuum pump control device comprising a vacuum pump and a microcomputer that commands the operation of the vacuum pump, in which a first transistor for operating commands is turned on by a first output of the microcomputer. a first relay connected in series, a second relay connected in series to a second transistor for operation command that is turned on by a second output of the microcomputer, and a three-point manual switch; The first manual switch
a third relay connected to the second contact of the manual switch; and a fourth relay connected to the second contact of the manual switch.
a fifth relay having a first normally open contact connected in series to the vacuum pump, and a sixth relay for alarm or display, the normally open contact of the first relay; A normally closed contact of the second relay, a normally closed contact of the third relay, and the fifth relay are connected in series, and a normally open contact of the fourth relay and the fifth relay are connected in series. each of the second normally open contacts of the fifth relay is connected in parallel to the normally open contact of the first relay;
The normally open contact of the sixth relay is connected in series with the sixth relay.
マイクロコンピユータからの動作指令によつて
真空ポンプは動作を開始すると共に、前記のリレ
ー回路によつてこの指令は自己保持され、同じく
マイクロコンピユータからの停止指令までこの状
態を継続する。
The vacuum pump starts operating in response to an operation command from the microcomputer, and this command is self-maintained by the relay circuit, and continues in this state until a stop command is also issued from the microcomputer.
３点式のマニユアルスイツチによつて動作する
第３、第４のリレーの接点を前記リレー回路に組
み込んでいるので、マイクロコンピユータの出力
と同様に手動で真空ポンプの駆動と停止を制御で
きるものである。 Since the contacts of the third and fourth relays operated by a three-point manual switch are incorporated into the relay circuit, the drive and stop of the vacuum pump can be controlled manually in the same way as the output of the microcomputer. be.
また、真空ポンプを駆動するリレーの接点によ
つて警報又は表示用のリレーを制御するようにし
ているので、マイクロコンピユータによつてもマ
ニユアルスイツチによつても警報又は表示を行う
ことができるものである。 Furthermore, since the alarm or display relay is controlled by the contacts of the relay that drives the vacuum pump, the alarm or display can be performed either by a microcomputer or by a manual switch. be.
以下、本発明の一実施例を第１図と第２図とに
より説明する。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2.
真空ポンプ２は、接点５ａを介して電源に接続
されている。接点５ａは制御回路３を介して制御
指示部であるマイクロコンピユータ１に接続して
いる。 Vacuum pump 2 is connected to a power source via contacts 5a. Contact point 5a is connected via control circuit 3 to microcomputer 1, which is a control instruction section.
制御回路３は、第２図に示すように、マイクロ
コンピユータ１からの指令によつて作動するON
信号用トランジスタ６とOFF信号用トランジス
タ８とが設けられており、ON信号用トランジス
タ６にはONリレー７が接続され、OFF信号用ト
ランジスタ８にはOFリレー９が接続されている。 As shown in FIG.
A signal transistor 6 and an OFF signal transistor 8 are provided, an ON relay 7 is connected to the ON signal transistor 6, and an OF relay 9 is connected to the OFF signal transistor 8.
また、ONリレーに連動する接点７ａと、OFF
リレーに連動する接点９ａと、接点１０ａと、接
点５ａに継ながる真空ポンプリレー５とが直列に
継ながれており、接点７ａと並列に接点１１ａお
よび接点５ｂが継ながれている。 In addition, contact 7a linked to the ON relay and OFF
A contact 9a, a contact 10a, and a vacuum pump relay 5 connected to the contact 5a are connected in series, and a contact 11a and a contact 5b are connected in parallel to the contact 7a.
また、この場合、３点式のマニユアル操作スイ
ツチ１３が設けられ、一方にはOFFリレー１０
が継ながり、他方にはONリレー１１が継なが
る。OFFリレー１０は接点１０ａに継ながり、
ONリレー１１は接点１１ａに継ながる。 In addition, in this case, a three-point manual operation switch 13 is provided, and an OFF relay 10 is provided on one side.
is connected, and the ON relay 11 is connected to the other side. OFF relay 10 is connected to contact 10a,
ON relay 11 is connected to contact 11a.
また、真空ポンプリレー５は接点５ｂにも継な
がり、さらに警報、表示用のリレー１２と直列に
接続された接点５ｃに継ながる。 The vacuum pump relay 5 is also connected to a contact 5b, and further connected to a contact 5c connected in series with a relay 12 for warning and display.
ここで、接点５ａ，５ｂ，５ｃ，７ａおよび１
１ａは通常開いており、接点９ａおよび１０ａは
通常閉じている。 Here, contacts 5a, 5b, 5c, 7a and 1
1a is normally open and contacts 9a and 10a are normally closed.
上記構成により、マイクロコンピユータ１から
真空ポンプ２を作動させる指示が制御回路３に出
されると、ON信号用トランジスタ６が通電し、
ONリレー７が励磁する。 With the above configuration, when the microcomputer 1 issues an instruction to the control circuit 3 to operate the vacuum pump 2, the ON signal transistor 6 is energized.
ON relay 7 is energized.
これにより、接点７ａが入つて、接点７ａ〜接
点９ａ〜接点１０ａ〜真空ポンプリレー５の回路
が継ながり、真空ポンプリレー５が励示される。 As a result, the contact 7a enters, the circuit from the contact 7a to the contact 9a to the contact 10a to the vacuum pump relay 5 is connected, and the vacuum pump relay 5 is energized.
これにより、接点５ａが入つて真空ポンプ２が
作動する。これと同時に、接点５ｂおよび５ｃが
入る。接点５ｃが入ることによつて、警報、表示
用のリレーが励磁され、例えば図示しない表示装
置に真空ポンプ２が作動していることを表示す
る。 As a result, the contact 5a is closed and the vacuum pump 2 is activated. At the same time, contacts 5b and 5c enter. When the contact 5c is turned on, a relay for alarm and display is energized, and for example, a display device (not shown) indicates that the vacuum pump 2 is operating.
ここで、接点５ｂが入ることによつて、例え
ば、マイクロコンピユータ１がOFFして制御回
路３に指令が出なくなり、接点７ａが閉じなくな
つても、接点５ｂ〜接点９ａ〜接点１０ａ〜真空
ポンプリレー５の回路が生きて、真空ポンプ２を
稼動させ続けることができる。この回路が自己保
持回路である。 Here, by turning on the contact 5b, for example, even if the microcomputer 1 is turned off and no command is issued to the control circuit 3, and the contact 7a is not closed, the contact 5b - the contact 9a - the contact 10a - the vacuum pump The circuit of the relay 5 is activated and the vacuum pump 2 can continue to operate. This circuit is a self-holding circuit.
次に、マイクロコンピユータ１から真空ポンプ
２を停止させる指示が制御回路３に出されると、
OFF用トランジスタ８が通電し、OFFリレー９
が励磁する。 Next, when the microcomputer 1 issues an instruction to the control circuit 3 to stop the vacuum pump 2,
OFF transistor 8 is energized and OFF relay 9
is excited.
これにより、接点９ａが離れて、接点７ａ〜接
点９ａ〜接点１０ａ〜真空ポンプリレー５の回路
がしや断されて、真空ポンプリレー５の励磁が止
まり、接点５ａが離れて真空ポンプ２が停止す
る。これと同時に、接点５ｂおよび５ｃも離れ
る。 As a result, the contact 9a separates, the circuit from the contacts 7a to 9a to the contact 10a to the vacuum pump relay 5 is briefly cut off, the excitation of the vacuum pump relay 5 is stopped, and the contact 5a separates and the vacuum pump 2 is stopped. do. At the same time, contacts 5b and 5c are also separated.
また、マニユアル操作スイツチ１３の切換えを
行なうことによつて、ONリレー１１またはOFF
リレー１０も励磁させることができ、ONリレー
１１を励磁することにより接点１１ａが入つて、
接点１１ａ〜接点９ａ〜接点１０ａ〜真空ポンプ
リレー５の回路が生きて、前記同様に真空ポンプ
２を作動させることができる。また、OFFリレ
ー１０を励磁することにより接点１０ａを離し
て、接点１１ａ〜接点９ａ〜接点１０ａ〜真空ポ
ンプリレー５の回路をしや断し、接点５ａを離し
て真空ポンプ２を停止させる。 Also, by switching the manual operation switch 13, ON relay 11 or OFF
The relay 10 can also be energized, and by energizing the ON relay 11, the contact 11a is turned on,
The circuit from contact 11a to contact 9a to contact 10a to vacuum pump relay 5 is activated, and the vacuum pump 2 can be operated in the same manner as described above. Further, by energizing the OFF relay 10, the contact 10a is released, the circuit from the contact 11a to the contact 9a to the contact 10a to the vacuum pump relay 5 is broken, and the contact 5a is released to stop the vacuum pump 2.
以上、本一実施例によれば、マイクロコンピユ
ータ１からの指令が止まつても、真空ポンプ２を
停止することなく運転を続けることができるとい
う効果がある。これにより、例えば、半導体製造
装置の真空室の真空を保持することができる。 As described above, according to this embodiment, even if the commands from the microcomputer 1 stop, the vacuum pump 2 can continue to operate without stopping. Thereby, for example, the vacuum in the vacuum chamber of the semiconductor manufacturing equipment can be maintained.
また、マニユアル操作の回路を設けているの
で、マニユアル操作スイツチにより、手動操作に
も切換えることができるという効果がある。 Further, since a manual operation circuit is provided, there is an effect that it is possible to switch to manual operation using a manual operation switch.
本発明によれば、マイクロコンピユータからの
動作指令によつて真空ポンプは動作を開始すると
共に、リレー回路による自己保持回路につてこの
指令は自己保持され、同じくマイクロコンピユー
タからの停止指令までこの状態を継続する。この
ため、マイクロコンピユータから真空ポンプへの
制御指令が停止しても真空ポンプを停止させずに
運転を続行させることができるものである。
According to the present invention, the vacuum pump starts operating in response to an operation command from the microcomputer, and this command is self-maintained by a self-holding circuit using a relay circuit, and this state is maintained until a stop command is issued from the microcomputer. continue. Therefore, even if the control command from the microcomputer to the vacuum pump stops, the vacuum pump can continue to operate without stopping.
また、３点式のマニユアルスイツチによつて動
作する第３、第４のリレーの接点を前記リレー回
路に組み込んでいるので、マイクロコンピユータ
の出力と同様に手動で真空ポンプの駆動と停止を
制御できるものである。 In addition, since the contacts of the third and fourth relays operated by a three-point manual switch are incorporated into the relay circuit, the drive and stop of the vacuum pump can be controlled manually in the same way as the output of the microcomputer. It is something.
また、真空ポンプを駆動するリレーの接点によ
つて警報又は表示用のリレーを制御するようにし
ているので、マイクロコンピユータによつてもマ
ニユアルスイツチによつても警報又は表示を行う
ことができるものである。 Furthermore, since the alarm or display relay is controlled by the contacts of the relay that drives the vacuum pump, the alarm or display can be performed either by a microcomputer or by a manual switch. be.
第１図は本発明の一実施例である真空排気制御
装置を示すブロツク図、第２図は第１図の制御回
路３を示す回路図である。
１……マイクロコンピユータ、２……真空ポン
プ、３……制御回路、５，７，９……リレー、
６，８……トランジスタ、５ａ，５ｂ，７ａ，９
ａ……接点。
FIG. 1 is a block diagram showing an evacuation control device which is an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a circuit diagram showing the control circuit 3 of FIG. 1. 1... Microcomputer, 2... Vacuum pump, 3... Control circuit, 5, 7, 9... Relay,
6, 8...transistor, 5a, 5b, 7a, 9
a...Contact point.
Claims (1)
るマイクロコンピユータと、からなる真空排気制
御装置において、 前記マイクロコンピユータの第１の出力によつ
てONする動作指令用の第１のトランジスタに直
列に接続した第１のリレーと、 前記マイクロコンピユータの第２の出力によつ
てONする動作指令用の第２のトランジスタに直
列に接続した第２のリレーと、 ３点式のマニユアルスイツチと、 該マニユアルスイツチの第１の接点に接続して
いる第３のリレーと、前記マニユアルスイツチの
第２の接点に接続している第４のリレーと、 前記真空ポンプに直列に接続した第１の常開接
点を有する第５のリレーと、 警報又は表示用の第６のリレーと、からなり、 前記第１のリレーの常開接点、前記第２のリレ
ーの常閉接点、前記第３のリレーの常閉接点、お
よび前記第５のリレーとを直列に接続しており、 前記第４のリレーの常開接点、前記第５のリレ
ーの第２の常開接点のそれぞれを前記第１のリレ
ーの常開接点に並列に接続しており、 前記第５のリレーの第３の常開接点を前記第６
のリレーに直列に接続していること、 を特徴とする真空排気制御装置。[Claims] 1. In a vacuum exhaust control device comprising a vacuum pump and a microcomputer that commands the operation of the vacuum pump, a first controller for operation commands that is turned on by a first output of the microcomputer a first relay connected in series to the transistor of the microcomputer, a second relay connected in series to the second transistor for operating commands that is turned on by the second output of the microcomputer, and a three-point manual. a third relay connected to a first contact of the manual switch; a fourth relay connected to a second contact of the manual switch; and a fourth relay connected in series to the vacuum pump. a fifth relay having one normally open contact; and a sixth relay for alarm or display; the normally open contact of the first relay, the normally closed contact of the second relay, and the third relay. A normally closed contact of the relay and the fifth relay are connected in series, and each of the normally open contact of the fourth relay and the second normally open contact of the fifth relay is connected to the first normally open contact. The third normally open contact of the fifth relay is connected in parallel to the normally open contact of the fifth relay.
A vacuum exhaust control device characterized by being connected in series to a relay.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14304186A JPS631779A (en) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | Vacuum exhaust control device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14304186A JPS631779A (en) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | Vacuum exhaust control device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS631779A JPS631779A (en) | 1988-01-06 |
| JPH0525038B2 true JPH0525038B2 (en) | 1993-04-09 |
Family
ID=15329530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14304186A Granted JPS631779A (en) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | Vacuum exhaust control device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS631779A (en) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5750701U (en) * | 1980-09-05 | 1982-03-23 | ||
| JPS60188117A (en) * | 1984-03-08 | 1985-09-25 | 株式会社東芝 | Rice cooker |
| JPS60191981A (en) * | 1984-03-13 | 1985-09-30 | 三菱電機株式会社 | Controller for elevator |
-
1986
- 1986-06-20 JP JP14304186A patent/JPS631779A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS631779A (en) | 1988-01-06 |
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