JPH0529312B2 - - Google Patents
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- JPH0529312B2 JPH0529312B2 JP63022158A JP2215888A JPH0529312B2 JP H0529312 B2 JPH0529312 B2 JP H0529312B2 JP 63022158 A JP63022158 A JP 63022158A JP 2215888 A JP2215888 A JP 2215888A JP H0529312 B2 JPH0529312 B2 JP H0529312B2
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- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
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Description
ピン39
を有し、しかも
(e) 管体4、端壁6,8及びキヤピラリ管14,
16がアルカリ石灰珪酸ガラス又はアルミノ石
灰珪酸ガラスから成り、
(f) 端壁6,8が管体4、キヤピラリ管14,1
6、ポンプ接続管片及びカソード接続ピンとガ
ラスはんだによつて密封結合されているHe−
Neガス放電管において、
(g) 端壁6,8が管体4に挿入された円筒状円板
として形成され、
(h) 円筒状カソード37の端部が制限する端壁6
のためにストツパとして構成され、かつ
(i) ガラスはんだ17,19が一方の端壁では該
端壁の外面をかつ他方の端壁ではその内面を全
面的に被覆していることを特徴とするHe−Ne
ガス放電管。(e) the tube body 4, the end walls 6, 8 and the capillary tube 14;
16 is made of alkali lime silicate glass or alumino lime silicate glass, (f) the end walls 6, 8 are the tube body 4, and the capillary tubes 14, 1
6.He- which is hermetically connected to the pump connecting pipe piece and cathode connecting pin by glass solder.
In the Ne gas discharge tube, (g) the end walls 6, 8 are formed as cylindrical disks inserted into the tube body 4, and (h) the end wall 6 is limited by the end of the cylindrical cathode 37.
(i) The glass solder 17, 19 completely covers the outer surface of the end wall on one end wall and the inner surface of the other end wall. He−Ne
gas discharge tube.
産業上の利用分野
本発明は、
(a) 内側に存在する円筒状カソードと、管体の端
部に挿入されかつ円筒状孔を備えた端壁とを有
する円筒状管体、
(b) 端壁の円筒状孔に挿入されかつ端壁内に密封
保持された、ガラスから成るキヤピラリ管、
(c) 端壁の一方に密封固定されたポンプ接続管
片、
(d) 軸線平行の孔を貫通して端壁の一方に案内さ
れた、円筒状カソードのための接続ピンを有
し、しかも
(e) 管体、端壁及びキヤピラリ管がアルカリ石灰
珪酸ガラス又はアルミノ石灰珪酸ガラスから成
り、
(f) 端壁が管体、キヤピラリ管、ポンプ接続管片
及びカソード接続ピンとガラスはんだによつて
密封結合されているHe−Neガス放電管に関す
る。
Industrial Application Field The present invention provides: (a) a cylindrical tube body having a cylindrical cathode present inside and an end wall inserted into the end of the tube body and provided with a cylindrical hole; (b) an end a capillary tube made of glass inserted into a cylindrical hole in the wall and sealed in the end wall; (c) a pump connection piece hermetically secured to one of the end walls; (d) passing through a hole parallel to the axis. (e) the tube body, the end wall and the capillary tube are made of alkali-lime-silicate glass or alumino-lime-silicate glass; (f) ) The present invention relates to a He--Ne gas discharge tube whose end wall is hermetically connected to the tube body, capillary tube, pump connection tube piece and cathode connection pin by means of glass solder.
従来の技術
He−Neガス放電管は、特に測定技術的装置の
ために使用される。公知のガス放電管において
は、個々の部分は溶接によつて相互に結合されて
いる。この製造は一般にオートマツチクで行われ
る。低い膨張係数を有しかつオートマツチク製作
のために好適である硬質ガラスが使用される。こ
れらのガス放電管は、使用される硬質ガラスがヘ
リウムに対して限られた気密性を有するにすぎな
いという欠点を有する。従つて、ガス放電管は限
られた寿命を有するにすぎない。この種のガス放
電管においては、ブルースタの窓をそれをを包囲
するガラスはんだリングによつて密封固定するこ
とが公知である(ドイツ連邦共和国特許出願公開
第3103385号同第2326561号明細書、ヨーロツパ特
許公開第119408号明細書、ドイツ連邦共和国実用
新案登録第7203534号明細書)。BACKGROUND OF THE INVENTION He--Ne gas discharge tubes are used in particular for measuring equipment. In known gas discharge tubes, the individual parts are interconnected by welding. This production is generally carried out automatically. Hard glasses are used which have a low coefficient of expansion and are suitable for automatic manufacture. These gas discharge tubes have the disadvantage that the hard glass used has only limited tightness against helium. Gas discharge tubes therefore have only a limited lifespan. In gas discharge tubes of this type, it is known to seal and fix the Brewster window by means of a glass solder ring surrounding it (see German Patent Application No. 3103385-2326561). European Patent Publication No. 119408, Federal Republic of Germany Utility Model Registration No. 7203534).
多くの用途、例えば宇宙飛行において使用する
際及びレーザジヤイロにおいて使用する際には、
著しく長い耐用時間が必要とされる。 In many applications, such as in spaceflight and in laser gyros,
A significantly longer service life is required.
発明が解決しようとする課題
本発明の課題は、ヘリウム損失が公知のガス放
電管よりも著しく少ない、冒頭に記載した形式の
He−Neガス放電管を提供することであつた。OBJECT OF THE INVENTION The object of the invention is to provide a gas discharge tube of the type mentioned at the outset, which has significantly lower helium losses than known gas discharge tubes.
The objective was to provide a He-Ne gas discharge tube.
課題を解決するための手段
前記課題は、本発明により冒頭に記載した形式
のHe−Neガス放電管において、
(g) 端壁が管体に挿入された円筒状円板として形
成され、
(h) 円筒状カソードの端部が制限する端壁のため
にストツパとして構成され、かつ
(i) ガラスはんだが一方の端壁では該端壁の外面
をかつ他方の端壁ではその内面を全面的に被覆
していることを特徴とすることにより解決され
る。Means for Solving the Problem The object is achieved according to the invention in a He-Ne gas discharge tube of the type mentioned at the outset, (g) the end wall is formed as a cylindrical disk inserted into the tube body, and (h ) the end of the cylindrical cathode is configured as a stop for a limiting end wall, and (i) the glass solder is applied entirely to the outer surface of the end wall on one end wall and on the inner surface thereof on the other end wall; This problem can be solved by covering the problem.
実施例
次に、図示の実施例により本発明を詳細に説明
する。EXAMPLES Next, the present invention will be explained in detail with reference to illustrated examples.
図面に示されたガス放電管2は、円筒状管体4
を有する。この管体の端部に、円板状端壁6,8
が挿入されている。端壁6及び8は中央孔を備え
ており、該孔にキヤピラリ管14,16が挿入さ
れ、これらノキヤピラリ管は常法でそれらの内側
にある端部で相互に所定の間隔をもつて配置され
ている。 The gas discharge tube 2 shown in the drawing has a cylindrical tube body 4
has. At the end of this tube, disc-shaped end walls 6, 8 are provided.
has been inserted. The end walls 6 and 8 are provided with a central hole into which the capillary tubes 14, 16 are inserted, which are arranged at their inner ends at a predetermined distance from each other in the conventional manner. ing.
前記孔及び端壁6及び8の外周の寸法は、端壁
及び管体と、キヤピラリ管との間にできるだけ僅
かな、しかし十分な遊びが生じるように選択すべ
きである、該遊びはそれでもつて交差を考慮して
マウントの際にキヤピラリ管の応力の無い整列が
可能であるようにするために必要である。端壁6
及び8はその外周に段部18をかつその内周に段
部20を有している。これらの段部はキヤピラリ
管の内側の管壁もしくは外周と共にそれぞれ、キ
ヤピラリ管を端壁にかつ端壁を管体に密封固定す
るために役立つガラスはんだを受容するためのは
んだ継ぎ目を形成する。 The dimensions of the bore and of the outer circumference of the end walls 6 and 8 should be selected in such a way that there is as little as possible, but sufficient play between the end wall and the tube body and the capillary tube, which play is then This is necessary in order to allow stress-free alignment of the capillary tubes during mounting, taking into account the intersection. End wall 6
and 8 has a stepped portion 18 on its outer periphery and a stepped portion 20 on its inner periphery. These steps, together with the inner tube wall or outer periphery of the capillary tube, respectively form a solder joint for receiving a glass solder which serves to sealingly fix the capillary tube to the end wall and the end wall to the tube body.
図示の実施例では、両者の円板6及び8の段部
18,20はそれぞれ反対に外側に向いている。
該段部はまた同じ方向に向くように配置されてい
てもよい、即ち一方の側では管内部に向いていて
もよい。これらは又以下に記載するように省くこ
ともできる。 In the illustrated embodiment, the steps 18, 20 of the two discs 6 and 8 respectively point outwardly in opposite directions.
The steps may also be arranged oriented in the same direction, ie facing into the tube interior on one side. These can also be omitted as described below.
管体4及び端壁6,8は、アルカリ石灰珪酸ガ
ラス又はアルミノ石灰珪酸ガラスから成る。軟質
ガラスに属するアルカリ石灰珪酸ガラスは、以下
の主成分を有する:CaO(5〜12重量%)、アルカ
リ(13〜20重量%)、SiO2(残り)。中硬質ガラス
に属するアルミノ石灰珪酸ガラスは、以下の特徴
的含量を有する:Al2O3(3.5〜10重量%);CaO
(6〜12重量%);アルカリ(8〜23重量%)、
SiO2(残り)。3重量%未満の別の成分も存在す
ることができる(“Werkstoffkunde der Hoch−
vakuumtechik”第2巻、2頁;VEB
Deutscher Verlag der Wissen−schaften、
Berin1962参照)。 The tube body 4 and the end walls 6, 8 are made of alkali-lime-silicate glass or alumino-lime-silicate glass. Alkali-lime silicate glass, which belongs to soft glasses, has the following main components: CaO (5-12% by weight), alkali (13-20% by weight), SiO2 (remaining). Alumino-lime silicate glass, which belongs to medium-hard glass, has the following characteristic contents: Al 2 O 3 (3.5-10% by weight); CaO
(6-12% by weight); Alkali (8-23% by weight),
SiO2 (remainder). Less than 3% by weight of other components can also be present (“Werkstoffkunde der Hoch-
vakuumtechik” Volume 2, page 2; VEB
Deutscher Verlag der Wissen-schaften,
(See Berin 1962).
例えば主としてSiO2約72%、Na2O+K2O14
%、CaO9%、MgO3〜4%及びAl2O31%の組成
を有する、常用のフロートガラス品質のアルカリ
石灰珪酸ガラスを使用することができる。このよ
うなガラスは密度2.5g/cm3及び線状の熱膨張係
数8.5〜9.5・10-6/Kを有する。これらのガラス
は管、端壁及びキヤピラリ管のために使用するこ
とができる。ドイツのFa.Schott Ruhrglasから
商品名“AR−Glasklar”として市販されてい
る、極めて有用なアルミノ石灰珪酸ガラスは、ほ
ぼ以下の化学的組成(重量%)を有する:
SiO269、B2O31、Al2O34、Na2O13、K2O3、
BaO2、CaO5及びMgO3;線状膨張係数α20/300
は、9.0・10-6/Kであり;転移温度は520℃であ
り、密度は2.52g/cm3である。アルカリ石灰珪酸
ガラス及びアルミノ石灰珪酸ガラスは高いヘリウ
ム気密性を有する、該気密性は一般にHe−Neガ
ス放電管が製作される硬質ガラスよりも102倍程
大きい、従つて硬質ガラスからガラス封止によつ
て製造された公知のガス放電管よりも著しく長い
耐用時間が期待される。 For example, mainly SiO 2 about 72%, Na 2 O + K 2 O14
%, CaO 9%, MgO 3 -4% and Al 2 O 3 1% alkaline lime silicate glass of conventional float glass quality can be used. Such glasses have a density of 2.5 g/cm 3 and a coefficient of linear thermal expansion of 8.5-9.5·10 −6 /K. These glasses can be used for tubes, end walls and capillary tubes. A very useful alumino-lime-silicate glass, commercially available from Fa. Schott Ruhrglas of Germany under the trade name "AR-Glasklar", has approximately the following chemical composition (% by weight):
SiO269 , B2O31 , Al2O34 , Na2O13 , K2O3 ,
BaO2, CaO5 and MgO3; Linear expansion coefficient α 20/300
is 9.0·10 −6 /K; the transition temperature is 520° C. and the density is 2.52 g/cm 3 . Alkali-lime-silicate glass and alumino-lime-silicate glass have high helium airtightness, which is about 10 times greater than the hard glass from which He-Ne gas discharge tubes are generally made, so glass sealing from hard glass is possible. A significantly longer service life is expected than the known gas discharge tubes manufactured by the company.
はんだ材料としては、結晶性ガラスはんだを使
用するのが有利である。Fa.Schott Glas−werke
の結晶性ガラスはんだ“Glas No.8597”が特に
有利であることが判明した。このガラスはんだは
435℃で溶融しかつはんだ付け後には450℃に再加
熱することができ、しかも強度が劣化されない。
しかし、又安定なガラスはんだ、特に硼珪酸鉛型
のものを使用することもできる。 As solder material it is advantageous to use crystalline glass solder. Fa.Schott Glas−werke
The crystalline glass solder “Glas No. 8597” has been found to be particularly advantageous. This glass solder
It melts at 435℃ and can be reheated to 450℃ after soldering without deteriorating its strength.
However, it is also possible to use stable glass solders, especially of the lead borosilicate type.
ガラスはんだは別に前焼結したはんだリング
(幅1〜2mm及び厚さ2mm)の形で施すことがで
きる。しかし、第2図に示されているように、相
応する厚さを有するはんだ円板を使用することも
できる。 The glass solder can be applied in the form of separately presintered solder rings (1-2 mm wide and 2 mm thick). However, as shown in FIG. 2, it is also possible to use solder discs with a corresponding thickness.
キヤピラリ管はその外側端部に、キヤピラリ直
径よりも大きい直径を有する区分22,24を有
する。そのようにして形成された空間において、
両者のキヤピラリ管14,16内にそれぞれアノ
ードピン26,28が突入している。外側端部で
は、キヤピラリ管はブルースタの角度αで傾斜し
かつこの傾斜部にブルースタの窓30がガラスは
んだで固定されている。このためには傾斜部とブ
ルースタの窓との間の平面的はんだ付けが行われ
るように、薄いガラスはんだ円板を使用するのが
有利である。 At its outer end, the capillary tube has sections 22, 24 with a diameter larger than the capillary diameter. In the space created in this way,
Anode pins 26 and 28 protrude into both capillary tubes 14 and 16, respectively. At the outer end, the capillary tube is sloped at a Brewster angle α and a Brewster window 30 is fixed to this slope with glass solder. For this purpose, it is advantageous to use thin glass solder disks, so that a planar soldering between the ramp and the Brewster window takes place.
第1図において、右側の端壁6に孔32が設け
られており、該孔に同様にガラスはんだ36で固
定されかつ密封されたポンプ接続管片34が嵌合
されている。アノードピン26及び28の固定及
びシールも同様にガラスはんだによつて行われ
る。 In FIG. 1, a hole 32 is provided in the right-hand end wall 6, into which a pump connection piece 34, which is also secured with glass solder 36 and sealed, is fitted. Fixing and sealing of the anode pins 26 and 28 is likewise accomplished by glass solder.
管は更に公知形式で、管4内に押し込まれたア
ルミニウム円筒体の形のカソード37を備え、該
カソードは端壁の一方、この場合には端壁8を貫
通案内された接続ピン39に固定されている。こ
の円筒状カソード37及びその接続ピン39は、
第1図には点線で示されている。接続ピン39は
同様に端壁8にはんだ付けされている。 The tube is furthermore provided in a known manner with a cathode 37 in the form of an aluminum cylinder pushed into the tube 4 and fixed on a connecting pin 39 guided through one of the end walls, in this case the end wall 8. has been done. This cylindrical cathode 37 and its connecting pin 39 are
In FIG. 1 it is indicated by a dotted line. The connecting pin 39 is likewise soldered to the end wall 8.
製造は以下のようにして実施することができ
る。即ち、まずブルースタの窓をキヤピラリ管に
はんだ付けしかつアノードピン26,28をはん
だ付けする。次いで、はんだリングもしくははん
だ円板を添えて端壁6及び8を管体4に嵌合させ
る。その際、円筒状カソードの端面をストツパと
して使用することができる。端壁に、更にキヤピ
ラリ管を嵌合させかつアライメント状態に保持す
る。次いで、はんだ継ぎ目がアライメントされて
いれば、前記のようにして、当該部分を1工程で
はんだ付けする。 Manufacturing can be carried out as follows. That is, first the Brewster window is soldered to the capillary tube and the anode pins 26 and 28 are soldered. The end walls 6 and 8 are then fitted into the tube 4 with solder rings or discs. In this case, the end face of the cylindrical cathode can be used as a stop. A capillary tube is further fitted onto the end wall and held in alignment. If the solder joints are aligned, the parts are then soldered in one step as described above.
第2図に分解図で示されたガス放電管の場合に
は、個々の構成部材は実質的に第1図に示されて
いるものに一致する。この実施形の個々の構成部
材は、第3図には組み立てた状態で示されてい
る。第1図の実施形に示されているものに相当す
る部分に関しては、第1図は前記説明を参照され
たい。この場合には、両者の端壁6及び8が段部
を有しない簡単な円板から成つている点が異なつ
ている。はんだ付けのために、はんだ円板17及
び19が設けられており、該円板は外径及び孔1
3もしくは21の直径に関しては端壁のそれに等
しい。更に、端壁及び所属のはんだ円板は一方で
はポンプ接続管片34のための同じ孔15並びに
他方ではカソード接続ピン39のための孔23を
有する。端壁6及び8並びに所属のはんだ円板1
7及び19は、それぞれ同じ工具を用いてガラス
板もしくは焼結したガラスはんだ円板から超音波
加工によつて製造することができる。この場合に
は、端壁の段部を省くのが有利である。 In the case of the gas discharge tube shown in exploded view in FIG. 2, the individual components substantially correspond to those shown in FIG. The individual components of this embodiment are shown in assembled condition in FIG. Regarding the parts corresponding to those shown in the embodiment of FIG. 1, reference is made to the above description of FIG. The difference in this case is that both end walls 6 and 8 consist of simple disks without steps. For soldering, solder disks 17 and 19 are provided, which disks have an outer diameter and a hole 1.
As for the diameter of 3 or 21, it is equal to that of the end wall. Furthermore, the end wall and the associated solder disk have identical holes 15 for the pump connection piece 34 on the one hand and holes 23 for the cathode connection pin 39 on the other hand. End walls 6 and 8 and associated solder discs 1
7 and 19 can be manufactured by ultrasonic machining from a glass plate or a sintered glass solder disk using the same tool, respectively. In this case it is advantageous to omit a step in the end wall.
ガス放電管は垂直軸線を有するようにしてはん
だ付けする。この際、第3図に示されているよう
に、端壁6は円筒状カソード37の端部に載つて
おり、該円筒状カソードの端部ははんだ円板17
が実質的に管体4の上方縁部と同一平面内に位置
するように設計されている。 The gas discharge tube is soldered with a vertical axis. In this case, as shown in FIG.
is designed to lie substantially in the same plane as the upper edge of the tube 4.
円筒状カソード37の下方端部ははんだ円板1
9の上に載つており、該はんだ円板はまた端壁8
に載つており、該端壁もまた管体4の下方端部と
同一平面内に位置する。この場合、保持するため
に支持円板41が設けられており、該円板上に管
体4及び端壁8が載つている。 The lower end of the cylindrical cathode 37 is connected to the solder disk 1
9 and the solder disk also rests on the end wall 8
The end wall also lies in the same plane as the lower end of the tube 4. In this case, a support disk 41 is provided for holding, on which the tube 4 and the end wall 8 rest.
キヤピラリ管のアライメントのためには、第3
図に示されているような装置を使用するのが有利
である。この場合にはベース板43を有する締め
付け台40に締め付けブラケツト42が固定され
ており、該ブラケツトはその前方端部に相互に同
一直線上にある楔状溝44を備えており、該溝に
前記形式で予め組立てられた管2をそのキヤピラ
リ管14及び16の外側に突出した端部で嵌合さ
せる。次いで、図示されていない締め付け部材を
用いてキヤピラリ管を溝44に機械的に締め付け
る。第3図に示めされた実施例では、締め付け台
40はねじ45で台座48を備えたL字形支持部
材46に固定されている。このようにして、両者
のキヤピラリ管のそれらの軸線方向に対するかつ
ブルースタの窓に位置に関するアライメントが可
能であり、このことはガス放電管の作動及び効率
にとつて極めて重要なことである。端壁及び管体
4と、キヤピラリ管14及び16との嵌合遊び
は、応力の無いアライメントが可能であるように
選択されるべきである。 For alignment of the capillary tube, the third
It is advantageous to use a device as shown in the figure. In this case, a clamping bracket 42 is fastened to a clamping base 40 having a base plate 43, which bracket is provided at its front end with mutually colinear wedge-shaped grooves 44, in which the said type The preassembled tube 2 is fitted with its capillary tubes 14 and 16 at their outwardly projecting ends. The capillary tube is then mechanically tightened into the groove 44 using a tightening member (not shown). In the embodiment shown in FIG. 3, the clamping base 40 is secured by screws 45 to an L-shaped support member 46 with a seat 48. In the embodiment shown in FIG. In this way, an alignment of the two capillary tubes with respect to their axis and with respect to the position of the Brewster window is possible, which is of great importance for the operation and efficiency of the gas discharge tube. The mating play between the end wall and tube body 4 and the capillary tubes 14 and 16 should be selected to allow stress-free alignment.
次いで、前記のようにして前記装置に取り付け
たガス放電管を、はんだ円板17のはんだが端壁
の内周及び外周のはんだ継ぎ目及び孔15及び2
3に流れ込むことができるように、装置を用いて
直立させて炉内に挿入する、その際重力の作用及
び毛細管作用で結合面の完全な“ぬれ”が達成さ
れる。はんだ結合は、約7℃/minの加熱もしく
は冷却速度で実施すべきである。 Next, the gas discharge tube attached to the device as described above is connected to the solder disk 17 so that the solder joints and holes 15 and 2 on the inner and outer peripheries of the end walls are connected.
3, the device is inserted into the furnace in an upright position, with the action of gravity and capillary action achieving complete "wetting" of the bonding surfaces. Solder bonding should be performed at a heating or cooling rate of about 7°C/min.
勿論、前記形式で調製したキヤピラリ管を場合
によりアノードピン及び場合によりカソード37
の接続ピン39と一緒にまず別々に端壁とはんだ
付けしかつ引き続きそうして既製した端壁を管体
4とはんだ付けすることも可能である。前記のガ
ラスはんだ“7597”を使用する際には、連続的は
んだ付けのために同じガラスはんだを使用するこ
とができる。さもなければ、十分に異なつたはん
だ付け温度を有するガラスはんだを使用する必要
がある。 Of course, a capillary tube prepared in the above manner may be attached to the anode pin and the cathode 37 as the case may be.
It is also possible to first solder the end wall together with the connecting pin 39 separately to the end wall and then to solder the end wall thus produced to the tube body 4. When using the glass solder "7597" mentioned above, the same glass solder can be used for continuous soldering. Otherwise, it is necessary to use glass solders with sufficiently different soldering temperatures.
第1図は本発明によるHe−Neガス放電管の縦
断面図、第2図はHe−Neガス放電管の有利な1
実施例の分解斜視図及び第3図は第2図の放電管
を製造するための装置の側面図である。
4……円筒状管体、6,8……端壁、10,1
2……孔、13,15,21,23……孔、1
4,16……キヤピラリ管、17,19……はん
だ円板、18,20……段部、22,24……孔
区分、23……孔、26,28……アノード接続
ピン、30……ブルースタの窓、34……ポンプ
接続管片、37……円筒状カソード、39……接
続ピン、α……ブルースタ角度。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a He-Ne gas discharge tube according to the invention, and FIG. 2 is an advantageous one of the He-Ne gas discharge tube.
An exploded perspective view of the embodiment and FIG. 3 is a side view of the apparatus for manufacturing the discharge tube of FIG. 2. 4... Cylindrical tube body, 6, 8... End wall, 10, 1
2... Hole, 13, 15, 21, 23... Hole, 1
4, 16... Capillary tube, 17, 19... Solder disk, 18, 20... Step portion, 22, 24... Hole division, 23... Hole, 26, 28... Anode connection pin, 30... Brewster's window, 34...Pump connecting tube piece, 37...Cylindrical cathode, 39...Connecting pin, α...Brewster angle.
1 レーザ陰極を製造するための方法であつて、
ガラスまたはガラスセラミツク材料から作られた
実質的に半球状の基礎要素1は真空被覆工程によ
りそ内側にアルミニウムまたはアルミニウム合金
の被覆(Al被覆)が与えられ、
浄化された基礎要素1を、真空ユニツトの容器
内で、被覆される陰極基礎要素1の内側と整列す
る開口9を有する導電ベース2に設置するステツ
プと、
容器の圧力を、酸素の分圧が2×10-9ミリバー
ルよりも小さくかつ残余のガスの圧力が2×10-7
ミリバールを越えない程度まで減じるステツプ
と、
容器をわずかな圧力のもとで少なくとも一種の
レーザガスで充満し、一方Al被覆を層成長の速
度に関して、制御可能である被覆工程で本質的に
同時に付与するステツプとを備え、そのAl被覆
はまたベース2の部分的な区域をカバーし、その
ため被覆された基礎要素1とベース2との間に導
電接続を作り、
真空状態を中断せずに、Al被覆された基礎要
素1を容器内でガス注入口装置7上の位置へもた
らし、それを介してレーザガスの混合物を数ミリ
1. A method for manufacturing a laser cathode, comprising:
A substantially hemispherical basic element 1 made of glass or glass-ceramic material is provided with an aluminum or aluminum alloy coating (Al coating) on its inside by a vacuum coating process, and the purified basic element 1 is transferred to a vacuum unit. the conductive base 2 having an opening 9 aligned with the inside of the cathode base element 1 to be coated in a container of The pressure of the remaining gas is 2×10 -7
the vessel is filled with at least one laser gas under slight pressure, while the Al coating is applied essentially simultaneously in a coating process which is controllable with respect to the rate of layer growth. with a step, the Al coating also covering a partial area of the base 2, thus creating a conductive connection between the coated basic element 1 and the base 2, without interrupting the vacuum state, the Al coating The base element 1 thus prepared is brought into position in the container on the gas inlet device 7 through which the mixture of laser gases is injected for a few millimeters.
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