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JPH0530766B2 - - Google Patents
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JPH0530766B2 - - Google Patents

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JPH0530766B2
JPH0530766B2 JP16272786A JP16272786A JPH0530766B2 JP H0530766 B2 JPH0530766 B2 JP H0530766B2 JP 16272786 A JP16272786 A JP 16272786A JP 16272786 A JP16272786 A JP 16272786A JP H0530766 B2 JPH0530766 B2 JP H0530766B2
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arsenic
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gac
mixture
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Sumitomo Metal Mining Co Ltd
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Sumitomo Metal Mining Co Ltd
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    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01GCOMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
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    • C01G28/007Halides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C01GCOMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
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    • C22BPRODUCTION AND REFINING OF METALS; PRETREATMENT OF RAW MATERIALS
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は三塩化ガリウム水溶液を電解して高純
度のガリウムを得るための、三塩化ガリウムの製
造方法に関する。
〔従来の技術〕
ガリウム砒素単結晶生成後の不純物を含んだ引
上残や、ガリウム砒素単結晶の切削屑など不純物
が付着したスクラツプから高純度ガリウムを回収
する方法としては、該スクラツプを酸化分解し、
得られた酸化分解液をキレート樹脂と接触させて
液中のガリウムをキレート樹脂に吸着させ、次に
アルカリ水溶液とキレート樹脂を接触させてガリ
ウムをアルカリ水溶液中に溶出させ、ガリウムを
含むアルカリ水溶液を電解する方法(特開昭59−
213622号公報)や、該スクラツプを真空熱分解と
加熱冷却処理及び溶融体の濾過、水相化処理を経
て再結晶精製する方法(特開昭57−101625号公
報)等が提案されている。最終工程で電解を行な
つてガリウムを精製する場合、電解に供して高純
度ガリウムが得られる不純物の少ない三塩化ガリ
ウムを得ることが必要である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明は砒素や他の不純物を含有するガリウム
から、電解によつて高純度ガリウムを得ることの
できる不純物の少ない三塩化ガリウムの製造方法
を提供せんとするものである。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、この目的を達するためガリウムと砒
素を含有するスクラツプを塩素ガスで処理して三
塩化ガリウムと三塩化砒素の混合物を生成し、該
混合物を蒸留して三塩化ガリウムを分離すること
にある。
又、砒素を含まないガリウムを主体とするスク
ラツプに砒素又は三塩化砒素を添加して塩素ガス
で処理し三塩化ガリウムと三塩化砒素の混合物を
生成し、該混合物を蒸留して三塩化ガリウムを分
離することにある。
ガリウム−砒素単結晶引上残や、切削屑、ガリ
ウム単体のスクラツプと砒素や、三塩化砒素と共
にフラスコに入れ、常温で塩素ガスを吹込むと、
これらの塩素化による反応熱で150〜200℃となつ
て反応が進行し約3〜5時間で、三塩化ガリウム
と三塩化砒素の混合物が得られる。純粋なGaC
の融点は78℃、AsC3の融点は−18℃である
が、Ga/Asのモル比が1または1以下のとき、
GaC3は、液状のAsC3中に完全に固溶してお
り、該混合物は全体が液状である。しかしGa/
Asモル比が1を超えるに従つて液中にGaC3
析出するようになる。そしてこの析出物が多くな
るに従つて流動性のあるシヤーベツト状から流動
性のないものに変化する。又、GaがGaC3とな
る過程で生成するGaC2は融点が170.5℃である
が塩素化温度を171℃以上に保つとか、Ga/As
モル比を1以下となるように充分砒素を多めにし
て塩素化し、生成するガリウムの塩化物を三塩化
砒素中に固溶させることにより、反応を順調に進
めることができる。
AsC3の沸点は130℃、GaC3の沸点は201.3
℃であるから、混合物を加熱して行くと、低沸点
不純物から蒸発し、気相温度110〜120℃でAsC
の蒸発が始まり135℃で殆んどのAsC3を蒸発
分離することができる。AsC3の蒸発が終わる
と、気相温度が180℃位からGaC3の蒸発が始ま
るので、AsC3を充分に分離するにはGaC3
蒸発が殆んど無くなつた後も、しばらくその温度
に保つのが良い。GaC3の蒸発が殆んどなくな
ると、再び温度の上昇が始まるが、GaC3中に
混入する高沸点不純物をできるだけ少なくするた
めには、210℃付近でGaC3の採取を停止し、蒸
留を止めるのがよい。更に高純度のGaC3を得
るためには、装入原料の10〜20重量%を残して蒸
留を停止することが望ましい。
〔作用〕
本発明ではガリウムを砒素又は三塩化砒素との
共存下で塩素化するので、効率良く塩素化でき、
且つ常温で取扱いの容易な液状として得ることが
でき、これを蒸留で分離するので、酸化剤等から
の不純物の混入がなく、砒素以外の不純物の極め
て少ない三塩化ガリウムとすることができる。
従つてこれを水に溶解しガリウム濃度40〜
60g/の水溶液とし、チタニウム板を陰極、白
金系陽極を用い、陰極電流密度2.5〜10A/dm2
液温20℃位で電解すれば、すべての各不純物が
0.1ppm以下の高純度ガリウムを得ることができ
る。
〔実施例〕
Ga41.7重量%、As58.0重量%(Ga/Asモル比
0.77)と、不純物をppmで Cr Ca Cu A 2 2 1 10 Fe Si Mg C B 2 10 1 50 30 含むGa−As単結晶生成後の引上げ残600gを、
容量1の目皿付セパラブルフラスコに入れ、常
温で塩素ガスを1/minの割合で5時間吹き込
んだ。反応中最高温度は反応熱で約200℃に達し
た。
この処理によつて液状のGaC3とAsC3の混
合物1568gを得た。この混合物全部を容量1の
枝付フラスコに入れ、700ワツトのマントルヒー
ターで温度調整しながら蒸留を行なつた。気相温
度110〜135℃でAsC3を留出させ、AsC3
795.4gを得た。次いで気相温度が180℃に達した
時点で受容器を取替え、約205℃でGaC3の蒸留
を行ない気相温度が210℃に達した時点でマント
ルヒーターのスイツチを切り、蒸留の操作を終了
した。得られたGaC3は508.3gで、蒸留残
264.3gであつた。得られたGaC3は2重量%の
Asを含有する以外は、C0.1ppm,Ca,A,Si,
Fe,B各0.04ppm以下であつた。
実施例 2 Cr Ca Cu A 3 5 2 20 Fe Si Mg C B 3 18 1 85 40 各ppm含有するガリウム300gと、三塩化砒素
780g(Ga/Asモル比1.0)を、実施例1と同様に
処理してAsC3の留分741g、GaC3の留分
719g、釜残75gを得た。
GaC3中には2重量%のAsを含有する以外
は、C0.1ppm,Ca,A,Si,Fe,Bは各
0.04ppm以下であつた。
〔発明の効果〕
本発明によれば、酸化剤等を使用するとこれか
ら不純物が増加するような、比較的不純物の少な
いガリウムと砒素からなるスクラツプや、ガリウ
ムスクラツプから更に不純物の少ない三塩化ガリ
ウムが得られるので、電解により高純度ガリウム
を容易に得ることができる。
又、ゲルマニウムが誤つて混入したようなガリ
ウムスクラツプも本発明方法により容易に純度の
良い四塩化ゲルマニウムと、三塩化ガリウムとし
て分離できる。
三塩化ガリウム中の砒素は電解したガリウム中
では0.01ppm以下となる。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 ガリウムと砒素を含有するスクラツプを塩素
    ガスで処理して三塩化ガリウムと三塩化砒素の混
    合物を生成し、該混合物を蒸留して三塩化ガリウ
    ムを分離することを特徴とする三塩化ガリウムの
    製造方法。 2 ガリウムと砒素のGa/Asモル比が1以上の
    ガリウムと砒素を含有するスクラツプに、Ga/
    Asモル比が1未満となるように砒素又は三塩化
    砒素を添加して塩素ガスで処理する特許請求の範
    囲1項に記載の三塩化ガリウムの製造方法。 3 砒素を含まないガリウムを主体とするスクラ
    ツプに砒素又は三塩化砒素を添加して塩素ガスで
    処理し三塩化ガリウムと三塩化砒素の混合物を生
    成し、該混合物を蒸留して三塩化ガリウムを分離
    することを特徴とする三塩化ガリウムの製造方
    法。 4 砒素を含まないガリウムを主体とするスクラ
    ツプに、ガリウムと砒素のGa/Asモル比が1未
    満となるように砒素又は三塩化砒素を添加して塩
    素ガスで処理する特許請求の範囲3項に記載の三
    塩化ガリウムの製造方法。
JP61162727A 1985-09-13 1986-07-09 三塩化ガリウムの製造方法 Granted JPS62153120A (ja)

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JP20312085 1985-09-13

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US4666575A (en) 1987-05-19
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