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JPH0532180B2 - - Google Patents
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JPH0532180B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH0532180B2
JPH0532180B2 JP63054169A JP5416988A JPH0532180B2 JP H0532180 B2 JPH0532180 B2 JP H0532180B2 JP 63054169 A JP63054169 A JP 63054169A JP 5416988 A JP5416988 A JP 5416988A JP H0532180 B2 JPH0532180 B2 JP H0532180B2
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JP
Japan
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substrate
movable
guide rail
slider
rack
Prior art date
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Application number
JP63054169A
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Japanese (ja)
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JPH01228734A (en
Inventor
Shoichi Kaku
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH01228734A publication Critical patent/JPH01228734A/en
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  • Automatic Assembly (AREA)
  • Reciprocating Conveyors (AREA)
  • Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本発明は電子回路基板等の基板を加工する工程
で用いる基板搬送装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Field of Industrial Application The present invention relates to a substrate transport device used in a process of processing a substrate such as an electronic circuit board.

(ロ) 従来の技術 平行するガイドレールにより基板搬送ラインを
構成し、この基板搬送ラインに沿つて基板を移動
させつつ基板を加工する生産方式は、電子回路基
板組立工程において広く実用化されている。かか
る装置では、爪により基板を後続ステーシヨンへ
かき送つて行くことが多い。特開昭59−139414号
公報、実開昭61−187629号公報、同62−136443号
公報等にその例を見ることができる。また、ガイ
ドレールの一方を他方に対し間隔可変にして、異
なる幅の基板に対応させることも一般的である。
特開昭62−144207号公報、実開昭57−77213号公
報、同59−42066号公報等にその例がある。
(b) Conventional technology A production method in which a board transport line is configured with parallel guide rails and the board is processed while moving the board along this board transport line has been widely put into practical use in the electronic circuit board assembly process. . In such devices, claws often sweep the substrate to a subsequent station. Examples can be found in JP-A-59-139414, JP-A-61-187629, JP-A-62-136443, and the like. It is also common to have a variable spacing between one guide rail and the other to accommodate substrates of different widths.
Examples thereof include JP-A No. 62-144207, JP-A-57-77213, and JP-A-59-42066.

(ハ) 発明が解決しようとする問題点 基板搬送ライン中の基板を爪で押す場合、押す
位置が基板中心線から大きく偏つていると、基板
がこじられる形になり、基板送りがスムーズに行
かない場合が生じる。そこで、基板は常に中心線
近傍を押すようにしたい。ところで基板の幅が変
化した場合、ガイドレールの一方は動かず、もう
一方のみが動くため、基板の中心線の位置はその
都度変動することになる。そこで本発明は、基板
の幅が変わり基板中心線の位置がずれた場合、こ
れに追随して爪の位置を自動的に変化させること
のできる装置を提供しようとするものである。
(c) Problems to be solved by the invention When pushing a board in a board transport line with a claw, if the pushing position is far off from the center line of the board, the board will be twisted and the board will not be fed smoothly. There may be cases where this is not the case. Therefore, we want to always push the board near the center line. By the way, when the width of the board changes, one of the guide rails does not move and only the other moves, so the position of the center line of the board changes each time. SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a device that can automatically change the position of the claws in response to a change in the width of the board and a shift in the position of the center line of the board.

(ニ) 問題点を解決するための手段 本発明では、固定ガイドレール及び可動ガイド
レールからなる基板搬送ラインにスライダを並設
し、このスライダから基板送り用の爪を突出させ
る。スライダの支持フレームは基板搬送ラインと
直角に延びるスライド軌道上に設置する。このス
ライド軌道と平行に位置不動の固定ラツクを設
け、また可動ガイドレールの可動支持部材には、
同じくスライド軌道と平行に可動ラツクを取り付
ける。これら固定ラツクと可動ラツクとに、スラ
イダ支持フレームに枢着したピニオンをかみ合わ
せる。
(d) Means for Solving the Problems In the present invention, a slider is arranged in parallel to a substrate transport line consisting of a fixed guide rail and a movable guide rail, and a claw for feeding the substrate is made to protrude from the slider. The support frame of the slider is installed on a slide track extending perpendicularly to the substrate transport line. A stationary rack is provided parallel to this slide track, and the movable support member of the movable guide rail is
Similarly, install a movable rack parallel to the slide track. A pinion pivotally connected to the slider support frame is engaged with the fixed rack and the movable rack.

(ホ) 作用 基板の幅がW1なる値増減すると、可動ガイド
レールも固定ガイドレールに対しW1だけ間隔を
広げまたは狭める。可動ガイドレールに移動に伴
ない、可動ラツクによつて支持フレームのピニオ
ンに回転が与えられ、ピニオンは固定ラツクの上
を転がる。ピニオンの移動距離はW1/2、すな
わち支持フレームは可動ガイドレールの移動量の
半分だけ移動することになる。ところで基板の中
心線の位置も、固定ガイドレールから見てW1
2の距離変化しているから、結局爪の変位と基板
中心線の変位とが一致し、常に基板の中心線近傍
に爪を当接させることが可能となる。
(E) Effect When the width of the board increases or decreases by a value of W 1 , the distance between the movable guide rail and the fixed guide rail increases or decreases by W 1 . As the movable guide rail moves, rotation is imparted to the pinion of the support frame by the movable rack, and the pinion rolls on the fixed rack. The distance the pinion moves is W 1 /2, that is, the support frame moves by half the amount of movement of the movable guide rail. By the way, the position of the center line of the board is also W 1 / when viewed from the fixed guide rail.
Since the distance of 2 is changed, the displacement of the pawl and the displacement of the center line of the substrate eventually match, and it becomes possible to always bring the pawl into contact with the vicinity of the center line of the substrate.

(ヘ) 実施例 1は平行するガイドレールの間に基板を流す基
板搬送ラインである。基板搬送ライン1中、加工
ステーシヨン3に相当する個所は水平面内で2次
元移動する基板位置決め装置5により構成され、
それより上流側の部分はローデイングブリツジ
7、下流側の部分はアンローデイングブリツジ9
となつている。基板位置決め装置5は平行するガ
イドレール11,12を有し、ローデイングブリ
ツジ7、アンローデイングブリツジ9も同じく平
行するガイドレール13,14,15,16を有
する。ガイドレール11,13,15が一直線に
並び、またガイドレール12,14,16が一直
線に並ぶことにより、連続したガイドレール構造
が構成される。基板位置決め装置5は基板18を
受け渡す時のみローデイングブリツジ7とアンロ
ーデイングブリツジ9の間に入り込み、基板加工
時にはそこから抜き出して2次元移動を行なうも
のである。あるいは、この種基板搬送装置におい
て多く見受けられるように、ローデイングブリツ
ジ7とアンローデイングブリツジ9を互に遠ざけ
て基板位置決め装置5の移動空間を確保するよう
にしても良い。基板位置決め装置5には前縁用位
置基準部材20と後縁用位置基準部材21が設け
られる。前縁用位置基準部材20と後縁用位置基
準部材21は図示しない昇降機構によつて基板搬
送平面に持ち上げられ、また、そこから引き下げ
られる。前縁用位置基準部材20と後縁用位置基
準部材21は、これまた図示しない水平駆動機構
により水平方向の動きも与えられるものであり、
位置基準として選択されなかつた方の部材はこの
水平方向の動きにより他方の部材に基板18を押
しつける役割を果たす。ガイドレール13,1
4,15,16の内側にはそれぞれ基板搬送ベル
ト23,24を配置する。ローデイングブリツジ
7には基板搬送ベルト23によつて運ばれて来た
基板18を一定位置で待機させる基板ストツパ2
6を設ける。基板ストツパ26は、位置基準部材
20,21と同様、図示しない昇降機構によつて
基板搬送平面に持ち上げられ、また、そこから引
き下げられるものである。
(F) Embodiment 1 is a substrate transfer line in which substrates are passed between parallel guide rails. In the substrate transfer line 1, a portion corresponding to the processing station 3 is constituted by a substrate positioning device 5 that moves two-dimensionally within a horizontal plane.
The upstream part is the loading bridge 7, and the downstream part is the unloading bridge 9.
It is becoming. The substrate positioning device 5 has parallel guide rails 11, 12, and the loading bridge 7 and unloading bridge 9 also have parallel guide rails 13, 14, 15, 16. The guide rails 11, 13, and 15 are aligned in a straight line, and the guide rails 12, 14, and 16 are aligned in a straight line to form a continuous guide rail structure. The substrate positioning device 5 enters between the loading bridge 7 and the unloading bridge 9 only when transferring the substrate 18, and is extracted from there and moves two-dimensionally when processing the substrate. Alternatively, the loading bridge 7 and the unloading bridge 9 may be spaced apart from each other to ensure a movement space for the substrate positioning device 5, as is often seen in this type of substrate transfer device. The substrate positioning device 5 is provided with a leading edge position reference member 20 and a trailing edge position reference member 21 . The leading edge position reference member 20 and the trailing edge position reference member 21 are lifted onto the substrate transport plane by a lifting mechanism (not shown) and then lowered therefrom. The leading edge position reference member 20 and the trailing edge position reference member 21 are also given horizontal movement by a horizontal drive mechanism (not shown).
The member not selected as a position reference serves to press the substrate 18 against the other member by this horizontal movement. Guide rail 13,1
Substrate conveyor belts 23 and 24 are arranged inside the substrates 4, 15 and 16, respectively. The loading bridge 7 has a substrate stopper 2 for waiting the substrate 18 carried by the substrate conveyance belt 23 at a certain position.
6 will be provided. Like the position reference members 20 and 21, the substrate stopper 26 is lifted onto the substrate transport plane by an unillustrated elevating mechanism and then lowered from there.

30は基板搬送ライン1と平行してスライドす
るスライダである。スライダ30は矩形のベース
31を中心として組み立てられており、ベース3
1の上面には両端と中央に計3個の支持壁32を
固設し、その間に1対の平行な取付バー33を掛
け渡す。ベース31の下面にはボールスプライン
軸受34が固設されている。ボールスプライン軸
受34は支持フレーム35に支持したボールスプ
ライン軸36にスライド自在且つ回転不能に嵌合
する。従つてボールスプライン軸36を回動させ
ればその軸線まわりにスライダ30も回動する。
第2図に示すように、ボールスプライン軸36の
一端にはレバー37を固定する。レバー37の先
端と支持フレーム35との間には引張コイルばね
38を張り渡し、ボールスプライン軸36に一方
向への回動力を与える。支持フレーム35にはま
た、エアシリンダ39を枢支し、このエアシリン
ダ39のロツド40をレバー37に連結し、ロツ
ド40を伸長させることにより、引張コイルばね
38に抗しボールスプライン軸36を逆方向に回
動させる。このボールスプライン軸36の回動
が、後述する爪の昇降をもたらすものである。4
1,42はスライダ30に連結した引張コイルば
ねとワイヤで、引張コイルばね41によりスライ
ダ30を下流方向へ引き、ワイヤ42でこれを上
流に引き戻すことにより、スライダ30に基板送
り方向の直線往復動が与えられるものである。
30 is a slider that slides parallel to the substrate transport line 1. The slider 30 is assembled around a rectangular base 31.
A total of three supporting walls 32 are fixedly installed on the upper surface of the device 1 at both ends and the center, and a pair of parallel mounting bars 33 are spanned between them. A ball spline bearing 34 is fixed to the lower surface of the base 31. The ball spline bearing 34 is slidably and non-rotatably fitted into a ball spline shaft 36 supported by a support frame 35. Therefore, when the ball spline shaft 36 is rotated, the slider 30 is also rotated about the axis.
As shown in FIG. 2, a lever 37 is fixed to one end of the ball spline shaft 36. As shown in FIG. A tension coil spring 38 is stretched between the tip of the lever 37 and the support frame 35 to apply rotational force to the ball spline shaft 36 in one direction. The support frame 35 also pivotally supports an air cylinder 39. A rod 40 of the air cylinder 39 is connected to a lever 37, and by extending the rod 40, the ball spline shaft 36 is reversed against the tension coil spring 38. direction. This rotation of the ball spline shaft 36 causes the claws to move up and down, which will be described later. 4
1 and 42 are tension coil springs and wires connected to the slider 30. By pulling the slider 30 downstream with the tension coil spring 41 and pulling it back upstream with the wire 42, the slider 30 is given linear reciprocating motion in the substrate feeding direction. is given.

取付バー33には上流側より順に第1爪50、
第2爪51、第3爪52を装着する。各爪は基板
搬送ライン1の中央位置に延び出し、下向きに折
れ曲がつた先端部で基板18の中心線近傍を押し
て、基板18の送り込み、送り出しを行なう。
The mounting bar 33 has a first claw 50 in order from the upstream side.
The second claw 51 and third claw 52 are attached. Each pawl extends to the center of the substrate transport line 1, and pushes the substrate 18 near the center line with its downwardly bent tip to feed and unload the substrate 18.

前記ガイドレールのうち、スライダ30から遠
い方のガイドレール11,13,15は、基板搬
送幅の変更に関与しないという意味での固定ガイ
ドレールであり、近い方のガイドレール12,1
4,16は、固定ガイドレール11,13,15
との間隔を変更可能な可動ガイドレールとなつて
いる。
Among the guide rails, the guide rails 11, 13, and 15 that are farther from the slider 30 are fixed guide rails in the sense that they do not participate in changing the substrate transfer width, and the guide rails 12, 1 that are closer to the slider 30 are
4, 16 are fixed guide rails 11, 13, 15
It is a movable guide rail that allows you to change the distance between the two.

支持フレーム35は、基板搬送ライン1と直角
に延びるスライド軌道60上に支持されている。
すなわち支持フレーム35は、スライダ30と直
角の方向にスライド可能である。基板搬送ライン
1を支えるテーブル面にはスライド軌道60と平
行に固定ラツク61を固着する。また可動ガイド
レール14を支える可動支持部材62には、これ
もスライド軌道60と平行に、可動ラツク63を
固定する。可動ラツク63と固定ラツク61は上
下向かい合う位置にあり、その間にピニオン64
を挾み込んで、ラツク61,63の歯部に対しピ
ニオン64の歯部を同時にかみ合わせている。ピ
ニオン63は支持フレーム35に枢着した片持軸
65に固定する。可動支持部材62からは被駆動
ラツク66が突出し、駆動軸67のピニオン68
にかみ合う。駆動軸67は図示しない電動機によ
つて回転せしめられ、これによつて可動支持部材
62に移動が生じる。可動ガイドレール16の移
動機構、また可動ガイドレール16と支持フレー
ム35の間の運動伝達機構も上記と同様に構成さ
れる。可動ガイドレール12は、可動ガイドレー
ル14,16に連結して間隔変更の動きを与えら
れるが、その機構についての説明はここでは省略
する。
The support frame 35 is supported on a slide track 60 extending perpendicularly to the substrate transport line 1 .
That is, the support frame 35 is slidable in a direction perpendicular to the slider 30. A fixing rack 61 is fixed to the table surface supporting the substrate transport line 1 in parallel to the slide track 60. Further, a movable rack 63 is fixed to a movable support member 62 that supports the movable guide rail 14, also in parallel with the slide track 60. The movable rack 63 and the fixed rack 61 are located vertically facing each other, and the pinion 64 is placed between them.
The teeth of the pinion 64 are simultaneously engaged with the teeth of the racks 61 and 63. The pinion 63 is fixed to a cantilever shaft 65 pivotally connected to the support frame 35. A driven rack 66 protrudes from the movable support member 62, and a pinion 68 of the drive shaft 67
Engage with each other. The drive shaft 67 is rotated by an electric motor (not shown), thereby causing the movable support member 62 to move. The movement mechanism of the movable guide rail 16 and the motion transmission mechanism between the movable guide rail 16 and the support frame 35 are also constructed in the same manner as described above. The movable guide rail 12 is connected to the movable guide rails 14 and 16 and given movement to change the distance, but a description of the mechanism will be omitted here.

次に動作を説明する。第5図において、基板1
8はW0なる幅を有しており、基板搬送ライン1
の幅もそれに合わせて調整されている。基板位置
決め装置5の上の基板18は加工済であり、ロー
デイングブリツジ7の上の基板18には未だ加工
が施されていない。位置基準部材20,21及び
基板ストツパ26は当初基板搬送平面に先端を突
き出しているが、基板18の送り込み・送り出し
を行なう段階では基板搬送平面の下へ沈み込む。
第1・第2・第3爪50,51,52は、基板搬
送平面の上に持ち上げられていたものが、位置基
準部材20,21及び基板ストツパ26と入れ替
わりに降下し、第1爪50はローデイングブリツ
ジ7上の基板18の直後に、第2爪51は同じ基
板18の直前に、第3爪52は基板位置決め装置
5上の基板18の直後に、それぞれ位置を占め
る。第1・第2・第3爪50,51,52の先端
は、固定ガイドレール11,13,15の側から
約W0/2離れている。この状態でワイヤ42を
繰り出すと、スライダ30はばね41に引かれて
スライドし、第1爪50と第2爪51は未加工の
基板18を挾んで基板位置決め位置へ送り込み、
第3爪52は基板位置決め装置5から加工済の基
板18をアンローデイングブリツジ9へ送り出
す。その後第1・第2・第3爪50,51,52
は持ち上げられ、スライダ30は旧位置に復す
る。位置基準部材20,21と基板ストツパ26
は基板搬送平面に浮上する。位置基準部材20,
21は、一方が位置基準となつて静止基準を保
ち、他方がこれに基板18を押しつける。基板ス
トツパ26は基板搬送ベルト23によつて運ばれ
て来た基板18を受け止める。基板搬送ベルト2
4は加工済の基板18を運び去る。加工ステーシ
ヨン3においては、基板位置決め装置5がローデ
イングブリツジ7とアンローデイングブリツジ9
の間から抜け出し、基板18の所定個所を加工用
工具の下に位置される。第1図には、加工用工具
の一例として、基板18に塗布した接着剤にチツ
プ状電子部品70を押しつける真空チヤツク71
が描かれている。
Next, the operation will be explained. In FIG. 5, the substrate 1
8 has a width of W 0 , and the substrate transfer line 1
The width has also been adjusted accordingly. The substrate 18 on the substrate positioning device 5 has been processed, and the substrate 18 on the loading bridge 7 has not been processed yet. Initially, the position reference members 20, 21 and the substrate stopper 26 have their tips protruding from the substrate transport plane, but sink below the substrate transport plane at the stage of feeding and unfeeding the substrate 18.
The first, second, and third claws 50, 51, and 52, which had been lifted above the substrate transport plane, are lowered to replace the position reference members 20, 21 and the substrate stopper 26, and the first claw 50 is The second claw 51 is located immediately after the substrate 18 on the loading bridge 7, the second claw 51 is located immediately in front of the same substrate 18, and the third claw 52 is located immediately after the substrate 18 on the substrate positioning device 5. The tips of the first, second, and third claws 50, 51, and 52 are spaced apart from the fixed guide rails 11, 13, and 15 by approximately W 0 /2. When the wire 42 is fed out in this state, the slider 30 is pulled by the spring 41 and slides, and the first claw 50 and the second claw 51 sandwich the unprocessed board 18 and send it to the board positioning position.
The third claw 52 feeds the processed substrate 18 from the substrate positioning device 5 to the unloading bridge 9. After that, the first, second and third claws 50, 51, 52
is lifted and the slider 30 returns to its old position. Position reference members 20, 21 and board stopper 26
floats on the substrate transport plane. position reference member 20,
21, one of which serves as a positional reference to maintain a stationary reference, and the other to which the substrate 18 is pressed. The substrate stopper 26 receives the substrate 18 carried by the substrate conveyance belt 23. Board conveyor belt 2
4 carries away the processed substrate 18. In the processing station 3, a substrate positioning device 5 is connected to a loading bridge 7 and an unloading bridge 9.
Then, a predetermined portion of the substrate 18 is placed under the processing tool. FIG. 1 shows, as an example of a processing tool, a vacuum chuck 71 for pressing a chip-shaped electronic component 70 onto an adhesive applied to a substrate 18.
is depicted.

第6図は、より幅広の基板18′を扱うことに
なつた時の状況を示す。基板18′の幅W2は基板
18の幅W0よりもW1だけ大きい。その分可動ガ
イドレール12,14,16が移動した訳である
が、移動に伴なつて可動ラツク63はピニオン6
4を固定ラツク61の上で転がす。機構学の教え
る通り、ピニオン64は可動ラツク63の移動量
1/2の距離だけ移動する。従つてこの場合、支持
フレーム35はW1/2の距離を移動する。これ
に伴なつて固定ガイドレール11,13,15の
側と第1・第2・第3爪50,51,52の先端
とはW2/2離れることにより、基板中心線の変
位に各爪の先端は正しく追随したことになる。
FIG. 6 shows the situation when it comes to handling a wider substrate 18'. The width W 2 of the substrate 18' is greater than the width W 0 of the substrate 18 by W 1 . The movable guide rails 12, 14, and 16 have moved by that amount, but as they move, the movable rack 63 is moved by the pinion 6.
4 on the fixed rack 61. As mechanics teaches, the pinion 64 moves by a distance equal to 1/2 the amount of movement of the movable rack 63. Therefore, in this case, the support frame 35 moves a distance of W 1 /2. Along with this, the fixed guide rails 11, 13, 15 and the tips of the first, second, and third claws 50, 51, and 52 are separated by W 2 /2, so that each claw is This means that the tip of has followed correctly.

なお本実施例においては単一のピニオン64を
固定ラツク61と可動ラツク63にかみ合わせて
いるが、スペースの関係で固定ラツク61と可動
ラツク63を向かい合わせに配置できない場合
は、単一の軸に歯数とピツチ円直径の等しい2個
のピニオンを固定し、1方のピニオンを固定ラツ
クにかみ合わせ、他方のピニオンを可動ラツクに
かみ合わせても、同じ動きを得ることができる。
In this embodiment, a single pinion 64 is engaged with the fixed rack 61 and the movable rack 63, but if the fixed rack 61 and the movable rack 63 cannot be placed facing each other due to space limitations, they may be engaged with a single pinion 64 on a single shaft. The same movement can be obtained by fixing two pinions with the same number of teeth and pitch circle diameter, and meshing one pinion with a fixed rack and the other pinion with a movable rack.

(ト) 発明の効果 本発明によれば、可動ガイドレールの移動に伴
なつて爪がその半分の距離だけ自動的に移動する
から、基板の幅如何にかかわらず、基板における
爪の当接個所を常に一定の寸法比の位置に、好ま
しくは基板の中心線近傍に保つことが可能とな
り、基板送り動作を円滑に遂行することができ
る。
(G) Effects of the Invention According to the present invention, as the movable guide rail moves, the claw automatically moves by half the distance, so the contact point of the claw on the board can be adjusted regardless of the width of the board. It is possible to always maintain the substrate at a constant dimensional ratio, preferably near the center line of the substrate, and the substrate feeding operation can be carried out smoothly.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図は本発明の一実施例を示し、第1図は装置上
部の構成を示す斜視図、第2図は第1図とは逆の
方向から見た要部斜視図、第3図はスライダ支持
フレームの移動機構を示す斜視図、第4図は部分
拡大正面図、第5図及び第6図は基板幅と爪位置
との対応関係を説明する上面図である。 18,18′……基板、1……基板搬送ライン、
11,13,15……固定ガイドレール、12,
14,16……可動ガイドレール、30……スラ
イダ、50……第1爪、51……第2爪、52…
…第3爪、35……支持フレーム、60……スラ
イド軌道、61……固定ラツク、62……可動支
持部材、63……可動ラツク、64……ピニオ
ン。
The drawings show one embodiment of the present invention, in which Fig. 1 is a perspective view showing the structure of the upper part of the device, Fig. 2 is a perspective view of the main part seen from the opposite direction to Fig. 1, and Fig. 3 is a slider support. FIG. 4 is a perspective view showing the frame moving mechanism, FIG. 4 is a partially enlarged front view, and FIGS. 5 and 6 are top views illustrating the correspondence between the substrate width and the claw position. 18, 18'...Substrate, 1...Substrate transfer line,
11, 13, 15...Fixed guide rail, 12,
14, 16...Movable guide rail, 30...Slider, 50...First claw, 51...Second claw, 52...
...Third pawl, 35...Support frame, 60...Slide track, 61...Fixed rack, 62...Movable support member, 63...Movable rack, 64...Pinion.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 固定ガイドレール及び、これに対し間隔可変
の可動ガイドレールからなる基板搬送ラインにス
ライダを並設し、このスライダから突出した爪を
基板搬送ライン上の基板に係合させて基板送りを
行なうものにおいて、 前記スライダを支持する支持フレームを、基板
搬送ラインと直角に延びるスライド軌道上に設置
すると共に、位置不動の固定ラツクと、前記可動
ガイドレールの可動支持部材に取り付けた可動ラ
ツクとを、それぞれ前記スライド軌道と平行に配
置し、これら固定ラツクと可動ラツクとに、前記
支持フレームに枢着したピニオンをかみ合わせて
なる基板搬送装置。
[Scope of Claims] 1. A slider is arranged in parallel on a substrate transfer line consisting of a fixed guide rail and a movable guide rail whose interval is variable, and a claw protruding from the slider is engaged with a substrate on the substrate transfer line. A support frame for supporting the slider is installed on a slide track extending at right angles to the substrate transport line, and is attached to a stationary fixed rack and a movable support member of the movable guide rail. A substrate transfer device comprising movable racks arranged parallel to the slide track, and a pinion pivotally connected to the support frame engaged with the fixed rack and the movable rack.
JP63054169A 1988-03-08 1988-03-08 Substrate conveying device Granted JPH01228734A (en)

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