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JPH0532917B2 - - Google Patents
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JPH0532917B2 - - Google Patents

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JPH0532917B2
JPH0532917B2 JP57131186A JP13118682A JPH0532917B2 JP H0532917 B2 JPH0532917 B2 JP H0532917B2 JP 57131186 A JP57131186 A JP 57131186A JP 13118682 A JP13118682 A JP 13118682A JP H0532917 B2 JPH0532917 B2 JP H0532917B2
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JP
Japan
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semiconductor laser
temperature
fixed
heating element
laser element
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Yoshinori Sugiura
Junji Ichikawa
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体レーザ素子からの出射光の波長
変動を少なくすることが出来る半導体レーザ装置
に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a semiconductor laser device that can reduce wavelength fluctuations of light emitted from a semiconductor laser element.

半導体レーザ素子は周囲温度の変化に伴ない光
出力の変動を生じるばかりか、レーザ発振波長の
シフトが生じる。
Semiconductor laser elements not only experience fluctuations in optical output due to changes in ambient temperature, but also shifts in laser oscillation wavelength.

これらのことから、半導体レーザ素子を画像記
録等に用いる場合は、装置に使用される感光体の
感度の波長依存性が大きな問題となる。
For these reasons, when a semiconductor laser element is used for image recording or the like, the wavelength dependence of the sensitivity of the photoreceptor used in the device becomes a major problem.

従来より、光通信等の分野で半導体レーザ素子
を光源として用いることは広く行なわれている。
かかる場合に於いて、半導体レーザの光出力を一
定パワーに保つ、Auto Power Control(以下
APCと呼ぶ)を採用する事が多い。
Conventionally, semiconductor laser elements have been widely used as light sources in fields such as optical communications.
In such cases, Auto Power Control (hereinafter referred to as
(called APC) is often adopted.

このようなAPCに用いる光検出器としては、
使用の容易さの点等から半導体光電変換素子が多
用されているが、半導体の光検出器を用いた場
合、光検出器自体の特性の温度変化があり、精度
の良い制御の妨げとなる。
The photodetector used for such APC is
Semiconductor photoelectric conversion elements are often used due to their ease of use, but when a semiconductor photodetector is used, the characteristics of the photodetector itself change with temperature, which hinders accurate control.

特に半導体レーザの発する赤外光領域において
は、光検出器の温度による検出感度変化が著し
い。従つて、精度の良い光量制御を行なう為に
は、光検出器自体も恒温槽に入れる等の温度制御
を行なう事が好ましいものである。
Particularly in the infrared light region emitted by a semiconductor laser, the detection sensitivity changes significantly depending on the temperature of the photodetector. Therefore, in order to control the amount of light with high precision, it is preferable to control the temperature of the photodetector itself by placing it in a constant temperature bath.

しかし、温度の影響を受け易い半導体レーザ素
子の温度調整に、感温素子で検出した温度に応じ
て、温度制御素子を制御する温調回路を用いた場
合、回路の暴走によつて温度が異常に高くなり、
半導体レーザ素子の寿命を著しく縮めたり、さら
には、半導体レーザ素子を破壊してしまうおそれ
があつた。
However, when a temperature control circuit that controls the temperature control element according to the temperature detected by the temperature sensing element is used to adjust the temperature of a semiconductor laser element that is easily affected by temperature, the temperature may become abnormal due to runaway of the circuit. becomes high,
There was a risk that the life of the semiconductor laser device would be significantly shortened, and furthermore, the semiconductor laser device would be destroyed.

さらに、温調回路によつて温度調整を行う場
合、しばしば温度リツプル、すなわちインパルス
状に温度が変化する現象が生じる。該温度リツプ
ルによつて、温度に敏感な半導体レーザ素子の発
光波長が急激に変化したり、極端な場合には半導
体レーザ素子が破壊することも考えられる。ま
た、温度リツプルの少ない温調回路を構成しよう
とすると、その回路構成は複雑で高価なものにな
つた。
Furthermore, when temperature is adjusted using a temperature control circuit, a temperature ripple, that is, a phenomenon in which the temperature changes in an impulse manner, often occurs. The temperature ripple may cause the emission wavelength of the temperature-sensitive semiconductor laser device to change rapidly, or in extreme cases, the semiconductor laser device may be destroyed. Furthermore, when attempting to construct a temperature control circuit with less temperature ripple, the circuit configuration became complicated and expensive.

また、半導体レーザ素子の出力光の一部を光検
出器に入射させるためには出力光をハーフミラー
で分割する等の光学装置をも必要とするので上述
の如き制御を別個に行なうと半導体レーザ装置の
構成が複雑となる。
In addition, in order to make a part of the output light of the semiconductor laser element enter the photodetector, an optical device such as a half mirror is required to split the output light, so if the above control is performed separately, the semiconductor laser The device configuration becomes complicated.

本発明はかかる複雑な構成を用いる事なく、温
度特性の良好な半導体レーザ装置を提供するもの
である。
The present invention provides a semiconductor laser device with good temperature characteristics without using such a complicated structure.

以下、本発明に係る一実施例の半導体レーザ装
置を図面を参照して詳細に説明する。
Hereinafter, a semiconductor laser device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は本発明の実施例であつて、半導体レー
ザ素子をメタルキヤンタイプICケース内に収容
した場合の断面図であり、図面の都合上各素子の
リード線は省略してある。
FIG. 1 is a cross-sectional view of an embodiment of the present invention in which a semiconductor laser element is housed in a metal can type IC case, and lead wires of each element are omitted for convenience of drawing.

1で示すのはメタルキヤンタイプのICケース
であり、このケース1は金属より成る基台部2と
該基台部2と一体に設けた円筒部3より成るもの
である。かかる円筒部3の一端はガラス4により
封止されており、円筒部3と基台部2とガラス4
により密閉空間を形成するものである。
1 is a metal can type IC case, and this case 1 consists of a base part 2 made of metal and a cylindrical part 3 provided integrally with the base part 2. One end of the cylindrical portion 3 is sealed with a glass 4, and the cylindrical portion 3, the base portion 2, and the glass 4 are sealed.
This creates a closed space.

かかる密閉空間内には、その一部を前記円筒部
3及び基台部2に固定した断熱ブロツク5を設
け、この断熱ブロツク5上には発熱素子7が固定
されている。前記発熱素子7は、例えば正特性サ
ーミスタ等の自己温度制御形発熱素子が用いられ
る。
A heat insulating block 5 whose part is fixed to the cylindrical part 3 and the base part 2 is provided in this sealed space, and a heat generating element 7 is fixed onto this heat insulating block 5. As the heating element 7, a self-temperature-controlled heating element such as a positive temperature coefficient thermistor is used.

従つて発熱素子7は断熱ブロツク5によつて外
界からの熱が遮断されていて、なおかつ自分自身
で一定温度になるよう電流値が制御されるため、
より安定した温度に保つことが可能になる。一方
前記発熱素子7上には熱良導材9が密着固定さ
れ、その上に半導体レーザ素子10が載置固定さ
れている。かかる半導体レーザ素子10は例えば
第2図に示す如く、正電極用コンタクト11、P
層12、N層13、負電極用コンタクト14を積
層して構成したものであり、前記コンタクト1
1,14間に電源を印加することにより、レーザ
光L1,L2を放射するものである。
Therefore, the heating element 7 is shielded from heat from the outside world by the heat insulating block 5, and the current value is controlled so that it maintains a constant temperature by itself.
It becomes possible to maintain a more stable temperature. On the other hand, a thermally conductive material 9 is closely fixed on the heating element 7, and a semiconductor laser element 10 is mounted and fixed thereon. For example, as shown in FIG. 2, such a semiconductor laser element 10 has a positive electrode contact 11, P
It is constructed by laminating a layer 12, an N layer 13, and a negative electrode contact 14, and the contact 1
By applying power between 1 and 14, laser beams L 1 and L 2 are emitted.

第1図において、半導体レーザ素子10はレー
ザ光L1が前記ガラス4に向つて放射される如く
固定するものであるが、かかる熱良導材9上にお
いてレーザ光L2の光路上には該レーザ光L2を受
光する如く、フオトダイオードの如き光検出器1
1を載置する。13−1で示すのはケース1内に
収納された素子を外部回路に接続する為のピンで
ある。但し、ケース内の素子と前記ピンとを接続
する接続線は図面の繁雑化を妨ぐ為に図示してい
ない。
In FIG. 1, the semiconductor laser element 10 is fixed so that the laser beam L 1 is emitted toward the glass 4, but there is no space on the optical path of the laser beam L 2 on the thermally conductive material 9. A photodetector 1 , such as a photodiode, for receiving laser light L2
Place 1. Reference numeral 13-1 indicates a pin for connecting an element housed in the case 1 to an external circuit. However, connection lines connecting the elements inside the case and the pins are not shown in order to avoid complication of the drawings.

第3図で示すのは前述の如き半導体レーザ装置
の制御回路を示すものであり、14−1で示すの
は前記光検出器11で検出した検出信号により、
前記半導体レーザ素子10を駆動する駆動電源を
制御して、レーザ光L1,L2が常に一定となる如
く制御する光量制御回路である。
FIG. 3 shows the control circuit of the semiconductor laser device as described above, and 14-1 indicates the detection signal detected by the photodetector 11.
This is a light amount control circuit that controls the driving power source for driving the semiconductor laser element 10 so that the laser beams L 1 and L 2 are always constant.

15は発熱素子7の電源で、電源からほぼ一定
の電圧を供給する。このことにより発熱素子7は
自分自身で一定温度になる様に電流がコントロー
ルされる。
Reference numeral 15 denotes a power source for the heating element 7, which supplies a substantially constant voltage from the power source. As a result, the current is controlled so that the heating element 7 maintains a constant temperature by itself.

以上の如き構成によれば、出力レーザ光L1
周囲温度変化、半導体レーザ素子の経年変化によ
らず常に一定の出力で一定の発振波長とすること
ができ、また光検出器を同一の発熱素子上に載置
することで極めて正確に制御することができる。
According to the above configuration, the output laser beam L1 can always have a constant output and a constant oscillation wavelength regardless of changes in ambient temperature or aging of the semiconductor laser element, and the photodetector can be kept at a constant oscillation wavelength regardless of changes in ambient temperature or aging of the semiconductor laser element. By placing it on the element, it can be controlled extremely accurately.

なお、本実施例は必ずしも第1図の如きケース
を用いなくても良いが第1図の構成ではケース全
体を放熱面として利用出来る。又、ケース内部を
真空封じとすれば、ガラス面の露結防止に有効で
ある。
Note that this embodiment does not necessarily need to use a case as shown in FIG. 1, but in the configuration shown in FIG. 1, the entire case can be used as a heat dissipation surface. Furthermore, if the inside of the case is vacuum sealed, it is effective in preventing dew condensation on the glass surface.

第4図は他の実施例を示したもので、比較的温
度依存性の少ない光検出器を用いることにより、
半導体レーザ素子のみを発熱素子端部上に載置固
定した例を示すものである。
FIG. 4 shows another embodiment, in which a photodetector with relatively little temperature dependence is used.
This shows an example in which only a semiconductor laser element is placed and fixed on the end of a heat generating element.

半導体レーザ素子をメタルキヤンタイプICケ
ース内に収容した場合の断面図であり、図面の都
合上各素子のリード線は省略してある。19で示
すのはメタルキヤンタイプのICケースでありこ
のケース19は金属より成る基台部22と該基台
部22と一体に設けた円筒部23より成る。かか
る円筒部23の一端はガラス24により封止され
ており、円筒部23と基台部22とガラス24に
より密閉空間が形成されている。かかる密閉空間
内にはその一部を前記円筒部23及び基台部22
に固定した断熱ブロツク25を設け、この断熱ブ
ロツク25上には発熱素子27が固定される。こ
の発熱素子は一定電圧を印加すると自分自身で一
定温度になる様電流コントロールするところの例
えば正特性サーミスタ等の自己温度制御発熱素子
が用いられる。熱良導材29は前記発熱素子27
に密着固定されその上には半導体レーザ素子20
を載置固定する。
It is a cross-sectional view of a semiconductor laser element housed in a metal can type IC case, and lead wires of each element are omitted for convenience of drawing. Reference numeral 19 indicates a metal can type IC case, and this case 19 is composed of a base portion 22 made of metal and a cylindrical portion 23 provided integrally with the base portion 22. One end of the cylindrical portion 23 is sealed with a glass 24, and the cylindrical portion 23, the base portion 22, and the glass 24 form a sealed space. A portion of the sealed space includes the cylindrical portion 23 and the base portion 22.
A heat insulating block 25 is fixed to the heat insulating block 25, and a heating element 27 is fixed on the heat insulating block 25. As this heating element, a self-temperature control heating element such as a positive temperature coefficient thermistor is used, which controls its own current so that a constant temperature is maintained when a constant voltage is applied. The heat conductive material 29 is the heating element 27
A semiconductor laser element 20 is mounted on the semiconductor laser element 20.
Place and fix.

前記半導体レーザ素子より発せられた光L2
受光するためのフオトタイオードの如き光検出器
21は、基台部22上に設置された基板30上に
載置する。
A photodetector 21 such as a photodiode for receiving the light L 2 emitted from the semiconductor laser element is placed on a substrate 30 placed on the base 22 .

この方式によれば発熱素子27は半導体レーザ
素子20のみを加熱するだけでよく、発熱エネル
ギーが少なくて済み、また熱容量も少なくするこ
とが可能なため応答のよい温度コントロールが可
能となる。
According to this method, the heating element 27 only needs to heat the semiconductor laser element 20, which requires less heat generation energy and can also reduce the heat capacity, making it possible to control the temperature with good response.

以上述べた如く、本実施例によればレーザ光は
周囲温度の影響を受けることなく、又経年変化等
の影響を受けることなく略一定の波長となるもの
である。
As described above, according to this embodiment, the laser light has a substantially constant wavelength without being affected by the ambient temperature or by aging.

以上説明したように、本実施例によれば、半導
体レーザ素子と、自己発熱制御形発熱素子とを、
断熱ブロツク上に配置することによつて、以下の
ような顕著な作用効果を得ることができる。
As explained above, according to this embodiment, the semiconductor laser element and the self-heating control type heating element are
By arranging it on a heat insulating block, the following remarkable effects can be obtained.

(イ) 封止容器を通して、外部から与えられる温度
変化の影響を減少させ、かつ、発熱素子から発
生した熱が、外部へ発散するのを防止して、効
率のよい温度調整を実現できる。
(a) Efficient temperature control can be achieved by reducing the influence of temperature changes applied from the outside through the sealed container and preventing the heat generated from the heating element from dissipating to the outside.

以上説明したように、本発明によれば、半導体
レーザ素子の温度制御に、自己温度制御形発熱素
子を用いたことによつて、以下のような顕著な作
用効果を得ることができる。
As explained above, according to the present invention, the following remarkable effects can be obtained by using a self-temperature-controlled heating element to control the temperature of a semiconductor laser element.

(ロ) 温度の影響を受け易い半導体レーザ素子の温
度調整に、感温素子で検出した温度に応じて、
温度制御素子を制御する温調回路を用いた場
合、回路の暴走によつて温度が異常に高くな
り、半導体レーザ素子の寿命を著しく縮めた
り、さらには、半導体レーザ素子を破壊してし
まうおそれがあつた。本発明においては、温調
回路が不要な自己温度制御形発熱素子を用いる
ので、上記のような回路の暴走による異常高温
によつて、半導体レーザ素子を劣化、破壊する
おそれがない、半導体レーザ素子の温度調整
を、常に該発熱素子を動作させておくだけで行
うことができる。
(b) To adjust the temperature of semiconductor laser elements that are easily affected by temperature, depending on the temperature detected by the temperature sensing element,
If a temperature control circuit is used to control the temperature control element, the temperature may become abnormally high due to runaway of the circuit, which may significantly shorten the life of the semiconductor laser element or even destroy the semiconductor laser element. It was hot. In the present invention, since a self-temperature-controlled heating element that does not require a temperature control circuit is used, the semiconductor laser element is free from the risk of deterioration or destruction due to abnormally high temperatures caused by runaway circuits as described above. The temperature can be adjusted by simply keeping the heating element in operation at all times.

(ハ) 温調回路によつて温度調整を行う場合、しば
しば温度リツプル、すなわちインパルス状に温
度が変化する現象が生じる。該温度リツプルに
よつて、温度に敏感な半導体レーザ素子の発光
波長が急激に変化したり、極端な場合には半導
体レーザ素子が破壊することも考えられる。ま
た、温度リツプルの少ない温調回路を構成しよ
うとすると、その回路構成は複雑で高価なもの
になる。これに対して、本発明は、温度リツプ
ルが発生しないという素子固有の特徴をもつた
自己温度制御形発熱素子を用いるので、簡単で
安価な構成によつて、上記のような発光波長の
変動などを防止することができる。
(c) When temperature is adjusted using a temperature control circuit, a temperature ripple, that is, a phenomenon in which the temperature changes in an impulse manner, often occurs. The temperature ripple may cause the emission wavelength of the temperature-sensitive semiconductor laser device to change rapidly, or in extreme cases, the semiconductor laser device may be destroyed. Furthermore, if an attempt is made to configure a temperature control circuit with less temperature ripple, the circuit configuration will be complicated and expensive. In contrast, the present invention uses a self-temperature-controlled heating element that has a unique characteristic of not generating temperature ripples, so it has a simple and inexpensive configuration, and thus the fluctuation of the emission wavelength as described above can be avoided. can be prevented.

以上のように、自己発熱制御形発熱素子は、温
度の影響を受け易い半導体レーザ素子の温度調整
に特に適したもので、自己発熱制御形発熱素子と
半導体レーザ素子の組合せによつて、上記のよう
な格別な効果を得ることができる。
As described above, the self-heating controlled heating element is particularly suitable for adjusting the temperature of a semiconductor laser element that is easily affected by temperature.The combination of the self-heating controlled heating element and the semiconductor laser element enables You can get extraordinary effects like this.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明による半導体レーザ装置を示す
一部断面斜視図、第2図は半導体レーザ素子を示
す斜視図、第3図は半導体レーザ装置の制御回路
図、第4図は他の実施例による半導体レーザ装置
を示す一部断面斜視図である。ここで5,25は
断熱ブロツク、7,27は発熱素子、9,29は
熱良導材、10,20は半導体レーザ素子、L1
L2はレーザ光、11,21は光検出器である。
FIG. 1 is a partially cross-sectional perspective view showing a semiconductor laser device according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a semiconductor laser element, FIG. 3 is a control circuit diagram of the semiconductor laser device, and FIG. 4 is another embodiment. 1 is a partially cross-sectional perspective view showing a semiconductor laser device according to the present invention. Here, 5 and 25 are heat insulating blocks, 7 and 27 are heating elements, 9 and 29 are heat conductive materials, 10 and 20 are semiconductor laser elements, L 1 ,
L 2 is a laser beam, and 11 and 21 are photodetectors.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 封止容器内に半導体レーザ素子が内蔵されて
成る半導体レーザ装置において、前記封止容器内
に固定された断熱ブロツクと、該ブロツク上に固
定された自己温度制御形発熱素子と、該発熱素子
上に密着固定された熱良導材とを備え、前記半導
体レーザ素子が、前記熱良導材上に載置固定され
たことを特徴とする半導体レーザ装置。 2 封止容器内に半導体レーザ素子及び該半導体
レーザ素子からの出射光を受光する光検出素子が
内蔵されて成る半導体レーザ装置において、前記
封止容器内に固定された断熱ブロツクと、該ブロ
ツク上に固定された自己温度制御形発熱素子と、
該発熱素子上に密着固定された熱良導材とを備
え、前記半導体レーザ素子及び前記光検出素子
が、前記熱良導材上に載置固定されたことを特徴
とする半導体レーザ装置。
[Scope of Claims] 1. A semiconductor laser device in which a semiconductor laser element is housed in a sealed container, comprising: a heat insulating block fixed in the sealed container; and a self-temperature-controlled heat generating device fixed on the block. What is claimed is: 1. A semiconductor laser device comprising: an element; and a thermally conductive material closely fixed on the heating element, the semiconductor laser element being placed and fixed on the thermally conductive material. 2. In a semiconductor laser device in which a semiconductor laser element and a photodetection element that receives light emitted from the semiconductor laser element are built in a sealed container, a heat insulating block fixed in the sealed container and a a self-temperature-controlled heating element fixed to the
A semiconductor laser device comprising: a thermally conductive material closely fixed on the heat generating element; and the semiconductor laser element and the photodetector element are mounted and fixed on the thermally conductive material.
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JPS5922381A JPS5922381A (en) 1984-02-04
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