JPH0549866B2

JPH0549866B2 -

Info

Publication number: JPH0549866B2
Application number: JP42490A
Authority: JP
Inventors: Norikimi Irie; Toshio Sawa; Juzo Hayashi; Toshiro Katagiri
Original assignee: Irie Koken Co Ltd
Current assignee: Irie Koken Co Ltd
Priority date: 1990-01-08
Filing date: 1990-01-08
Publication date: 1993-07-27
Also published as: EP0436770B1; DE69014094T2; DE69014094D1; EP0436770A1; JPH03204483A

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、無しゆう動真空ゲートバルブに関す
るものである。

従来の技術半導体の高度集積化や、構造の多様、複雑化が
進むに従つて、その製造工程における雰囲気の清
浄度の保持に対する要求は、益々高くなつて来て
いる。

ゲートバルブは、半導体製造設備の構成部材と
して欠くことの出来ない要素部品であるが、その
弁体の開閉動作のために必要とされる機構のかな
りの部分が、真空領域内に設けられている。例え
ば、弁体のパツキンを弁座に押圧して、それらの
間にシールを保持するための力を伝達するための
機構としては、例えば、リンク機構を使用したも
のや、くさびを押し込む形式のものや、ころを使
用したものなどが知られているが、これらの機構
は、原則として、真空領域内に設置されている。
また、弁体を操作するための弁棒の途中に、その
ストロークを吸収するためにリンク機構が、設け
られることもあるが、このリンク機構も、真空領
域内に設けられることが少なくない。

更に、これらの各種の機構が真空領域内に組み
込まれた場合に、これらの機構の動作が、転動で
あるか、しゆう動であるかには無関係に、摩擦作
用を伴う時には、摩擦の結果として微細な粒子
（異材質の粒子）の発生することを免れることが
出来ず、真空雰囲気の高度の清浄度という要求を
損なうので、このような機構は、使用することは
出来ない。また、動作に摩擦を伴う場合には、そ
の摩擦抵抗の減少の対策として、何らかの潤滑作
用を与えることが必要となるが、真空内において
は、この対策は、非常に困難であるので、高頻度
の連続運転の場合には、摩擦部に固渋現象が生じ
易く、機械装置の側からも、機構部分に摩擦部分
を含むことは、その解決のために、困難な条件と
なる。

このような困難ないしは問題点を解決するため
の一つの手段として、本出願人は、既に、特願平
１−49993号として「無しゆう動真空ケードバル
ブ」の発明を提案している（平成１年３月３日特
許出願）。この提案による「無しゆう動真空ゲー
トバルブ」は、使用の結果、おおむね所期の作用
及び効果を発揮することの出来ることが、確認さ
れている。

しかしながら、その反面、この「無しゆう動真
空ゲートバルブ」の構成を一層簡易化し、それに
よつて、その全体の占める容積を一層小さくする
という要望が、高まつて来た。

発明が解決しようとする課題そこで、本発明は、先に提案されたものと同様
に、弁体の操作のために必要な運動機構の内で、
摩擦を必要とする部分は、すべて真空雰囲気の外
部に設置し、真空雰囲気内においては、回動ない
しはしゆう動する部材を無くし、しかも、全体と
して小形である、高度の清浄度を要求される真空
雰囲気内において使用するのに適している「無し
しゆう動ゲートバルブ」を得ることに加え、これ
を、その弁体開閉機構を一層簡素化し、全体の占
める容積を小さなものとし、更に、弁座と弁体と
の間のシールが、一層確実に行われるように改善
とした「無しゆう動真空ゲートバルブ」を得るこ
とを、その課題とするものである。

課題を解決するための手段本発明は、この課題を解決するために、外部に
対して気密に保持可能となつている弁箱と、その
１側壁にあけられた開口部と、弁箱内に置かれ、
弁箱の開口部の周辺に形成された弁座を開閉する
ための弁体とから成り立つており、弁箱の外部
に、弁体の弁座に対するシール自在な開閉運動を
行わせるための弁体開閉機構が設けられており、
この弁体開閉機構は、弁体を弁座の面に対してほ
ぼ垂直な方向に動かす運動と、弁体をこの弁座か
ら間隔を置かれた状態において、この方向に対し
てほぼ垂直な方向に動かす運動とを連続して行わ
せるようになつている無ししゆう運動真空ゲート
バルブにおいて、弁体開閉機構が、弁箱内におい
て弁体に取り付けられ且つ弁体の弁座の面に対す
るほぼ垂直の運動方向に対してほぼ垂直方向に弁
箱を緩く貫通して延長している弁体操作棒と、弁
箱の外部において弁操作棒に中央部を固着された
水平な腕部材及びその各端部から一体に垂直に垂
下された１対の脚部材から成る旋回枠と、旋回枠
の水平な腕部材の上に、弁体操作棒と同軸心に取
り付けられ且つピストン棒を弁体操作棒に連結さ
れた空気シリンダと、弁箱に固着され且つ弁体操
作棒の延長方向に対して平行に延長されている１
対の支持架台と、各支持架台に取り付けられると
共に旋回枠の水平な腕部材の各端部を、それぞ
れ、押圧するように配置された１対の空気シリン
ダと、旋回枠の各脚部材の下方部分を支持架台の
下方部分に旋回自在に連結しているピン部材と成
り立つている無しゆう動真空ゲートバルブを特徴
とするものである。

実施例以下、本発明を、それが長方形状の弁開口部を
有する無しゆう動真空ゲートバルブとして実施さ
れた場合の実施例を示す添付図面の第１及び２図
に基づいて説明する。なお、このようなゲートバ
ルブは、現在、半導体ウエフエハーの製造ライン
における使用の需要が高いものであり、また、こ
のゲートバルブは、高真空度の保持の必要性と、
使用頻度が高く、しかも、長寿命の要求も高いも
のである。

まず、本発明によるゲートバルブが、第１及び
２図には、横断面が長方形状の中空箱状の気密に
シールされた弁箱１を有しており、この弁箱１
が、その頂壁１₀、長短の側壁１₁，１₂及び底壁
１₃から成り立つているものとして示されている
が、図においては、底壁１₃を水平にすると共に
側壁１₁，１₃を垂直に配置されて示されており、
また、第１図には、その長い方の側壁１₁が、画
面に対して平行であるように描かれている。

第１図に示すように、弁箱１の長い方の側壁１
_１の一つの下部には、弁箱１の垂直中心線Ｘ−Ｘ
に対して対称的に、長方形状の開口部２が、その
長い辺２₁，２₂を底壁１₃に対して平行であると
共にその短い辺３₃を底壁１₃に対して垂直にあけ
られており、この開口部２の周囲には、弁座３が
形成されている（第２図参照）。なお、他の長い
方の側壁１₁の下部には、第２図に示すように、
開口部２に対応する他の開口部２′が、その長い
辺２′₁，２′₂及び短い辺２′₃を、開口部２の各辺
２₁，２₂及び２₃に、それぞれ、対応するように、
あけられている。また、弁箱１の頂壁１₀の上面
には、弁箱１の垂直中心線Ｘ−Ｘに対して対称的
に各１組の垂直な支持架台５が配置されている
が、各支持架台５は、１対の、間隔を置かれた、
先端部近くに幅の狭い部分を形成された、ほぼ長
方形の板状の支持体５₁，５₂から成り立つてお
り、これらの支持体５₁，５₂は、それぞれ、弁箱
１の短い側壁１₂に対して平行となるように間隔
を置かれて、その下端部において弁箱１の頂壁１
_０の上に垂直に固着されている。

更に、弁箱１の内部には、その弁座３と協同し
て開口部２を開閉自在に閉鎖するために、この開
口部２の平面輪郭に相似する、やや大きな平面輪
郭を有している長方形の盤状の弁体１０が、その
一つの平らな面が、弁座３に対して、ほぼ平行と
なるように配置されており、その弁座３に対向す
る面には、開口部２の周囲において弁座３に接触
するように、Ｏリング１１が取り付けられている
（第２図参照）。なお、第２図には、弁体１０が弁
座３から間隔を置かれて離れている。開口部２の
開口状態において示されている。また、この弁体
１０は、第１及び２図から分かるように、その弁
座３と反対側の平らな面から、ある深さに、平面
輪郭が、弁体１０の平面輪郭に相似ではあるが、
やや小さなものであるくぼみ１０₁が形成されて
おり、また、このくぼみ１０₁の中には、このく
ぼみ１０₁の平面輪郭に相似であるが、これより
も、やや小さな平面輪郭を有している長方形状
の、ある厚さを有している、ほぼ板状の弁体押圧
部材１２が、その外周辺を、くぼみ１０₁の内周
辺から、あるすきまを有すると共にくぼみ１０₁
の底面からも、ある間隔を置かれて配置されてい
る。なお、弁体押圧部材１２の弁体１０の、くぼ
み１０₁の底面に面する側の面には、弁押圧部材
１２の平面輪郭よりも小さな平面輪郭を有する長
方形状の、ある高さの段部１２₁が形成されてい
ると共にその中心部からは、半球状の突起１２₂
が突出しており、その頂部が、くぼみ１０₁の底
面と接触をするようにしてある。更に、弁体１０
と、弁体押圧部材１２とは、弁体１０のくぼみ１
０₁の内周辺と、弁体押圧部材１２の段部１２₁の
外周辺とを、数個のコイルばね１３を介して、適
宜な手段により相互に連結することにより、弁体
１０を弁体押圧部材１２に対して弾性的に連結し
てある。

また、弁箱１の内部には、その頂壁１₀に、弁
箱１の垂直中心線Ｘ−Ｘを中心としてあけられた
円筒状の開口１４を緩く貫通して、同様に、弁箱
１の垂直中心線Ｘ−Ｘ内に軸心を有している丸棒
状の弁体操作棒１５が、弁箱１の外部から挿入さ
れており、その下端部には、弁体押圧部材１２
が、その外面の中心部において固着されている。
更に、この弁体操作棒１５は、その弁箱１の頂壁
１₀の中心にあけられた円筒状の開口１４を緩く
貫通して延長され、その上端部の近くにおいて、
弁箱１の頂壁１₀の長手方向に延びている旋回枠
２０の水平な腕部材２０₁の中央部にあけられた
円筒状の開口を、緩く貫通するようにされてい
る。なお、この旋回枠２０は、この水平な腕部材
２０₁と、その各端部に垂直に垂下するように固
着された１対の脚部材２０₂とから構成されてい
るが、各脚部材２０₂は、各支持架台５を構成し
ている垂直な１対の支持体５₁及び５₂と平行に且
つこれらの間の間隔の垂直中心線の上に、中心線
を置かれており、このようにして、旋回枠２０
は、水平な腕部材２０₁と、１対の垂直な脚部材
２０₂とから成り立つている縦断面がコの字状の
板部材から形成されている。また、この旋回枠２
０は、その各垂直な脚部材２０₂の下端部を、弁
箱１の頂壁１₀から間隔を置かれると共にその下
端部近くにおいて、各支持架台５を構成している
各１対の垂直な支持体５₁及び５₂の下端部近く
に、弁箱１の頂壁１₀の横方向に対して平行に取
り付けられた各１本のピン２５が、緩く貫通する
ことにより、このピン２５を介して、支持架台５
に旋回自在に連結されている。

更に、この旋回枠２０の水平な腕部材２０₁に
は、弁箱１の垂直中心線Ｘ−Ｘと同一の軸心を有
している空気シリンダ３５が、そのシリンダ底端
部において、上方に向けて垂直に固着されてお
り、そのピストン（図示されていない）は、弁体
操作棒１５の上端部に固着されている。なお、弁
箱１の頂壁１₀にあけられた円筒状の開口１４と、
弁体操作棒１５との間のすきまを弁箱１に対して
シールするために、弁箱１の頂壁１₀の外面と、
弁箱１の外部の弁体操作棒１５との間には、弁体
操作棒１５を緩く包囲してベローズ３８が配置さ
れており、その各端部は、それぞれ、頂壁１₀及
び弁体操作棒１５に固着されており、弁箱１の内
部を気密に保持するようにしてある。

また、各支持架台５の上端部近くには、同一水
平線上に、それぞれ、１個の空気シリンダ４０
が、その基端部において固定してあり、その他端
部の中心部をピストン棒４１が貫通しており、そ
の端部には、半球状の形状を有する押圧部材４２
が固着されており、この押圧部材４２の頂部は、
旋回枠２０の水平な腕部材２０₁と、垂直な脚部
材２０₂との、それぞれの中心線の交差部におい
て、旋回枠２０に接触するようにされている。

本発明の１実施例は、上記のような構成を有し
ているが、次に、その作動を説明する。

まず、第１及び２図は、弁体１０が、弁座３か
ら離れており、弁箱１にあけられた開口部２，
２′を相互に連通させている開放の第一段階の終
了ないしは閉鎖の第二段階の開始の状態において
示されており、この状態においては、弁体１０
は、弁座３から間隔を置かれて水平方向に相互に
重なり合つている。また、この状態においては、
空気シリンダ３５のピストン棒（図示されていな
い）及び空気シリンダ４０のピストン棒４１は、
それぞれ、最大延伸行程及び引き込み行程状態に
あるが、この状態から、開放の第二段階として、
空気シリンダ３５の作動により、そのピストン棒
を引き込ませ、これらの図で見て、上方に引き上
げると、このピストン棒は、それに固着された弁
体操作棒１５が、弁体押圧部材１２及びコイルば
ね１３を介して、弁体１０を上昇させ、その弁体
１０が、弁箱１の開口部２，２′に干渉しない位
置まで上昇され、完全開放状態となる。

逆に、このようにして、完全に開放状態にある
弁体１０を、弁箱１にあけられた開口部２，２′
の相互の連通を阻止するために弁座３を閉鎖する
ように作動をさせるには、まず、閉鎖の第一段階
として、空気シリンダ３５の作動により、そのピ
ストン棒及び弁体操作棒１５、弁体押圧部材１２
及びコイルばね１３を介して弁体１０を第１及び
２図に示す状態に持ち来すようにする。この状態
においては、空気シリンダ３５のピストン棒は、
最大延伸行程状態にあり、また、旋回枠２０の垂
直な脚部材２０₂の外縁は、支持架台５を構成し
ている支持体５₁及び５₂に取り付けられているピ
ン２５の中心を通る垂直面に対して、ほぼ平行と
なつており、また、各空気シリンダ４０のピスト
ン棒４１は、その引き込み行程の状態にある。

そこで、閉鎖の第二段階として、空気シリンダ
４０を、そのピストン棒４１が、その最大延伸行
程の端部に向かつて移動するように作動させる
と、各ピストン棒４１は、押圧部材４２を介し
て、旋回枠２０を構成している水平な腕部材２０
_１と、脚部材２０₂との交差部分を押圧し、旋回枠
２０をピン２５の回りに、第２図で見て、反時計
方向に旋回させるようにする。従つて、旋回枠２
０の水平な腕部材２０₁は、これに取り付けられ
た空気シリンダ３５のピストンに連結されて弁体
操作棒１５を空気シリンダ３５と一緒に、第２図
で見て、反時計方向に旋回させる。これにより、
弁体操作棒１５の下端部に、中心部において固着
されている弁体押圧部材１２は、その段部１２₁
の面の中心部に形成された半球状の突起１２₂の
頂面により、弁体１０に形成されたくぼみ１０₁
の底面を、その中心部において押圧するので、弁
体１０は、弁座３に対して押圧され、弁体１０に
設置されたＯリング１１を弁座３に対して強大力
により押圧し、弁体１０と、弁座３との間におけ
る完全なシールを行うようになり、弁箱１にあけ
られた開口部２，２′の相互の連通を完全に阻止
する。なお、この場合、弁体１０は、弁体押圧部
材１２に、数組のコイルばね１３を介して連結さ
れているので、弁体１０の弁座３に対する押圧力
は、両部材３，１０の間の接触面に均等に分布さ
れることが、確実とされる。

逆に、この閉鎖状態にある弁体１０を弁座３か
ら開放させるには、まず、開放の第一段階とし
て、空気シリンダ４０を作動させ、そのピストン
棒４１を引き込ませると、旋回枠２０は、それを
構成している脚部材２０₂と、弁箱１の頂壁１₀と
の間に、適宜な手段により配置している戻しコイ
ルばね４５の作用により、ピン２５の回りに、第
２図でみて時計方向に旋回され、第１及び２図に
示す状態に持ち来され、その水平な腕部材２０₁
と一体となつている空気シリンダ３５、従つて、
そのピストンに連結されている弁体操作棒１５
を、同図に示す状態とし、弁体１０を弁座３から
引き離す。そこで、開放の第二段階として、空気
シリンダ３５の作動により、そのピストン棒を引
き込ませ、これにより、弁体１０を垂直に上方へ
移動させれば良い。

このように、本発明によるゲートバルブにおい
ては、弁箱１に設けられた開口部２，２′の連通
及び阻止を行うためには、開口部２の開閉動作を
行うために、弁体１０に、２種類の運動を与える
ことを必要としている。すなわち、その一つは、
弁体１０を、それが開口部２を閉鎖している状態
から、第２図に示す開口部２と、弁体１０とが間
隔を置いて重なつている位置へ開口部２から動か
し、又は、この第２図に示す位置から、開口部２
まで動かす運動であり、他の一つは、この第２図
に示す位置から、弁体１０が開口部２，２′から
完全に間隔を置かれた状態となるまで、又は、第
２図に示す状態となるまで、上方、又は、下方に
移動させる運動である。そして、これらの運動
は、いずれも、弁箱１の外部に設置された弁体開
閉機構、すなわち、旋回枠２０、空気シリンダ３
５及び空気シリンダ４０などの各種の部材により
行われ、また、これらの２種類の運動の間におい
て、弁箱１の内部においては、弁体１０と弁座３
との間には、どのような摩擦運動も生ずることが
一切無く、従つて、弁箱１は、常に、清浄に保持
されることとなる。

更に、これらの運動の内、弁体１０を上下運動
させる場合に必要とされる力は、弁箱１内が真空
の場合には、シール用ベローズ３８の有効径と、
内外の気圧の圧力差により決まる、弁箱１の内部
に引き込まれる側の力と、弁体１０及び弁体操作
棒１５の重量との和となり、それに、シール用ベ
ローズ３８のばね反力が加減される。弁箱１内が
大気である場合には、その分だけ力は減少される
が、いずれの場合も、この力は、相対的には小さ
いので、弁体１０を定位置に保持したり、移動さ
せたりするための空気シリンダ３５の内径は、比
較的に小さくて良い。

また、弁体１０の開閉運動の内、弁体１０を上
下に動かすための運動は、その上下動作の行程
は、開口部２の上下方向の寸法、すなわち、長方
形状の開口部２の短い辺２₃の長さに対応して決
まるが、一般的には、本実施例の場合のように、
短い辺２₂の方向が、上下運動方向と一致する長
方形状の開口部２の場合には、大きくない。

次に、弁体１０の開閉運動の内、弁体１０を弁
座３に押圧するための運動は、シールパツキンと
してＯリング１１を押圧し、これを完全な気密性
が保持出来るまで変形させる必要があるので、第
一の運動に比べ、空気シリンダ４０の行程は小さ
いが、大きな駆動力を必要とする。なお、本実施
例のような長方形状の開口部２を有しているゲー
トバルブの場合には、小寸法の場合の200Kgから、
大寸法の場合の700Kg〜800Kgであるので、空気シ
リンダ４０としては、大内径で、短行程のものが
必要となる。

なお、上記の実施例においては、弁座３は、垂
直面であるものとしてあるが、これをわずかに傾
斜するように形成すると、閉鎖時に、弁体１０及
びＯシリンダ１１はやや傾斜された状態において
弁座３に着座し、そのシール状態を一層確実なも
のとすることが出来る。

また、この弁体１０と弁座３との間の閉塞運
動、あるいは、その弁体１０の上下運動は、それ
らのための空気シリンダ４０及び空気シリンダ３
５のピストンの各側の加圧と、放圧とによる方法
と、復帰ばねにより、片側だけの加圧、又は、放
圧とによる方法とがあり、両方とも可能である。

更に、以上の実施例においては、弁箱１が垂直
に配置されるものとして説明をしたが、半導体ウ
エフアーなどの製造ラインの構成上の都合や、作
業の便利のために、操作機構を、図示の実施例の
場合とは、逆として設置される場合もあるが、こ
の場合には、上の説明とは、上下の表現は反対と
なるが、基本的な作動に関しては、何らの相違も
無いものである。ただ、弁体操作棒１５に加わる
垂直方向の荷重の内、内外の圧力差によるもの
と、弁体１０、弁体操作棒１５の重量との間の関
係は、和では無く差となるが、いずれにしても、
量的には小さなものであるので、基本構造の設計
に影響する程の相違とはならず、一般的には、同
一設計の構造で対処することが可能である。

また、弁体１０を弁体押圧部材１２に支持する
ために、両者の間に、ばね部材として、数組のコ
イルばね１３が介装されているが、この構成は、
弁体１０に設けられているＯリング１１の全長に
渡つて弁座３を押圧する力を均等とするためのも
のであり、本実施例の場合におけるように、長方
形状の開口部２を持つ弁の構造においては、弁体
押圧部材１２の中央部から伝達される押圧力を、
開口部２の長手方向に均等に配分するのに、必要
なものである。また、この場合、開口部２の上下
方向に対しても均等な力が配分されるように考慮
されなければならない。なぜならば、若しも、Ｏ
リング１１と、弁座３との間の接触状態に不均等
があり、いわゆる、片当たりの状況となると、接
触圧力の少ない部分においても十分な気密性が維
持されるだけのＯリング１１の変形を与えなけれ
ばならないが、この場合、接触圧力の大きな部分
においては、必要以上のひずみが加わるので、い
わゆる、へたりを生じ易くなるだけでは無く、全
体として大きな押圧力を必要とすることにもなる
からである。

なお、本実施例によるものと、従来構造のバル
ブとの比較実験により、本発明によるものは、Ｏ
リング１１の均等な接触状態を維持するために必
要とされる押圧力は、従来のものに比べ、約50％
に低減させることの出来ることが確認された。ま
た、これにより、本発明によるバルブは、その動
作機構や、空気シリンダの寸法を小形とすること
ができ、また、Ｏリングのへたりを抑制すること
が可能となる。

最後に、以上には、本発明による弁を半導体ウ
エフアーの搬送機構に使用されることが多い、長
い辺の寸法が比較的に大きな長方形状の開口部を
有するゲートバルブに使用されるものとして説明
されたが、本発明によるバルブは、その外、円形
その他の開口部形状を有する各種のゲートバルブ
などや、加速器などの真空装置の分野のゲートバ
ルブにも使用可能であることは、無論のことであ
る。

発明の効果本発明は、上記のような構造及び作用を有して
いるので、先に提案されたバルブの場合と同様
に、弁体の操作のために必要な運動機構の内で、
摩擦を必要とする部分は、すべて、真空雰囲気の
外部に設置し、真空雰囲気内においては、回動な
いしはしゆう動する部材を無くし、しかも、全体
として小形である、高度の清浄度を要求される真
空雰囲気内において使用するのに適している無し
ゆう動真空ゲートバルブを提供することが出来る
という効果を発揮する他、これらの効果に加え
て、先に提案されたものにおいては、内外部の旋
回枠を必要としていたのを、本発明においては、
これらの旋回枠の代わりに、ただ１個の旋回枠を
使用すれば足りるので、バルブ全体の外部輪郭
を、一層小さなものとすることが出来、また、弁
体を弁体押圧部材に、数組のコイルばねなどのば
ね部材により連結するようにしたので、弁体の弁
座に対する押圧力を、一層、均等とすることが出
来るという効果も、発揮するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の１実施例を、左半分には正
面図で、右半分には縦断面図で示す図、第２図
は、第１図の一部分を、第１図の−線により
切断して示した一部縦断側面図である。１……弁箱、２……開口部、３……弁座、５…
…支持架台、１０……弁体、１１……Ｏリング、
１３……コイルばね、１５……弁体操作棒、２０
……旋回枠、２５……ピン、３５，４０……空気
シリンダ、３８……ベローズ、４５……戻しば
ね。

Claims

【特許請求の範囲】１外部に対して気密に保持可能となつている弁
箱と、その１個壁にあけられた開口部と、弁箱内
に置かれ、弁箱の開口部の周辺に形成された弁座
を開閉するための弁体とから成り立つており、弁
箱の外部に、弁体の弁座に対するシール自在な開
閉運動を行わせるための弁体開閉機構が設けられ
ており、この弁体開閉機構は、弁体を弁座の面に
対してほぼ垂直な方向に動かす運動と、弁体をこ
の弁座から間隔を置かれた状態において、この方
向に対してほぼ垂直な方向に動かす運動とを連続
して行わせるようになつている無ししゆう運動真
空ゲートバルブにおいて、弁体開閉機構が、弁箱
内において弁体に取り付けられ且つ弁体の弁座の
面に対するほぼ垂直な運動方向に対してほぼ垂直
方向に弁箱を緩く貫通して延長している弁体操作
棒と、弁箱の外部において弁操作棒に中央部を固
着された水平な腕部材及びその各端部から一体に
垂直に垂下された１対の脚部材から成る旋回枠
と、旋回枠の水平な腕部材の上に、弁体操作棒と
同軸心に取り付けられ且つピストン棒を弁体操作
棒に連結された空気シリンダと、弁箱に固着され
且つ弁体操作棒の延長方向に対して平行に延長さ
れている１対の支持架台と、各支持架台に取り付
けられると共に旋回枠の水平な腕部材の各端部
を、それぞれ、押圧するように配置された１対の
空気シリンダと、旋回枠の各脚部材の下方部分を
支持架台の下方部分に旋回自在に連結しているピ
ン部材と成り立つていることを特徴とする無しゆ
う動真空ゲートバルブ。２弁箱の外部に延長している弁体操作棒と、そ
の弁箱の貫通部との間に、シール部材としてのベ
ローズが弁棒操作棒を包囲して配置されており、
その各端部が、弁体操作棒及び弁箱に気密に固着
されている請求項１記載の無しゆう動真空ゲート
バルブ。３弁体が、弁体操作棒の下端部に取り付けられ
た弁体押圧部材に、数組のばね部材を介して取り
付けられており、また、弁体押圧部材が、弁体
を、そのほぼ中心部において押圧するようにした
請求項１又は２記載の無しゆう動真空ゲートバル
ブ。