JPH0550055B2 - - Google Patents
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- JPH0550055B2 JPH0550055B2 JP58173920A JP17392083A JPH0550055B2 JP H0550055 B2 JPH0550055 B2 JP H0550055B2 JP 58173920 A JP58173920 A JP 58173920A JP 17392083 A JP17392083 A JP 17392083A JP H0550055 B2 JPH0550055 B2 JP H0550055B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- focus error
- error signal
- light
- disk
- focus
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Optical Head (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、例えば光学式デイスク再生装置に適
用して好適なフオーカスサーボ装置に関する。
用して好適なフオーカスサーボ装置に関する。
背景技術とその問題点
例えば、デイスク上に光学的に記録された信号
を再生する光学式デイスク再生装置におけるフオ
ーカスサーボ装置として従来第１図に示すような
ものが知られている。
を再生する光学式デイスク再生装置におけるフオ
ーカスサーボ装置として従来第１図に示すような
ものが知られている。
同図において、１は半導体レーザー、２はビー
ムスプリツタ、３はコリメータレンズ、４は対物
レンズ、５はデイスクの記録面である。この記録
面５には、例えばオーデイオ情報が光学的に読み
出し得るようにピツト形状で記録されている。
ムスプリツタ、３はコリメータレンズ、４は対物
レンズ、５はデイスクの記録面である。この記録
面５には、例えばオーデイオ情報が光学的に読み
出し得るようにピツト形状で記録されている。
また、６はフオーカスアクチユエータを示し、
７は永久磁石、８はヨーク、９は制御コイルであ
り、上述した対物レンズ４はフオーカスコイル９
と一体的に取り付けられる。この制御コイル９に
は、後述する駆動回路よりフオーカスサーボ信号
が供給され、対物レンズ４はフオーカスサーボ信
号に応じて管軸方向１０に駆動される。これによ
り、デイスクに例えば上下動があつても、ビーム
スプリツタ２、コリメータレンズ３を介されたレ
ーザー１からのレーザー光が、対物レンズ４によ
りデイスクの記録面５上に正しく焦点を結ぶよう
にされる。
７は永久磁石、８はヨーク、９は制御コイルであ
り、上述した対物レンズ４はフオーカスコイル９
と一体的に取り付けられる。この制御コイル９に
は、後述する駆動回路よりフオーカスサーボ信号
が供給され、対物レンズ４はフオーカスサーボ信
号に応じて管軸方向１０に駆動される。これによ
り、デイスクに例えば上下動があつても、ビーム
スプリツタ２、コリメータレンズ３を介されたレ
ーザー１からのレーザー光が、対物レンズ４によ
りデイスクの記録面５上に正しく焦点を結ぶよう
にされる。
また、１１は凹レンズ、１２はシリンドルカル
レンズ、１３は多分割デテクタであり、記録面５
で反射されたレーザー光は、対物レンズ４、コリ
メータレンズ３、ビームスプリツタ２を介された
後、凹レンズ１１、シリンドリカルレンズ１２を
介して多分割デテクタ１３に供給される。このデ
テクタ１３からの信号がフオーカスエラー検出回
路１４に供給されてフオーカスエラー信号が検出
される。そして、このエラー信号は位相補償回路
１５を介して駆動回路１６に供給され、上述した
ようにこの駆動回路１６よりフオーカスコイル９
にフオーカスサーボ信号が供給される。
レンズ、１３は多分割デテクタであり、記録面５
で反射されたレーザー光は、対物レンズ４、コリ
メータレンズ３、ビームスプリツタ２を介された
後、凹レンズ１１、シリンドリカルレンズ１２を
介して多分割デテクタ１３に供給される。このデ
テクタ１３からの信号がフオーカスエラー検出回
路１４に供給されてフオーカスエラー信号が検出
される。そして、このエラー信号は位相補償回路
１５を介して駆動回路１６に供給され、上述した
ようにこの駆動回路１６よりフオーカスコイル９
にフオーカスサーボ信号が供給される。
この第１図に示すようなフオーカスサーボ装置
によれば、対物レンズ４を管軸方向１０に駆動す
るフオーカスアクチユエータ６を必要とするもの
で、光学系が大きく、かつコスト高となる。ま
た、対物レンズ４、フオーカスコイル９等の可動
部の重さが数グラム以上あるので、駆動のための
消費電力が大きい。また、フオーカスアクチユエ
ータ６の駆動周波数が例えばダンパー（図示せ
ず）の振動周波数と一致すると共振を起こすた
め、サーボ帯域を高く取ることができず、しかも
共振防止のための位相補償が面倒である。さら
に、フオーカスアクチユエータ６の駆動音が雑音
となつて煩わしい。
によれば、対物レンズ４を管軸方向１０に駆動す
るフオーカスアクチユエータ６を必要とするもの
で、光学系が大きく、かつコスト高となる。ま
た、対物レンズ４、フオーカスコイル９等の可動
部の重さが数グラム以上あるので、駆動のための
消費電力が大きい。また、フオーカスアクチユエ
ータ６の駆動周波数が例えばダンパー（図示せ
ず）の振動周波数と一致すると共振を起こすた
め、サーボ帯域を高く取ることができず、しかも
共振防止のための位相補償が面倒である。さら
に、フオーカスアクチユエータ６の駆動音が雑音
となつて煩わしい。
発明の目的
本発明は斯る点に鑑みてなされたもので、上述
欠点を一掃するようにしたものである。
欠点を一掃するようにしたものである。
発明の概要
本発明は上記目的を達成するため、発振波長が
可変である光源と、光源から発生される球面波の
光をデイスク上に集光する球面波に変換するホロ
グラムレンズと、このホログラムレンズを介した
デイスクからの戻り光と光源から発生された光と
を分離するビームスプリツタと、このビームスプ
リツタによつて分離されたデイスクからの戻り光
の焦点誤差検出用光学素子を介した光束を受光す
る光検出手段と、この光検出手段からの検出出力
に基づいてフオーカスエラー信号を検出するフオ
ーカスエラー信号検出手段と、フオーカスエラー
信号検出手段から供給されるフオーカスエラー信
号に基づいて光源の発振波長を変化させる波長コ
ントロール手段とを備えてなるものである。
可変である光源と、光源から発生される球面波の
光をデイスク上に集光する球面波に変換するホロ
グラムレンズと、このホログラムレンズを介した
デイスクからの戻り光と光源から発生された光と
を分離するビームスプリツタと、このビームスプ
リツタによつて分離されたデイスクからの戻り光
の焦点誤差検出用光学素子を介した光束を受光す
る光検出手段と、この光検出手段からの検出出力
に基づいてフオーカスエラー信号を検出するフオ
ーカスエラー信号検出手段と、フオーカスエラー
信号検出手段から供給されるフオーカスエラー信
号に基づいて光源の発振波長を変化させる波長コ
ントロール手段とを備えてなるものである。
従つて、可動部を有するものでないので、従来
例におけるような可動部を有することによる欠点
が一掃される。
例におけるような可動部を有することによる欠点
が一掃される。
実施例
以下、第２図を参照しながら本発明の一実施例
について説明しよう。
について説明しよう。
同図において、１７は、その発振波長が可変さ
れる半導体レーザーであり、１８はその電源であ
る。半導体レーザー１７としては、例えば特開昭
58−21888号公報に述べられているような超音波
を用いる方式が、手軽さ、可変範囲の広さから好
適である。即ち、GaAs層上に櫛形電極超音波振
動子が設けられ、これに高周波信号が印加されて
超音波周波数が変えられることにより、レーザー
の発振波長が変えられるものである。
れる半導体レーザーであり、１８はその電源であ
る。半導体レーザー１７としては、例えば特開昭
58−21888号公報に述べられているような超音波
を用いる方式が、手軽さ、可変範囲の広さから好
適である。即ち、GaAs層上に櫛形電極超音波振
動子が設けられ、これに高周波信号が印加されて
超音波周波数が変えられることにより、レーザー
の発振波長が変えられるものである。
この半導体レーザー１７からのレーザー光はビ
ームスプリツタ１９を介してホログラム２０に供
給される。
ームスプリツタ１９を介してホログラム２０に供
給される。
このホログラム２０は、一点から発散するる球
面波を別の点に集束する球面波に変換するレンズ
作用を有するものである。
面波を別の点に集束する球面波に変換するレンズ
作用を有するものである。
このようなホログラム２０は、第３図に示すよ
うに、対物レンズ２１の光路上に補助のホログラ
ム２２とホログラム２０となるべきダイクロメー
トゼラチンなどの薄膜２０ａを配し、補助のホロ
グラム２２による開口数がsinθ1の集束球面波と
対物レンズ２１による開口数がsinθ2の発散球面
波を薄膜２０ａ上で干渉させて作ることができ
る。これによれば、薄膜２０ａは、点F1から発
散する開口数がsinθ1の球面波を点F2に集束する
開口数がsinθ2の球面波に変換するレンズ作用を
有するホログラム２０になる。尚、補助のホログ
ラム２２は、第４図に示すように対物レンズ２３
による開口数がsinθ1の発散球面波を薄膜２２ａ
上で干渉させて作ることができる。
うに、対物レンズ２１の光路上に補助のホログラ
ム２２とホログラム２０となるべきダイクロメー
トゼラチンなどの薄膜２０ａを配し、補助のホロ
グラム２２による開口数がsinθ1の集束球面波と
対物レンズ２１による開口数がsinθ2の発散球面
波を薄膜２０ａ上で干渉させて作ることができ
る。これによれば、薄膜２０ａは、点F1から発
散する開口数がsinθ1の球面波を点F2に集束する
開口数がsinθ2の球面波に変換するレンズ作用を
有するホログラム２０になる。尚、補助のホログ
ラム２２は、第４図に示すように対物レンズ２３
による開口数がsinθ1の発散球面波を薄膜２２ａ
上で干渉させて作ることができる。
このようにホログラム２０は一点から発散する
球面波を別の点に集束する球面波に変換するレン
ズ作用を有するので、ビームスプリツタ１９を介
してホログラム２０に供給される半導体レーザー
１７からのレーザー光をデイスクの記録面５に集
束させることができる。
球面波を別の点に集束する球面波に変換するレン
ズ作用を有するので、ビームスプリツタ１９を介
してホログラム２０に供給される半導体レーザー
１７からのレーザー光をデイスクの記録面５に集
束させることができる。
ところで、ホログラム２０は、回折という現象
があるため、レーザー光の波長が変化すると、第
２図波線で示すように焦点位置が変化する作用が
ある。本発明のフオーカスサーボ装置はこの原理
を利用したものである。以下にその原理を詳述す
る。
があるため、レーザー光の波長が変化すると、第
２図波線で示すように焦点位置が変化する作用が
ある。本発明のフオーカスサーボ装置はこの原理
を利用したものである。以下にその原理を詳述す
る。
即ち、第５図に示すようにホログラムのある場
所での入射角をθo、出射角（回折角）をθiとする
と、そこにできる干渉縞のピツチｄとの間には、
次式が成立する。
所での入射角をθo、出射角（回折角）をθiとする
と、そこにできる干渉縞のピツチｄとの間には、
次式が成立する。
sinθi−sinθo＝λ／ｄ ……(1)
λ；レーザー光の発振波長
この(1)式をθiで変分すると、
dθi・cosθi＝dλ／ｄ ……(2)
となり、(1)式を用いてｄを消去すると、
dθi＝sinθi−sinθo／cosθi・dλ／λ……(
3) となる。
3) となる。
ホログラム２０の半径をａ、ホログラム２０の
最外周でのθi，θoをθ^i，θ^oとすると、焦点距離ｆ
は、 ｆ＝acotθ^i ……(4) で与えられる。そして、この(4)式をθiで変分し
て、 Δf／ｆ＝dθ^i／cosθi・sinθi ……(5) が得られる。
最外周でのθi，θoをθ^i，θ^oとすると、焦点距離ｆ
は、 ｆ＝acotθ^i ……(4) で与えられる。そして、この(4)式をθiで変分し
て、 Δf／ｆ＝dθ^i／cosθi・sinθi ……(5) が得られる。
この(5)式に(3)式を代入して、dθ^iを消去すると、
Δf／ｆ＝sinθ^i−sinθ^o／cos2θi・sinθi・
dλ／λ＝Ｋdλ／λ……(6) Ｋ＝sinθ^i−sinθ^o／cos2θi・sinθi＝sinθ^i−si
nθ^o／sinθi（１−sin2θi） ＝NA2−NA1／NA2｛１−（NA2）2｝ NA1，NA2；夫々ホログラム２０の入射波及び
出射波の開口数 となる。
dλ／λ＝Ｋdλ／λ……(6) Ｋ＝sinθ^i−sinθ^o／cos2θi・sinθi＝sinθ^i−si
nθ^o／sinθi（１−sin2θi） ＝NA2−NA1／NA2｛１−（NA2）2｝ NA1，NA2；夫々ホログラム２０の入射波及び
出射波の開口数 となる。
従つて、レーザー光の波長λが変化すると焦点
距離ｆも変化することがわかる。
距離ｆも変化することがわかる。
今、NA1＝0.1、NA2＝0.47即ちＫ＝1.01、そし
て、ｆ＝7.8mm、λ＝780nｍの条件で、レーザー
光の波長λの変化Δλが10nｍとすると、焦点距離
ｆの変化Δfは0.1mmとなる。
て、ｆ＝7.8mm、λ＝780nｍの条件で、レーザー
光の波長λの変化Δλが10nｍとすると、焦点距離
ｆの変化Δfは0.1mmとなる。
ところで、上述した超音波方式のレーザー１７
において、ブラツク回折の次数をｍ、超音波周波
数をfc、媒体の屈折率をｎ、音速をＶとしたと
き、超音波周波数fcをΔfcだけ変化させると、レ
ーザー光の波長λの変化Δλは、 Δλ＝−2nV／ｍ・Δfc／fc2 ……(7) となる。
において、ブラツク回折の次数をｍ、超音波周波
数をfc、媒体の屈折率をｎ、音速をＶとしたと
き、超音波周波数fcをΔfcだけ変化させると、レ
ーザー光の波長λの変化Δλは、 Δλ＝−2nV／ｍ・Δfc／fc2 ……(7) となる。
今、Ｖ＝5000ｍ／sec、ｎ＝３、fc＝38GHz、
Δfc＝3.4GHzとすると、レーザー光の波長λの変
化Δλは、70nｍとなる。これによつて、例えば上
述した条件下で焦点距離ｆの変化Δfは0.7mmとな
り、デイスクのばたつきを吸収するのに十分な焦
点距離変化Δfが得られる。
Δfc＝3.4GHzとすると、レーザー光の波長λの変
化Δλは、70nｍとなる。これによつて、例えば上
述した条件下で焦点距離ｆの変化Δfは0.7mmとな
り、デイスクのばたつきを吸収するのに十分な焦
点距離変化Δfが得られる。
以上述べたようにレーザー１７からのレーザー
光の波長λを変化させることで、ホログラム２０
の焦点距離ｆを変化させることができ、本例にお
いては、レーザー光の波長λをフオーカスエラー
信号に基づいて変化させ、そしてホログラム２０
の焦点距離ｆを変え、レーザー光がデイスクの記
録面５に正しく集束するようにされる。
光の波長λを変化させることで、ホログラム２０
の焦点距離ｆを変化させることができ、本例にお
いては、レーザー光の波長λをフオーカスエラー
信号に基づいて変化させ、そしてホログラム２０
の焦点距離ｆを変え、レーザー光がデイスクの記
録面５に正しく集束するようにされる。
即ち、デイスクの記録面５で反射されたレーザ
ー光はホログラム２０、ビームスプリツタ１９を
介された後、このビームスプリツタ１９の出射側
端面上に設けられた円錐レンズ２４を介して２つ
のフオトデテクタが同心円状に並べられた光検出
器２５に供給される。そして、内外周のフオトデ
テクタの差が演算器２６で取られ、その差信号が
フオーカスエラー信号SFとされる。フオーカスエ
ラー信号SFを得る方法は、これに限られず、従来
知られている別な方法を用いてもよい。
ー光はホログラム２０、ビームスプリツタ１９を
介された後、このビームスプリツタ１９の出射側
端面上に設けられた円錐レンズ２４を介して２つ
のフオトデテクタが同心円状に並べられた光検出
器２５に供給される。そして、内外周のフオトデ
テクタの差が演算器２６で取られ、その差信号が
フオーカスエラー信号SFとされる。フオーカスエ
ラー信号SFを得る方法は、これに限られず、従来
知られている別な方法を用いてもよい。
尚、光検出器２５の内外周のフオトデテクタの
和が演算器２７で取られ、その和信号が情報信号
SIとなる。
和が演算器２７で取られ、その和信号が情報信号
SIとなる。
演算器２６からのフオーカスエラー信号SFは波
長制御回路２８に供給される。そして、この波長
制御回路２８よりフオーカスエラー信号SFに対応
した高周波信号が発生され、これが上述した半導
体レーザー１７に供給され、超音波周波数fcがフ
オーカスエラー信号SFに対応して変化させられ
る。
長制御回路２８に供給される。そして、この波長
制御回路２８よりフオーカスエラー信号SFに対応
した高周波信号が発生され、これが上述した半導
体レーザー１７に供給され、超音波周波数fcがフ
オーカスエラー信号SFに対応して変化させられ
る。
従つて、レーザー１７からのレーザー光の波長
λがフオーカスエラー信号SFに対応して変化させ
られ、その結果ホログラム２０の焦点距離ｆが変
えられ、レーザー光がデイスクの記録面５に正し
く集束するようにされる。
λがフオーカスエラー信号SFに対応して変化させ
られ、その結果ホログラム２０の焦点距離ｆが変
えられ、レーザー光がデイスクの記録面５に正し
く集束するようにされる。
以上述べた本例のフオーカスサーボ装置によれ
ば、可動部を有するものでないので、従来例にお
けるような可動部を有することによる欠点、即
ち、光学系が大きくかつコスト高となる、可動部
が重く消費電力が大きい等の欠点が一掃される。
例えば本例のようなフオーカスサーボ装置を使用
したピツクアツプは10mm（直径）×20mm（長さ）
〜10mm×30mm位のコンパクトな形とすることがで
きる。
ば、可動部を有するものでないので、従来例にお
けるような可動部を有することによる欠点、即
ち、光学系が大きくかつコスト高となる、可動部
が重く消費電力が大きい等の欠点が一掃される。
例えば本例のようなフオーカスサーボ装置を使用
したピツクアツプは10mm（直径）×20mm（長さ）
〜10mm×30mm位のコンパクトな形とすることがで
きる。
尚、第６図例は、第２図例のようなフオーカス
サーボ装置を使用したピツクアツプ２９がセグメ
ントモータ３０の先に取り付けられ、このセグメ
ントモータ３０によりトラツキングサーボと送り
が実現されるようになされたものである。この第
６図において、第２図と対応する部分には同一符
号を付して示す。
サーボ装置を使用したピツクアツプ２９がセグメ
ントモータ３０の先に取り付けられ、このセグメ
ントモータ３０によりトラツキングサーボと送り
が実現されるようになされたものである。この第
６図において、第２図と対応する部分には同一符
号を付して示す。
同図において、３１はセグメント駆動用の磁気
回路、３２は駆動用コイル、３３はシヤフトであ
る。
回路、３２は駆動用コイル、３３はシヤフトであ
る。
また、３４はデイスクの記録面５で反射された
レーザー光が供給される光検出器である。この光
検出器３４からの検出信号Sdはフオーカスエラ
ー検出回路３５に供給され、従来周知の方法でフ
オーカスエラー信号SFが得られる。そして、この
フオーカスエラー信号SFが波長制御回路２８に供
給され、上述第２図例と同様のフオーカスサーボ
がなされる。また、光検出器３４からの検出信号
Sdはトラツキングエラー検出回路３６に供給さ
れ、従来周知の方法でトラツキングエラー信号ST
が得られる。そして、このトラツキングエラー信
号STが位相補償回路３７、駆動回路３８を介して
駆動用コイル３２に供給され、トラツキングサー
ボがなされる。また、光検出器３４からの検出信
号Sdは情報信号検出回路３９に供給され、情報
信号SIが得られる。
レーザー光が供給される光検出器である。この光
検出器３４からの検出信号Sdはフオーカスエラ
ー検出回路３５に供給され、従来周知の方法でフ
オーカスエラー信号SFが得られる。そして、この
フオーカスエラー信号SFが波長制御回路２８に供
給され、上述第２図例と同様のフオーカスサーボ
がなされる。また、光検出器３４からの検出信号
Sdはトラツキングエラー検出回路３６に供給さ
れ、従来周知の方法でトラツキングエラー信号ST
が得られる。そして、このトラツキングエラー信
号STが位相補償回路３７、駆動回路３８を介して
駆動用コイル３２に供給され、トラツキングサー
ボがなされる。また、光検出器３４からの検出信
号Sdは情報信号検出回路３９に供給され、情報
信号SIが得られる。
この第６図例の場合、上述したようにピツクア
ツプ２９をコンパクトな形状とし得るので、セグ
メントモータ３０の消費電力も少なく、その設計
も容易である。
ツプ２９をコンパクトな形状とし得るので、セグ
メントモータ３０の消費電力も少なく、その設計
も容易である。
尚、この第６図例の場合、デイスクの記録面５
上のピツトは、1μｍ×1μｍ以下で、トラツクピ
ツチが1.5μｍであつてもよい。
上のピツトは、1μｍ×1μｍ以下で、トラツクピ
ツチが1.5μｍであつてもよい。
発明の効果
以上述べた実施例からも明らかなように、本発
明によれば可動部を有するものでないので、従来
例におけるような可動部を有することによる欠
点、即ち、光学系が大きくかつコスト高となる、
可動部が重く消費電力が大きい等の欠点が一掃さ
れる。
明によれば可動部を有するものでないので、従来
例におけるような可動部を有することによる欠
点、即ち、光学系が大きくかつコスト高となる、
可動部が重く消費電力が大きい等の欠点が一掃さ
れる。
第１図は従来のフオーカスサーボ装置の例を示
す構成図、第２図は本発明の一実施例を示す構成
図、第３〜第５図は夫々その説明のための図、第
６図は本発明が適用されたピツクアツプの駆動装
置例を示す斜視図である。 ５はデイスクの記録面、１７は半導体レーザ
ー、１９はビームスプリツタ、２０はホログラ
ム、２４は円錐レンズ、２５は光検出器、２６及
び２７は夫々演算器、２８は波長制御回路、SFは
フオーカスエラー信号、SIは情報信号である。
す構成図、第２図は本発明の一実施例を示す構成
図、第３〜第５図は夫々その説明のための図、第
６図は本発明が適用されたピツクアツプの駆動装
置例を示す斜視図である。 ５はデイスクの記録面、１７は半導体レーザ
ー、１９はビームスプリツタ、２０はホログラ
ム、２４は円錐レンズ、２５は光検出器、２６及
び２７は夫々演算器、２８は波長制御回路、SFは
フオーカスエラー信号、SIは情報信号である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 発振波長が可変である光源と、 上記光源から発生される球面波の光をデイスク
上に集光する球面波に変換するホログラムレンズ
と、 当該ホログラムレンズを介したデイスクからの
戻り光と上記光源から発生された光とを分離する
ビームスプリツタと、 当該ビームスプリツタによつて分離された上記
デイスクからの戻り光の焦点誤差検出用光学素子
を介した光束を受光する光検出手段と、 当該光検出手段からの検出出力に基づいてフオ
ーカスエラー信号を検出するフオーカスエラー信
号検出手段と、 上記フオーカスエラー信号検出手段から供給さ
れるフオーカスエラー信号に基づいて上記光源の
発振波長を変化させる波長コントロール手段とを
備えてなることを特徴とするフオーカスサーボ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58173920A JPS6066337A (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | フオ−カスサ−ボ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58173920A JPS6066337A (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | フオ−カスサ−ボ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6066337A JPS6066337A (ja) | 1985-04-16 |
| JPH0550055B2 true JPH0550055B2 (ja) | 1993-07-28 |
Family
ID=15969523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58173920A Granted JPS6066337A (ja) | 1983-09-20 | 1983-09-20 | フオ−カスサ−ボ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6066337A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2664369B2 (ja) * | 1987-03-20 | 1997-10-15 | 富士通株式会社 | グレーティングレンズ光学系を用いたフォーカシング装置 |
| ES2086303T3 (es) * | 1987-02-03 | 1996-07-01 | Fujitsu Ltd | Dispositivo de desviacion holografico. |
| JP2012027183A (ja) * | 2010-07-22 | 2012-02-09 | Mitsutoyo Corp | オートフォーカス装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5853033A (ja) * | 1981-09-26 | 1983-03-29 | Foster Denki Kk | 光学式記録情報再生装置 |
-
1983
- 1983-09-20 JP JP58173920A patent/JPS6066337A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6066337A (ja) | 1985-04-16 |
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