JPH0558511B2 - - Google Patents
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- JPH0558511B2 JPH0558511B2 JP61112264A JP11226486A JPH0558511B2 JP H0558511 B2 JPH0558511 B2 JP H0558511B2 JP 61112264 A JP61112264 A JP 61112264A JP 11226486 A JP11226486 A JP 11226486A JP H0558511 B2 JPH0558511 B2 JP H0558511B2
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Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
所用段の全加算器に擬加算器を奇数段設けリン
グ発振器を構成したモニタ回路を集積回路に搭載
し、集積回路のDC/AC特性評価を行う。[Detailed Description of the Invention] [Summary] A monitor circuit configured as a ring oscillator in which an odd number of stages of pseudo adders are provided in the full adders of a required stage is mounted on an integrated circuit, and the DC/AC characteristics of the integrated circuit are evaluated.
本発明、集積回路のDC/AC特性評価を行う回
路に係り、特に、集積回路に搭載するモニタ回路
に関する。
The present invention relates to a circuit for evaluating DC/AC characteristics of an integrated circuit, and particularly to a monitor circuit mounted on an integrated circuit.
プロセスアウトしたICのDC/ACテストは条件
を変えながら動作の正常/異常、動作点、動作速
度等のチエツクを行うが、ICの規模が大きくな
るにつれて、テスト項目、一つのテストに必要と
される時間等が増大する要因、得られたテストデ
ータの解析が非常に複雑になつてきており、設計
やプロセスのフイードバツクが困難かつ時間がか
かつている。
DC/AC testing of ICs that have been processed out involves checking the normal/abnormal operation, operating point, operating speed, etc. while changing conditions. The analysis of the test data obtained has become extremely complex, making it difficult and time-consuming to provide design and process feedback.
そこで、ICに何等かの評価回路を入れておく
ことが取り入れられている。その一つの全加算器
のリング発振器が有る。 Therefore, it has been adopted to include some kind of evaluation circuit in the IC. There is one full adder ring oscillator.
第6A図に、従来の全加算器FAの論理回路構
成(ECLシリーズゲート方式を用いたICの評価
回路)を示し、その入力端子のうち一つAを信号
伝達用として用い、他の二つB,Cはコントロー
ル端子としている。A,Bをそれぞれ入力する
OR回路21と排他的NOR回路22を有し、排他
的NOR回路22の出力と信号Cを入力とするOR
回路23と排他的OR回路24が備えられてい
る。OR回路21とOR回路23の出力を入力と
するAND回路25の出力として、キヤリーCUを
得、排他的OR回路24の出力として加算値SUを
得る。 Figure 6A shows the logic circuit configuration of a conventional full adder FA (IC evaluation circuit using the ECL series gate method). One of its input terminals A is used for signal transmission, and the other two are used for signal transmission. B and C are used as control terminals. Enter A and B respectively.
OR having an OR circuit 21 and an exclusive NOR circuit 22, and inputting the output of the exclusive NOR circuit 22 and signal C
A circuit 23 and an exclusive OR circuit 24 are provided. A carry CU is obtained as the output of an AND circuit 25 which receives the outputs of the OR circuit 21 and the OR circuit 23, and an added value SU is obtained as the output of the exclusive OR circuit 24.
第6B図にこの全加算器FAとインバータを用
いて構成した従来のモニタ用のリング発振器を示
す。各FAのキヤリー端子CUを次の段のA端子に
接続し、一つのFAのキヤリー端子CUと次のFA
のA端子の間にインバータINVを介在せしめて
いる。出力は一つのFAのSU端子から取り出す。 FIG. 6B shows a conventional monitoring ring oscillator constructed using this full adder FA and an inverter. Connect the carry terminal CU of each FA to the A terminal of the next stage, and connect the carry terminal CU of one FA to the next FA terminal.
An inverter INV is interposed between the A terminals of the inverter. Output is taken from the SU terminal of one FA.
第6C図、第6D図、従来のモニタ用のリング
発振器の等価回路構成図を示す。 FIGS. 6C and 6D show equivalent circuit configuration diagrams of a conventional ring oscillator for monitoring.
従来のモニタ用のリング発振器では、制御信号
(B,C)を(0,1)とする時、クリテイカル
パスが1で第6C図のようにフアンアウトが1の
4ゲートと1つのインバータのリング発振回路を
構成する。制御信号(B,C)を(1,0)とす
ると全加算器FAの各段はクリテイカルパスが2
でかつ各段でフアンアウトが2であるが、フアン
アウトが1のインバータが混在しているので、フ
アンアウトが1のときのゲートの遅延時間と、フ
アンアウトが2のときのゲートの遅延時間を分離
することが困難である。 In a conventional ring oscillator for monitoring, when the control signals (B, C) are (0, 1), the critical path is 1 and the fanout is 1 as shown in Figure 6C, with 4 gates and 1 inverter. Configure a ring oscillation circuit. When the control signals (B, C) are (1, 0), each stage of the full adder FA has two critical paths.
In addition, the fanout is 2 in each stage, but since inverters with a fanout of 1 are mixed, the gate delay time when the fanout is 1 and the gate delay time when the fanout is 2. difficult to separate.
従来の回路では、上記のように全加算器の入力
端子のうち一つを信号伝達用として用い、他の二
つはコントロール端子としている。ところが、コ
ントロール端子のレベルを変えて、FI(フアンイ
ン)/FO(フアンアウト)やクリテイカルパスを
変えると、全加算器がインバータとして働いた
り、働かなかつたりするため、上記のように結局
全加算器を偶数段接続し、インバータをその間に
挾む構成がとられている。
In the conventional circuit, as described above, one of the input terminals of the full adder is used for signal transmission, and the other two are used as control terminals. However, if you change the level of the control terminal and change the FI (fan in)/FO (fan out) or critical path, the full adder may or may not work as an inverter. The configuration is such that an even number of devices are connected and an inverter is sandwiched between them.
しかし、こうするとインバータの部分でFI(フ
アンイン)/FO(フアンアウト)条件が崩れてし
まい、正確な評価が出来ないという問題がある。 However, this poses a problem in that the FI (fan-in)/FO (fan-out) conditions are disrupted at the inverter, making accurate evaluation impossible.
本発明は、適当段の全加算器に本発明の係る擬
加算器を少なくとも1段はさむ構成にすることに
より、上記問題点を完全に解決するものである。
The present invention completely solves the above problems by configuring at least one stage of the pseudo adder according to the present invention to be sandwiched between full adders at appropriate stages.
すなわち、本発明は、半導体集積回路に塔載さ
れる集積回路評価回路において、
該集積回路の素子と同一設計の素子で構成さ
れ、入力端子の1つを信号伝達用の入力端子と
し、残る2つの入力端子をコントロール端子と
し、該コントロール端子に入力されるコントロー
ル信号に応じて決定される伝達パスで入力信号が
出力に伝達される所用段の全加算器と、
該集積回路の素子と同一設計の素子で構成さ
れ、該全加算器と類似構成をなし、入力端子の1
つを信号伝達用の入力端子とし、残る2つの入力
端子をコントロール端子とし、該コントロール端
子に入力されるコントロール信号に応じて決定さ
れる伝達パスで入力信号の反転信号が出力に伝達
される奇数段の擬加算器とを備え、
同種の加算器同士は、キヤリー出力端子と信号
伝達用の入力端子とを接続することで、直列接続
されており、前記全加算器のキヤリー出力端子と
前記擬加算器の信号伝達用の入力端子および、前
記擬加算器のキヤリー出力端子と前記全加算器の
信号伝達用の入力端子をそれぞれ接続すること
で、リング発振器を構成してなることを特徴とす
る集積回路評価回路を提供するものである。 That is, the present invention provides an integrated circuit evaluation circuit mounted on a semiconductor integrated circuit, which is composed of elements of the same design as the elements of the integrated circuit, one of the input terminals is used as an input terminal for signal transmission, and the remaining two a full adder of a required stage in which one input terminal is a control terminal and an input signal is transmitted to an output through a transmission path determined according to a control signal input to the control terminal; and a full adder having the same design as the elements of the integrated circuit. It has a similar configuration to the full adder, and one of the input terminals
One is an input terminal for signal transmission, the remaining two input terminals are control terminals, and the inverted signal of the input signal is transmitted to the output through a transmission path determined according to the control signal input to the control terminal. The adders of the same type are connected in series by connecting the carry output terminal and the input terminal for signal transmission, and the carry output terminal of the full adder and the pseudo adder are connected in series. A ring oscillator is configured by connecting an input terminal for signal transmission of an adder, a carry output terminal of the pseudo adder, and an input terminal for signal transmission of the full adder, respectively. An integrated circuit evaluation circuit is provided.
本発明のモニタ回路は、擬加算器が入力信号の
反転出力を出すので、従来のようにインバータが
不要であり、テスト時にはコントロール端子に入
れる信号でパスを決定してやり、フアンアウト1
とフアンアウト2の二つをモニタすることが可能
となる。
In the monitor circuit of the present invention, since the pseudo adder outputs an inverted output of the input signal, there is no need for an inverter as in the past, and during testing, the path is determined by the signal input to the control terminal, and the fanout 1
It becomes possible to monitor both the fan-out and the fan-out 2.
第1A図に本発明の実施例に用いる擬加算器
PFAの論理回路レベルの回路図を示す。図にお
いて、やはり、入力端子のうち一つAを信号伝達
用として用い、他の二つB,Cはコントロール端
子としている。1は反転ゲート付のOR回路、2
は排他的NOR回路であり、各々の入力端子に信
号A,Bが入力する。排他的NOR回路2の出力
と信号Cを入力とするOR回路3の出力とOR回
路1の出力はAND回路5に入力し、その出力と
してキヤリー信号CUが出力する。また、排他的
NOR回路2の出力と信号Cは排他的NOR回路4
に入力し、その出力として加算出力SU(sum)を
得る。
FIG. 1A shows a pseudo adder used in an embodiment of the present invention.
A circuit diagram at the logic circuit level of PFA is shown. In the figure, one of the input terminals, A, is used for signal transmission, and the other two, B and C, are used as control terminals. 1 is an OR circuit with an inversion gate, 2
is an exclusive NOR circuit, and signals A and B are input to each input terminal. The output of the exclusive NOR circuit 2, the output of the OR circuit 3 which receives the signal C as input, and the output of the OR circuit 1 are input to an AND circuit 5, and a carry signal CU is outputted as its output. Also exclusive
The output of NOR circuit 2 and signal C are exclusive NOR circuit 4
and obtain the summed output SU(sum) as its output.
第2A図及び第2B図に本実施例に用いる上記
擬加算器PEAと全加算器FAのコントロール端子
B,Cの信号と、キヤリー出力CUとクリテイカ
ルパスおよびフアンアウトの関係を示している。
FA,PFA共にクリテイカルパスが1の時、フア
ンアウトは1であり、クリテイカルパス2の時は
そのフアンアウトは2と1である。 FIGS. 2A and 2B show the relationship between the signals of the control terminals B and C of the pseudo adder PEA and full adder FA used in this embodiment, the carry output CU, the critical path, and the fanout.
For both FA and PFA, when the critical pass is 1, the fan out is 1, and when the critical pass is 2, the fan out is 2 and 1.
第1B図に、この擬加算器PEAと全加算器FA
を適用した本実施例の構成図を示す。制御入力信
号C,Bを各段の全加算器11,13,14の入
力端子B,Cに印加するとともに、12の擬加算
器PEAのB,C端子に共通に信号Cを入力して
いる。そして、各FA及びPEAのキヤリー出力
CUを次段のA端子に入力してリング発振器を構
成しており、PEAのSU出力端子から出力信号を
得ている。 Figure 1B shows the pseudo adder PEA and full adder FA.
A configuration diagram of this embodiment is shown. Control input signals C and B are applied to input terminals B and C of full adders 11, 13, and 14 in each stage, and signal C is commonly input to terminals B and C of 12 pseudo adders PEA. . And the carry output of each FA and PEA
A ring oscillator is configured by inputting the CU to the A terminal of the next stage, and the output signal is obtained from the SU output terminal of the PEA.
本発明の実施例のリング発振回路では、第1B
図のように3段のFAに、1段のPEAが挿入され
る。そして、制御信号(B,C)が(0,1)の
とき、FAはクリテイカルパスが1で入力信号A
と同相が出力し、PFAはクリテイカルパスが1
で、入力信号Aの反転出力がでるから、1周の位
相が180度ずれるリング発振回路を構成する。そ
して、各段のフアンアウトが1で4ゲートの第1
C図の等価回路が構成される。従つて、リング発
振回路の発振周波数から算出される回路の遅延時
間を4で割れば、1ゲートの遅延時間が算出され
る。 In the ring oscillation circuit according to the embodiment of the present invention, the first B
As shown in the figure, one stage of PEA is inserted into three stages of FA. When the control signals (B, C) are (0, 1), the FA has a critical path of 1 and the input signal A
The same phase is output, and the critical path of PFA is 1.
Since the inverted output of the input signal A is output, a ring oscillation circuit is constructed in which the phase of one round is shifted by 180 degrees. Then, the fanout of each stage is 1 and the 4-gate first
The equivalent circuit shown in Figure C is constructed. Therefore, by dividing the circuit delay time calculated from the oscillation frequency of the ring oscillation circuit by 4, the delay time of one gate can be calculated.
次に、制御信号(B,C)が(1,0)のと
き、各FAはクリテイカルパスが2でフアンアウ
トが2と1になり、出力に入力信号Aと同相が出
力し、PEAはそのクリテイカルパスが2でフア
ンアウトが2と1で、その出力にAの入力信号の
反転出力がでるから、第1図Dのフアンアウト2
と1の等価回路が形成される。そして、各段で2
つのゲートを通るから、このリング発振回路の発
振周波数から算出した遅延時間を4で割れば、1
つのフアンアウト2のゲートと1つのフアンアウ
ト1のゲート両方を通過する時の遅延時間が算出
される。 Next, when the control signals (B, C) are (1, 0), each FA has a critical path of 2 and a fanout of 2 and 1, outputs the same phase as the input signal A, and PEA outputs the same phase as the input signal A. The critical path is 2, the fan-out is 2 and 1, and the inverted output of the input signal of A is output, so the fan-out 2 in Figure 1 D
An equivalent circuit of 1 is formed. And in each row 2
Since the delay time calculated from the oscillation frequency of this ring oscillation circuit is divided by 4, it is 1
The delay time when passing through both two fan-out 2 gates and one fan-out 1 gate is calculated.
第3図に本発明の実施例に用いた全加算器FA
のトランジスタレベルの回路図を示す。また、第
4図に本発明の実施例に用いた擬加算器PEAの
トランジスタレベルの回路図を示す。この擬加算
器PEAと先に示した全加算器FAの回路は、負荷
抵抗がどこのトランジスタのコレクタに接続して
いるかが相違するだけであとは同様である。な
お、図示のリフアレンス電圧VR1はエミツタの
定電流をコントロールするものであり、電圧VR
2,VR3はそれぞれ上段,下段のロジツクレベ
ルを決定しており、この点も全加算器と擬加算器
は同様である。このように、本実施例の擬加算器
PEAは全加算器FAと電源が同じように繋がつて
おり、PEAとFAでリング発振器を構成すれば、
電源電圧依存性やプロセスのパターンサイズに伴
う電圧マージン、ノイズマージンの依存性等が同
様であり、従来のPEAとインバータを用いたリ
ング発振器の場合より解析が容易である。 Figure 3 shows the full adder FA used in the embodiment of the present invention.
The circuit diagram of the transistor level is shown. Further, FIG. 4 shows a transistor level circuit diagram of the pseudo adder PEA used in the embodiment of the present invention. The circuits of this pseudo adder PEA and the full adder FA shown above are the same except for which transistor's collector the load resistor is connected to. Note that the reference voltage VR1 shown in the figure is for controlling the constant current of the emitter, and the voltage VR1 is for controlling the constant current of the emitter.
2 and VR3 determine the logic levels of the upper and lower stages, respectively, and the full adder and pseudo adder are similar in this respect. In this way, the pseudo adder of this embodiment
The power supply of PEA is connected in the same way as the full adder FA, and if a ring oscillator is configured with PEA and FA,
The power supply voltage dependence, voltage margin due to process pattern size, noise margin dependence, etc. are similar, and analysis is easier than in the case of a ring oscillator using a conventional PEA and an inverter.
第5図には、本発明の実施例の全加算器を9段
と擬加算器を1段接続したリング発振器でなるモ
ニタ回路の平面構成を示している。本実施例の回
路は、集積回路に搭載され、テスト時にはコント
ロール端子に入れる信号でパスを決定してやり、
フアンアウト1とフアンアウト2の二つをモニタ
することができる。このようにモニタする意義
は、実際のデバイスではフアンアウト1とフアン
アウト2が複雑に繋がつているが、例えば電圧を
変えるとフアンアウト1のゲートではデータはど
ういう影響を受けるか、フアンアウト2のゲート
ではデータはどういう影響を受けるか分離したい
場合があり、そのような場合、特に本実施例の回
路は有効であることがあげられる。 FIG. 5 shows a planar configuration of a monitor circuit including a ring oscillator in which nine stages of full adders and one stage of pseudo adders are connected according to an embodiment of the present invention. The circuit of this example is mounted on an integrated circuit, and during testing, the path is determined by the signal input to the control terminal.
Two fan outs, fan out 1 and fan out 2, can be monitored. The significance of monitoring in this way is that in an actual device, fanout 1 and fanout 2 are connected in a complicated way, but for example, if you change the voltage, how will the data at the gate of fanout 1 be affected? There are cases where it is desired to separate how the data is affected by the gate, and in such a case, the circuit of this embodiment is particularly effective.
本実施例のモニタ回路を動作するには、電源電
圧を印加し、また適当なリフアレンス電圧を加
え、出力波形をオシロで観察するだけでよく簡単
であり、集積回路のDCテスト(例えば電源がど
の位の電圧なら動作するか)やACテスト(例え
ば電源電圧の値と動作速度の関係)が一度にでき
る。また本モニタ回路による試験をICのSPEC付
けの前に行い、リフアレンス電圧VR1〜VR3、
電源電圧およびコントロール信号レベル等を予め
出しておき、その値でデバイスを計測すればテス
ト時間の短縮にもなる。即ち、実際のデバイスで
は回路はモニタ回路と同じであり、結線が相違す
るだけであるから、リフアレンス電圧VR1〜
VR3、電源電圧およびコントロール信号等は同
様であり、予めモニタ回路で各ゲートの動作マー
ジンを決めてやれば実際のテストの時間の大幅な
短縮になる。 To operate the monitor circuit of this embodiment, it is easy to apply the power supply voltage, add an appropriate reference voltage, and observe the output waveform with an oscilloscope. It is possible to perform AC tests (for example, the relationship between power supply voltage and operating speed) at the same time. In addition, tests using this monitor circuit were performed before attaching the SPEC to the IC, and the reference voltages VR1 to VR3,
Testing time can be shortened by determining the power supply voltage, control signal level, etc. in advance and measuring the device using those values. That is, in the actual device, the circuit is the same as the monitor circuit, only the wiring is different, so the reference voltage VR1~
VR3, power supply voltage, control signals, etc. are the same, and if the operating margin of each gate is determined in advance by the monitor circuit, the actual test time can be significantly shortened.
以上のように、本発明によれば、集積回路の
DCテストやACテストが一度にできる。また本発
明の回路による試験をICのSPEC付けの前に行
い、リフアレンス電圧VR1〜VR3、電源電圧
およびコントロール信号値等を予め出しておき、
その値でデバイスを計測すればテスト時間の短縮
にもなるという利点がある。
As described above, according to the present invention, the integrated circuit
DC test and AC test can be done at the same time. In addition, a test using the circuit of the present invention is conducted before attaching the SPEC to the IC, and reference voltages VR1 to VR3, power supply voltage, control signal values, etc. are obtained in advance.
Measuring the device using these values has the advantage of shortening test time.
第1A図は本発明の実施例に用いる擬加算器の
論理回路図、第1B図は本発明の実施例のリング
発振器によるモニタ回路の構成図、第1C図およ
び第1D図は制御信号に対応した実施例のモニタ
回路の等価回路構成図、第2A図は全加算器FA
と擬加算器PEAのキヤリー出力を示す図、第2
B図はクリテイカルパスおよびフアンアウト数の
関係を示す図、第3図は本発明の実施例に用いた
擬加算器のトランジスタレベルの回路図、第4図
は本発明および従来例で用いた全加算器のトラン
ジスタレベルの回路図、第5図は本発明の実施例
のモニタ回路の集積回路搭載パターンを示す図、
第6A図,第6B図は従来例の全加算器およびリ
ング発振器を用いたモニタ回路の構成図、第6C
図および第6D図は従来例のリング発振器を用い
たモニタ回路の等価回路構成図である。
A……入力信号(端子)、B,C……制御入力
(端子)、CU……キヤリー出力端子、SU……サム
(加算結果)出力端子、FA……全加算器、PFA
……擬加算器。
Figure 1A is a logic circuit diagram of a pseudo adder used in an embodiment of the present invention, Figure 1B is a configuration diagram of a monitor circuit using a ring oscillator in an embodiment of the present invention, and Figures 1C and 1D correspond to control signals. The equivalent circuit configuration diagram of the monitor circuit of the example shown in FIG. 2A is the full adder FA.
Figure 2 shows the carry output of the pseudo adder PEA.
Figure B is a diagram showing the relationship between the critical path and the number of fanouts, Figure 3 is a transistor level circuit diagram of the pseudo adder used in the embodiment of the present invention, and Figure 4 is the diagram used in the present invention and the conventional example. A transistor level circuit diagram of a full adder; FIG. 5 is a diagram showing an integrated circuit mounting pattern of a monitor circuit according to an embodiment of the present invention;
Figures 6A and 6B are configuration diagrams of a monitor circuit using a conventional full adder and a ring oscillator, and Figure 6C
1 and 6D are equivalent circuit configuration diagrams of a monitor circuit using a conventional ring oscillator. A...Input signal (terminal), B, C...Control input (terminal), CU...Carry output terminal, SU...Sum (addition result) output terminal, FA...Full adder, PFA
...Pseudo adder.
Claims (1)
路において、 該集積回路の素子と同一設計の素子で構成さ
れ、入力端子の1つを信号伝達用の入力端子と
し、残る2つの入力端子をコントロール端子と
し、該コントロール端子に入力されるコントロー
ル信号に応じて決定される伝達パスで入力信号が
出力に伝達される所用段の全加算器と、 該集積回路の素子と同一設計の素子で構成さ
れ、該全加算器と類似構成をなし、入力端子の1
つを信号伝達用の入力端子とし、残る2つの入力
端子をコントロール端子とし、該コントロール端
子に入力されるコントロール信号に応じて決定さ
れる伝達パスで入力信号の反転信号が出力に伝達
される奇数段の擬加算器とを備え、 同種の加算器同士は、キヤリー出力端子と信号
伝達用の入力端子とを接続することで、直列接続
されており、前記全加算器のキヤリー出力端子と
前記擬加算器の信号伝達用の入力端子および、前
記擬加算器のキヤリー出力端子と前記全加算器の
信号伝達用の入力端子をそれぞれ接続すること
で、リング発振器を構成してなることを特徴とす
る集積回路評価回路。[Claims] 1. In an integrated circuit evaluation circuit mounted on a semiconductor integrated circuit, the integrated circuit evaluation circuit is composed of elements of the same design as the elements of the integrated circuit, one of the input terminals is used as an input terminal for signal transmission, and the remaining a full adder of a required stage in which two input terminals are used as control terminals and an input signal is transmitted to an output via a transmission path determined according to a control signal input to the control terminals; It is composed of designed elements, has a similar configuration to the full adder, and has one of the input terminals.
One is an input terminal for signal transmission, the remaining two input terminals are control terminals, and the inverted signal of the input signal is transmitted to the output through a transmission path determined according to the control signal input to the control terminal. The adders of the same type are connected in series by connecting the carry output terminal and the input terminal for signal transmission, and the carry output terminal of the full adder and the pseudo adder are connected in series. A ring oscillator is configured by connecting an input terminal for signal transmission of an adder, a carry output terminal of the pseudo adder, and an input terminal for signal transmission of the full adder, respectively. Integrated circuit evaluation circuit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61112264A JPS62267675A (en) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | Integrated circuit evaluation circuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61112264A JPS62267675A (en) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | Integrated circuit evaluation circuit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62267675A JPS62267675A (en) | 1987-11-20 |
| JPH0558511B2 true JPH0558511B2 (en) | 1993-08-26 |
Family
ID=14582349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61112264A Granted JPS62267675A (en) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | Integrated circuit evaluation circuit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62267675A (en) |
-
1986
- 1986-05-16 JP JP61112264A patent/JPS62267675A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62267675A (en) | 1987-11-20 |
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