JPH056131B2 - - Google Patents
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- JPH056131B2 JPH056131B2 JP62008807A JP880787A JPH056131B2 JP H056131 B2 JPH056131 B2 JP H056131B2 JP 62008807 A JP62008807 A JP 62008807A JP 880787 A JP880787 A JP 880787A JP H056131 B2 JPH056131 B2 JP H056131B2
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- spindle
- test object
- sample stage
- testing machine
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Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、回転するスピンドルを試料台とで
被試験体を挟み、被試験体の疲労試験を行なう転
がり軸受の疲労試験機に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a fatigue testing machine for rolling bearings that performs a fatigue test on a test object by sandwiching the test object between a rotating spindle and a sample stage.
〈従来の技術〉
従来、転がり軸受の疲労試験機としては第４図
に示すものがある。この転がり軸受の疲労試験機
は、基台１上の本体２に回転自在に取付けられ、
鉛直下方に延びるスピンドル５を備えている。上
記スピンドル５の上端部と回転数が一定のモータ
３とをベルト４で連結し、スピンドル５の下端部
に回転輪８を固定している。一方、上記本体２に
取付けられたリンク機構１１の一端部には、所定
の負荷に相当する数の分銅１２，１２，…を吊り
下げ、分銅１２，１２，…の近傍に振動検出器１
４を取付けている。試験片７をクランプした試料
台６を上記リンク機構１１の他端部で下方から支
持している。上記回転輪８と試験片７との間にボ
ール１０，１０，…を配置している。<Prior Art> Conventionally, there is a fatigue testing machine for rolling bearings as shown in Fig. 4. This rolling bearing fatigue testing machine is rotatably mounted on a main body 2 on a base 1.
It is equipped with a spindle 5 that extends vertically downward. The upper end of the spindle 5 and a motor 3 having a constant rotation speed are connected by a belt 4, and a rotating wheel 8 is fixed to the lower end of the spindle 5. On the other hand, a number of weights 12, 12, . . . corresponding to a predetermined load are suspended from one end of the link mechanism 11 attached to the main body 2, and a vibration detector 1 is placed near the weights 12, 12, .
4 is installed. The sample stage 6 on which the test piece 7 is clamped is supported from below by the other end of the link mechanism 11. Balls 10, 10, . . . are arranged between the rotating wheel 8 and the test piece 7.
そして、上記モータ３の駆動によりスピンドル
５を回転させて、回転輪８をボール１０，１０，
…に接触させてボール１０，１０，…を回転させ
ながら分銅１２，１２，…でリンク機構１１を介
して試験片７に負荷を与えて、試験片７の疲労試
験を行い、試験片７のフレーキングによる振動の
発生時には、振動検出器１４でモータ３を停止さ
せるようにしている。 Then, the spindle 5 is rotated by the drive of the motor 3, and the rotating wheel 8 is rotated by the balls 10, 10,
A fatigue test was performed on the test piece 7 by applying a load to the test piece 7 via the link mechanism 11 with weights 12, 12, ... while rotating the balls 10, 10, ... in contact with... When vibration occurs due to flaking, a vibration detector 14 is used to stop the motor 3.
〈発明が解決しようとする問題点〉
ところが、上記従来の疲労試験機では、モータ
３の回転数が一定であるため、回転数を種々変え
て疲労試験を行なえないという問題がある。ま
た、上記従来の疲労試験機では、試験片７に与え
られる負荷が分銅１２，１２，…の数で決まるた
め、負荷を段階的にしか変えられず、連続的に負
荷の大きさを変えて疲労試験ができないという問
題がある。また、上記従来の疲労試験機では、振
動検出器１４の位置が試験片７から離れた分銅１
２，１２，…の近傍であるため、試験片７で発生
した振動を精度よく検出できないという問題があ
る。<Problems to be Solved by the Invention> However, in the conventional fatigue testing machine described above, since the number of revolutions of the motor 3 is constant, there is a problem in that fatigue tests cannot be performed by varying the number of revolutions. In addition, in the conventional fatigue testing machine described above, the load applied to the test piece 7 is determined by the number of weights 12, 12, ..., so the load can only be changed in steps, and the magnitude of the load cannot be changed continuously. There is a problem that fatigue tests cannot be performed. In addition, in the conventional fatigue testing machine described above, the position of the vibration detector 14 is located at a distance from the test piece 7 to the weight 1.
2, 12, . . . , there is a problem that the vibration generated in the test piece 7 cannot be detected with high accuracy.
そこで、この発明の目的は、モータの回転数を
変えることができ、負荷を連続的に変化させるこ
とができ、被試験体で発生する振動を精度よく検
出できる転がり軸受の疲労試験機を提供すること
にある。 SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a rolling bearing fatigue testing machine that can change the rotational speed of the motor, continuously change the load, and accurately detect vibrations generated in the test object. There is a particular thing.
〈問題点を解決するための手段〉
上記目的を達成するため、この発明の構成は、
被試験体が固定される試料台と、上記被試験体に
関して上記試料台と反対側に位置するスピンドル
と、上記スピンドルを回転させると共に、上記ス
ピンドルの回転数を制御する回転駆動手段と、上
記試料台を調心機構を介して上記スピンドルの方
向に押圧して上記被試験体に負荷を与える駆動シ
リンダと、上記試料台の振動を直接検出する振動
検出手段とを備えることを特徴としている。<Means for solving the problems> In order to achieve the above object, the structure of the present invention is as follows.
a sample stage on which a test object is fixed; a spindle located on the opposite side of the test object from the sample stand; a rotation drive means for rotating the spindle and controlling the rotational speed of the spindle; The present invention is characterized by comprising a drive cylinder that presses the stand in the direction of the spindle via an alignment mechanism to apply a load to the test object, and vibration detection means that directly detects vibrations of the sample stand.
〈作用〉
駆動シリンダを駆動し、試料台を持ち上げ、被
試験体をスピンドルに当接させ、被試験体をスピ
ンドルと試料台とで挟む。このとき、調心機構を
介して、試料台がスピンドルに向けて押圧される
ため、試料台の傾きが防止され、正確な測定が可
能になる。そして、回転駆動手段によりスピンド
ルを介して被試験体を回転させて、被試験体の回
転数を制御すると共に、被試験体に与えられる負
荷を駆動シリンダにより制御する。そして、所定
時間の経過後、被試験体にフレーキングが生じる
と、被試験体は縦振動をし始める。被試験体の縦
振動が試料台に伝わり、この振動は振動検出手段
で直接検出する。この機械的振動が設定値以上に
なると、振動検出手段が作動し、異常信号を出力
する。そして、回転駆動手段および駆動シリンダ
を停止する。<Operation> The drive cylinder is driven, the sample stage is lifted, the test object is brought into contact with the spindle, and the test object is sandwiched between the spindle and the sample stand. At this time, since the sample stage is pressed toward the spindle via the alignment mechanism, tilting of the sample stage is prevented and accurate measurement becomes possible. The rotational driving means rotates the test object via a spindle to control the rotational speed of the test object, and the load applied to the test object is controlled by the drive cylinder. When flaking occurs on the test object after a predetermined period of time has elapsed, the test object begins to vibrate longitudinally. The longitudinal vibration of the test object is transmitted to the sample stage, and this vibration is directly detected by the vibration detection means. When this mechanical vibration exceeds a set value, the vibration detection means is activated and outputs an abnormal signal. Then, the rotational drive means and the drive cylinder are stopped.
〈実施例〉
以下、この発明を図示の一実施例により詳細に
説明する。<Example> Hereinafter, the present invention will be explained in detail with reference to an illustrated example.
第１図は転がり軸受の疲労試験機の全体図、第
２図は第１図の−線矢視図である。 FIG. 1 is an overall view of a fatigue testing machine for rolling bearings, and FIG. 2 is a view taken along the - line in FIG. 1.
複数の疲労試験機２０，２０，…は基台２１上
に一定間隔をあけて配置している。上記疲労試験
機２０は駆動シリンダとしてのエアシリンダ２２
を基台２１に取付けている。上記エアシリンダ２
２のピストンロツド２３の先端部の近傍には円柱
状の試料台２５を設けている。また、スピンドル
２６を鉛直に配置し、試料台２５近傍まで延ばし
ている。上記スピンドル２６の下端部には第３図
に示すように円柱部２４を形成し、この円柱部２
４の底面外周縁に段部２９を形成している。一
方、上記スピンドル２６の上端部にプーリ２８を
取付けている。第２図に示すように、電動モータ
３１の駆動軸にプーリ３２を取付けている。この
プーリ３２とスピンドル２６のプーリ２８とをベ
ルト３５で連結している。上記電動モータ３１の
回転数を制御するインバータ回路３６を基台２１
の内部に設けている。上記インバータ回路３６と
電動モータ３１で回転駆動手段を構成する。上記
スピンドル２６のプーリ２８と円板３７とを一体
に固定している。この円板３７には回転検出セン
サ３８を対向させている。 A plurality of fatigue testing machines 20, 20, . . . are arranged on a base 21 at regular intervals. The fatigue tester 20 has an air cylinder 22 as a driving cylinder.
is attached to the base 21. Air cylinder 2 above
A cylindrical sample stage 25 is provided near the tip of the second piston rod 23. Further, the spindle 26 is arranged vertically and extends to the vicinity of the sample stage 25. A cylindrical portion 24 is formed at the lower end of the spindle 26 as shown in FIG.
A stepped portion 29 is formed on the outer periphery of the bottom surface of 4. On the other hand, a pulley 28 is attached to the upper end of the spindle 26. As shown in FIG. 2, a pulley 32 is attached to the drive shaft of an electric motor 31. This pulley 32 and the pulley 28 of the spindle 26 are connected by a belt 35. The inverter circuit 36 that controls the rotation speed of the electric motor 31 is mounted on the base 21.
It is located inside. The inverter circuit 36 and the electric motor 31 constitute a rotational drive means. The pulley 28 of the spindle 26 and the disc 37 are fixed together. A rotation detection sensor 38 is placed opposite to this disc 37 .
第３図に示すように、上記エアシリンダ２２と
試料台２５と被試験体３０とスピンドル２６とは
同一軸線上に位置している。上記エアシリンダ２
２はピストンロツド２３の先端部に円錐穴４１を
形成し、この円錐穴４１にボール４２を載置して
いる。上記ピストンロツド２３は先端部にボール
４２の外周を覆うリング状の保持部材４３を嵌合
して、ボール４２が円錐穴４１から脱出するのを
防止している。また、この保持部材４３は、ピス
トンロツド２３を上昇させ、試料台２５を押し上
げスピンドル２６へ押し合わせる際に、試料台２
５の傾きを防止し、スムーズに押しあてができる
ような役割もある。一方、上記試料台２５は下面
の略中央部に円錐穴４５を形成している。この円
錐穴４５にボール４２を嵌め込み、ピストンロツ
ド２３で試料台２５を下方から支持している。ボ
ール４２を介して支持する事で試料には偏当たり
することのない均一な荷重が加わるようになる。
上記円錐穴４１，４５およびボール４２で調心機
構の一例を構成する。上記試料台２５は下面に振
動検出手段であるセンサ５８を固定している。上
記センサ５８をレコーダ（図示せず）に接続し、
被試験体３０で発生した振動を記録するようにし
ている。上記試料台２５の上面の略中央部に凹部
４６を形成し、この凹部４６の中央にネジ孔４７
を形成している。上記ネジ孔４７には、円筒部材
４８に挿通したボルト５１をネジ込み、円筒部材
４８でフランジ状の被試験体３０を試料台２５の
上面に固定している。上記被試験体３０は軸受鋼
で形成されている。一方、上記スピンドル２６の
円柱部２４の段部２９へ回転輪５２を嵌め込み、
回転輪５２と被試験体３０との間に保持器５３で
保持されるボール５５，５５，…を介在させてい
る。上記ボール５５，５５，…を円周方向に沿つ
て等配し、回転輪５２の軌道面と被試験体３０の
上面に当接させている。上記試料台２５は上面の
外周縁近傍にリング状の凹部５６を形成し、この
凹部５６ヘアクリル製の円筒カバー５７の下部を
嵌め込んでいる。上記円筒カバー５７は被試験体
３０、ボール５５，５５，…、保持器５３および
回転輪５２の外周を覆つている。一方、上記試料
台２５は側面には半径方向に突出した棒材６１を
取付けている。上記試料台２５の近傍にはトリク
リミツタ６２を設け、このトルクリミツタ６２に
トルクバー６３を取付けている。上記試料台２５
の棒材６１とトルクリミツタ６２のトルクバー６
３との位置関係は、棒材６１とトルクバー６３と
の接触位置がトルクバー６３の基端から遠ざかる
に従つて試料台２５の回転力が小さくてもトルク
リミツタ６２が作動するようになつている。 As shown in FIG. 3, the air cylinder 22, sample stage 25, test object 30, and spindle 26 are located on the same axis. Air cylinder 2 above
2, a conical hole 41 is formed at the tip of the piston rod 23, and a ball 42 is placed in the conical hole 41. A ring-shaped holding member 43 that covers the outer periphery of the ball 42 is fitted at the tip of the piston rod 23 to prevent the ball 42 from escaping from the conical hole 41. Further, this holding member 43 is used to hold the sample stand 25 when the piston rod 23 is raised and the sample stand 25 is pushed up and pressed against the spindle 26.
It also has the role of preventing 5 from tilting and allowing smooth pressing. On the other hand, the sample stage 25 has a conical hole 45 formed approximately in the center of its lower surface. A ball 42 is fitted into the conical hole 45, and the piston rod 23 supports the sample stage 25 from below. By supporting the sample through the ball 42, a uniform load is applied to the sample without biasing the sample.
The conical holes 41, 45 and the ball 42 constitute an example of an alignment mechanism. The sample stage 25 has a sensor 58, which is a vibration detection means, fixed to the lower surface thereof. Connecting the sensor 58 to a recorder (not shown),
The vibrations generated in the test object 30 are recorded. A recess 46 is formed approximately in the center of the upper surface of the sample stage 25, and a screw hole 47 is formed in the center of the recess 46.
is formed. A bolt 51 inserted through a cylindrical member 48 is screwed into the screw hole 47, and the flange-shaped test object 30 is fixed to the upper surface of the sample stage 25 by the cylindrical member 48. The test object 30 is made of bearing steel. On the other hand, the rotating ring 52 is fitted into the stepped portion 29 of the cylindrical portion 24 of the spindle 26,
Balls 55, 55, . . . held by a retainer 53 are interposed between the rotating ring 52 and the test object 30. The balls 55, 55, . . . are equally distributed along the circumferential direction and are brought into contact with the raceway surface of the rotary ring 52 and the upper surface of the test object 30. The sample stage 25 has a ring-shaped recess 56 formed near the outer periphery of its upper surface, into which the lower part of a cylindrical cover 57 made of acrylic is fitted. The cylindrical cover 57 covers the outer periphery of the test object 30, the balls 55, 55, . . . , the retainer 53, and the rotating ring 52. On the other hand, the sample stage 25 has a bar 61 protruding in the radial direction attached to the side surface thereof. A torque limiter 62 is provided near the sample stage 25, and a torque bar 63 is attached to this torque limiter 62. The above sample stage 25
Torque bar 6 consisting of rod 61 and torque limiter 62
3 is such that as the contact position between the bar 61 and the torque bar 63 moves away from the base end of the torque bar 63, the torque limiter 62 operates even if the rotational force of the sample stage 25 is small.
上記構成において、低い空気圧力でエアシリン
ダ２２を作動し、ピストンロツド２３を伸長さ
せ、回転輪５２をスピンドル２６の段部２９へ嵌
め込む。そうすると、スピンドル２６、回転輪５
２、被試験体３０、試料台２５およびピストンロ
ツド２３は同一軸線上に位置付けられる。そし
て、電動モータ３１を駆動し、電動モータ３１の
プーリ３２、ベルト３５およびプーリ２８を介し
てスピンドル２６と円板３７を回転させると共
に、高い圧力で上記エアシリンダ２２を作動させ
てピストンロツド２３でボール４２を介して試料
台２５を下方から押圧する。このとき、円板３７
の回転数は回転数検出センサ３８で検出され、電
動モータ３１の回転数はインバータ回路３６で所
望の回転数に制御される。スピンドル２６はイン
バータ回路３６によつて所望の回転数で回転し、
回転輪５２はボール５５，５５，…で支持されて
回る。このとき被試験体３０の上面は等配された
ボール５５，５５，…で拘束される一方、被試験
体３０の下面は試料台２５に円周上均等に押圧さ
れるので、試験体３０に所定の負荷が与えられ
る。被試験体３０またはボール５５，５５，…に
フレーキングが発生すると、被試験体３０とボー
ル５５，５５，…との間に摩擦抵抗が生じ、被試
験体３０が縦振動をする。この縦振動が試料台２
５へ伝わり、センサ５８が縦振動を検出する。縦
振動が記録される。フレーキングがさらに発達す
ると、被試験体３０とボール５５，５５，…との
間の摩擦抵抗が大きくなり、試料台２５が回転輪
５２に従動してつれ回わる。そうすると、棒材６
１が移動して、トルクリミツタ６２のトルクバー
６３を押圧する。棒材６１がトルクバー６３を押
す力が設定値以上になると、トルクリミツタ６２
が作動して、電動モータ３１とエアシリンダ２２
が停止する。トルクリミツタ６２が作動する摩擦
抵抗値は、棒材６１とトルクバー６３との接触位
置を変えることにより適宜な値に設定できる。 In the above configuration, the air cylinder 22 is actuated with low air pressure, the piston rod 23 is extended, and the rotary ring 52 is fitted into the stepped portion 29 of the spindle 26. Then, the spindle 26, the rotating wheel 5
2. The test object 30, sample stage 25, and piston rod 23 are positioned on the same axis. Then, the electric motor 31 is driven to rotate the spindle 26 and disk 37 via the pulley 32, belt 35, and pulley 28 of the electric motor 31, and the air cylinder 22 is operated with high pressure to cause the piston rod 23 to rotate the ball. The sample stage 25 is pressed from below via 42. At this time, the disk 37
The rotation speed of the electric motor 31 is detected by a rotation speed detection sensor 38, and the rotation speed of the electric motor 31 is controlled to a desired rotation speed by an inverter circuit 36. The spindle 26 is rotated at a desired rotation speed by an inverter circuit 36,
The rotating wheel 52 is supported by balls 55, 55, . . . and rotates. At this time, the upper surface of the test object 30 is restrained by equally distributed balls 55, 55, etc., while the lower surface of the test object 30 is pressed against the sample stage 25 evenly on the circumference, so that the test object 30 is A predetermined load is applied. When flaking occurs on the test object 30 or the balls 55, 55, . . . , frictional resistance occurs between the test object 30 and the balls 55, 55, . . . , and the test object 30 longitudinally vibrates. This longitudinal vibration causes the sample stage 2
5, and the sensor 58 detects the longitudinal vibration. Longitudinal vibrations are recorded. As the flaking further develops, the frictional resistance between the test object 30 and the balls 55, 55, . . . increases, and the sample stage 25 follows the rotating wheel 52 and rotates. Then, the bar 6
1 moves and presses the torque bar 63 of the torque limiter 62. When the force with which the bar 61 pushes the torque bar 63 exceeds the set value, the torque limiter 62
operates, and the electric motor 31 and air cylinder 22
stops. The frictional resistance value at which the torque limiter 62 operates can be set to an appropriate value by changing the contact position between the rod 61 and the torque bar 63.
このように、スピンドル２６の回転数をインバ
ータ回路３６により制御すると共にエアシリンダ
２２の圧力制御により負荷を種々変えることがで
きるので、種々の回転速度、負荷条件での疲労試
験結果を得ることができる。また、試料台２５に
センサ５８を設けるので、被試験体３０で発生し
たフレーキングによる縦振動を試料台２５から直
接検出でき、縦振動を精度よく記録できる。ま
た、調心機構を用いているので、試料台２５の傾
きを防止して、被試験体３０への偏荷重を防止で
きる。 In this way, since the rotational speed of the spindle 26 is controlled by the inverter circuit 36 and the load can be varied by controlling the pressure of the air cylinder 22, fatigue test results can be obtained under various rotational speeds and load conditions. . Further, since the sensor 58 is provided on the sample stage 25, the longitudinal vibration due to flaking generated in the test object 30 can be directly detected from the sample stage 25, and the longitudinal vibration can be recorded with high accuracy. Furthermore, since the alignment mechanism is used, it is possible to prevent the sample stage 25 from tilting, thereby preventing an uneven load on the test object 30.
上記実施例では、エアシリンダを用いたが、油
圧シリンダを用いてもよい。 In the above embodiment, an air cylinder was used, but a hydraulic cylinder may also be used.
〈発明の効果〉
以上の説明より明らかなように、この発明の転
がり軸受の疲労試験機は、被試験体が固定される
試料台と、上記被試験体を上記試料台とで挟むス
ピンドルと、上記スピンドルを回転させると共
に、上記スピンドルの回転数を制御する回転駆動
手段と、上記試料台を調心機構を介して上記スピ
ンドルの方向に押圧して上記被試験体に負荷を与
える駆動シリンダと、上記試料台の振動を直接検
出する振動検出手段とを備えているので、スピン
ドルの回転数と被試験体に与える負荷を種々変え
ることができ、したがつて種々の条件での疲労試
験結果を得ることができる。また、この発明によ
れば、試料台の振動を直接検出する振動検出手段
を備えているので、被試験体で発生したフレーキ
ング等による振動を精度よく検出できる。また、
この発明によれば、試料台を調心機構を介してス
ピンドルの方向に押圧するので、試料台の傾きを
防止して、正確な測定ができる。<Effects of the Invention> As is clear from the above description, the rolling bearing fatigue testing machine of the present invention includes: a sample stand to which a test object is fixed; a spindle that holds the test object between the sample stand; a rotational drive unit that rotates the spindle and controls the rotational speed of the spindle; a drive cylinder that presses the sample stage in the direction of the spindle via an alignment mechanism to apply a load to the test object; Since it is equipped with a vibration detection means that directly detects the vibration of the sample stage, it is possible to vary the rotational speed of the spindle and the load applied to the test object, thereby obtaining fatigue test results under various conditions. be able to. Further, according to the present invention, since the vibration detection means for directly detecting the vibration of the sample stage is provided, vibrations caused by flaking or the like generated in the test object can be detected with high accuracy. Also,
According to this invention, since the sample stand is pressed in the direction of the spindle via the alignment mechanism, the sample stand is prevented from tilting and accurate measurements can be made.
第１図はこの発明の一実施例の転がり軸受の疲
労試験機の全体図、第２図は第１図の−線矢
視図、第３図は転がり軸受の疲労試験機の要部断
面図、第４図は従来例の全体図である。
２２……駆動シリンダ、２５……試料台、２６
……スピンドル、３１，３６……回転駆動手段、
５８……振動検出手段。
Fig. 1 is an overall view of a fatigue testing machine for rolling bearings according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a view taken along the - line in Fig. 1, and Fig. 3 is a sectional view of essential parts of the fatigue testing machine for rolling bearings. , FIG. 4 is an overall view of the conventional example. 22... Drive cylinder, 25... Sample stage, 26
... Spindle, 31, 36 ... Rotation drive means,
58... Vibration detection means.
Claims (1)
体に関して上記試料台と反対側に位置するスピン
ドルと、上記スピンドルを回転させると共に、上
記スピンドルの回転数を制御する回転駆動手段
と、上記試料台を調心機構を介して上記スピンド
ルの方向に押圧して上記被試験体に負荷を与える
駆動シリンダと、上記試料台の振動を直接検出す
る振動検出手段とを備えることを特徴とする転が
り軸受の疲労試験機。 ２ 上記回転駆動手段は上記スピンドルを駆動す
る電動モータと上記電動モータの回転数を制御す
るインバータ回路とからなることを特徴とする上
記特許請求の範囲第１項に記載の転がり軸受の疲
労試験機。 ３ 上記駆動シリンダはエアシリンダであること
を特徴とする上記特許請求の範囲第１項に記載の
転がり軸受の疲労試験機。[Claims] 1. A sample stage on which a test object is fixed, a spindle located on the opposite side of the test object from the sample stage, and a system for rotating the spindle and controlling the rotational speed of the spindle. A rotational drive means, a drive cylinder that presses the sample stand in the direction of the spindle via an alignment mechanism to apply a load to the test object, and a vibration detection means that directly detects the vibration of the sample stand. A fatigue testing machine for rolling bearings. 2. The rolling bearing fatigue testing machine according to claim 1, wherein the rotational drive means comprises an electric motor that drives the spindle and an inverter circuit that controls the number of rotations of the electric motor. . 3. The rolling bearing fatigue testing machine according to claim 1, wherein the drive cylinder is an air cylinder.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62008807A JPS63177035A (en) | 1987-01-17 | 1987-01-17 | Fatigue tester of roll bearing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62008807A JPS63177035A (en) | 1987-01-17 | 1987-01-17 | Fatigue tester of roll bearing |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63177035A JPS63177035A (en) | 1988-07-21 |
| JPH056131B2 true JPH056131B2 (en) | 1993-01-25 |
Family
ID=11703107
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62008807A Granted JPS63177035A (en) | 1987-01-17 | 1987-01-17 | Fatigue tester of roll bearing |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63177035A (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5192371A (en) * | 1991-05-21 | 1993-03-09 | Asm Japan K.K. | Substrate supporting apparatus for a CVD apparatus |
| JP2003031647A (en) | 2001-07-19 | 2003-01-31 | Hitachi Kokusai Electric Inc | Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device |
| KR101320199B1 (en) * | 2012-02-28 | 2013-10-29 | 현대제철 주식회사 | Jig for fixing specimens of vibration testing machine |
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Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS5760244A (en) * | 1980-09-29 | 1982-04-12 | Hitachi Seiko Ltd | Hynamic characteristic measuring apparatus for single antifriction bearing |
-
1987
- 1987-01-17 JP JP62008807A patent/JPS63177035A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63177035A (en) | 1988-07-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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