JPH05651B2 - - Google Patents
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- JPH05651B2 JPH05651B2 JP30592287A JP30592287A JPH05651B2 JP H05651 B2 JPH05651 B2 JP H05651B2 JP 30592287 A JP30592287 A JP 30592287A JP 30592287 A JP30592287 A JP 30592287A JP H05651 B2 JPH05651 B2 JP H05651B2
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は例えば地震計のように、加速度検出
部の中の可動部の平衡点からの変位を検出し、そ
の変位の検出値を増幅して、加速度検出部の可動
部を、平衡位置に戻すように駆動するサーボ式振
動計において、デイジタル値によつて計測できる
ようにしたデイジタルサーボ式振動計に関する。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] This invention detects the displacement of a movable part in an acceleration detection unit from an equilibrium point, and amplifies the detected value of the displacement, such as in a seismometer. The present invention relates to a digital servo-type vibrometer that drives a movable part of an acceleration detection section so as to return it to an equilibrium position, and is capable of performing measurements using digital values.
従来のサーボ式振動計としては、例えば第7図
に示すように、サーボ式振動計1は、加速度検出
部2の中の可動部3の平衡点からの変位を検出す
る検出コイル4があり、検出値を増幅する変換器
5、加速度検出部2の磁石6の中で直線運動する
駆動コイル7、電流計8等から成つている。検出
コイル4に変換器5から高周波電流を加えると、
導電性である可動部3の表面に渦電流が発生す
る。この渦電流の強度は検出コイル4と可動部3
との距離に応じて変化し、その結果検出コイル4
のインダクタンスが距離の関数として変化する。
As a conventional servo-type vibrometer, for example, as shown in FIG. 7, a servo-type vibrometer 1 includes a detection coil 4 that detects the displacement of a movable part 3 in an acceleration detection part 2 from an equilibrium point. It consists of a converter 5 that amplifies the detected value, a drive coil 7 that moves linearly within the magnet 6 of the acceleration detector 2, an ammeter 8, and the like. When high frequency current is applied from the converter 5 to the detection coil 4,
Eddy currents are generated on the surface of the movable part 3, which is conductive. The strength of this eddy current is determined by the detection coil 4 and the movable part 3.
As a result, the detection coil 4
The inductance of changes as a function of distance.
可動部3が平衡点から変位すると検出コイル4
に電圧が発生するので、その出力を変換器5によ
つて増幅し、電気的な処理によつて可動部3の変
位に比例した電圧として取り出し、可動部3に固
定した駆動コイル7に供給する。そして可動部3
が常に平衡位置になるように電流を供給し、この
ようにして可動部3、検出コイル4、変換器5、
駆動コイル7によつてサーボループを形成する。
そうすると変換器5の出力電流は、可動部3を平
衡位置に戻そうとする加速度に比例していること
から、変換器5の出力電流を、電流計8によつて
計測することにより、加速度検出部2の加速度を
電流値として検出して力平衡形変換器を形成し、
高精度の振動計が得られるようにしていた。 When the movable part 3 is displaced from the equilibrium point, the detection coil 4
Since a voltage is generated, the output thereof is amplified by the converter 5, extracted as a voltage proportional to the displacement of the movable part 3 through electrical processing, and supplied to the drive coil 7 fixed to the movable part 3. . And moving part 3
A current is supplied so that the movable part 3, the detection coil 4, the transducer 5,
The drive coil 7 forms a servo loop.
Then, since the output current of the converter 5 is proportional to the acceleration that attempts to return the movable part 3 to the equilibrium position, by measuring the output current of the converter 5 with the ammeter 8, the acceleration can be detected. Detecting the acceleration of section 2 as a current value to form a force balance type transducer,
The aim was to obtain a highly accurate vibration meter.
ところでこのような従来のサーボ式振動計にあ
つては、フイードバツク型であるために、一般の
振動計に比べて誤差の発生は少ないが、変換器に
直流増幅器を使用するので、これにドリフトが発
生して計測値に誤差が発生すること、外乱信号や
落雷等のために計測が正常に行われないことがあ
る。また計測値を記録するにはペンレコーダ等に
よつてアナログ記録するか、計測値をA/D変換
してデイジタル値として記録することになるが、
アナログ記録では処理がしにくいこと、デイジタ
ル値に変換するには多くの手数を要するという問
題点があつた。
By the way, since conventional servo-type vibration meters like this one are of the feedback type, they have fewer errors than general vibration meters, but since they use a DC amplifier as a converter, there is a possibility of drift. This may cause an error in the measured value, or the measurement may not be performed properly due to disturbance signals, lightning strikes, etc. In addition, to record measured values, it is necessary to record analog values using a pen recorder or the like, or to convert the measured values to A/D and record them as digital values.
Analog recording has problems in that it is difficult to process and requires a lot of effort to convert to digital values.
この発明は、このような従来の問題点に着目し
てなされたもので、誤差の発生が少なく計測値の
処理が容易な、デイジタルサーボ式振動計を得る
ことをその目的とする。 The present invention has been made in view of these conventional problems, and an object of the present invention is to provide a digital servo vibrometer that causes fewer errors and facilitates processing of measured values.
本発明における上記の問題点を解決するための
手段は、振動計の加速度検出部の可動部の平衡点
からの変位を検出する変位計と、該変位計の計測
値を増幅する増幅器と、該増幅器の出力により前
記可動部を常に前記平衡点へ戻そうとする復元力
を発生する駆動部とからなり、前記変位計の変位
からではなく、前記可動部を駆動する電流値を測
定することにより、振動を計測するサーボ式振動
計において、前記変位計の出力値を増幅する増幅
器の代りに、該変位計の出力を変換するパルス幅
変調器と、該パルス幅変調器の出力を電流に変換
するパワフイルタとを備え、該パワフイルタの出
力により前記加速度検出部の可動部を駆動する駆
動部を付加してサーボ式振動計を形成し、前記パ
ルス幅変調器のパルス幅をデイジタル値に変換す
るカウンタを設けるように構成することである。
Means for solving the above problems in the present invention includes: a displacement meter that detects the displacement of the movable part of the acceleration detection section of the vibration meter from the equilibrium point; an amplifier that amplifies the measured value of the displacement meter; and a drive section that generates a restoring force that constantly tries to return the movable section to the equilibrium point by the output of an amplifier, and by measuring the current value that drives the movable section, not from the displacement of the displacement meter. In a servo-type vibration meter that measures vibration, instead of an amplifier that amplifies the output value of the displacement meter, a pulse width modulator that converts the output of the displacement meter, and a pulse width modulator that converts the output of the pulse width modulator into a current. a power filter, a driving part for driving the movable part of the acceleration detection part by the output of the power filter to form a servo vibration meter, and a counter for converting the pulse width of the pulse width modulator into a digital value. It is to be configured so as to provide the following.
本発明の作用を説明すると、加速度検出部の可
動部の平衡点からの変位が変位計によつて検出さ
れれ、該変位計の出力はパルス幅変調器によつて
増幅され、該パルス幅変調器の出力はパワフイル
タによつて電流に変換され、前記可動部を前記平
衡点へ戻そうとする復元力となる駆動力を発生す
る。この場合の駆動力となる電流値は加速度に比
例し、従つてパルス幅変調器の出力は振動加速度
を表すことになる。一方パルス幅変調器の出力で
あるパルス幅は、カウンタによつてデイジタル値
に変換され、振動の計測値がデイジタル値で表さ
れる。
To explain the operation of the present invention, the displacement of the movable part of the acceleration detection section from the equilibrium point is detected by a displacement meter, the output of the displacement meter is amplified by a pulse width modulator, and the output of the displacement meter is amplified by a pulse width modulator. The output of the device is converted into a current by a power filter, which generates a driving force that serves as a restoring force to return the movable part to the equilibrium point. The current value serving as the driving force in this case is proportional to the acceleration, and therefore the output of the pulse width modulator represents the vibration acceleration. On the other hand, the pulse width that is the output of the pulse width modulator is converted into a digital value by a counter, and the measured value of vibration is expressed as a digital value.
以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.
第1図は本発明の一実施例を示す構成図で、デ
イジタルサーボ式振動計は、筐体10と加速度検
出部11とからなり、加速度検出部11には永久
磁石12と、永久磁石12と相対運動をする可動
部13があり、また可動部13の平衡位置からの
変位を検出する変位計14がある。可動部13は
アルミ板15と、後に述べる駆動コイル31とか
ら成り立つている。また変位計14の計測値を増
幅するパルス幅変調器20があるが、変位計14
の一部とパルス幅変調器20とは筐体10の中に
収納されている。なお本実施例では可動部13を
形成するものとして、アルミ板15を用いたが、
非磁性体の導電体であれば、他の金属板等を用い
てもよい。 FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of the present invention. The digital servo vibration meter consists of a housing 10 and an acceleration detection section 11, and the acceleration detection section 11 includes a permanent magnet 12 and a permanent magnet 12. There is a movable part 13 that moves relative to each other, and a displacement meter 14 that detects the displacement of the movable part 13 from its equilibrium position. The movable part 13 is made up of an aluminum plate 15 and a drive coil 31, which will be described later. There is also a pulse width modulator 20 that amplifies the measured value of the displacement meter 14.
A part of the pulse width modulator 20 and the pulse width modulator 20 are housed in the housing 10. Note that in this embodiment, the aluminum plate 15 was used to form the movable part 13;
Other metal plates or the like may be used as long as they are non-magnetic conductors.
変位計14は第2図に示すように加速度検出部
11の可動部13を形成するアルミ板15の変位
を検出するもので、先端にコイル17が巻きつけ
られたプローブ16と、第3図に示す筐体10の
中の励磁キヤリア発生部18、検波平滑部19と
から成り、パルス幅変調器20は第3図に示すよ
うに、発振器21、増幅器22、比較器23、論
理和回路24等から成つている。 The displacement meter 14 detects the displacement of the aluminum plate 15 forming the movable part 13 of the acceleration detection section 11 as shown in FIG. The pulse width modulator 20 includes an oscillator 21, an amplifier 22, a comparator 23, an OR circuit 24, etc. as shown in FIG. It consists of
筐体10の中には、パルス幅変調器20の出力
であるパルス幅を、デイジタル値に変換するカウ
ンタ部25があり、カウンタ部25には第5図に
示すように、40MHzの発振器26、2進4桁のユ
ニツトが3個連接しているアツプダウンカウンタ
27がある。そしてパルス幅変調器20の出力を
復調するパワフイルタ30が、第2図に示すよう
に加速度検出部11の中に設けられており、パワ
フイルタ30の出力は、加速度検出部11の可動
部13を、可動部駆動装置としての、永久磁石1
2の中に置かれた駆動コイル31によつて駆動す
るようになつている。 Inside the housing 10, there is a counter unit 25 that converts the pulse width output from the pulse width modulator 20 into a digital value, and the counter unit 25 includes a 40MHz oscillator 26, as shown in FIG. There is an up-down counter 27 in which three four-digit binary units are connected. A power filter 30 for demodulating the output of the pulse width modulator 20 is provided in the acceleration detection section 11 as shown in FIG. Permanent magnet 1 as a movable part drive device
It is adapted to be driven by a drive coil 31 placed in the 2.
加速度検出部11の可動部13が振動を受け
て、永久磁石12と相対運動をしたとき、その相
対運動の変位を検出する過程について説明する。
変位計14の励磁キヤリア発生部18では1MHz
のキヤリアが発生しており、これを変位計14の
コイル17に加えると、導電性である可動部13
のアルミ板15の表面に渦電流が発生する。この
渦電流の強度はコイル17とアルミ板15との距
離に応じて変化し、その結果プローブ16のコイ
ル17のインダクタンスが距離の関数として変化
する。従つてプローブ16のコイル17と、アル
ミ板15との間のギヤツプの変化によつて渦電流
が増減し、励磁キヤリアの1MHzの交流信号が増
減して、次の検波平滑部19によつて直流電圧に
変換され、このようにして可動部13のアルミ板
15の変位が直流電圧に変換される(第3図参
照)。 When the movable part 13 of the acceleration detection part 11 receives vibration and moves relative to the permanent magnet 12, a process of detecting the displacement of the relative movement will be described.
1MHz in the excitation carrier generator 18 of the displacement meter 14
When this carrier is applied to the coil 17 of the displacement meter 14, the movable part 13 which is conductive
An eddy current is generated on the surface of the aluminum plate 15. The intensity of this eddy current varies depending on the distance between coil 17 and aluminum plate 15, and as a result, the inductance of coil 17 of probe 16 varies as a function of distance. Therefore, the eddy current increases or decreases due to the change in the gap between the coil 17 of the probe 16 and the aluminum plate 15, and the 1MHz AC signal of the excitation carrier increases or decreases, and the next detection smoothing section 19 converts the eddy current into a DC signal. In this way, the displacement of the aluminum plate 15 of the movable part 13 is converted into a DC voltage (see FIG. 3).
この直流電圧の信号が次のパルス幅変調器20
に入力する。パルス幅変調器20は入力する直流
電圧に応じて、大きい入力電圧に対してはパルス
幅を広く、小さい入力電圧に対してはパルスの幅
を狭くして、1kHzのパルス周波数によつてパル
ス幅変調されたパルスを出力する。この出力が第
2図に示す加速度検出部11の中のパワフイルタ
30に入力し、直流電流に変換されて、可動部駆
動装置としての駆動コイル31を駆動し、可動部
13のアルミ板15を元の位置に戻すようにす
る。よつて可動部13が常に平衡位置である元の
位置に戻るように制御されるが、このように制御
がなされたときの、駆動コイル31の電流値が振
動の加速度に比例するので、駆動コイル31の電
流値即ちパルス幅変調器20のパルス幅を測定し
て振動を計測できる。 This DC voltage signal is sent to the next pulse width modulator 20.
Enter. The pulse width modulator 20 widens the pulse width for large input voltages and narrows the pulse width for small input voltages according to the input DC voltage, and adjusts the pulse width at a pulse frequency of 1kHz. Outputs a modulated pulse. This output is input to the power filter 30 in the acceleration detection section 11 shown in FIG. Return it to the position. Therefore, the movable part 13 is controlled to always return to its original position, which is the equilibrium position, but when such control is performed, the current value of the drive coil 31 is proportional to the acceleration of vibration, so the drive coil Vibration can be measured by measuring the current value of 31, that is, the pulse width of the pulse width modulator 20.
直流電圧からパルス幅変調される過程を第4図
のタイミングチヤートに示すが、第4図aに示す
ような1kHzの等間隔の矩形波が、第3図に示す
発振器21から常時発振されている。そしてこの
矩形波を積分して、第4図bに示すように、aの
矩形波のハイのときに直線的に上昇し、aの矩形
波がローのときに直線的に下降するような三角波
を発生させる。パルス幅変調器20への入力であ
る直流電圧の値を、曲線Гとしてbの三角波に重
畳させて示し、曲線Гはbの三角波の中央値を零
点として表すものとする。曲線Гと三角波との交
点を第3図の比較器23によつて求め、第4図
c,dに示す矩形波のように、曲線Гによつて表
される電圧がパルス幅が変調された形で出力され
る。 The process of pulse width modulation from a DC voltage is shown in the timing chart of Figure 4, and 1kHz equally spaced rectangular waves as shown in Figure 4a are constantly oscillated from the oscillator 21 shown in Figure 3. . Then, by integrating this rectangular wave, as shown in Figure 4b, a triangular wave is formed that rises linearly when the rectangular wave a is high and falls linearly when the rectangular wave a is low. to occur. The value of the DC voltage that is input to the pulse width modulator 20 is shown as a curve Γ superimposed on the triangular wave b, and the curve Γ represents the center value of the triangular wave b as a zero point. The intersection point of the curve Г and the triangular wave is determined by the comparator 23 in FIG. output in the form
次にパルス幅変調器20の出力としてのパルス
幅を、デイジタル値に変換する過程について説明
する。ここではパルス幅変調器20のパワとして
の出力とは別に、第4図bに示すチヤートを用い
て述べるが、前の場合と同様にパルス幅変調器2
0への入力である直流電圧の値を曲線Гとして表
したものが、1kHzの三角波と重畳して示されて
おり、曲線Гは三角波の中央値を零点として表す
ものとする。一方カウンタ部25の発振器26か
ら40MHzの高周波が常時発振しており、アツプダ
ウンカウンタ27を起動させて、bの三角波の下
端から即ちaの矩形波が立上つた時点から、発振
器26の40MHzの発振波をカウントする。カウン
トを開始してから曲線Гと三角波とが交わる所ま
では、加算するカウントとし、曲線Гと三角波と
が交わつた時カウントを中止し、このカウント値
をv1とする(第4図e参照)。次にbの三角波の
上端から、即ちaの矩形波の立下つた時点から減
衰するカウントを開始し、曲線Гと三角波とが交
わる所までカウントを継続して、このカウント値
をv2とする(第4図f参照)。カウント値v1は加
算値であり、カウント値v2は減算値であるから、
アツプダウンカウンタ27に残つたカウント値は
v1−v2となり、
v0=(v1−v2)/2
を求めることにより、加算、減算のカウントを行
つた中間の時点における、パルス幅変調器20の
入力電圧がデイジタル値であるv0で表されたこと
になる。カウンタ部25の詳細を第5図に示す。
発振器26からの40MHzの高周波がアンドゲート
28,29に入力し、アンドゲート28では加算
のカウントが、アンドゲート29では減算のカウ
ントがなされる。そしてアツプダウンカウンタ2
7の出力はラツチ回路33を経て、外部に表示さ
れる。 Next, a process of converting the pulse width as the output of the pulse width modulator 20 into a digital value will be explained. Here, apart from the output as power of the pulse width modulator 20, it will be described using the chart shown in FIG.
The value of the DC voltage input to 0 is shown as a curve Г superimposed on a 1 kHz triangular wave, and the curve Г represents the center value of the triangular wave as a zero point. On the other hand, a high frequency of 40 MHz is constantly oscillating from the oscillator 26 of the counter section 25, and the up-down counter 27 is started, and from the point when the rectangular wave a rises from the lower end of the triangular wave b, the 40 MHz high frequency wave of the oscillator 26 is Count oscillation waves. From the start of counting until the point where the curve Г and the triangular wave intersect, the count is added. When the curve Г and the triangular wave intersect, the count is stopped and this count value is set to v 1 (see Figure 4 e). ). Next, start the attenuating count from the top of the triangular wave b, that is, from the point where the rectangular wave a falls, and continue counting until the point where the curve Г intersects the triangular wave, and set this count value to v 2 . (See Figure 4f). Since count value v 1 is an addition value and count value v 2 is a subtraction value,
The count value remaining in the up-down counter 27 is
v 1 - v 2 , and by finding v 0 = (v 1 - v 2 )/2, the input voltage of the pulse width modulator 20 at an intermediate point in time after counting addition and subtraction is a digital value. It will be expressed as v 0 . Details of the counter section 25 are shown in FIG.
A high frequency of 40 MHz from the oscillator 26 is input to AND gates 28 and 29, and the AND gate 28 performs an addition count, and the AND gate 29 performs a subtraction count. And updown counter 2
The output of 7 passes through a latch circuit 33 and is displayed externally.
このように本実施例では振動の変位を検出した
後の増幅を、直流増幅器によらず、パルス幅変調
器を用いているため、その出力はデイジタル値に
変換し易く、外乱信号や落雷にも強いものとな
る。またアツプダウンカウンタによつて直接デイ
ジタル値で表されるから、構造が簡単でしかも精
度の高い振動計が得られる。 In this way, in this embodiment, the amplification after detecting the displacement of the vibration is performed by using a pulse width modulator instead of a DC amplifier, so the output can be easily converted into a digital value, and it can be easily used against disturbance signals and lightning strikes. Become strong. Furthermore, since the up-down counter directly represents the value as a digital value, a vibration meter with a simple structure and high accuracy can be obtained.
なお上記の実施例では変位計として可動部13
の変位によつて発生する渦電流を用いる方法につ
いて述べたが、変位を直流電圧に変換しうるもの
であれば他の方法を用いてもよい。第6図は光に
よる変位計で、可動部35が上下するとき、可動
部35の上下に設けられた一対の発光ダイオード
36と受光ダイオード37が可動部35の変位を
検出し、増幅器38によつて直流電圧に変換して
パルス幅変調器に入力するもので、このようにし
て変位計14の代りとするものである。 Note that in the above embodiment, the movable part 13 is used as a displacement meter.
Although the method using the eddy current generated by the displacement of is described, other methods may be used as long as the displacement can be converted into a DC voltage. FIG. 6 shows an optical displacement meter. When the movable part 35 moves up and down, a pair of light emitting diodes 36 and a light receiving diode 37 provided above and below the movable part 35 detect the displacement of the movable part 35, and an amplifier 38 detects the displacement of the movable part 35. The voltage is then converted into a DC voltage and input to the pulse width modulator, thus replacing the displacement meter 14.
以上説明したように、この発明によれば、変位
を検出した後の増幅を、直流増幅器によらず、パ
ルス幅変調器を用いているため、ドリフトが発生
することもなく、加速度検出部と変調回路との間
のケーブルの長さを長くしても、外乱信号や落雷
等に強くなつて、安定した作動を行わせることが
できる。またパルス幅変調器の出力は何らの変換
を行うことなく、AM式のテープレコーダにFM
変調と同様な高いS/N比で記録することがで
き、復調して再生することができる。なお本発明
ではパルス幅をアツプダウンカウンタ等によつて
簡単にデイジタル値に変換できるので、A/Dコ
ンバータ等の複雑な装置を必要とせず、しかもデ
イジタル値に変換されているため、記憶させてデ
ータ処理を行う等、その他の処理がし易くなると
いう利点を有するものである。
As explained above, according to the present invention, since the amplification after displacement is detected is performed using a pulse width modulator instead of a DC amplifier, there is no drift, and the amplification is performed with the acceleration detection section. Even if the length of the cable between the device and the circuit is increased, it will be more resistant to disturbance signals, lightning strikes, etc., and stable operation can be achieved. In addition, the output of the pulse width modulator can be sent to an AM tape recorder without any conversion.
It can be recorded with a high S/N ratio similar to modulation, and can be demodulated and reproduced. In the present invention, the pulse width can be easily converted into a digital value using an up-down counter, etc., so there is no need for a complicated device such as an A/D converter. This has the advantage that other processing such as data processing becomes easier.
第1図は本発明の実施例の構成図、第2図は加
速度検出部の詳細回路図、第3図は筐体部の詳細
回路図、第4図は作動のタイミングチヤート、第
5図はカウンタ部の詳細回路図、第6図は変位計
の他の実施例を示す回路図、第7図は従来のサー
ボ式振動計の構成図である。
11…加速度検出部、13…可動部、14…変
位計、20…パルス幅変調器、25…カウンタ
部、30…パワフイルタ、31…駆動コイル(可
動部駆動装置)。
Fig. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a detailed circuit diagram of the acceleration detection section, Fig. 3 is a detailed circuit diagram of the housing section, Fig. 4 is an operation timing chart, and Fig. 5 is a detailed circuit diagram of the acceleration detection section. FIG. 6 is a detailed circuit diagram of the counter section, FIG. 6 is a circuit diagram showing another embodiment of the displacement meter, and FIG. 7 is a configuration diagram of a conventional servo vibration meter. DESCRIPTION OF SYMBOLS 11... Acceleration detection part, 13... Movable part, 14... Displacement meter, 20... Pulse width modulator, 25... Counter part, 30... Power filter, 31... Drive coil (movable part drive device).
Claims (1)
の変位を検出する変位計と、該変位計の計測値を
増幅する増幅器と、該増幅器の出力により前記可
動部を常に前記平衡点へ戻そうとする復元力を発
生する駆動部とからなり、前記変位計の変位から
ではなく、前記可動部を駆動する電流値を測定す
ることにより、振動を計測するサーボ式振動計に
おいて、前記変位計の出力値を増幅する増幅器の
代りに、該変位計の出力を変換するパルス幅変調
器と、該パルス幅変調器の出力を電流に変換する
パワフイルタとを備え、該パワフイルタの出力に
より前記加速度検出部の可動部を駆動する駆動部
を付加してサーボ式振動計を形成し、前記パルス
幅変調器のパルス幅をデイジタル値に変換するカ
ウンタを設けたことを特徴とするデイジタルサー
ボ式振動計。1. A displacement meter that detects the displacement of the movable part of the acceleration detection part of the vibration meter from the equilibrium point, an amplifier that amplifies the measured value of the displacement meter, and the output of the amplifier always returns the movable part to the equilibrium point. In a servo-type vibration meter that measures vibration not from the displacement of the displacement meter but by measuring the current value that drives the movable portion, the displacement meter Instead of an amplifier that amplifies the output value of the displacement meter, a pulse width modulator that converts the output of the displacement meter and a power filter that converts the output of the pulse width modulator into a current are provided, and the acceleration detection is performed using the output of the power filter. 1. A digital servo-type vibrometer, characterized in that a servo-type vibrometer is formed by adding a drive section for driving a movable section of the section, and a counter is provided for converting the pulse width of the pulse width modulator into a digital value.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30592287A JPH01148921A (en) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | Digital servo type vibrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30592287A JPH01148921A (en) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | Digital servo type vibrometer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01148921A JPH01148921A (en) | 1989-06-12 |
| JPH05651B2 true JPH05651B2 (en) | 1993-01-06 |
Family
ID=17950913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30592287A Granted JPH01148921A (en) | 1987-12-04 | 1987-12-04 | Digital servo type vibrometer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01148921A (en) |
-
1987
- 1987-12-04 JP JP30592287A patent/JPH01148921A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01148921A (en) | 1989-06-12 |
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Legal Events
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