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JPH0569429B2 - - Google Patents
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JPH0569429B2 - - Google Patents

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JPH0569429B2
JPH0569429B2 JP62222247A JP22224787A JPH0569429B2 JP H0569429 B2 JPH0569429 B2 JP H0569429B2 JP 62222247 A JP62222247 A JP 62222247A JP 22224787 A JP22224787 A JP 22224787A JP H0569429 B2 JPH0569429 B2 JP H0569429B2
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JP
Japan
Prior art keywords
transparent electrode
electrode layer
liquid crystal
pattern
layer
Prior art date
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JP62222247A
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JPS6465523A (en
Inventor
Juji Tanaka
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Stanley Electric Co Ltd
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Stanley Electric Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、少なくとも一方の電極を二層構造と
することにより境目のない表示が可能である液晶
表示素子の製造方法に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Field of Application] The present invention relates to a method of manufacturing a liquid crystal display element that enables borderless display by providing at least one electrode with a two-layer structure.

〔従来の技術及び問題点〕[Conventional technology and problems]

従来、液晶表示素子により境目のない表示を行
う場合には、セグメント電極又はコモン電極の少
なくとも一方の電極を二層構造とすることにより
実現していた。即ち、例えば第3図に示すように
液晶表示素子1においては、互いに平行に配設さ
れた2枚のガラス基板2,3の対向する面上に
各々透明電極4,5が設けられている。ここで、
上方のガラス基板2の下面には通常の一層のコモ
ン電極となるべき透明電極4が備えられている
が、下方のガラス基板3の上面には二層構造のパ
ターン電極となるべき透明電極5が備えられる。
この二層構造の透明電極5は、先ずガラス基板3
の上面に第一層の所定の第一のパターンを有する
透明電極層5aが形成され、次にその上から全面
に亘つてSiO2等の絶縁膜5bが形成された後、
該絶縁膜5bの上に上記第一のパターンに対して
補完的な第二のパターンを有する透明電極層5c
が形成されることにより構成される。
BACKGROUND ART Conventionally, borderless display using a liquid crystal display element has been achieved by forming at least one of the segment electrodes and the common electrode into a two-layer structure. That is, for example, as shown in FIG. 3, in the liquid crystal display element 1, transparent electrodes 4 and 5 are provided on opposing surfaces of two glass substrates 2 and 3, which are arranged parallel to each other. here,
The lower surface of the upper glass substrate 2 is provided with a transparent electrode 4 that should serve as a normal single-layer common electrode, while the upper surface of the lower glass substrate 3 is provided with a transparent electrode 5 that should serve as a two-layer pattern electrode. Be prepared.
This two-layer structure transparent electrode 5 is first formed on a glass substrate 3.
A transparent electrode layer 5a having a predetermined first pattern as a first layer is formed on the upper surface of the transparent electrode layer 5a, and then an insulating film 5b such as SiO 2 is formed over the entire surface, and then
A transparent electrode layer 5c having a second pattern complementary to the first pattern on the insulating film 5b.
It is constituted by the formation of

このようにしてガラス基板2,3の対向する面
上に透明電極4,5が形成された後、これらの面
において各透明電極4,5の上から適宜の配向方
向を有するように形成された配向膜(図示せず)
が配設され、さらにこれら二枚のガラス基板2,
3の間の空間内に液晶6が注入され、上記空間の
周囲に施されたシール材7により密閉され、こう
して液晶表示素子1が完成する。
After the transparent electrodes 4 and 5 were formed on the opposing surfaces of the glass substrates 2 and 3 in this way, the transparent electrodes 4 and 5 were formed on these surfaces so as to have an appropriate alignment direction from above each transparent electrode 4 and 5. Alignment film (not shown)
are arranged, and further these two glass substrates 2,
Liquid crystal 6 is injected into the space between 3 and sealed with a sealing material 7 applied around the space, thus completing the liquid crystal display element 1.

しかしながら、このように構成された液晶表示
素子1においては、下方のガラス基板3の上面に
備えられた透明電極5のうち下側の透明電極層5
aの上に絶縁膜5bが形成されているため、透明
電極4,5の間に電圧を印加した場合、該絶縁膜
5bにより電圧降下が生じてしまい、これによつ
て下側の透明電極層5aと上側の透明電極層5c
との間に電位差が発生するので、該透明電極層5
aによる表示パターンと透明電極層5cによる表
示パターンの濃度が異なることにより表示ムラが
生ずることとなる。
However, in the liquid crystal display element 1 configured in this way, the lower transparent electrode layer 5 of the transparent electrodes 5 provided on the upper surface of the lower glass substrate 3
Since the insulating film 5b is formed on the transparent electrode layer a, when a voltage is applied between the transparent electrodes 4 and 5, a voltage drop occurs due to the insulating film 5b, which causes the lower transparent electrode layer to drop. 5a and upper transparent electrode layer 5c
Since a potential difference is generated between the transparent electrode layer 5 and
Display unevenness occurs due to the difference in density between the display pattern by a and the display pattern by the transparent electrode layer 5c.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は、以上の点に鑑み、二層構造の透明電
極のうち第一層の透明電極層と第二層の透明電極
層との間に電位差が発生せず、表示ムラが生じな
いようにした液晶表示素子を提供することを目的
としている。
In view of the above points, the present invention has been developed to prevent a potential difference from occurring between a first transparent electrode layer and a second transparent electrode layer of a two-layer transparent electrode, so that display unevenness does not occur. The purpose of the present invention is to provide a liquid crystal display element that has the following characteristics.

〔問題点を解決するための手段及び作用〕[Means and actions for solving problems]

上記目的は、本発明によれば、液晶セルを構成
する二枚のガラス基板の対向する面上に形成され
た透明電極のうち、少なくとも一方の透明電極
が、先ずガラス基板の表面に所定の第一のパター
ンを有する第一層の透明電極層を形成し、次にそ
の上から上記第一のパターンに対して補完的な第
二のパターンのネガパターンを有するレジストを
形成し、続いてその上から全面に亘つて絶縁膜及
び第二層の透明電極層を形成した後、上記レジス
トを除去して同時に該レジストの上に形成された
絶縁膜及び第二層の透明電極層を除去することに
より二層構造に形成される液晶表示素子の製造方
法によつて達成される。
According to the present invention, at least one of the transparent electrodes formed on opposing surfaces of two glass substrates constituting a liquid crystal cell is first placed in a predetermined manner on the surface of the glass substrate. A first layer of transparent electrode layer having one pattern is formed, and then a resist having a second pattern of negative pattern complementary to the first pattern is formed thereon, and then a resist having a negative pattern of a second pattern complementary to the first pattern is formed thereon. After forming an insulating film and a second transparent electrode layer over the entire surface, removing the resist and simultaneously removing the insulating film and the second transparent electrode layer formed on the resist. This is achieved by a method for manufacturing a liquid crystal display element formed in a two-layer structure.

この発明によれば、第一層の透明電極層の上に
形成されている絶縁膜が除去されるので、完成し
た液晶表示素子においては、第一層の透明電極層
は直接に液晶に接することとなり、電圧を印加し
た場合に電圧降下を生ずるようなことがなく、従
つて第一層の透明電極層と第二層の透明電極層と
は同電位であることから、これらによる表示パタ
ーンは同じ濃度となり、表示ムラが生ずることが
ない。しかも絶縁膜及び第二層の透明電極層のパ
ターニングが、レジストを除去する際に同時に該
レジストの上に形成された該絶縁膜及び第二層の
透明電極層を除去することにより、一回のフオト
リソグラフイ工程により行われることから、製造
工程が複雑になるようなことはなく、極めて簡単
な構成により二層構造の液晶表示素子が製造され
ることになる。
According to this invention, since the insulating film formed on the first transparent electrode layer is removed, the first transparent electrode layer does not come into direct contact with the liquid crystal in the completed liquid crystal display element. Therefore, there is no voltage drop when a voltage is applied, and the first transparent electrode layer and the second transparent electrode layer have the same potential, so the display pattern is the same. density, and display unevenness does not occur. Moreover, the patterning of the insulating film and the second transparent electrode layer can be performed in one step by simultaneously removing the insulating film and the second transparent electrode layer formed on the resist when removing the resist. Since the process is carried out using a photolithography process, the manufacturing process is not complicated, and a two-layer liquid crystal display element can be manufactured with an extremely simple structure.

〔実施例〕〔Example〕

以下、図面に示した実施例に基づいて本発明を
さらに詳細に説明する。
Hereinafter, the present invention will be explained in more detail based on embodiments shown in the drawings.

第1図は本発明により製造される液晶表示素子
10の一実施例を示しており、この液晶表示素子
10においては、互いに平行に配設された2枚の
ガラス基板11,12の対向する面上に各々透明
電極13,14が設けられている。
FIG. 1 shows an embodiment of a liquid crystal display element 10 manufactured according to the present invention. In this liquid crystal display element 10, opposing surfaces of two glass substrates 11 and 12 arranged parallel to each other are shown. Transparent electrodes 13 and 14 are provided thereon, respectively.

ここで、上方のガラス基板11の下面には通常
の一層のコモン電極となるべき透明電極13が備
えられているが、下方のガラス基板12の上面に
は二層構造の透明電極14が備えられる。
Here, the lower surface of the upper glass substrate 11 is provided with a transparent electrode 13 which should serve as a normal single-layer common electrode, but the upper surface of the lower glass substrate 12 is provided with a transparent electrode 14 having a two-layer structure. .

前記二層構造の透明電極14は、第2図A〜B
に順次示すように、先ずガラス基板12の上面に
第一層の透明電極層14aが形成されて所定の第
一のパターンにパターニングされ(第2図A参
照)、次にその上から全面に亘つてレジスト15
が塗布され該第一層の透明電極層14aの第一の
パターンに対して補完的な第二のパターンのネガ
パターンを有するように露光、現像される(第2
図B参照)。続いて、その上からSiO2等の絶縁膜
14b及び第二層の透明電極層14cが順次形成
された後(第2図C参照)、レジスト15が除去
されると同時に該レジスト15上に形成された絶
縁膜14b及び第二層の透明電極層14cが除去
(所謂リフトオフ)される。これにより、該絶縁
膜14b及び第二層の透明電極層14cが前記第
二のパターンにパターニングされることになる
(第2図D参照)。こうして、ガラス基板12上に
透明電極14が形成される。
The two-layer structure transparent electrode 14 is shown in FIGS. 2A to 2B.
As shown in FIG. 2, a first transparent electrode layer 14a is first formed on the upper surface of the glass substrate 12 and patterned into a predetermined first pattern (see FIG. 2A), and then a transparent electrode layer 14a is formed over the entire surface of the glass substrate 12. Tsute resist 15
is applied and exposed and developed to have a negative pattern of a second pattern complementary to the first pattern of the first transparent electrode layer 14a (second pattern).
(See Figure B). Subsequently, an insulating film 14b made of SiO 2 or the like and a second transparent electrode layer 14c are sequentially formed on the insulating film 14b (see FIG. 2C), and then the resist 15 is removed and at the same time, the second transparent electrode layer 14c is formed on the resist 15. The insulating film 14b and the second transparent electrode layer 14c are removed (so-called lift-off). As a result, the insulating film 14b and the second transparent electrode layer 14c are patterned into the second pattern (see FIG. 2D). In this way, the transparent electrode 14 is formed on the glass substrate 12.

このようにしてガラス基板11,12の対向す
る面上に透明電極13,14が形成された後、こ
れらの面において各透明電極13,14の上から
適宜の配向方向を有するように形成された配向膜
(図示せず)が配設され、さらにこれら二枚のガ
ラス基板11,12の間の空間内に液晶16が注
入充填されて上記空間の周囲に施されたシール材
17により密閉され、かくして液晶表示素子10
が完成する。
After the transparent electrodes 13 and 14 were formed on the opposing surfaces of the glass substrates 11 and 12 in this way, the transparent electrodes 13 and 14 were formed on these surfaces so as to have an appropriate alignment direction from above each of the transparent electrodes 13 and 14. An alignment film (not shown) is provided, and liquid crystal 16 is injected and filled into the space between these two glass substrates 11 and 12, and the space is sealed with a sealing material 17 applied around the space. Thus, the liquid crystal display element 10
is completed.

本発明により製造された液晶表示素子は以上の
ように構成されており、第1層の透明電極層14
a上の絶縁膜14b及び第二層の透明電極層14
cがフオトリソグラフイ法により除去されている
ので、透明電極13,14の間に図示しない電源
を接続して電圧を印加した場合に、透明電極14
を構成する第一層の透明電極層14aと第二層の
透明電極層14cは共に直接に液晶16に接して
いることから同電位となり、従つて双方の透明電
極層14a及び14cによる表示パターンは全く
同じ濃度で均一に表示されることとになる。
The liquid crystal display element manufactured according to the present invention is constructed as described above, and the first transparent electrode layer 14
Insulating film 14b on a and second transparent electrode layer 14
c has been removed by photolithography, when a power source (not shown) is connected between the transparent electrodes 13 and 14 and a voltage is applied, the transparent electrode 14
Since both the first transparent electrode layer 14a and the second transparent electrode layer 14c constituting the liquid crystal 16 are in direct contact with the liquid crystal 16, they have the same potential, and therefore the display pattern by both transparent electrode layers 14a and 14c is It will be displayed uniformly with exactly the same density.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上述べたように、本発明によれば、液晶セル
を構成する二枚のガラス基板の対向する面上に形
成された透明電極のうち、少なくとも一方の透明
電極が、先ずガラス基板の表面に所定の第一のパ
ターンを有する第一層の透明電極層を形成し、次
にその上から上記第一のパターンに対して補完的
な第二のパターンのネガパターンを有するレジス
トを形成し、続いてその上から全面に亘つて絶縁
膜及び第二層の透明電極層を形成した後、上記レ
ジストを除去して同時に該レジストの上に形成さ
れた絶縁膜及び第二層の透明電極層を除去するこ
とにより、二層構造に形成されるように液晶表示
素子の製造方法を構成したから、第一層の透明電
極層の上に形成されている絶縁膜が除去されるの
で、完成した液晶表示素子においては、第一層の
透明電極層は直接に液晶に接することとなり、電
圧を印加した場合に電圧降下を生ずるようなこと
はない。従つて、第一層の透明電極層と第二層の
透明電極層とは同電位であることから、これらに
よる表示パターンは同じ濃度となり、表示ムラが
生ずることはなく、しかも絶縁膜及び第二層の透
明電極層のパターニングが、レジストを除去する
際に同時に該レジストの上に形成された該絶縁膜
及び第二層の透明電極層を除去することにより、
一回のフオトリソグラフイ工程により行われるこ
とから、製造工程が複雑になることなく、極めて
簡単な構成により二層構造の液晶表示素子が製造
されることになる。
As described above, according to the present invention, at least one of the transparent electrodes formed on the opposing surfaces of two glass substrates constituting a liquid crystal cell is first placed on the surface of the glass substrate in a predetermined manner. A first transparent electrode layer having a first pattern is formed, and then a resist having a second negative pattern complementary to the first pattern is formed thereon; After forming an insulating film and a second transparent electrode layer over the entire surface, the resist is removed, and at the same time, the insulating film and the second transparent electrode layer formed on the resist are removed. In this way, since the manufacturing method of the liquid crystal display element is configured to form a two-layer structure, the insulating film formed on the first transparent electrode layer is removed, so that the completed liquid crystal display element In this case, the first transparent electrode layer is in direct contact with the liquid crystal, and no voltage drop occurs when a voltage is applied. Therefore, since the first transparent electrode layer and the second transparent electrode layer have the same potential, their display patterns have the same density and display unevenness does not occur. The patterning of the transparent electrode layer of the layer is performed by simultaneously removing the insulating film and the second transparent electrode layer formed on the resist when removing the resist.
Since this is carried out in a single photolithography process, a two-layer liquid crystal display element can be manufactured with an extremely simple structure without complicating the manufacturing process.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明により製造された液晶表示素子
の一実施例を示す概略断面図、第2図はガラス基
板上に二層構造の透明電極を形成する段階を順次
示す概略断面図である。第3図は従来の二層構造
の透明電極を有する液晶表示素子の一例を示す概
略断面図である。 10……液晶表示素子、11,12……ガラス
基板、13,14……透明電極、14a……第一
層の透明電極層、14b……絶縁膜、14c……
第二層の透明電極層、15……レジスト、16…
…液晶、17……シール材。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of a liquid crystal display element manufactured according to the present invention, and FIG. 2 is a schematic sectional view showing the steps of forming a two-layer transparent electrode on a glass substrate. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of a conventional liquid crystal display element having a two-layer structure of transparent electrodes. 10...Liquid crystal display element, 11, 12...Glass substrate, 13, 14...Transparent electrode, 14a...First layer transparent electrode layer, 14b...Insulating film, 14c...
Second layer transparent electrode layer, 15...Resist, 16...
...Liquid crystal, 17...Sealing material.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 液晶セルを構成する二枚のガラス基板の対向
する面上に形成された透明電極のうち、少なくと
も一方の透明電極が、先ずガラス基板の表面に所
定の第一のパターンを有する第一層の透明電極層
を形成し、次にその上から上記第一のパターンに
対して補完的な第二のパターンのネガパターンを
有するレジストを形成し、続いてその上から全面
に亘つて絶縁膜及び第二層の透明電極層を形成し
た後、上記レジストを除去して同時に該レジスト
の上に形成された絶縁膜及び第二層の透明電極層
を除去することにより、二層構造に形成されるこ
とを特徴とする、液晶表示素子の製造方法。
1. At least one of the transparent electrodes formed on opposing surfaces of two glass substrates constituting a liquid crystal cell is first coated with a first layer having a predetermined first pattern on the surface of the glass substrate. A transparent electrode layer is formed, then a resist having a negative pattern of a second pattern complementary to the first pattern is formed over the transparent electrode layer, and then an insulating film and a resist are formed over the entire surface. After forming two transparent electrode layers, removing the resist and simultaneously removing the insulating film formed on the resist and the second transparent electrode layer to form a two-layer structure. A method for manufacturing a liquid crystal display element, characterized by:
JP22224787A 1987-09-05 1987-09-05 Manufacture of liquid crystal display element Granted JPS6465523A (en)

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JPS6465523A JPS6465523A (en) 1989-03-10
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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