JPH0569430B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、フラツトデイスプレイに関するもの
であり、とくにマトリクス型画像表示装置または
同用要部装置において有効な製造方法に関するも
のである。

従来の技術 近年の微細加工技術および材料技術の進歩によ
つて液晶パネルによつてテレビ画像を提供するこ
とが可能となり、一部は商品化されている。液晶
パネルでは画素毎にスイツチング素子を内蔵し
た、言わゆるアクテイブ型になると高いコントラ
スト比も得られ、ほぼCRTと同等の画質が実現
している。

このような液晶パネルはマトリクス型画像表示
装置とも呼ばれるが、その理由は提供される画面
が縦（走査）方向には120〜480本の走査線と横方
向には240〜720本の信号線との交点に独立した非
常に多くの画素が配列（行列）しているからであ
る。

周知の如く、画像表示装置は人間の視覚という
高感度のセンサによつて識別される対象であるか
ら各種の欠陥に対しては非常に厳しい制約が課せ
られ、線欠陥はもちろん点欠陥でもCRTとの比
較では非常に難しい。

点欠陥の検査については、半導体メモリにたと
えればフルビツトの検査に相当し、画像表示デバ
イスの構造によつても異なるが、一般的に言つて
検査時間は長くなりかつ困難でもあるので、最終
工程において画像の品質を確認する時に同時に点
欠陥についても検査している。

線欠陥は画面に線状に現われる欠陥で、その発
生理由は以下に述べるように比較的明確である。
それは、(1)、走査線や信号線などの電極線が途中
で断線した、(2)、電極線に電気信号が到達してい
ない、(3)、複数の隣り合つた電極線が短絡してい
る、(4)、走査線と信号線が短絡している、などが
主たる要因である。

現在のところ高度に完成された検査装置は市販
されておらず、電極線の両端に探針（プローブ）
を接触させて断線あるいは隣り同志の短絡を全て
の電極線に実施する主として断線チエツク機能を
検査する簡易的なものか、あるいは特定の走査線
または信号線、あるいは数10本の走査線または信
号線に一斎に探針を接触して他の１本の信号線ま
たは走査線との短絡を発見する主として不良解析
的な評価を行うものと２通りの検査がなされてい
る。

発明が解決しようとする問題点 画像表示装置であるから線欠陥は一本も許され
ないことは事実であるが、上述したように電極線
を１本ずつ断線チエツクしていくのでは検査工程
の生産性の劣悪なことは明白であり、あるいは走
査線または信号線を全て直列に接続しておいて一
度の測定で断線チエツクを済ますという先例では
歩留的に問題にならない事実に直面する。

一方、本発明者は既に特願昭61−145237号にお
いて、断線した電極線のみ両端から電気信号を供
給できるように救済線と救済端子を内蔵したマト
リクス型画像表示装置を提案し、見掛け上の歩留
を向上させてきる。したがつて数本までの断線は
致命的な不良とはなり得ないわけであり、このよ
うな条件のもとでは、当然のことながら効率のよ
い検査方法が必要である。

問題点を解決するための手段 本発明は上記した状況に鑑みなされたもので、
マトリクス型画像表示装置またはマトリクス画像
表示装置を構成する要部装置において、走査線お
よび信号線を適当な本数直列に接続してブロツク
化し、ブロツク毎の検査が終了した後で走査線お
よび信号線を一本ずつ独立させることによつて目
的が達成される。

作 用 本発明によれば、多数の電極線をブロツク化す
ることによつて検査回数が飛躍的に減少し、かつ
断線チエツクのみならず走査線と信号線間の短絡
検査も高速化され、検査時間は大巾に短縮され
る。

実施例 第１図は例えば240本の走査線を60本ずつ４ケ
のブロツクに分割し（G1〜G4）、360本の信号線
を60本ずつ60ずつ６ケのブロツク（S1〜S6）に
分割して電極端子を周辺部に配置したマトリクス
型画像表示装置または同用要部装置１の平面図で
ある。マトリクス型画像表示装置はそのデバイス
構造によつて１枚の基板上に走査線と信号線が同
居するとは限らないが、ここでは理解を簡単にす
るため１枚の基板上に両者が形成されている。例
えばTFT（薄膜トランジスタ）をスイツチング素
子として画素毎に内蔵しているアクテイブ型の画
像表示装置の一例として液晶パネルを選ぶ。そう
すると中央部２はカラーフイルタで、基板１とカ
ラーフイルタ２とシール材とで構成される閉空間
に液晶が充填されていても構わないし、あるいは
単に画像表示部２としてパネル組立前のアクテイ
ブ基板１であつても構わない。

走査線側の電極端子群３の両端には検査端子５
が、そして信号線側の電極端子群４の両端と中央
部には検査端子６と６′がそれぞれ形成されてい
る。７は後述するが切断線で最終的には切断線よ
り外側の領域は不要となつて排除される。

第２図は第１図において信号線側の電極端子群
４の上下両端部８，９を部分拡大したものであ
り、第３図は走査線側の電極端子群３の先端部１
０及び反対側の領域１１を部分拡大したものであ
る。

第２図からも分るように上側のブロツク（S1，
S3，S5）には奇数番号の端子群４が、そして下
側のブロツク（S2，S4，S6）には偶数番号の端
子群４が配置されている。これは画質の均質化を
図るためと、信号線に電気信号を供給する駆動用
半導体集積回路の消費電力を低減させるための一
般的な配置である。

本発明の主旨に従つて電極端子群４の両端には
検査端子６が配置され、２ケの検査端子間の全て
の信号線１４を直列に接続するためには信号線１
４の一方の端は電極端子の一方の端に接がれ、信
号線１４のもう一方の端は対向して配置された電
極端子の他方の端に接がれる必要があり、電極端
子群４の間隙を縫つては折り返し近接の電極端子
に接続されるリターン線１５が存在する。

一方、電極端子群を直列に接続する方法には他
の方法も考えられ、その実例を第３図で走査線側
の電極端子群３で適用してみる。この場合には電
気信号は一方の側から全て供給されるので、走査
線１３の一方の端は電極端子の一方の端に接が
れ、走査線１４のもう一方の端はチヤネル番号が
増す方向に隣りの走査線に接続されるリターン線
１６と、電極端子のもう一方の端もチヤネル番号
が増す方向に隣りの電極端子に接続されるリター
ン線１６′とが存在する。

以上のようにして走査線側には４ケの電極端子
群G1〜G4に対応した検査端子が４組存在し、信
号線側には６ケの電極端子群S1〜S6に対応した
検査端子が３組（中間端子６′の活用も考慮すれ
ば６組）存在している。したがつて、まず各ブロ
ツク内の断線状態をチエツクし、規定のブロツク
数（これは救済線の数によつて決定される）が断
線していなければ断線検査は合格となる。つぎに
走査線側の各ブロツクと信号線側の各ブロツクと
の間のリーク電流を測定し規定のリーク電流以下
であれば短絡検査は合格である。断線チエツクと
リークチエツクの２つの検査が合格であれば線欠
陥は原理上生じない。

電気検査終了後に切断線７に沿つて基板を切断
し、不要となつた検査端子５，６及びリターン線
１５，１６，１６′と電極端子の一部を排除する
ことによつて全ての電極端子は独立するので次工
程へ進めるか、あるいは最終検査であつても構わ
ない。

切断以外にも電極端子の直列状態を解除する方
法は存在し、走査線側について第４図で本発明の
他の実施例について説明する。

この場合には信号線１４は２つの隣り合つたチ
ヤネル番号に対応した電極端子に接続されるの
で、隣り合つた信号線を結ぶ接続線１７が電極端
子近傍にあればよい。接続線１７の材質を適当に
選ぶことにより信号線１４を消失することなく接
続線１７を食刻で除去することは可能であるが、
必要ならば適当な絶縁膜で接続線１７をおおい開
口部１８を接続線１７上に形成しておいてもよ
い。

以上の説明において、電極端子、走査線、信号
線及びリターン線と接続線の材質についてとくに
記載はしなかつたが、これはデバイス構造によつ
て任意のものが選択できるからであり、導電性で
あることは言うまでもないだろう。またそれら相
互の接続方法や手段については話を簡単にするた
め省略した。

発明の効果 以上述べたごとく、本発明によるマトリクス型
画像表示装置もしくは同用要部装置は走査線と信
号線の断線試験と短絡試験が従来に比べて1/10以
下の短時間で実施され、検査工程の生産性の改善
は著しい。また検査端子を許される範囲で大きく
（１〜３mm角）形成できるので検査端子と検査探
針との位置合せのための機構が簡単となり、検査
機の製作費が安価になる副次的効果も大きい。さ
らに断線とシヨートの発生状況が画像部において
面情報として収集できるのでデータベースに基く
統計処理から不良解析や評価にも役立たせること
ができる。

デバイス構造によつては走査線と信号線の他に
も共通アース線等の導電路が存在することがある
が、同様の考え方で対処すればよい。

マトリクス型画像表示装置としては液晶パネル
に限らず、またアクテイブ型のスイツチ素子が
TFTに限定されるものでないことは言うまでも
ない。

最大の効果はマトリクス型画像表示装置として
完成された状態でなく、要部装置として工程途中
で線欠陥を有すると判定されたものは除外してロ
スコストを抑制することにあり、例えば液晶パネ
ルであれば高価なカラーフイルタを無駄に使用す
ることがなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるマトリクス型画像表示装
置または同用要部装置の製造方法を示す平面図、
第２図〜第４図は同装置の電極端子の要部拡大図
である。 １……マトリクス型画像表示装置、２……画像
部、３……走査線側の電極端子、４……信号線側
の電極端子、５，６……検査端子、７……切断
線、１３……走査線、１４……信号線、１５，１
６……リターン線、１７……接続線、１８……開
口部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 走査線および信号線がそれぞれ複数本の単位
   でブロツク化して電気的に直列に接続して形成さ
   れ、前記各ブロツク毎の電気検査終了後、前記電
   気的接続が解除されて前記走査線および信号線に
   対応した全端子が独立することを特徴とするマト
   リクス型画像表示装置の製造方法。 ２ ブロツクの電気検査は各ブロツク内の断線検
   査および走査線ブロツクと信号線ブロツク間の短
   絡検査を行うことを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載のマトリクス型画像表示装置の製造方
   法。 ３ 電気的接続の解除が基板の切断によつてなさ
   れることを特徴とする特許請求の範囲第１項ある
   いは第２項いずれか記載のマトリクス型画像表示
   装置の製造方法。 ４ 電気的接続の解除が食刻による導電路の消失
   によつてなされることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項あるいは第２項いずれか記載のマトリク
   ス型画像表示装置の製造方法。