【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]
技術分野
本発明は新規な金属酸化物磁性体よりなる磁性
膜を設けた光磁気記録媒体に関する。
従来技術
近年、半導体レーザー光により磁気記録を行な
う光磁気記録媒体が高密度記録用として研究開発
されている。従来、光磁気記録媒体に用いられる
磁性体としては希土類金属と遷移金属との非晶質
合金からなるものが多い。このような非晶質合金
磁性体を用いて光磁気記録媒体を作るには一般に
ガラス板のような基板上に前記磁性体、例えば
Tb−Fe合金を真空蒸着、スパツタリング等の方
法で厚さ0.1〜1μｍ程度に付着させて磁性膜を形
成している。こうして得られる光磁気記録媒体へ
の記録、再生は次のようにして行なわれる。即ち
記録は磁性膜のキユリー温度又は補償温度近傍に
おける温度変化に対応した保磁力の急激な変化特
性を利用して２値信号で変調されたレーザー光を
磁性膜に照射加熱して磁化の向きを反転させるこ
とにより行なわれる。また再生はこうして反転記
録された磁性膜の磁気光学効果の差を利用して読
出すことにより行なわれる。前述のような非晶質
合金磁性体を用いた光磁気記録媒体は記録感度が
高いため、半導体レーザー光によつて高速度（周
波数1MHzにおいて）で記録できるという利点は
あるが、非晶質合金磁性体、特に希土類金属成分
は酸化腐食を受け易いので、経時と共に磁性膜の
磁気光学特性が劣化するという大きな欠点があ
る。これを防止するため、非晶質磁性膜上に
SiO、SiO2等の保護膜を設ける（形成法は磁性膜
の場合と同様、真空蒸着、スパツタリング等によ
る）ことも知られているが、磁性膜或いは保護膜
の形成時、真空中に残存するO2、基板面に吸着
されたO2、H2O等及び合金磁性体のターゲツト
中に含まれるO2、H2O等により経時と共に磁性
膜が酸化腐食される上、記録時の光及び熱により
更にこの酸化腐食は促進される。また非結晶質磁
性体は熱によつて結晶化され易く、そのために磁
性特性の劣化を来たし易いという欠点を有する。
更に再生出力を向上するための再生方式として磁
性膜をできるだけ厚くし、その上にCu、Al、Pt、
Au等の反射膜を設け、レーザー光を磁性膜に照
射透過させた後、反射膜で反射させ、この反射光
を検出する反射型フアラデー方式は高Ｓ／Ｎの信
号が得られるという点で有利であるが、従来の非
晶質磁性膜は透光性に欠けるため、この方式に用
いることができないものであつた。
目 的
本発明の目的は記録感度が高く、しかも耐酸化
腐食性及び透光性に優れた、光磁気記録媒体用材
料として特に好適な新規な金属酸化物磁性体及び
この金属酸化物磁性体よりなる磁性膜を基体上に
形成した光磁気記録媒体を提供することである。
構 成
本発明の金属酸化物磁性体は一般式(1)
MeO・ｎ〔Crx・Ti3/4yFe2-(x+y)O3〕
（但しMe＝Ba又はSr、０＜Ｘ≦0.5、０＜Ｙ≦
0.5、５≦ｎ≦６）
で示されるものであり、また磁性膜は前記一般式
の金属化物磁性体よりなるものである。
光磁気記録媒体に用いられる磁性体又は磁性膜
には半導体レーザー光によつて記録、再生可能な
磁気光学特性（適正なキユリー温度、保磁力等）
を備えていなければならないが、特に高い記録感
度を得るためにキユリー温度Tcが低いこと及び
記録したメモリーを安定に維持するために保磁力
Hcが適度に高いことが必要である。一般にこの
Tc及びHcの適正範囲はTcについては100〜350
℃、Hcについては300〜6000エルステツドと考え
られる。これはTcが100℃以下では記録したメモ
リーが再生時のレーザー光によつて不安定になつ
て再生特性の劣化原因となり、また、350℃以上
では半導体レーザー光による記録が困難であり、
一方、Hcが300エルステツド以下ではメモリーが
不安定となつて消失する可能性があり、また6000
エルステツド以上では記録時の磁化反転に必要な
レーザー出力や外部磁界が大きくなり、好ましく
ないからである。
一方、従来より磁気バルブ材料として金属酸化
物磁性体が研究されている。このうち六方晶系の
ものでは例えば
一般式(2)
MeO・ｎ〔Fe2O3〕
（但しMe、ｎは一般式(1)に同じ）
で示されるものが知られている。本発明者らはこ
の種の磁性体がそれ自体、酸化物であるため、酸
化劣化の恐れがなく、しかも膜厚10μｍとしても
透光性を備えていることに注目した。しかしこれ
らはキユリー温度Tcが450℃以上と高いため、前
述のように半導体レーザー光による記録は困難で
あり、そのままでは光磁気記録媒体用材料として
適用できない。そこで本発明者らは種々検討した
ところ、一般式(2)の中のFe原子の一部をCr又は
Ti原子で置換すると、Cr置換、Ti置換のいずれ
の場合もTcが低下することを見出した。同時に
HCについてはCr置換の場合は増大するが、Ti置
換の場合は低下することを見出した。例えばCr
又はTi置換体BaFe12-ZMZO19（ＭはCr又はTi、Ｚ
はCr又はTiの置換数を表わす。）はTcについて
は第１図のような傾向を示し、またHcについて
は第２図のような傾向を示した。そこで本発明者
らはこのようなCr及びTiの置換効果に着目し、
更に光磁気記録媒体用の磁性体又は磁性膜に要求
されるTc及びHcの前記適正範囲を考慮して一般
式(2)のFeの一部をCr及びTiの２種の金属で種々
の割合で置換した結果、一般式(1)の金属酸化物磁
性体が光磁気記録媒体として優れた特性を与える
ことを見出し、本発明に到達した。
このように本発明は、特にキユリー温度が高い
ため、光磁気記録媒体用材料として顧みられなか
つた一般式２の金属化合物中のFe原子の一部を
Cr及びTi原子で置換することによつて、メモリ
ーに要求される適度に高い保磁力を維持しなが
ら、キユリー温度を低下せしめて半導体レーザー
光による記録、再生を可能にし、こうして光磁気
記録媒体用材料として適用した光磁気記録媒体で
ある。
以上の説明から判るように本発明の金属酸化物
磁性体は光磁気記録媒体用材料として要求される
適正キユリー温度範囲及び適正保磁力範囲を満足
するものである。
例えばBaCrx′Tiy′Fe12-(x′+y′)O19
（但しX′はCr置換数、Y′はTi置換数）
ではTcは第３図に示すように、Crの置換数X′が
2.05で、且つTiの置換数Y′が2.00の時、260℃で
あり、またHcは第４図に示すように、Crの置換
数X′が2.05で、且つTiの置換数Y′が2.00の時、約
3.6Kエルステツドである。これらのTc及びHc特
性により本発明の金属酸化物磁性体又は磁性膜は
半導体レーザー光により記録、再生を行なう光磁
気記録媒体用材料として適用できることは勿論、
キユリー温度が低いため、記録感度が高い上、耐
酸化腐食性及び投光性を備えている等の特長を持
つている。
本発明の金属酸化物磁性体を作るには夫々所定
量のBaCO3又はSrCO3とFe2O3とCrO3とTIO2と
を混合粉砕し、これを適当な形状の金型に入れて
成型後、1200〜1400℃の温度で焼結すればよい。
以上のようにして得られる本発明の金属酸化物
磁性体の具体例としては
BaO・5.2（Cr0.1Ti0.15Fe1.7O3）、
BaO.5.2（Cr0.2Ti0.15Fe1.6O3）、
BaO.5.4（Cr0.2Ti0.225Fe1.5O3）、
BaO.5.4（Cr0.3Ti0.075Fe1.6O3）、
BaO.5.6（Cr0.3Ti0.15Fe1.5O3）、
BaO.5.6（Cr0.4Ti0.225Fe1.3O3）、
BaO.5.8（Cr0.4Ti0.375Fe1.1O3）、
BaO.5.8（Cr0.2Ti0.3Fe1.4O3）、
SrO.5.4（Cr0.3Ti0.3Fe1.3O3）、
SrO.5.6（Cr0.4Ti0.15Fe1.4O3）、
等が挙げられる。
なお以上のような金属酸化物磁性体にはフアラ
デー回転角を更に増大して磁気光学特性を改善す
るためにCo、Bi、Ｖ、La、Ｙ、Yb、Sm、Tb、
Dy、Gd等の金属を添加することができる。
本発明の金属酸化物磁性体を用いて磁性膜を作
るには、基板の種類にもよるが、一般に基板上に
この磁性体をターゲツトとして基板温度500〜700
℃で真空蒸着、スパツタリング、イオンプレーテ
イング等の方法で膜厚0.1〜10μｍ程度に付着させ
ればよい。こうして第５図に示すように基板１上
に、垂直磁化された磁性膜２を有する光磁気記録
媒体が得られる。なお場合によつては磁性膜の形
成は基板温度500℃未満で行なうこともできる。
但しこの場合は磁性膜形成後、これに500〜800℃
の熱処理を、場合により磁界を印加しながら、行
なつて垂直磁化させる必要がある。ここで基板の
材料としては一般にアルミニウムのような耐熱性
金属；石英ガラス；GGG；サフアイヤ；リチウ
ムタンタレート；結晶化透明ガラス；パイレツク
スガラス；表面を酸化処理し又は処理しない単結
晶シリコン；Al2O3、Al2O3・MgO、MgO・
LiF、Y2O3・LiF、BeO、ZrO2・Y2O3、ThO2・
CaO等の透明セラミツク材；無機シリコン材（例
えば東芝シリコン社製トスガード、住友化学社製
スミセラムＰ）等の無機材料が使用できる。
本発明の磁性膜は第５図のような単層型光磁気
記録媒体に限らず、従来公知のすべての多層型光
磁気記録媒体に適用できる。この種の多層型の例
としては第６〜９図に示すような構成のものが挙
げられる。図中、１′はガイドトラツク付き基板、
３は反射膜、４は透明誘電層、５はガイドトラツ
ク層、６は保護膜、７は透明接着層、８は耐熱層
である。ここでガイドトラツク付き基板１′は前
述のような有機材料を射出成型、押出成型、フオ
トエツチング法等により加工して作られる。なお
基板のガイドトラツクは記録、再生時のレーザー
光を案内するものである。反射膜３はCu、Al、
Ag、Au、Pt、TeOx、TeC、SeAs、TeAs、
TiN、TaN、CrN、シアニン染料、フタロシア
ニン染料等を真空蒸着、スパツタリング、イオン
プレーテイング等の方法で対象面に膜厚500〜
10000Å程度に付着させることにより形成される。
なおこの反射膜は、磁性膜を透過したレーザー光
を反射し、再び磁性膜を透過することによるフア
ラデー効果を増大させる目的で設けられる。透明
誘電層４はSiO2、SiO、TiO2、TiO、CeO、
HfO2、BeO、ThO2、Si3N4等を前記と同様な方
法で対象面に膜厚約0.05〜0.5μｍ程度に付着させ
ることにより形成される。なおこの透明誘電層は
フアラデー回転角を増大させて再生出力を向上す
る目的で設けられる。ガイドトラツク層５は対象
面に紫外線硬化性樹脂を塗布した後、ガイド溝を
有する金型を圧着しながら、紫外線を照射して前
記樹脂を硬化させることにより形成させる。保護
膜６はアクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリカ
ーボネート樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポ
リアミド樹脂、エポキシ樹脂、TiN、Si3N4、
TaN、SiO2、SiO等を樹脂の場合は塗布法で、
その他の場合は真空蒸着、スパツタリング、イオ
ンプレーテイング等の方法で対象面に膜厚約0.1
〜10μｍ程度に付着させることにより形成させ
る。なおこの保護膜は反射膜３を保護する目的で
設けられる。透明接着層７は、反射膜３を設けた
ガイドトラツク付き基板１′の反射膜と磁性膜２
を設けた耐熱層８（この層は前記無機材料よりな
るので、「磁性膜を設けた耐熱層」とは前記単層
型光磁気記録材料のことである。）の磁性膜とを
エポキシ樹脂、ポリウレタン、ポリアミド等の樹
脂で約２〜100μｍ厚程度に接着することにより
形成される。即ちこの透明接着層は単に基板１′
上の反射膜３と単層型光磁気記録材料の磁性膜２
とを接合するための層である。なお耐熱層８は前
述のような無機材料よりなるので、基板１に相当
するが、ここでは磁性膜２の耐熱性向上の目的で
設けられる。厚さは約10〜500μｍ程度が適当で
ある。
本発明の磁性膜を用いた以上のような光磁気記
録媒体への記録、再生は従来と同じく磁性膜又は
基板側から変調又は偏向されたレーザー光を照射
して行なわれる。
効 果
本発明の金属酸化物磁性体又は磁性膜は光磁気
記録媒体用材料として適正なTc及びHcを有し、
記録感度が高いにも拘わらず、従来品にはなかつ
た耐酸化腐食性及び透明性を備えているので、磁
気光学特性の経時劣化がなく、且つ再生時に透過
光も利用でき、このため再生出力の高いフアラデ
ー回転角を利用して再生することができる。
以下に本発明の実施例を示す。
実施例 １〜10
下記表に示した組成のターゲツトを各々用い
て、表面光学研摩処理した石英基板上にAr分圧
2.0mmTorr、O2分圧0.3mmTorr、放電々力
0.35KW、基板温度520〜700℃の条件で２時間ス
パツタリングして0.2μｍ厚の磁性膜を形成した。
これら磁性膜のキユリー温度Tc及び保磁力Hcを
測定した結果を下表に示す。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a magneto-optical recording medium provided with a magnetic film made of a novel metal oxide magnetic material. Prior Art In recent years, magneto-optical recording media that perform magnetic recording using semiconductor laser light have been researched and developed for high-density recording. Conventionally, magnetic materials used in magneto-optical recording media are often made of amorphous alloys of rare earth metals and transition metals. To make a magneto-optical recording medium using such an amorphous alloy magnetic material, the magnetic material, for example, is generally placed on a substrate such as a glass plate.
A magnetic film is formed by depositing a Tb-Fe alloy to a thickness of about 0.1 to 1 μm by vacuum deposition, sputtering, or other methods. Recording and reproduction on the magneto-optical recording medium thus obtained are performed as follows. In other words, recording is performed by heating the magnetic film by irradiating laser light modulated with a binary signal to determine the direction of magnetization, taking advantage of the rapid change characteristics of the coercive force that corresponds to temperature changes near the Curie temperature or compensation temperature of the magnetic film. This is done by inverting it. Further, reproduction is performed by reading out using the difference in the magneto-optical effect of the magnetic film recorded in this way. Magneto-optical recording media using amorphous alloy magnetic materials as mentioned above have high recording sensitivity and have the advantage of being able to record at high speeds (at a frequency of 1 MHz) using semiconductor laser light. Since magnetic materials, especially rare earth metal components, are susceptible to oxidative corrosion, a major drawback is that the magneto-optical properties of the magnetic film deteriorate over time. To prevent this, a
It is also known to provide a protective film such as SiO or SiO 2 (the formation method is the same as for magnetic films, such as vacuum evaporation, sputtering, etc.), but when forming the magnetic film or protective film, it remains in the vacuum. The magnetic film is oxidized and corroded over time by O 2 , H 2 O, etc. adsorbed on the substrate surface, and O 2 , H 2 O , etc. contained in the target of the alloy magnetic material. Heat further accelerates this oxidative corrosion. In addition, amorphous magnetic materials have the disadvantage that they are easily crystallized by heat, and as a result, their magnetic properties tend to deteriorate.
Furthermore, as a reproduction method to improve the reproduction output, the magnetic film is made as thick as possible, and Cu, Al, Pt,
The reflective Faraday method, in which a reflective film such as Au is provided, a laser beam is irradiated and transmitted through the magnetic film, and then reflected by the reflective film and the reflected light is detected, is advantageous in that a high S/N signal can be obtained. However, conventional amorphous magnetic films lack light transmittance and cannot be used in this method. Purpose The purpose of the present invention is to provide a novel metal oxide magnetic material that has high recording sensitivity, excellent oxidation corrosion resistance, and light transmission properties, and is particularly suitable as a material for magneto-optical recording media, and a novel metal oxide magnetic material that is particularly suitable as a material for magneto-optical recording media. An object of the present invention is to provide a magneto-optical recording medium having a magnetic film formed on a substrate. Structure The metal oxide magnetic material of the present invention has the general formula (1) MeO・n [Cr x・Ti 3/4y Fe 2-(x+y) O 3 ] (Me=Ba or Sr, 0<X≦ 0.5, 0<Y≦
0.5, 5≦n≦6), and the magnetic film is made of a metallized magnetic material having the above general formula. The magnetic material or magnetic film used in magneto-optical recording media has magneto-optical properties (appropriate Curie temperature, coercive force, etc.) that allow recording and reproduction using semiconductor laser light.
In particular, in order to obtain high recording sensitivity, the Kyrie temperature Tc must be low, and in order to maintain the recorded memory stably, the coercivity must be high.
It is necessary that Hc be moderately high. Generally this
The appropriate range for Tc and Hc is 100 to 350 for Tc.
℃ and Hc are considered to be 300 to 6000 oersted. This is because when Tc is below 100℃, the recorded memory becomes unstable due to the laser beam during playback, causing deterioration of playback characteristics, and when Tc is above 350℃, it is difficult to record with semiconductor laser light.
On the other hand, if Hc is less than 300 oersteds, the memory may become unstable and disappear;
This is because if it exceeds Oersted, the laser output and external magnetic field required for magnetization reversal during recording will become large, which is undesirable. On the other hand, metal oxide magnetic materials have been studied as magnetic valve materials. Among these hexagonal crystals, for example, the one represented by the general formula (2) MeO·n [Fe 2 O 3 ] (where Me and n are the same as in the general formula (1)) is known. The inventors of the present invention have noted that since this type of magnetic material is itself an oxide, there is no fear of oxidative deterioration and, moreover, it has translucency even with a film thickness of 10 μm. However, since these materials have a high Curie temperature Tc of 450° C. or higher, recording with semiconductor laser light is difficult as described above, and they cannot be used as is as a material for magneto-optical recording media. Therefore, the present inventors conducted various studies and found that some of the Fe atoms in general formula (2) were replaced with Cr or
It has been found that when replaced with Ti atoms, Tc decreases in both cases of Cr substitution and Ti substitution. at the same time
It was found that HC increases in the case of Cr substitution, but decreases in the case of Ti substitution. For example, Cr
or Ti-substituted BaFe 12-Z M Z O 19 (M is Cr or Ti, Z
represents the number of Cr or Ti substitutions. ) showed a tendency as shown in Figure 1 for Tc, and a tendency as shown in Figure 2 for Hc. Therefore, the present inventors focused on the substitution effect of Cr and Ti,
Furthermore, in consideration of the appropriate ranges of Tc and Hc required for magnetic materials or magnetic films for magneto-optical recording media, a part of Fe in general formula (2) is replaced with two metals, Cr and Ti, in various proportions. As a result of the substitution, it was discovered that the metal oxide magnetic material of general formula (1) provides excellent characteristics as a magneto-optical recording medium, and the present invention was achieved. As described above, the present invention is a method for removing some of the Fe atoms in the metal compound of general formula 2, which has not been considered as a material for magneto-optical recording media because of its particularly high Curie temperature.
By substituting with Cr and Ti atoms, the Curie temperature can be lowered while maintaining the moderately high coercive force required for memory, making it possible to record and read using semiconductor laser light, thus making it possible to use magneto-optical recording media. This is a magneto-optical recording medium used as a material. As can be seen from the above description, the metal oxide magnetic material of the present invention satisfies the appropriate Curie temperature range and appropriate coercive force range required as a material for magneto-optical recording media. For example, BaCrx′Tiy′Fe 12-(x ′ +y ′ ) O 19 (where X′ is the number of Cr substitutions and Y′ is the number of Ti substitutions), then Tc is the number of Cr substitutions X′ as shown in Figure 3. but
2.05 and the number of substitutions Y' of Ti is 2.00, the temperature is 260℃, and as shown in Figure 4, Hc is 260℃ when the number of substitutions of Cr X' is 2.05 and the number of substitutions Y' of Ti is 2.00. At the time of approx.
It is 3.6K Oersted. Due to these Tc and Hc properties, the metal oxide magnetic material or magnetic film of the present invention can of course be applied as a material for magneto-optical recording media that perform recording and reproduction using semiconductor laser light.
Due to its low Curie temperature, it has high recording sensitivity, as well as oxidation corrosion resistance and light emitting properties. To make the metal oxide magnetic material of the present invention, predetermined amounts of BaCO 3 or SrCO 3 , Fe 2 O 3 , CrO 3 , and TIO 2 are mixed and ground, and the mixture is placed in a mold of an appropriate shape and molded. After that, it may be sintered at a temperature of 1200 to 1400°C. Specific examples of the metal oxide magnetic material of the present invention obtained as described above include BaO.5.2 (Cr 0.1 Ti 0.15 Fe 1.7 O 3 ), BaO.5.2 (Cr 0.2 Ti 0.15 Fe 1.6 O 3 ), BaO. 5.4 (Cr 0.2 Ti 0.225 Fe 1.5 O 3 ), BaO.5.4 (Cr 0.3 Ti 0.075 Fe 1.6 O 3 ), BaO.5.6 (Cr 0.3 Ti 0.15 Fe 1.5 O 3 ), BaO.5.6 (Cr 0.4 Ti 0.225 Fe 1.3 O 3 ), BaO.5.8 (Cr 0.4 Ti 0.375 Fe 1.1 O 3 ), BaO.5.8 (Cr 0.2 Ti 0.3 Fe 1.4 O 3 ), SrO.5.4 (Cr 0.3 Ti 0.3 Fe 1.3 O 3 ), SrO.5.6 ( Cr 0.4 Ti 0.15 Fe 1.4 O 3 ), etc. In order to further increase the Faraday rotation angle and improve magneto-optical properties, the metal oxide magnetic materials mentioned above may contain Co, Bi, V, La, Y, Yb, Sm, Tb,
Metals such as Dy and Gd can be added. To make a magnetic film using the metal oxide magnetic material of the present invention, the magnetic material is generally placed on a substrate at a temperature of 500 to 700, depending on the type of substrate.
The film may be deposited at a temperature of 0.1 to 10 μm in thickness by vacuum deposition, sputtering, ion plating, or other methods. In this way, as shown in FIG. 5, a magneto-optical recording medium having a perpendicularly magnetized magnetic film 2 on a substrate 1 is obtained. In some cases, the magnetic film may be formed at a substrate temperature of less than 500°C.
However, in this case, after forming the magnetic film, the temperature is 500 to 800℃.
It is necessary to perform perpendicular magnetization by performing a heat treatment while applying a magnetic field as the case may be. Here, the substrate materials generally include heat-resistant metals such as aluminum; quartz glass; GGG; sapphire; lithium tantalate; crystallized transparent glass; Pyrex glass; single crystal silicon with or without surface oxidation treatment; Al 2 O 3 , Al 2 O 3・MgO, MgO・
LiF, Y2O3・LiF, BeO, ZrO2・Y2O3 , ThO2 ・
Inorganic materials such as transparent ceramic materials such as CaO; and inorganic silicon materials (for example, Tosguard manufactured by Toshiba Silicon Co., Ltd. and Sumiceram P manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) can be used. The magnetic film of the present invention is applicable not only to a single-layer magneto-optical recording medium as shown in FIG. 5, but also to all conventionally known multilayer magneto-optical recording media. Examples of this type of multilayer type include structures shown in FIGS. 6 to 9. In the figure, 1' is a board with a guide track,
3 is a reflective film, 4 is a transparent dielectric layer, 5 is a guide track layer, 6 is a protective film, 7 is a transparent adhesive layer, and 8 is a heat-resistant layer. Here, the substrate 1' with guide tracks is manufactured by processing the above-mentioned organic material by injection molding, extrusion molding, photoetching, or the like. Note that the guide track on the substrate guides the laser beam during recording and reproduction. The reflective film 3 is made of Cu, Al,
Ag, Au, Pt, TeOx, TeC, SeAs, TeAs,
TiN, TaN, CrN, cyanine dye, phthalocyanine dye, etc. are applied to the target surface to a thickness of 500~ by vacuum deposition, sputtering, ion plating, etc.
It is formed by depositing it to a thickness of about 10,000 Å.
Note that this reflective film is provided for the purpose of increasing the Faraday effect by reflecting the laser light that has passed through the magnetic film and transmitting it through the magnetic film again. The transparent dielectric layer 4 is made of SiO 2 , SiO, TiO 2 , TiO, CeO,
It is formed by depositing HfO 2 , BeO, ThO 2 , Si 3 N 4 , etc. on the target surface to a thickness of about 0.05 to 0.5 μm using the same method as described above. Note that this transparent dielectric layer is provided for the purpose of increasing the Faraday rotation angle and improving the reproduction output. The guide track layer 5 is formed by applying an ultraviolet curable resin to the target surface, and then irradiating ultraviolet light while pressing a mold having guide grooves to cure the resin. The protective film 6 is made of acrylic resin, polyurethane resin, polycarbonate resin, polyethersulfone resin, polyamide resin, epoxy resin, TiN, Si 3 N 4 ,
In the case of resins such as TaN, SiO 2 and SiO, coating methods are used.
In other cases, a film thickness of approximately 0.1 cm is applied to the target surface using methods such as vacuum evaporation, sputtering, and ion plating.
It is formed by adhering it to a thickness of about 10 μm. Note that this protective film is provided for the purpose of protecting the reflective film 3. The transparent adhesive layer 7 connects the reflective film of the substrate 1' with guide tracks provided with the reflective film 3 and the magnetic film 2.
The magnetic film of the heat-resistant layer 8 (this layer is made of the above-mentioned inorganic material, so the "heat-resistant layer provided with a magnetic film" refers to the single-layer type magneto-optical recording material) provided with an epoxy resin, It is formed by adhering a resin such as polyurethane or polyamide to a thickness of about 2 to 100 μm. That is, this transparent adhesive layer is simply attached to the substrate 1'.
Upper reflective film 3 and magnetic film 2 of single-layer magneto-optical recording material
This is a layer for joining. Note that the heat-resistant layer 8 is made of the above-mentioned inorganic material and thus corresponds to the substrate 1, but is provided here for the purpose of improving the heat resistance of the magnetic film 2. Appropriate thickness is about 10 to 500 μm. Recording and reproduction on the above-described magneto-optical recording medium using the magnetic film of the present invention is carried out by irradiating modulated or deflected laser light from the magnetic film or substrate side, as in the prior art. Effects The metal oxide magnetic material or magnetic film of the present invention has appropriate Tc and Hc as a material for magneto-optical recording media,
Despite its high recording sensitivity, it has oxidation corrosion resistance and transparency not found in conventional products, so there is no deterioration of magneto-optical properties over time, and transmitted light can also be used during playback, resulting in lower playback output. can be reproduced by utilizing the high Faraday rotation angle. Examples of the present invention are shown below. Examples 1 to 10 Ar partial pressure was applied to a quartz substrate whose surface had been optically polished using each target with the composition shown in the table below.
2.0mmTorr, O 2 partial pressure 0.3mmTorr, discharge force
Sputtering was performed for 2 hours at 0.35 KW and a substrate temperature of 520 to 700°C to form a 0.2 μm thick magnetic film.
The results of measuring the Curie temperature Tc and coercive force Hc of these magnetic films are shown in the table below.
【表】
次に以上のようにして得られた各光磁気記録媒
体を一方向に磁化させ、この磁化の方向とは逆の
500エルステツドの磁界を印加しながら、出力20
ｍＷの半導体レーザー光を記録媒体表面での強度
10ｍＷ及び周波数1MHzのパルスで照射して磁気
反転せしめ、記録したところ、いずれもビツト径
約1.5μｍの記録ビツトが形成された。[Table] Next, each magneto-optical recording medium obtained as described above is magnetized in one direction, and the magneto-optical recording medium obtained as described above is magnetized in the opposite direction.
Output 20 while applying a magnetic field of 500 oersted
The intensity of mW semiconductor laser light on the surface of the recording medium
When recording was performed by irradiating with a pulse of 10 mW and a frequency of 1 MHz to cause magnetic reversal, recording bits with a bit diameter of about 1.5 μm were formed in each case.
【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]
第１図及び第２図は夫々、金属酸化物磁性体
BaFe12-ZMZO19（ＭはCr又はTi、ＺはCr又はTi
の置換数）におけるCr又はTiの置換数Ｚと、キ
ユリー温度Tc及び保磁力Hcとの関係図、第３図
及び第４図は夫々、金属酸化物磁性体BaCrx′
Tiy′Fe12-(x′+y′)O19（X′はCrの置換数、Y′はTiの
置換数）におけるTiの置換数Y′と、Tc及びHcと
の関係図、第５〜９図は夫々本発明の磁性体又は
磁性膜を用いた光磁気記録媒体の一例の構成図で
ある。
１……基板、１′……ガイドトラツク付き基板、
２……磁性膜、３……反射膜、４……透明誘電
層、５……ガイドトラツク層、６……保護膜、７
……透明接着層、８……耐熱層。
Figures 1 and 2 show metal oxide magnetic materials, respectively.
BaFe 12-Z M Z O 19 (M is Cr or Ti, Z is Cr or Ti
Figures 3 and 4 are diagrams showing the relationship between the number of substitutions Z of Cr or Ti, the Curie temperature Tc, and the coercive force Hc, respectively, in the metal oxide magnetic material BaCr x ′
Relationship diagram between the number of Ti substitutions Y′ and Tc and Hc in Ti y ′Fe 12-(x ′ +y ′ ) O 19 (X′ is the number of Cr substitutions, Y′ is the number of Ti substitutions), 5 to 9 are configuration diagrams of examples of magneto-optical recording media using the magnetic material or magnetic film of the present invention, respectively. 1... Board, 1'... Board with guide track,
2... Magnetic film, 3... Reflective film, 4... Transparent dielectric layer, 5... Guide track layer, 6... Protective film, 7
...Transparent adhesive layer, 8...Heat-resistant layer.