JPH0577181B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は移載具を以下の順序で説明する。

Ａ 産業上の利用分野 Ｂ 発明の概要 Ｃ 背景技術［第５図］ Ｄ 発明が解決しようとする問題点 Ｅ 問題点を解決するための手段 Ｆ 作用 Ｇ 実施例［第１図乃至第４図］ Ｈ 発明の効果 （Ａ 産業上の利用分野） 本発明はウエハ移載具、特にウエハカセツト等
とウエハボード等との間で多数のウエハを同時に
移送するウエハ移載具に関するものである。

（Ｂ 発明の概要） 本発明は、垂直且つ平行に保持され互いの間隔
が可変にされた一対の保持板から成り各保持板の
対向面に形成された保持溝間にウエハを垂直に保
持するウエハ移載具において、ウエハの保持され
る高さが一部のウエハと他のウエハとで異なるよ
うにすることを特徴とするものであり、このよう
にすることにより従来においての全部のウエハが
同時にウエハボード上に置かれることによつて生
じたウエハボートあるいは半導体ウエハのチツピ
ング、そして全ウエハをウエハボードから同時に
離すことによつてウエハボードの喰い付きにより
生じたウエハボートの持ち上りを防止するもので
ある。

（Ｃ 背景技術）［第５図］ IC、LSI等を形成する半導体ウエハは、拡散、
CVD等の処理が為されていないときは第５図に
示すウエハカセツトａに収納されている。１つの
ウエハカセツトａに収納される半導体ウエハｂ，
ｂ，…の枚数は例えば25枚である。該ウエハカセ
ツトａは一対の保持板ｃ，ｃを垂直且つ平行に対
向させ、該保持板ｃ，ｃどうしをその前後両端部
にて連結片ｄ，ｄ（一方の連結片ｄは図面に現わ
れていない）により連結してなる。そして、各保
持板ｃ，ｃの対向面ｅ，ｅには保持板ｃ，ｃの上
端から下方へ中間部まで延びるウエハ保持溝ｆ，
ｆ，…が例えば25ずつ形成されている。

このウエハカセツトａに収納された25枚の半導
体ウエハｂ，ｂ，…は例えば拡散等の処理をする
とき例えば石英等の耐熱性の良い材料からなるウ
エハボードｇに移しかえ、ウエハボードｇ上に保
持された状態で拡散炉等の炉内に入れて処理をす
る必要がある。又、その処理を終えたら炉内から
ウエハボードｇを引き出し、そのウエハボードｇ
上の半導体ウエハｂ，ｂ，…をウエハカセツトａ
内に戻さなければならない。ちなみに、該ウエハ
ボードｇは平行に配置された保持棒ｈ，ｈの両端
どうしを連結片ｉ，ｉにて連結し、保持棒ｈ，ｈ
に半導体ウエハを保持する保持溝ｊ，ｊ，…を形
成してなるものである。

ところで、拡散等の処理をするために上記ウエ
ハカセツトａからウエハボートｇへ半導体ウエハ
ｂ，ｂ，…を移しかえるには第５図に示すウエハ
移載具ｋが用いられる。該ウエハ移載具ｋは支持
片ｌ，ｌを介して図示しないウエハ移載機により
垂直且つ互いに平行に支持された一対の保持板
ｍ，ｍからなる。該保持板ｍとｍとは互いに同形
同大に形成されており、その下側の略半部ｎ，ｎ
はそれよりも上側の部分よりも薄く形成され、そ
の下半部ｎ，ｎの内側面ｏ，ｏが下側へ行く程内
側に寄るように弧状に凹曲せしめられている。そ
して、その厚くされた部分ｎ，ｎの内側面ｏ，ｏ
に半導体ウエハｂをその周縁にて垂直に保持する
保持溝ｐ，ｐ，…（尚、一方の保持板、即ち第５
図における斜め右下側の保持板ｍの保持溝ｐ，
ｐ，…は図面に現われない。）が形成されている。
該保持溝ｐ，ｐ，…の底面は半導体ウエハｂの周
面に沿うように凹曲せしめられている。そして、
一対の保持板ｍ，ｍの保持溝ｐ，ｐ，…の間に半
導体ウエハｂ，ｂ，…が垂直に保持され得るよう
にされている。

このウエハ移載具ｋの保持板ｍ，ｍ間の間隔そ
れを保持するウエハ移載機によつて広めたり、狭
めたりすることができるようにされており、狭め
られたとき半導体ウエハｂ，ｂ，…を保持する保
持状態になり、広められたときウエハ開放する開
放状態になるようになつている。

ところで、このようなウエハ移載具ｋによりウ
エハカセツトａからウエハボートｇへの半導体ウ
エハｂ，ｂ，…の移送は次のようにして為され
る。

半導体ウエハｂ，ｂ，…を保持した状態のウエ
ハカセツトａのすぐ上側にウエハ移載具ｋを開放
状態にして位置させ、リフト板ｑによりウエハカ
セツトａ内の全半導体ウエハｂ，ｂ，…を下側か
ら上側に押して持ち上げ、全半導体ウエハｂ，
ｂ，…が開放状態にあるウエハ移載具ｋの保持板
ｍ，ｍの互いに対向する保持溝ｐとｐとの間に位
置するようにする。その後、ウエハ移載機により
保持板ｍ，ｍ間を狭めてウエハ移載具ｋをウエハ
保持状態にする。しかし、ウエハ移載具ｋがウエ
ハ保持状態にされても半導体ウエハｂ，ｂ，…は
ウエハ移載具ｋによつて保持される高さよりも稍
高いところに位置されているので、保持板ｍ，ｍ
間に保持された状態から稍浮いた状態になつてい
る。次いで、その状態でウエハ移載具ｋを上昇さ
せる。すると、上昇の途中で全半導体ウエハｂ，
ｂ，…がウエハ保持状態にあるウエハ移載具ｋの
保持溝ｐ，ｐによつて完全に保持された状態にな
り、その後はウエハ移載具の上昇に伴つて半導体
ウエハｂ，ｂ，…が上昇せしめられる。そして、
やがて半導体ウエハｂ，ｂ，…がウエハカセツト
ａから完全に離脱した状態になる。するとウエハ
移載具ｋが上昇を停止し、次いで横方向に移動し
てウエハボートｇ上に位置し、必要に応じて下降
し、半導体ウエハｂ，ｂ，…の下部をウエハボー
ドｇの保持溝ｊ，ｊ，…の稍上方に位置させ、そ
の後、ウエハ移載具ｋを開放状態にし、半導体ウ
エハｂ，ｂ，…が保持溝ｊ，ｊ，…内に稍落ちて
保持溝ｊ，ｊ，…により保持された状態にする。
又、ウエハボードｇからウエハカセツトａへ半導
体ウエハｂ，ｂ，…を移送するときは上記の一例
の動作と全く逆の動作を行う。

ところで、半導体ウエハｂ，ｂ，…を移送する
従来のウエハ移載具ｋは半導体ウエハｂ，ｂ，…
を保持する保持溝ｐ，ｐ，…の深さがすべて同じ
にされ、それによつて保持される半導体ウエハ
ｂ，ｂ，…の高さがすべて同じになるようにされ
ていた。

（Ｄ 発明が解決しようとする問題点） 上述した従来のウエハ移載具ｋによれば、ウエ
ハカセツトａからウエハボートｇへ、そしてウエ
ハボートｇからウエハカセツトａへ半導体ウエハ
ｂ，ｂ，…を移送するときに次のような問題が発
生した。先ず、ウエハカセツトａからの半導体ウ
エハｂ，ｂ，…をウエハボートｇ上に移すときに
はウエハ移載具ｋによつて保持された例えば25枚
のウエハカセツトａ，ａ，…がすべて同時にウエ
ハボートｇ上に落されるので、そのときの衝撃が
無視できないほど大きくなり、半導体ウエハｂ，
ｂ，…あるいはウエハボートｇにチツピングを起
す可能性があつた。又、ウエハボートｇに保持さ
れた状態の半導体ウエハｂ，ｂ，…をウエハ移載
具ｋによつて持ち上げてウエハボートｇから離そ
うとするときも全部の半導体ウエハｂ，ｂ，…が
同時に持ち上げられるので半導体ウエハｂ，ｂ，
…に保持溝ｊ，ｊ，…に対する喰い付きがある場
合、喰い付き力が大きくなり、ウエハボートｇが
その喰い付き力によつて持ち上げられる惧れがあ
つた。特に、ウエハボードｇは半導体ウエハｂ，
ｂ，…との接触面積をできるだけ少なくしつつ、
その半導体ウエハｂ，ｂ，…を略垂直に保持でき
るようにするためにその保持溝ｊ，ｊ，…と半導
体ウエハｂ，ｂ，…との間に大きなクリアランス
が生じないように保持溝ｊ，ｊ，…の溝幅が設定
されており、喰い付きが生じる可能性が少なくな
つた。従つて、ウエハボードｇがその喰い付きに
よつて持ち上げられる惧れが少なくなく、無視で
きなかつた。

本発明はこのような問題点を解決すべく為され
たもので、上述したウエハボードあるいは半導体
ウエハのチツピング及びウエハボードの持ち上が
りを防止することを目的とするものである。

（Ｅ 問題点を解決するための手段） 本発明ウエハ移載具は上記問題点を解決するた
め、垂直且つ平行に保持され互いの間隔が可変に
された一対の保持板から成り各保持板の対向面に
形成された保持溝間にウエハを垂直に保持するウ
エハ移載具において、ウエハの保持される高さが
一部のウエハと他のウエハとで異なるようにする
ことを特徴とするものである。

（Ｆ 作用） 本発明ウエハ移載具によれば、保持された半導
体ウエハの高さが異なるのでウエハ移載具を開放
状態にして半導体ウエハをウエハボード上に置く
とき先ず低く保持された半導体ウエハの方がウエ
ハボート上に落ち、その後、高く保持された半導
体ウエハがウエハボート上に落ちるので、全部の
半導体ウエハが同時に落ちることはない。従つて
半導体ウエハをウエハボード上に置くときの衝撃
を小さくすることができ、延いてはチツピングを
防止することができる。

又、ウエハ移載具を開放状態からウエハ保持状
態にしてウエハボード上の半導体ウエハをウエハ
移載具により保持するとき先ず半導体ウエハを高
く保持するように形成された保持溝によつてウエ
ハボード上の一部の半導体ウエハを保持する状態
になり、次に半導体ウエハを低く保持するように
形成された保持溝によつてウエハボート上に残り
の半導体ウエハを保持する状態になるようにする
ことができる。従つて、全部の半導体ウエハに対
する喰い付き力が同時にウエハボートに作用する
ことを防止することができ、延いてはウエハボー
トがその喰い付き力によつて持ち上げられるのを
防止することができる。

（Ｇ 実施例）［第１図乃至第４図］ 以下に、本発明ウエハ移載具を図示実施例に従
つて詳細に説明する。

第１図乃至第３図は本発明ウエハ移載具の実施
の一例を示すものである。

図面において、１ｌ，１ｒは支持片２，２を介
してウエハ移載機３に垂直且つ互いに平行に支持
された一対の保持板であり、同じ大きさを有し、
更に、本実施例においては同じ形状を有してい
る。

保持板１ｌ，１ｒの下半部４，４は厚くされる
と共にその内側の面５，５が下側に行く程内側に
寄るように弧状に凹曲せしめられている。そし
て、その面５，５に半導体ウエハ６，６，…をそ
の周縁にて垂直に保持する保持溝７，７，…が25
本ずつ形成されている。保持溝７，７，…の底面
８，８，…は半導体ウエハｂの周面に沿うように
弧状に且つ下側に行く程内側に寄るように凹曲せ
しめられている。そして、一対の保持板１ｌ，１
ｒの保持溝７，７，…間に半導体ウエハ６，６，
…が保持されるようにされている。

ところで、ウエハ移載具は例えば正面側から数
えて奇数番目の保持溝７ａ，７ａ，…と、偶数番
目の保持溝７ｂ，７ｂ，…とで支持する半導体ウ
エハ６，６，…の高さが異なるようにされてい
る。具体的には奇数番目の保持溝７ａ，７ａ，…
の方が偶数番目の保持溝７ｂ，７ｂ，…よりも半
導体ウエハ６，６，…を支持する高さが高くなつ
ている。そのため、第３図に示すように保持溝７
ａ，７ａ，…の方が保持溝７ｂ，７ｂ，…よりも
浅く形成されている。８ａは保持溝７ａの底面、
８ｂは保持溝７ｂの底面である。

このウエハ移載具の保持板１ｌ，１ｒ間の間隔
はそれを支持するウエハ移載機３によつて広くさ
れたり狭くされたりし、それによつてウエハ移載
具が開放状態になつたりウエハ保持状態になつた
りする。

このようなウエハ移載具によれば、ウエハカセ
ツト内に収納されていた半導体ウエハ６，６，…
を保持してウエハボードのすぐうえに位置し、ウ
エハ保持状態から開放状態に状態を変化させて半
導体ウエハ６，６，…をウエハボート上に稍落下
させてそのウエハボード上に載置された状態にす
るとき、先ず偶数番目の保持溝７ｂ，７ｂ，…に
保持された半導体ウエハ、即ち、低く保持された
半導体ウエハ６，６，…がウエハボート上に落
ち、次に保持溝７ａ，７ａ，…に保持された半導
体ウエハ、即ち、高く保持された半導体ウエハ
６，６，…がウエハボート上に落ちる。従つて、
半導体ウエハ６，６，…の全部が同時にウエハボ
ート上に落ちる惧れがなく、半導体ウエハ６，
６，…の落下によつて生じる衝撃の大きさを略半
減させることができる。従つて、衝撃によるウエ
ハボートあるいは半導体ウエハ６，６，…のチツ
ピングを防止することができる。

また、ウエハボート上に保持されている半導体
ウエハ６，６，…をウエハカセツト内に戻すべく
ウエハ移載具によつて保持し、ウエハボートから
離すときも、ウエハ移載具が開放状態からウエハ
保持状態に変化する過程で、先ず半導体ウエハ
６，６，…を高く保持する奇数番目の保持溝７
ａ，７ａ，…が半導体ウエハ６，６，…を保持す
る状態になり、次に半導体ウエハ６，６，…を低
く保持する偶数番目の保持溝７ｂ，７ｂ，…が半
導体ウエハ６，６，…を保持する状態になる。従
つて、先ず、略半分の半導体ウエハ６，６，…が
ウエハボートから離脱し、次に残りの略半分の半
導体ウエハ６，６，…がウエハボートから離脱す
ることになり、全部の半導体ウエハ６，６，…が
同時にウエハボートから離脱せしめることはな
い。依つて、半導体ウエハ６，６，…をウエハボ
ートから離脱せしめようとするときのウエハボー
トの半導体ウエハ６，６，…に作用する喰い付き
力を従来より略半減させることが可能になり、ウ
エハボートの喰い付き力がウエハボートの重量に
打ち勝つてウエハボートが持ち上がる惧れをなく
すことができる。

尚、上記ウエハ移載具はあくまで本発明ウエハ
移載具の一実施例にすぎず、本発明ウエハ移載具
には種々の実施態様、変形例が考えられる。先
ず、上記実施例によれば、保持板１ｌと１ｒとは
全く同じものが用いられている。しかし、必ずし
もそのようにすることは必要でなはなく、一方の
保持板、例えば１ｌを第４図に示すように保持溝
７，７，…の深さが全部等しい保持板に代えるよ
うにしても良い。即ち、一方の保持板１が第３図
に示すように保持溝の深さが異なるようになつて
いればもう一方の保持板１は第４図に示すように
保持溝７，７，…の深さが均一のものであつても
半導体ウエハを保持する高さを異ならせることが
できるので、保持板１ｌと保持板１ｒとが同じも
のである必要はない。

また、上記実施例は半導体ウエハ６を高く保持
する保持溝７，７，…と半導体ウエハ６を低く保
持する保持溝７，７，…とが交互に配置されてい
たが、必ずしもそのようにする必要はなく、例え
ば半導体ウエハ６を高く保持する保持溝７，７，
…を一方の半部側に配置し、半導体ウエハ６を低
く保持する保持溝７，７，…を他方の半部側に配
置するというようなことも考えられる。

また、上記実施例においては半導体ウエハを保
持する高さが２段階しなかなかつたが、３段階に
しても良い。即ち、保持板１ｌ，１ｒに半導体ウ
エハを高く保持する保持溝７，７，…と、半導体
ウエハを低く保持する保持溝７，７，…と、それ
等の中間の高さに保持する保持溝７，７，…とを
設け、半導体ウエハ６，６，…をウエハ移載具か
らウエハボート、あるいはウエハボートからウエ
ハ移載具に略３分の１ずつ移すことができるよう
にすることもできる。

（Ｈ 発明の効果） 以上述べたように、本発明ウエハ移載具によれ
ば、保持された半導体ウエハの高さが異なるので
ウエハ移載具を開放状態にして半導体ウエハをウ
エハボート上に置くとき先ず低く保持された半導
体ウエハの方がウエハボート上に落ち、その後高
く保持された半導体ウエハがウエハボート上に落
ちるので、全部の半導体ウエハが同時に落ちるこ
とはない。従つて、半導体ウエハをウエハボート
上に置くときの衝撃を小さくすることができ、延
いてはチツピングを防止することができる。

又、ウエハ移載具を開放状態からウエハ保持状
態にしてウエハボート上の半導体ウエハをウエハ
移載具により保持するとき先ず半導体ウエハを高
く保持するように形成された保持溝によつてウエ
ハボート上の一部の半導体ウエハを保持する状態
になり、次に半導体ウエハを低く保持するように
形成された保持溝によつてウエハボート上の残り
の半導体ウエハを保持する上になるようにするこ
とができる。従つて、全部の半導体ウエハに対す
る喰い付き力が同時にウエハボートに作用するこ
とを防止することができ、延いてはウエハボート
がその喰い付き力によつて持ち上げられることを
防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本発明ウエハ移載具の実施
の一例を示すもので、第１図は斜視図、第２図は
正面図、第３図は第１図の−線に沿う断面
図、第４図は本発明ウエハ移載具の一方の保持板
の変形例を示す断面図、第５図は背景技術を説明
するための斜視図である。 符号の説明、１ｌ，１ｒ……保持板、６……ウ
エハ、７，７ａ，７ｂ……保持溝。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 互いに平行で略垂直方向に保持され互いの間
   隔が可変にされた一対の保持板からなり、 各保持板の対向面には互いに対応する位置に設
   けられて１つのウエハを垂直に保持する保持溝が
   複数対形成され、 てなるウエハ移載具において、 上記各対の保持溝に保持されるウエハの高さが
   一部のウエハと他のウエハとで異なるように上記
   保持溝が形成されてなる ことを特徴とするウエハ移載具。