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JPH0582252B2 - - Google Patents
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JPH0582252B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH0582252B2
JPH0582252B2 JP8848288A JP8848288A JPH0582252B2 JP H0582252 B2 JPH0582252 B2 JP H0582252B2 JP 8848288 A JP8848288 A JP 8848288A JP 8848288 A JP8848288 A JP 8848288A JP H0582252 B2 JPH0582252 B2 JP H0582252B2
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JP
Japan
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silver
thin layer
membrane
gas separation
polymer
Prior art date
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Application number
JP8848288A
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Japanese (ja)
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JPH01262926A (en
Inventor
Yasuo Namita
Kenkichi Takahashi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Idemitsu Kosan Co Ltd
Original Assignee
Idemitsu Kosan Co Ltd
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Publication date
Application filed by Idemitsu Kosan Co Ltd filed Critical Idemitsu Kosan Co Ltd
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Priority to US07/290,342 priority patent/US4919694A/en
Priority to EP88121731A priority patent/EP0322866B1/en
Priority to DE88121731T priority patent/DE3880652T2/en
Publication of JPH01262926A publication Critical patent/JPH01262926A/en
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  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

[産業上の利用分野] 本発明は気体分離膜およびその製造法に関する
ものである。さらに詳しくいえば、本発明は、透
過係数および分離係数が共に大きく、燃焼設備、
食品工業、医療機器、廃棄物処理設備など、気体
分離を必要とする分野において好適に用いられる
気体分離膜、およびこのものを効率よく製造する
方法に関するものである。 [従来の技術] 従来、気体の分離方法としては、たとえば冷却
凝縮蒸留法、吸着分離法、溶媒抽出分離法など
種々の方法が知られているが、これらの方法にお
いては、多大のエネルギーと複雑な設備を必要と
するなどの欠点があつた。 そこで、近年、この気体の分離を多孔質材料か
ら成る膜を用いて行うことにより、エネルギー消
費を低減するなどの試みが盛んに行われている。
このような多孔質材料からなる膜を用いて気体を
分離する方法としては、たとえば、 気体の選択的透過性、特に酸素分子の選択的
透過性に優れるポリオルガノシロキサンを、そ
の膜強度などを改良することを目的として、他
の高分子化合物、たとえばポリカーボネートや
ポリウレタン、ポリスチレン、ポリフエニレン
オキシドなどとの共重合体としたり、あるいは
ブレンドして得た素材を用いるもの(特開昭48
−64199号公報、同58−163403号公報、同58−
14928号公報など)、 多孔性の高分子物質を素材とするもの、 多孔質の支持体の表面に薄膜を付与した複合
膜を用いるもの(特公昭59−3201号公報など)、 などが知られている。 しかしながら、前記およびは、気体の透過
性能が十分でなく、一方、では選択性が十分で
ないという欠点を有している。 また、多孔性の高分子物質の細孔に、ポリオル
ガノシロキサンを含浸する方法も試みられている
が、それだけでは気体の透過性能が低く、実用上
十分な性能が得られないという問題点があつた。 他方、高分子膜の表面または内部に、銀などの
金属の薄層を形成させたガス分離用複合膜が提案
されている(特開昭58−8510号公報)。しかしな
がら、この複合膜においては、空気を透過させた
場合、O2/N2の分離係数は金属の薄層を形成さ
せない場合が1.0であるのに対し、3.0と増大して
いるものの、透過係数は、金属の薄層を形成しな
い場合が1.1×10-7であるのに対し、7.0×10-9
かなり減少しており、透過係数については十分に
満足しうるとはいえない。 さらに、スルホン基を有するNafion膜上の該
スルホン基を介して銀を付着させたNafion−Ag
複合膜による酸素−窒素の分離が報告されている
[「ジヤーナル・オブ・メンブラン・サイエンス
(J.Membrane Sci.)」第31巻、第227ページ
(1987年)]。しかしながら、このNafion−Ag複
合膜においては、O2/N2の分離係数は銀を付着
させない場合が2.0であるのに対し、11.0と著し
く増大しているものの、透過係数は、銀を付着さ
せない場合が1.5×10-9であるのに対し、1.0×
10-9とわずかではあるが減少しており、また透過
係数の値についても必ずしも満足しうるものでは
ない。 [発明が解決しようとする課題] 本発明は、このような従来の気体分離膜が有す
る欠点を克服し、分離係数および透過係数が共に
大きく、選択性と透過性に優れた気体分離膜、お
よびこのものを効率よく製造する方法を提供する
ことを目的としてなされたものである。 [課題を解決するための手段] 本発明者らは前記目的を達成するために鋭意研
究を重ねた結果、多孔質基材の表面に銀の薄層を
設け、次いでこれにシロキサン系ポリマーを含浸
させたのち乾燥処理するか、又は架橋性シロキサ
ン系ポリマーを含浸させたのち部分架橋処理を行
うことにより、分離係数および透過係数の大きな
気体分離膜が得られること、さらに、前記部分架
橋処理したものを溶媒抽出して、未架橋のシロキ
サン系ポリマーを除去することにより、透過係数
が一層増大した気体分離膜が得られることを見い
出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至
つた。 すなわち、本発明は多孔質基材の表面に銀の薄
層を設け、かつ該薄層の上および細孔内壁にオル
ガノシロキサン系重合体の薄層を形成させたこと
を特徴とする気体分離膜を提供するものである。 この気体分離膜は、本発明に従えば、多孔質基
材の表面に銀の薄層を設け、次いでこれにシロキ
サン系ポリマーを含浸させたのち、乾燥処理する
か、または架橋性シロキサン系ポリマーを含浸さ
せたのち、部分架橋処理を行うことにより製造す
ることができるし、また、多孔質基材の表面に銀
の薄層を設け、次いで、これに架橋性シロキサン
系ポリマーを含浸させたのち、部分架橋処理を行
い、さらに溶媒を用いて未架橋のシロキサン系ポ
リマーを抽出除去することにより、一層透過係数
の増大した前記気体分離膜を製造することができ
る。 以下、本発明を詳細に説明する。 本発明における多孔質基材としては、平均孔径
が0.1〜10μm程度の比較的大きな孔を有するもの
であれば、従来慣用されている無機系および有機
系のものの中から任意のものを選択して用いるこ
とができる。この多孔質基材の具体例としては、
ニトロセルロース、酢酸セルロース、アクリル系
ポリマー、フツ素系樹脂、ポリオレフイン、ポリ
スルホン、ポリエーテルスルホン、塩ビ系ポリマ
ー、多孔質シリカ、多孔質アルミナなどを挙げる
ことができる。これらの多孔質基材の平均孔径が
0.1μm未満では気体の透過性能が不十分となるお
それがあるし、10μmを超えると透過選択性が低
下する傾向が生じ、好ましくない。 この多孔質基材の形態については特に制限はな
く、たとえば平膜状、中空糸状、チユーブ状など
いずれの形態のものも使用することができるし、
また所望により、多孔質セラミツク系支持体、多
孔質有機高分子系支持体、多孔質金属系支持体な
どに支持されたものであつてもよい。 本発明においては、前記の多孔質基材の表面
に、まず銀の薄層を設けるが、この銀の薄層を設
ける方法としては、公知の方法、たとえば真空蒸
着法、イオンプレーテイング法、スパツタリング
法などを用いることができる。真空蒸着法によつ
て銀の薄層を形成させる場合には、たとえばペル
ジヤー型蒸着装置に、多孔質基材および金属銀を
セツトしたのち、10-6torr程度の十分な真空下で
該金属銀の入つたタングステンボートを加熱し
て、銀蒸気を多孔質基材表面に接触させ、銀を析
出させる。このようにして形成される銀の薄層の
厚みの調節は、加熱温度および蒸着時間を変える
ことによつて任意に行うことができる。該薄層の
厚みは、通常50〜5000Å、好ましくは100〜1000
Åの範囲で選ばれる。この厚みに関しては、銀の
薄層によつて多孔質基材の微細孔が閉塞されない
ようにすることが重要である。したがつて、使用
する多孔質基材の微細孔の孔径に合せて、孔径が
大なるときはこの厚みも大とすべきである。また
前記方法以外に、硝酸銀を塗布したのち、硝酸銀
を除去することにより、基材上に銀の薄層を形成
させる方法も用いることができる。また、銀の微
粒子を分散させたペーストを塗布あるいは含浸さ
せる方法を採用してもよい。これらの場合、生成
する銀の薄層が厚くなりやすいので、多孔質基材
の細孔径の比較的大なるものに適用した方が好ま
しい。 本発明においては、多孔質基材の表面に、この
ようにして銀の薄層を形成したのち、さらに分離
性を付与するためにシロキサン系ポリマーによる
処理が行われる。このシロキサン系ポリマーによ
る処理方法としては、(1)シロキサン系ポリマーを
含浸したのち乾燥処理する方法、(2)架橋性シロキ
サン系ポリマーを含浸したのち部分架橋処理する
方法、(3)架橋性シロキサン系ポリマーを含浸した
のち、部分架橋処理を行い、さらに溶媒を用いて
未架橋のシロキサン系ポリマーを抽出除去する方
法の3種の方法が用いられる。 前記(1)の方法においては、シロキサン系ポリマ
ーとして、それ自体で十分な効果を発揮しうるも
の、たとえば、一般式
[Industrial Field of Application] The present invention relates to a gas separation membrane and a method for manufacturing the same. More specifically, the present invention has a large permeability coefficient and a large separation coefficient, and a combustion equipment,
The present invention relates to a gas separation membrane that is suitably used in fields that require gas separation, such as the food industry, medical equipment, and waste treatment equipment, and a method for efficiently manufacturing the membrane. [Prior Art] Conventionally, various gas separation methods have been known, such as cooling condensation distillation, adsorption separation, and solvent extraction separation, but these methods require a large amount of energy and complexity. There were disadvantages such as the need for specialized equipment. Therefore, in recent years, many attempts have been made to reduce energy consumption by separating this gas using a membrane made of a porous material.
A method for separating gases using a membrane made of such a porous material is, for example, to improve the membrane strength of polyorganosiloxane, which has excellent selective permeability for gases, especially for oxygen molecules. For the purpose of
-64199 Publication, 58-163403 Publication, 58-
14928, etc.), those made from porous polymeric substances, and those using a composite membrane with a thin film on the surface of a porous support (Japanese Patent Publication No. 59-3201, etc.) are known. ing. However, the above-mentioned and the above-mentioned have the drawbacks that the gas permeation performance is not sufficient, and on the other hand, the selectivity is not sufficient. In addition, attempts have been made to impregnate the pores of porous polymeric materials with polyorganosiloxane, but this alone has the problem of low gas permeation performance and insufficient performance for practical use. Ta. On the other hand, a composite membrane for gas separation has been proposed in which a thin layer of metal such as silver is formed on the surface or inside of a polymer membrane (Japanese Unexamined Patent Publication No. 8510/1983). However, in this composite membrane, when air is allowed to permeate, the O 2 /N 2 separation coefficient is 1.0 when no thin metal layer is formed, whereas it increases to 3.0. The transmission coefficient is 1.1×10 -7 when no thin metal layer is formed, but it is considerably reduced to 7.0×10 -9 , and it cannot be said that the transmission coefficient is fully satisfactory. Furthermore, Nafion-Ag, which has silver attached via the sulfone group on the Nafion membrane that has a sulfone group,
Separation of oxygen and nitrogen using a composite membrane has been reported [J. Membrane Sci., Vol. 31, p. 227 (1987)]. However, in this Nafion-Ag composite membrane, the O 2 /N 2 separation coefficient is 2.0 when no silver is attached, but although it is significantly increased to 11.0, the permeability coefficient is 11.0 when no silver is attached. 1.0× while the case is 1.5×10 -9
It decreased slightly to 10 -9 , and the value of the transmission coefficient is not necessarily satisfactory. [Problems to be Solved by the Invention] The present invention overcomes the drawbacks of conventional gas separation membranes, and provides a gas separation membrane that has both a large separation coefficient and a large permeability coefficient, and has excellent selectivity and permeability. The purpose of this invention was to provide a method for efficiently manufacturing this product. [Means for Solving the Problem] As a result of extensive research to achieve the above object, the present inventors provided a thin layer of silver on the surface of a porous base material, and then impregnated this with a siloxane-based polymer. A gas separation membrane with a large separation coefficient and permeability coefficient can be obtained by drying the membrane after drying, or impregnating it with a crosslinkable siloxane polymer and then subjecting it to partial crosslinking. It has been discovered that a gas separation membrane with a further increased permeability coefficient can be obtained by solvent extraction to remove uncrosslinked siloxane-based polymers, and based on this knowledge, the present invention has been completed. That is, the present invention provides a gas separation membrane characterized in that a thin layer of silver is provided on the surface of a porous substrate, and a thin layer of an organosiloxane polymer is formed on the thin layer and on the inner walls of the pores. It provides: According to the invention, this gas separation membrane is produced by providing a thin layer of silver on the surface of a porous substrate, which is then impregnated with a siloxane polymer, and then dried or coated with a crosslinkable siloxane polymer. It can be produced by impregnating it and then subjecting it to a partial crosslinking treatment, or by providing a thin layer of silver on the surface of a porous substrate and then impregnating it with a crosslinkable siloxane polymer. By performing partial crosslinking treatment and further extracting and removing uncrosslinked siloxane polymer using a solvent, the gas separation membrane with a further increased permeability coefficient can be produced. The present invention will be explained in detail below. As the porous base material in the present invention, any material can be selected from conventionally used inorganic and organic materials as long as it has relatively large pores with an average pore diameter of about 0.1 to 10 μm. Can be used. Specific examples of this porous base material include:
Examples include nitrocellulose, cellulose acetate, acrylic polymers, fluororesins, polyolefins, polysulfones, polyethersulfones, vinyl chloride polymers, porous silica, and porous alumina. The average pore diameter of these porous substrates is
If it is less than 0.1 μm, gas permeation performance may be insufficient, and if it exceeds 10 μm, permeation selectivity tends to decrease, which is not preferable. There are no particular restrictions on the form of this porous base material; for example, any form such as a flat membrane, hollow fiber, or tube may be used;
Further, if desired, it may be supported by a porous ceramic support, a porous organic polymer support, a porous metal support, or the like. In the present invention, a thin layer of silver is first provided on the surface of the porous base material, and methods for providing this thin layer of silver include known methods such as vacuum evaporation, ion plating, and sputtering. The law can be used. When forming a thin layer of silver by a vacuum evaporation method, for example, a porous substrate and metallic silver are set in a Perugia type evaporation apparatus, and then the metallic silver is deposited under a sufficient vacuum of about 10 -6 torr. The tungsten boat containing the tungsten boat is heated to bring the silver vapor into contact with the surface of the porous substrate, causing silver to precipitate. The thickness of the thin silver layer thus formed can be adjusted as desired by changing the heating temperature and deposition time. The thickness of the thin layer is usually 50 to 5000 Å, preferably 100 to 1000 Å.
Selected within the range of Å. Regarding this thickness, it is important that the thin layer of silver does not block the micropores of the porous substrate. Therefore, when the pore diameter becomes large, the thickness should also be increased in accordance with the pore diameter of the micropores of the porous substrate used. In addition to the above method, a method may also be used in which a thin layer of silver is formed on the substrate by applying silver nitrate and then removing the silver nitrate. Alternatively, a method of applying or impregnating a paste in which fine silver particles are dispersed may be adopted. In these cases, the produced thin layer of silver tends to be thick, so it is preferable to apply the method to a porous substrate with a relatively large pore diameter. In the present invention, after a thin layer of silver is formed on the surface of a porous substrate in this manner, a treatment with a siloxane polymer is performed to further impart separability. Treatment methods using this siloxane-based polymer include (1) a method of impregnating with a siloxane-based polymer and then drying, (2) a method of impregnating with a cross-linkable siloxane-based polymer and then performing a partial cross-linking treatment, and (3) a method of partially cross-linking after impregnating with a cross-linkable siloxane-based polymer. Three methods are used: after impregnating the polymer, a partial crosslinking treatment is performed, and further, an uncrosslinked siloxane polymer is extracted and removed using a solvent. In the method (1) above, siloxane polymers that can exhibit sufficient effects by themselves, such as those with the general formula

【化】 (式中のR1およびR2は、それぞれ水素原子、
炭素数1〜4のアルキル基、フエニル基、ビニル
基などであり、nは重合度を示す数である) で表わされるシリコーンゴムや、一般式
[Formula R 1 and R 2 are hydrogen atoms, respectively]
silicone rubber represented by the following (alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, phenyl group, vinyl group, etc., where n is a number indicating the degree of polymerization), and the general formula

【化】 (式中のR1およびR2は前記と同じ意味をもち、
AはビスフエノールA型ポリカーボネート、脂肪
族エーテル、ポリスチレンなどのセグメントであ
る) で表わされる構成単位を有するコポリマーなどを
用い、適当な溶媒、たとえばクロロホルムやn−
ヘキサンなどに溶解し、この溶液を前記の表面に
銀の薄層が設けられた多孔質材料に含浸させたの
ち、乾燥処理が行われる。該含浸処理は、一般に
用いられている手法、たとえば浸漬法、スプレー
法、各種塗布法などによつて行うことができる。
また、該多孔質材料の全体に施してもよいし、所
望部分のみに施してもよく、また、含浸操作とし
て、該多孔質材料の片面側(多孔質材料が中空糸
状のものである場合は、その内面または外面側)
から施してもよいし、多孔質材料全体を浸漬する
などして、両面側から施してもよい。 このシロキサン系ポリマーの使用量は、用いる
多孔質材料の細孔容積や形成されるシロキサン系
ポリマーの所望膜厚などによつて異なり、一概に
定めることができないが、少なくとも該多孔質材
料の気体透過断面の全面にわたる細孔内部を含浸
するのに十分な量で、通常多孔質材料100重量部
当り、10〜500重量部、好ましくは20〜250重量部
の範囲で選ばれる。 このようにして、シロキサン系ポリマーの含浸
処理を行つたのち、通常の手段によつて加熱処理
を行い、溶媒を蒸発させて、多孔質材料の表面に
設けられた銀の薄層上および細孔内壁に、所望の
厚さの該オルガノシロキサン系重合体の薄層を形
成させる。 一方、前記(2)および(3)の方法においては、シロ
キサン系ポリマーとして架橋性のものが用いられ
る。この架橋性シロキサン系ポリマーとしては、
従来酸素などの気体の分離膜の素材として慣用さ
れているものを用いることができる。このような
架橋性シロキサン系ポリマーとしては、たとえば
一般式
[C] (R 1 and R 2 in the formula have the same meanings as above,
A is a segment of bisphenol A-type polycarbonate, aliphatic ether, polystyrene, etc.) using an appropriate solvent such as chloroform or n-
After dissolving it in hexane or the like and impregnating the porous material with a thin layer of silver on its surface, a drying process is performed. The impregnation treatment can be performed by commonly used methods such as dipping, spraying, and various coating methods.
In addition, the impregnation may be applied to the entire porous material or only to a desired part, and the impregnation operation may be performed on one side of the porous material (if the porous material is in the form of hollow fibers, , its inner or outer side)
It may be applied from the beginning, or it may be applied from both sides by immersing the entire porous material. The amount of this siloxane-based polymer to be used varies depending on the pore volume of the porous material used and the desired film thickness of the siloxane-based polymer to be formed, and cannot be determined unconditionally, but at least The amount is sufficient to impregnate the inside of the pores over the entire cross section, and is usually selected in the range of 10 to 500 parts by weight, preferably 20 to 250 parts by weight, per 100 parts by weight of the porous material. After impregnating with the siloxane polymer in this way, heat treatment is performed by normal means to evaporate the solvent, and the thin layer of silver provided on the surface of the porous material and the pores are heated. A thin layer of the organosiloxane polymer of desired thickness is formed on the inner wall. On the other hand, in methods (2) and (3) above, a crosslinkable siloxane polymer is used. As this crosslinkable siloxane polymer,
It is possible to use materials that are conventionally used as materials for separation membranes for gases such as oxygen. Such crosslinkable siloxane polymers include, for example, the general formula

【化】 (式中のYおよびZは、それぞれ−CH=CH2
−NH2,−OH、エポキシ基などであり、R1,R2
およびnは前記と同じ意味をもつ) で表わされる官能基を有するシロキサン系ポリマ
ーやプレポリマーなどを挙げることができる。 この架橋性シロキサン系ポリマーは、必要に応
じ、たとえばジメチルジクロロシランなどの2官
能性有機シラン化合物やメチルトリクロロシラン
などの3官能性有機シラン化合物などの架橋剤、
重合促進剤、分子量調節剤、老化防止剤などの添
加剤や他のポリマーなどを添加して用いてもよ
い。該架橋性シロキサン系ポリマーの官能基の種
類や割合、必要に応じて用いられる架橋剤の種類
や量は、所望の気体分離膜の性質に応じて適宜選
択することができる。 該架橋性シロキサン系ポリマーが液状である場
合には、溶媒を用いる必要がなく、そのまま多孔
質材料に含浸させてもよいが、高粘度液体や固体
である場合には適当な溶媒を用い、希釈して含浸
させることが望ましい。含浸方法や含浸量につい
ては、前記(1)の場合と同様である。 このようにして含浸処理された架橋性シロキサ
ン系ポリマーは、溶媒を用いない場合はそのまま
架橋処理を行つてもよいが、溶媒を用いる場合に
は、溶媒を蒸発などにより除去したのち、架橋処
理を行つてもよいし、溶媒を除去しないで架橋処
理を行つたのち、溶媒を除去してもよい。架橋処
理としては、従来慣用されている方法、たとえば
加熱処理法や紫外線照射法などを用いることがで
きる。加熱処理の条件については、使用する架橋
性シロキサン系ポリマーの種類、架橋剤の種類や
量などによつて左右され、一概に定めることがで
きないが、通常10〜150℃、好ましくは50〜100℃
の範囲の温度において、通常1分ないし2時間、
好ましくは10〜30分間程度加熱することにより、
架橋が行われる。 (2)の方法においては、架橋処理後、溶媒による
抽出処理を施さないので、ポリマーで細孔をふさ
がない程度に含浸させ、架橋処理することが肝要
である。 (3)の方法においては、架橋処理後、溶媒による
抽出処理を施して、未架橋のシロキサン系ポリマ
ーの抽出除去が行われる。この抽出処理によつ
て、得られる気体分離膜の透過係数はより一層増
大する。このような溶媒による抽出処理を施すた
めに、前記架橋処理における架橋度はJIS K−
2220による針入度で20〜150、好ましくは50〜80
の範囲になるように調節することが望ましい。こ
の架橋度が針入度で20未満では、溶媒による抽出
処理時に、架橋処理物中の未架橋シロキサン系ポ
リマーの抽出除去が有効に行われず、透過係数の
増大が期待できないし、針入度で150を超えると
該抽出処理で架橋処理物がほとんど抽出され、そ
の結果気体分子膜の選択性が低下するおそれがあ
る。 この抽出処理に使用する溶媒としては、たとえ
ば、ヘキサン、ヘプタン、オクタンなどの脂肪族
炭化水素、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサ
ンなどの脂環式炭化水素、ベンゼン、トルエン、
キシレンなどの芳香族炭化水素、四塩化炭素、ジ
クロロメタン、トリクロロエタン、テトラクロロ
エタン、トリクロロエチレン、クロロベンゼンな
どのハロゲン化炭化水素、テトラヒドロフラン、
ジオキサンなどの環状エーテルなどが挙げられる
が、これらの中で芳香族炭化水素が好ましく、特
にベンゼン、トルエン、キシレンが好適である。 該溶媒抽出処理の条件については、使用する架
橋性シロキサン系ポリマーや溶媒の種類によつて
異なり、一概に定めることができないが、通常20
〜150℃、好ましくは50〜100℃の範囲の温度にお
いて、通常1分ないし、1時間、好ましくは10〜
30分間程度処理が行われる。 このようにして溶媒抽出処理を行つたのち、所
望に応じ、さらに、前記溶媒などで洗浄処理を施
してもよい。残存溶媒は、通常の乾燥方法、たと
えば加熱乾燥法、熱風乾燥法、減圧乾燥法などに
より乾燥し、所望の気体分離膜を得ることができ
る。 このようにして作製された気体分離膜は、第1
図の表面拡大断面図で示されるように、多孔質基
材1の表面に銀の薄層2を有し、かつ該薄層2の
上および細孔3の内壁にオルガノシロキサン系重
合体の薄層4が設けられた構造を有しており、透
過係数および分離係数共に大きく、気体の透過性
能および透過選択性に優れる上、膜強度も高いな
どの特徴を有している。 この気体分離膜は、支持体を用いずそのまま使
用してもよいし、前記したように支持体に支持し
て用いてもよく、あるいは前記製造法の過程にお
いて、該支持体に支持することもできる。また、
該気体分離膜は、そのまま単独で用いてもよい
し、所望に応じ2種以上を重ねて多層構造として
用いてもよい。 [実施例] 次に、実施例により本発明をさらに詳細に説明
するが、本発明はこれらの例によつてなんら限定
されるものではない。 (実施例 1) 孔径0.3μmのニトロセルロース多孔質メンブラ
ンの表面に、真空蒸着法により銀を蒸着し、厚み
250Åの銀の薄層を形成した。次に、これにシリ
コーンゴム/クロロホルム溶液を含浸させたの
ち、乾燥して気体分離膜を作製した。 得られた気体分離膜を用いて、圧力1Kg/cm2
温度20℃の条件で空気の透過テストを行つた。そ
の結果、 透過係数P=2.1×10-8c.c.・cm/cm2・sec・cm
Hg、分離係数(O2/N2)α=3.3 であつた。 なお、シリコーンゴムとしては、
[Chemical formula] (Y and Z in the formula are respectively -CH=CH 2 ,
−NH 2 , −OH, epoxy group, etc., and R 1 , R 2
and n have the same meanings as above) Siloxane-based polymers and prepolymers having a functional group represented by the following can be mentioned. This crosslinkable siloxane-based polymer may optionally contain a crosslinking agent such as a bifunctional organic silane compound such as dimethyldichlorosilane or a trifunctional organic silane compound such as methyltrichlorosilane.
Additives such as polymerization accelerators, molecular weight regulators, anti-aging agents, and other polymers may be added. The type and proportion of the functional groups of the crosslinkable siloxane polymer and the type and amount of the crosslinking agent used if necessary can be appropriately selected depending on the desired properties of the gas separation membrane. If the crosslinkable siloxane polymer is in a liquid state, there is no need to use a solvent and it may be impregnated into the porous material as it is, but if it is a highly viscous liquid or solid, it may be diluted with an appropriate solvent. It is desirable to impregnate with The impregnation method and amount of impregnation are the same as in the case of (1) above. The crosslinkable siloxane polymer impregnated in this way may be crosslinked as is if no solvent is used, but if a solvent is used, the solvent is removed by evaporation etc. and then crosslinked. Alternatively, the solvent may be removed after the crosslinking treatment is performed without removing the solvent. As the crosslinking treatment, conventionally used methods such as a heat treatment method and an ultraviolet irradiation method can be used. The conditions for heat treatment depend on the type of crosslinkable siloxane polymer used, the type and amount of crosslinking agent, etc., and cannot be determined unconditionally, but are usually 10 to 150°C, preferably 50 to 100°C.
Usually 1 minute to 2 hours at a temperature in the range of
Preferably by heating for about 10 to 30 minutes,
Crosslinking takes place. In method (2), since extraction treatment with a solvent is not performed after the crosslinking treatment, it is important to impregnate the polymer to an extent that does not block the pores and then perform the crosslinking treatment. In method (3), after the crosslinking treatment, an extraction treatment with a solvent is performed to extract and remove the uncrosslinked siloxane polymer. This extraction treatment further increases the permeability coefficient of the resulting gas separation membrane. In order to perform extraction treatment using such a solvent, the degree of crosslinking in the crosslinking treatment is determined according to JIS K-
20-150 in penetration by 2220, preferably 50-80
It is desirable to adjust it so that it falls within the range of . If the degree of crosslinking is less than 20 in terms of penetration, the uncrosslinked siloxane polymer in the crosslinked product will not be effectively extracted and removed during extraction with a solvent, and an increase in the permeability coefficient cannot be expected. When it exceeds 150, most of the crosslinked product is extracted in the extraction process, and as a result, the selectivity of the gas molecule membrane may decrease. Examples of solvents used in this extraction process include aliphatic hydrocarbons such as hexane, heptane, and octane, alicyclic hydrocarbons such as cyclohexane and methylcyclohexane, benzene, toluene,
Aromatic hydrocarbons such as xylene, carbon tetrachloride, halogenated hydrocarbons such as dichloromethane, trichloroethane, tetrachloroethane, trichloroethylene, chlorobenzene, tetrahydrofuran,
Examples include cyclic ethers such as dioxane, but among these, aromatic hydrocarbons are preferred, and benzene, toluene, and xylene are particularly preferred. The conditions for the solvent extraction treatment vary depending on the type of crosslinked siloxane polymer and solvent used, and cannot be unconditionally determined, but usually 20
~150℃, preferably 50~100℃, usually 1 minute to 1 hour, preferably 10~100℃
The process will take about 30 minutes. After the solvent extraction process is performed in this manner, a washing process may be further performed using the above-mentioned solvent or the like, if desired. The remaining solvent can be dried by a conventional drying method, such as a heating drying method, a hot air drying method, a reduced pressure drying method, etc., to obtain a desired gas separation membrane. The gas separation membrane produced in this way is
As shown in the enlarged cross-sectional view of the surface of the figure, a thin silver layer 2 is formed on the surface of a porous substrate 1, and a thin layer of organosiloxane polymer is formed on the thin layer 2 and on the inner walls of the pores 3. It has a structure in which a layer 4 is provided, has large permeability coefficients and separation coefficients, is excellent in gas permeation performance and permeation selectivity, and has high membrane strength. This gas separation membrane may be used as it is without using a support, or may be supported on a support as described above, or may be supported on the support during the manufacturing process. can. Also,
The gas separation membrane may be used alone as it is, or two or more types may be stacked to form a multilayer structure as desired. [Examples] Next, the present invention will be explained in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples in any way. (Example 1) Silver was deposited by vacuum evaporation on the surface of a nitrocellulose porous membrane with a pore size of 0.3 μm, and the thickness was
A thin layer of silver of 250 Å was formed. Next, this was impregnated with a silicone rubber/chloroform solution and then dried to produce a gas separation membrane. Using the obtained gas separation membrane, the pressure was 1 Kg/cm 2 ,
Air permeation tests were conducted at a temperature of 20°C. As a result, the permeability coefficient P=2.1×10 -8 cc・cm/cm 2・sec・cm
Hg, separation coefficient (O 2 /N 2 ) α = 3.3. In addition, as silicone rubber,

【化】 の構造を有する分子量30000のものを用いた。 (比較例 1) 実施例1において、シリコーンゴム層を形成し
なかつたこと以外は、実施例1と同様にして実施
した。その結果、 P=6.0×10-3c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=1.0であつた。 (比較例 2) 実施例1において、銀の薄層を形成しなかつた
こと以外は、実施例1と全く同様にして実施し
た。その結果、 P=2.2×10-8c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=2.0であつた。 (実施例 2) 孔径1.0μmのニトロセルロース多孔質メンブラ
ンに、銀を真空蒸着して、厚み300Åの銀の薄層
を形成したのち、液状有機シロキサン化合物A
(分子中に−SiH結合を含む)と液状有機シロキ
サン化合物B(分子中に−CH=CH2結合を含む)
とを官能基モル比が1:1になるように混合した
液状組成物を含浸させ、70℃で2時間加熱して架
橋処理し、気体分離膜を作製した。この膜を用い
て実施例1と同様の透過テストを行つた結果、 P=2.2×10-8c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=4.0であつた。 (比較例 3) 実施例2において、銀の薄層を形成しなかつた
こと以外は、実施例2と同様にして実施した。そ
の結果、 P=2.6×10-8c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=1.9であつた。 (実施例 3) 孔径0.8μmのポリエーテルスルホン多孔質メン
ブランに、銀を真空蒸着して、厚み200Åの銀の
薄層を設けたのち、液状有機シロキサン化合物C
(末端にエポキシ基を含有)と液状有機シロキサ
ン化合物D(末端にアミノ基を含有)とを、官能
基モル比が1:1になるように混合した液状組成
物を含浸させ、100℃で3時間加熱して架橋処理
を行い、気体分離膜を作製した。この膜を用いて
実施例1と同様の透過テストを行つた結果、 P=1.8×10-8c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=3.7であつた。 (比較例 4) 実施例3において、オルガノシロキサン系重合
体の薄層を形成させなかつたこと以外は、実施例
3と同様にして実施した。その結果、 P=1.9×10-2c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=1.0であつた。 (実施例 4) 孔径0.8μmのポリスルホン多孔質メンブラン
に、銀を真空蒸着して、厚み350Åの銀の薄層を
形成したのち、オルガノシロキサン系重合体−ビ
スフエノールA型ポリカーボネートブロツクコポ
リマーのクロロホルム溶液を含浸させたのち、乾
燥して気体分離膜を作製した。この膜を用いて実
施例1と同様の透過テストを行つた結果、 P=2.3×10-8c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=3.0であつた。 (比較例 5) 実施例4において、オルガノシロキサン系重合
体の薄層を形成させなかつたこと以外は、実施例
4と同様にして実施した。その結果、 P=2.2×10-2c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=1.0であつた。 (実施例 5) 孔径0.65μmのガラス繊維フイルターに、銀を
真空蒸着させ、厚み350Åの銀の薄層を形成した
のち、これに液状有機シロキサン化合物Aと液状
有機シロキサン化合物Bとを官能基モル比が1:
1になるように混合した液状組成物を含浸させ、
70℃で2時間加熱して架橋処理を行い、気体分離
膜を作製した。この膜を用いて実施例1と同様の
透過テストを行つた結果、 P=1.8×10-8c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=3.1であつた。 (比較例 6) 実施例5において、銀の薄層を形成しなかつた
こと以外は、実施例5と同様にして実施した。そ
の結果、 P=2.2×10-8c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=2.0であつた。 (実施例 6) 実施例2と同様の操作で得たメンブランを、ト
ルエン中に浸し、90℃で30分間加熱して未架橋物
の抽出処理を行つたのち、乾燥して気体分離膜を
作製した。この膜を用いて実施例1と同様の透過
テストを行つた結果、 P=1.3×10-6c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=2.9であつた。 (実施例 7) 孔径0.8μmのアクリル系多孔質メンブランに、
銀を真空蒸着して、厚み250Åの銀の薄膜を形成
したのち、液状有機シロキサン化合物Aと液状有
機シロキサン化合物Bとを官能基のモル比が1:
1になるように混合した液状組成物を含浸させ、
70℃で2時間加熱して架橋処理を行い、気体分離
膜を作製した。この膜を用いて実施例1と同様の
透過テストを行つた結果、 P=2.4×10-8c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=4.1であつた。 (実施例 8) 実施例7と同様の操作で得たメンブランをトル
エン中に浸し、90℃で30分間加熱して未架橋のオ
ルガノシロキサン系重合体の抽出処理を行い、気
体分離膜を作製した。この膜を用いて実施例1と
同様の透過テストを行つた結果、 P=2.3×10-6c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=2.8であつた。 (比較例 6) 実施例8において、銀の薄層を形成させなかつ
たこと以外は、実施例8と同様にして実施した。
その結果、 P=4.3×10-6c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=1.9であつた。 (実施例 9) 孔径3.0μmのニトロセルロース多孔質メンブラ
ンに、銀の微粒子をトルエン中に分散したペース
トを膜厚0.1μmとなるように塗布し、乾燥した。
ついで、これを、液状有機シロキサン化合物A
と、液状有機シロキサン化合物Bとの官能基モル
比1:1の混合液に含浸した後、70℃に2時間加
熱して架橋処理し、気体分離膜を作製した。 この膜を用いて実施例1と同様の透過テストを
行つた結果、 P=1.0×10-8c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=4.0であつた。 (実施例 10) 孔径5.0μmのニトロセルロース多孔質メンブラ
ンに、銀の微粒子をトルエン中に分散したペース
トを膜厚0.3μmとなるように塗布し、乾燥した。
ついで、これを、液状有機シロキサン化合物A
と、液状有機シロキサン化合物Bとの官能基モル
比1:1の混合液に含浸した後、70℃に2時間加
熱して架橋処理し、気体分離膜を作製した。この
膜を用いて実施例1と同様の透過テストを行つた
結果、 P=1.2×10-8c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=4.1であつた。 (実施例 11) 実施例9と同様の操作により得たメンブラン
を、トルエン中に浸漬し、90℃に30分間加熱し
て、未架橋物の抽出処理を行つたのち、乾燥して
気体分離膜を作製した。この膜を用いて実施例1
と同様の透過テストを行つた結果、 P=1.0×10-6c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=2.5であつた。 (実施例 12) 実施例10と同様の操作により得たメンブラン
を、トルエン中に浸漬し、90℃に30分間加熱し
て、未架橋物の抽出処理を行つたのち、乾燥して
気体分離膜を作製した。 この膜を用いて実施例1と同様の透過テストを
行つた結果、 P=3.4×10-6c.c.・cm/cm2・sec・cmHg、 α=2.7であつた。 [発明の効果] 本発明の気体分離膜は、多孔質基材の表面に銀
の薄層を設けさらにその上細孔内壁にオルガノシ
ロキサン系重合体の薄層を形成させることによ
り、透過係数を現状の最高レベル(シリコーン系
材料)に保持し、かつ分離係数を3.0〜4.5と大幅
に向上させたものであつて、気体の透過性能およ
び選択性能共に優れており、たとえば燃焼設備、
食品工業、医療機器、廃棄物処理設備など、気体
分離を必要とする分野において好適に用いられ
る。
A compound having the structure [chemical formula] and a molecular weight of 30,000 was used. (Comparative Example 1) Comparative Example 1 was carried out in the same manner as in Example 1 except that the silicone rubber layer was not formed. As a result, P=6.0×10 -3 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=1.0. (Comparative Example 2) Comparative Example 2 was carried out in exactly the same manner as in Example 1, except that the thin layer of silver was not formed. As a result, P=2.2×10 -8 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=2.0. (Example 2) After vacuum-depositing silver on a nitrocellulose porous membrane with a pore size of 1.0 μm to form a thin layer of silver with a thickness of 300 Å, a liquid organosiloxane compound A was deposited.
(contains -SiH bond in molecule) and liquid organosiloxane compound B (contains -CH=CH 2 bond in molecule)
A gas separation membrane was prepared by impregnating the membrane with a liquid composition in which the functional group molar ratio was 1:1, and heating the mixture at 70° C. for 2 hours to perform a crosslinking treatment. A permeation test similar to that in Example 1 was conducted using this membrane, and the results were as follows: P=2.2×10 −8 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=4.0. (Comparative Example 3) The same procedure as in Example 2 was carried out except that the thin layer of silver was not formed in Example 2. As a result, P=2.6×10 -8 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=1.9. (Example 3) After vacuum-depositing silver on a polyethersulfone porous membrane with a pore size of 0.8 μm to provide a thin layer of silver with a thickness of 200 Å, a liquid organosiloxane compound C was applied.
(Contains an epoxy group at the end) and liquid organosiloxane compound D (Contains an amino group at the end) in a liquid composition in which the molar ratio of the functional groups is 1:1. A gas separation membrane was produced by performing crosslinking treatment by heating for a period of time. A permeation test similar to that in Example 1 was conducted using this membrane, and the results were as follows: P=1.8×10 −8 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=3.7. (Comparative Example 4) The same procedure as in Example 3 was carried out except that the thin layer of the organosiloxane polymer was not formed in Example 3. As a result, P=1.9×10 -2 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=1.0. (Example 4) After vacuum-depositing silver on a polysulfone porous membrane with a pore size of 0.8 μm to form a thin layer of silver with a thickness of 350 Å, a chloroform solution of an organosiloxane-based polymer-bisphenol A type polycarbonate block copolymer was applied. A gas separation membrane was prepared by impregnating and drying the membrane. A permeation test similar to that in Example 1 was conducted using this membrane, and the results were as follows: P=2.3×10 −8 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=3.0. (Comparative Example 5) The same procedure as in Example 4 was carried out except that the thin layer of the organosiloxane polymer was not formed in Example 4. As a result, P=2.2×10 −2 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=1.0. (Example 5) Silver was vacuum-deposited on a glass fiber filter with a pore size of 0.65 μm to form a thin layer of silver with a thickness of 350 Å, and then liquid organosiloxane compound A and liquid organosiloxane compound B were added to this layer with functional group moles. The ratio is 1:
impregnated with a liquid composition mixed so as to be 1,
A gas separation membrane was produced by heating at 70°C for 2 hours to perform crosslinking treatment. A permeation test similar to that in Example 1 was conducted using this membrane, and the results were as follows: P=1.8×10 −8 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=3.1. (Comparative Example 6) The same procedure as in Example 5 was carried out except that the thin layer of silver was not formed. As a result, P=2.2×10 -8 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=2.0. (Example 6) A membrane obtained in the same manner as in Example 2 was immersed in toluene, heated at 90°C for 30 minutes to extract uncrosslinked substances, and then dried to produce a gas separation membrane. did. A permeation test similar to that in Example 1 was conducted using this membrane, and the results were as follows: P=1.3×10 -6 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=2.9. (Example 7) An acrylic porous membrane with a pore size of 0.8 μm,
After vacuum-depositing silver to form a thin silver film with a thickness of 250 Å, liquid organosiloxane compound A and liquid organosiloxane compound B were mixed in a molar ratio of functional groups of 1:
impregnated with a liquid composition mixed so as to be 1,
A gas separation membrane was produced by heating at 70°C for 2 hours to perform crosslinking treatment. A permeation test similar to that in Example 1 was conducted using this membrane, and the results were as follows: P=2.4×10 −8 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=4.1. (Example 8) A membrane obtained in the same manner as in Example 7 was immersed in toluene and heated at 90°C for 30 minutes to extract the uncrosslinked organosiloxane polymer, thereby producing a gas separation membrane. . A permeation test similar to that in Example 1 was carried out using this membrane, and the results were as follows: P=2.3×10 -6 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=2.8. (Comparative Example 6) The same procedure as in Example 8 was carried out except that the thin silver layer was not formed in Example 8.
As a result, P=4.3×10 −6 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=1.9. (Example 9) A paste in which fine silver particles were dispersed in toluene was applied to a nitrocellulose porous membrane with a pore size of 3.0 μm to a thickness of 0.1 μm, and dried.
Next, this is converted into liquid organosiloxane compound A.
and liquid organosiloxane compound B in a functional group molar ratio of 1:1, and then heated to 70° C. for 2 hours for crosslinking treatment to produce a gas separation membrane. A permeation test similar to that in Example 1 was conducted using this membrane, and the results were as follows: P=1.0×10 −8 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=4.0. (Example 10) A paste in which fine silver particles were dispersed in toluene was applied to a nitrocellulose porous membrane with a pore size of 5.0 μm to a thickness of 0.3 μm, and dried.
Next, this is converted into liquid organosiloxane compound A.
and liquid organosiloxane compound B in a functional group molar ratio of 1:1, and then heated to 70° C. for 2 hours for crosslinking treatment to produce a gas separation membrane. A permeation test similar to that in Example 1 was conducted using this membrane, and the results were as follows: P=1.2×10 −8 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=4.1. (Example 11) A membrane obtained in the same manner as in Example 9 was immersed in toluene, heated at 90°C for 30 minutes to extract uncrosslinked substances, and then dried to form a gas separation membrane. was created. Example 1 using this membrane
As a result of conducting a transmission test similar to the above, P=1.0×10 -6 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=2.5. (Example 12) A membrane obtained in the same manner as in Example 10 was immersed in toluene, heated at 90°C for 30 minutes to extract uncrosslinked substances, and then dried to form a gas separation membrane. was created. A permeation test similar to that in Example 1 was carried out using this membrane, and the results were as follows: P=3.4×10 -6 cc·cm/cm 2 ·sec·cmHg, α=2.7. [Effects of the Invention] The gas separation membrane of the present invention has a thin layer of silver on the surface of a porous substrate, and furthermore, a thin layer of organosiloxane polymer is formed on the inner wall of the pores, thereby increasing the permeability coefficient. It maintains the current highest level (silicone-based material) and has a significantly improved separation coefficient of 3.0 to 4.5, and has excellent gas permeability and selection performance, and is suitable for use in combustion equipment, for example.
Suitable for use in fields that require gas separation, such as the food industry, medical equipment, and waste treatment equipment.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の気体分離膜の1例の表面拡大
図であり、図中符号1は多孔質基材、2は銀の薄
層、3は細孔、4はオルガノシロキサン系重合体
の薄層である。
FIG. 1 is an enlarged surface view of one example of the gas separation membrane of the present invention, in which reference numeral 1 is a porous base material, 2 is a thin layer of silver, 3 is a pore, and 4 is an organosiloxane polymer. It is a thin layer.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 多孔質基材の表面に銀の薄層を設け、かつ該
薄層の上および細孔内壁にオルガノシロキサン系
重合体の薄層を形成させたことを特徴とする気体
分離膜。 2 多孔質基材の表面に銀の薄層を設け、次いで
これにシロキサン系ポリマーを含浸させたのち乾
燥処理するか、または架橋性シロキサン系ポリマ
ーを含浸させたのち、部分架橋処理を行うことを
特徴とする、請求項1記載の気体分離膜の製造
法。 3 多孔質基材の表面に銀の薄層を設け、次いで
これに架橋性シロキサン系ポリマーを含浸させた
のち、部分架橋処理を行い、さらに溶媒を用いて
未架橋のシロキサン系ポリマーを抽出除去するこ
とを特徴とする、請求項1記載の気体分離膜の製
造法。
[Scope of Claims] 1. A gas characterized in that a thin layer of silver is provided on the surface of a porous substrate, and a thin layer of an organosiloxane polymer is formed on the thin layer and on the inner walls of the pores. Separation membrane. 2. Providing a thin layer of silver on the surface of a porous substrate, then impregnating it with a siloxane-based polymer and drying it, or impregnating it with a cross-linkable siloxane-based polymer and then performing a partial cross-linking process. A method for producing a gas separation membrane according to claim 1, characterized in that: 3 A thin layer of silver is provided on the surface of the porous substrate, and then a crosslinkable siloxane polymer is impregnated into the thin layer, followed by partial crosslinking treatment, and the uncrosslinked siloxane polymer is extracted and removed using a solvent. The method for producing a gas separation membrane according to claim 1, characterized in that:
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