JPH06100724B2 - 顕微鏡の照明光学系 - Google Patents
顕微鏡の照明光学系Info
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- JPH06100724B2 JPH06100724B2 JP16747688A JP16747688A JPH06100724B2 JP H06100724 B2 JPH06100724 B2 JP H06100724B2 JP 16747688 A JP16747688 A JP 16747688A JP 16747688 A JP16747688 A JP 16747688A JP H06100724 B2 JPH06100724 B2 JP H06100724B2
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 41
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 5
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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Description
【発明の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 この発明は顕微鏡の試料を照明するためのテレセントリ
ック照明光学系、特に顕微鏡の拡大倍率に対応させて照
明領域を変え得る照明光学系に関するものである。
ック照明光学系、特に顕微鏡の拡大倍率に対応させて照
明領域を変え得る照明光学系に関するものである。
《従来の技術》 この種の照明光学系としては、従来より例えば第10図〜
第12図に示すものが知られている（特開昭56-165111号
公報）。
第12図に示すものが知られている（特開昭56-165111号
公報）。
それは、光源Ｓ側より順次コレクターレンズLAと複数の
レンズLB1・LB2からなるリレーレンズLBと、コンデンサ
レンズLCとを配置して顕微鏡の被照射面Ｐに対してテレ
セントリックなケラー照明系を構成し、リレーレンズLB
を構成する各レンズLB1・LB2を光軸に沿つて相対移動さ
せることにより、顕微鏡の拡大倍率に対応させて被照射
面Ｐの照明領域PAを変更可能に構成したものである。
レンズLB1・LB2からなるリレーレンズLBと、コンデンサ
レンズLCとを配置して顕微鏡の被照射面Ｐに対してテレ
セントリックなケラー照明系を構成し、リレーレンズLB
を構成する各レンズLB1・LB2を光軸に沿つて相対移動さ
せることにより、顕微鏡の拡大倍率に対応させて被照射
面Ｐの照明領域PAを変更可能に構成したものである。
なお、第10図は顕微鏡の拡大倍率が高い場合、第11図は
拡大倍率が中間の場合、第12図は拡大倍率が低い場合を
示し、それぞれ照明領域PAが変化している状態を示して
いる。
拡大倍率が中間の場合、第12図は拡大倍率が低い場合を
示し、それぞれ照明領域PAが変化している状態を示して
いる。
《発明が解決しようとする課題》 上記従来例のものは、リレーレンズLBがそれぞれ光軸に
沿つて相対移動可能な収斂性レンズLB1と発散性レンズL
B2とによつて構成されており、光源Ｓの像S1を収斂性レ
ンズLB1とコンデンサーレンズLCとの間に形成するよう
にしているため、次のような問題点が指摘される。
沿つて相対移動可能な収斂性レンズLB1と発散性レンズL
B2とによつて構成されており、光源Ｓの像S1を収斂性レ
ンズLB1とコンデンサーレンズLCとの間に形成するよう
にしているため、次のような問題点が指摘される。
イ．瞳位置を固定した状態でズーミングすることができ
るようにはなつていない。このため、例えば拡大倍率が
高培率の場合（第10図）に完全なケラー照明が成立した
としても、他の低倍率の場合（第11図、第12図）には、
ケラー照明が崩れた状態になる。
るようにはなつていない。このため、例えば拡大倍率が
高培率の場合（第10図）に完全なケラー照明が成立した
としても、他の低倍率の場合（第11図、第12図）には、
ケラー照明が崩れた状態になる。
ロ．また、リレーレンズLBのズーミングに伴つて光源像
S1の位置が変動するため、光源像の位置に開口絞りを配
置しようとしても無理があり、強いて配置しようとすれ
ば、構造が複雑となり、コスト高を招く。
S1の位置が変動するため、光源像の位置に開口絞りを配
置しようとしても無理があり、強いて配置しようとすれ
ば、構造が複雑となり、コスト高を招く。
ハ．一般に光源の配光強度は出射角により異なるため、
光源の有効面積が一定であるならば、光源から出射する
光束の取込み角２θは小さい方が望ましい。殊にいわゆ
る落射照明系にあつては対物レンズの入射瞳が設定倍率
によつて高倍になるほど通常は小さくなることから、光
源の有効利用可能な面積も高倍になるほど小さくなる
が、上記取込み角が小さくなつても光源の利用面積を大
きくできれば、それだけ光量の有効利用を図ることがで
きる。しかるに上記従来例のものはこのような配慮がさ
れていない。
光源の有効面積が一定であるならば、光源から出射する
光束の取込み角２θは小さい方が望ましい。殊にいわゆ
る落射照明系にあつては対物レンズの入射瞳が設定倍率
によつて高倍になるほど通常は小さくなることから、光
源の有効利用可能な面積も高倍になるほど小さくなる
が、上記取込み角が小さくなつても光源の利用面積を大
きくできれば、それだけ光量の有効利用を図ることがで
きる。しかるに上記従来例のものはこのような配慮がさ
れていない。
本発明は上記イ．ロ．ハに記載した事項を、解決すべき
技術課題とする。
技術課題とする。
《課題を解決するための手段》 本発明は上記課題を解決するものであつて、以下のよう
に構成される。
に構成される。
即ち、光源側より順次コレクターレンズと、リレーレン
ズと、コンデサレンズとを配置して、顕微鏡の被照射面
に対してテレセントリックなケラー照明系を構成し、リ
レーレンズを構成する複数のレンズを相対移動させるこ
とにより、顕微鏡の拡大倍率に対応させて被照射面の照
明領域を変更可能に構成した顕微鏡の照明光学系におい
て、コレクターレンズを出射側にテレセントリックな光
学系で構成するとともに、リレーレンズを入射側及び出
射側にテレセントリックで、かつ変倍可能な光学系で構
成したことを特徴とするものである。
ズと、コンデサレンズとを配置して、顕微鏡の被照射面
に対してテレセントリックなケラー照明系を構成し、リ
レーレンズを構成する複数のレンズを相対移動させるこ
とにより、顕微鏡の拡大倍率に対応させて被照射面の照
明領域を変更可能に構成した顕微鏡の照明光学系におい
て、コレクターレンズを出射側にテレセントリックな光
学系で構成するとともに、リレーレンズを入射側及び出
射側にテレセントリックで、かつ変倍可能な光学系で構
成したことを特徴とするものである。
《作用》 本発明では、リレーレンズが入射側及び出射側にテレセ
ントリックな関係を維持した状態でズーミングによる変
倍が可能に構成されていることから、リレーレンズの前
方及び後方に形成される光源像の位置は移動しない。
ントリックな関係を維持した状態でズーミングによる変
倍が可能に構成されていることから、リレーレンズの前
方及び後方に形成される光源像の位置は移動しない。
つまり、リレーレンズをズーミングしても顕微鏡の被照
射面に対して、テレセントリックで、かつ完全なケラー
照明系が維持されることになる。
射面に対して、テレセントリックで、かつ完全なケラー
照明系が維持されることになる。
また、いわゆる落射照明系のように、拡大倍率によつて
対物レンズの入射瞳の大きさが変化することが一般的な
場合において、限られた条件下ではあるが、リレーレン
ズをズーミングすることによつて光源から出射する光束
の取込み角を小さく、かつ光源の有効利用面積を大きく
設定して光量の有効利用をはかることができる。
対物レンズの入射瞳の大きさが変化することが一般的な
場合において、限られた条件下ではあるが、リレーレン
ズをズーミングすることによつて光源から出射する光束
の取込み角を小さく、かつ光源の有効利用面積を大きく
設定して光量の有効利用をはかることができる。
《実施例》 以下、図面により本発明の実施例を説明する。
第１図〜第３図は本発明に係る照明光学系を模式的に示
す図であり、第１図は顕微鏡（図示せず）の拡大倍率が
高い場合、第２図は拡大倍率が中間の場合、第３図は拡
大倍率が低い場合を示している。
す図であり、第１図は顕微鏡（図示せず）の拡大倍率が
高い場合、第２図は拡大倍率が中間の場合、第３図は拡
大倍率が低い場合を示している。
この照明光学系は、光源Ｓ側より順次コレクターレンズ
LAと、リレーレンズLBと、コンデンサーレンズLCとを配
置して顕微鏡の被照射面（試料載置面）Ｐに対してテレ
セントリックなケラー照明系を構成し、リレーレンズLB
を構成する複数のレンズLB1〜LBNを光軸Ｚに沿つて相対
移動させることにより、顕微鏡の拡大倍率に対応させて
被照射面Ｐの照明領域PAを変更し得るように構成されて
いる。
LAと、リレーレンズLBと、コンデンサーレンズLCとを配
置して顕微鏡の被照射面（試料載置面）Ｐに対してテレ
セントリックなケラー照明系を構成し、リレーレンズLB
を構成する複数のレンズLB1〜LBNを光軸Ｚに沿つて相対
移動させることにより、顕微鏡の拡大倍率に対応させて
被照射面Ｐの照明領域PAを変更し得るように構成されて
いる。
上記コレクターレンズLAは２群の収斂性レンズLA1・LA2
から成り、出射側にテレセントリックな光学系を構成す
るように配置されている。
から成り、出射側にテレセントリックな光学系を構成す
るように配置されている。
リレーレンズLBは後述するように複数のレンズLB1〜LBN
を光軸Ｚに沿つて相対移動可能に配置し、入射側及び出
射側にテレセントリックな光学系をなすように構成され
ている。即ち、所定位置に形成された上記２次光源側S1
の像（３次光源像）S2は所定位置に形成される。
を光軸Ｚに沿つて相対移動可能に配置し、入射側及び出
射側にテレセントリックな光学系をなすように構成され
ている。即ち、所定位置に形成された上記２次光源側S1
の像（３次光源像）S2は所定位置に形成される。
コンデンサーレンズLCは収斂性レンズから成り、このコ
ンデンサーレンズLCの光源側焦点位置に上記３次光源像
S2が形成れ、試料側焦点位置に被照射面Ｐが配置されて
いる。
ンデンサーレンズLCの光源側焦点位置に上記３次光源像
S2が形成れ、試料側焦点位置に被照射面Ｐが配置されて
いる。
なお、第１図〜第３図中符号Q1は視野絞り、Q2は開口絞
り、Q3はコンデンサーレンズLCの入射瞳に相当する絞り
である。
り、Q3はコンデンサーレンズLCの入射瞳に相当する絞り
である。
上記実施例では、リレーレンズLBが入射側及び出射側に
テレセントリックな光学系を維持したまま、ズーミング
による変倍が可能であり、リレーレンズLBの前方及び後
方焦点位置に形成される各光源像S1・S2の位置は移動せ
ず、顕微鏡の被照射面Ｐに対して常に完全なケラー照明
系が維持されることになる。なお、照明領域PAの大きさ
に対応して、光源Ｓの有効利用域SAも変化する。
テレセントリックな光学系を維持したまま、ズーミング
による変倍が可能であり、リレーレンズLBの前方及び後
方焦点位置に形成される各光源像S1・S2の位置は移動せ
ず、顕微鏡の被照射面Ｐに対して常に完全なケラー照明
系が維持されることになる。なお、照明領域PAの大きさ
に対応して、光源Ｓの有効利用域SAも変化する。
また、前記各光源像S1・S2の位置が変動しないので視野
絞りQ1や開口絞りQ2、コンデンサーレンズLCの入射瞳に
相当する絞りQ3は常に固定配置のままでよく、可動式の
ものに比べてそれだけ構造が簡素化できる。
絞りQ1や開口絞りQ2、コンデンサーレンズLCの入射瞳に
相当する絞りQ3は常に固定配置のままでよく、可動式の
ものに比べてそれだけ構造が簡素化できる。
第４図は、上記照射光学系をいわゆる落射照明方式に用
いた場合を示す模式図である。この図において、第１図
に示したものと同一の構成要素については同一の符号を
用いて示し、その説明を省略する。
いた場合を示す模式図である。この図において、第１図
に示したものと同一の構成要素については同一の符号を
用いて示し、その説明を省略する。
第４図において、符号１は顕微鏡全体を示し、符号２は
照明用光学系全体を示す。この顕微鏡１は、対物レンズ
L1と、結像レンズL2とから成り、対物レンズL1の、光源
側から見て後側焦点位置に測定対象物である試料の被照
射面Ｐを配置し、結像レンズL2の、試料側から見て後側
焦点位置に像面Ｐ′を配置して構成されている。
照明用光学系全体を示す。この顕微鏡１は、対物レンズ
L1と、結像レンズL2とから成り、対物レンズL1の、光源
側から見て後側焦点位置に測定対象物である試料の被照
射面Ｐを配置し、結像レンズL2の、試料側から見て後側
焦点位置に像面Ｐ′を配置して構成されている。
そして、対物レンズL1と結像レンズL2との間に配置され
たハーフミラーＭを介してリレーレンズLBから出射され
る光束を顕微鏡１内に取り込み、対物レンズL1を介して
被照射面Ｐを照明するように構成されている。
たハーフミラーＭを介してリレーレンズLBから出射され
る光束を顕微鏡１内に取り込み、対物レンズL1を介して
被照射面Ｐを照明するように構成されている。
即ち、この場合、照明光学系２のコンデンサレンズLCは
顕微鏡１の対物レンズL1を兼用している。
顕微鏡１の対物レンズL1を兼用している。
第５図〜第７図は上記照明用光学系２において、対物レ
ンズL1を低培率用のものから高倍率用のものに切換えた
場合において、リレーレンズLBが奏する作用を説明する
ための模式図である。
ンズL1を低培率用のものから高倍率用のものに切換えた
場合において、リレーレンズLBが奏する作用を説明する
ための模式図である。
第５図は前記第１図と同様、顕微鏡１の拡大倍率が高い
場合を示している。即ち、対物レンズL1を低倍用のもの
から高倍用のものへ切換えたとき、両対物レンズ間で入
射瞳Q3の大きさが同一である場合を想定した図である。
場合を示している。即ち、対物レンズL1を低倍用のもの
から高倍用のものへ切換えたとき、両対物レンズ間で入
射瞳Q3の大きさが同一である場合を想定した図である。
第６図は、上記同様、対物レンズL1を低倍用のものから
高倍用のものへ切換えたとき、一般には対物レンズL1の
入射瞳Q3も小さくなることから、光源Ｓの有効利用域SA
も小さくなることを示す図である。
高倍用のものへ切換えたとき、一般には対物レンズL1の
入射瞳Q3も小さくなることから、光源Ｓの有効利用域SA
も小さくなることを示す図である。
第７図は、第６図において、リレーレンズLBをズーミン
グすることにより、光源Ｓの有効利用域SAを大きく、か
つ光源Ｓからの光速の取込角２θを小さくできることを
示す図である。
グすることにより、光源Ｓの有効利用域SAを大きく、か
つ光源Ｓからの光速の取込角２θを小さくできることを
示す図である。
このことは、光源Ｓの配光強度が実際には均一でない場
合を想定したとき、有効利用域SAが大きく、取込角２θ
が小さくなれば、その分だけ実質上光量が増えることを
意味する。
合を想定したとき、有効利用域SAが大きく、取込角２θ
が小さくなれば、その分だけ実質上光量が増えることを
意味する。
また、光源Ｓを変更するような場合において、その光源
Ｓの大きさをSAを被照射面Ｐの必要な照明領域PAに適合
させるような最適条件で照明系を構成し得ることを意味
する。
Ｓの大きさをSAを被照射面Ｐの必要な照明領域PAに適合
させるような最適条件で照明系を構成し得ることを意味
する。
実際にそのようなリレーレンズLBを実現することは可能
であり、以下、そのようなリレーレンズLBの一例につい
て説明する。
であり、以下、そのようなリレーレンズLBの一例につい
て説明する。
第８図は、本照明光学系に使用されるリレーレンズLBの
原理を説明するための概要図であり、ここでは説明を簡
単にするため単レンズを使用している。図示する如く、
第１、２、３レンズLB1,LB2,LB3の焦点距離をそれぞれ1
00、各レンズ間隔をそれぞれ100とし、第１レンズLB1の
前方50に物体を置いた場合を想定すると、第３レンズL
B3の後方50の位置に像が結像され、その結像倍率は１と
なる。
原理を説明するための概要図であり、ここでは説明を簡
単にするため単レンズを使用している。図示する如く、
第１、２、３レンズLB1,LB2,LB3の焦点距離をそれぞれ1
00、各レンズ間隔をそれぞれ100とし、第１レンズLB1の
前方50に物体を置いた場合を想定すると、第３レンズL
B3の後方50の位置に像が結像され、その結像倍率は１と
なる。
今、第８図破線で示す如く第２レンズLB2を光軸上で後
方（第３レンズLB3方向）に10移動した場合、第１およ
び第２レンズの合成後側焦点位置は第１レンズ側に1.1
だけ移動する。したがつて、完全なテレセントリック光
学系を保つためには第３レンズLB3を前方に1.1移動する
必要があるが、その移動量は、第３レンズのLB3焦点距
離と比較するとわずか１％程度にすぎないため、第３レ
ンズLB3を固定したままの状態でも実用上テレセントリ
ック光学系と考えても支障は生じない。また、この場合
物体の位置が同じ位置とすれば、像位置の変化は＋0.22
6となるが、この値はレンズの収差量とほぼ同程度であ
り、レンズの明るさにもよるが、無視できるオーダであ
る。
方（第３レンズLB3方向）に10移動した場合、第１およ
び第２レンズの合成後側焦点位置は第１レンズ側に1.1
だけ移動する。したがつて、完全なテレセントリック光
学系を保つためには第３レンズLB3を前方に1.1移動する
必要があるが、その移動量は、第３レンズのLB3焦点距
離と比較するとわずか１％程度にすぎないため、第３レ
ンズLB3を固定したままの状態でも実用上テレセントリ
ック光学系と考えても支障は生じない。また、この場合
物体の位置が同じ位置とすれば、像位置の変化は＋0.22
6となるが、この値はレンズの収差量とほぼ同程度であ
り、レンズの明るさにもよるが、無視できるオーダであ
る。
なお、この場合第１および第２レンズの合成焦点距離は
111.1となり、結像倍率は0.9となる。
111.1となり、結像倍率は0.9となる。
逆に、第２レンズLB2を光軸上で第１図実線の位置より
前方（第１レンズLB1の方向）に10移動した場合、第１
および第２レンズの合成焦点距離は90.909となり、結増
倍率は1.1となり、第２レンズLB2の前後10の移動で、1.
22の倍率変化が可能となる。上記した原理説明では、図
示、説明を簡単にするため、第１、第２、第３の各レン
ズを単レンズとしたが、実際にはそれぞれ複数枚のレン
ズで第１群レンズ、第２群レンズ、第３群レンズとして
構成される。例えば第１群（各主点:H11、H12）および
第３群レンズ（各主点:H31、H32）がそれぞれ球面収差
をもつている場合には光軸に平行に入射した光線が焦点
位置を通らず、そのため第９図に示す如く、焦点位置に
球面収差量ΔＳ（ΔS1、ΔS2）を加算した位置を第２群
レンズの各主点H21、H22と一致させる必要がある。な
お、球面収差量ΔＳの値は、第１群および第３群レンズ
の構成によつて正になる場合と負になる場合がある。
前方（第１レンズLB1の方向）に10移動した場合、第１
および第２レンズの合成焦点距離は90.909となり、結増
倍率は1.1となり、第２レンズLB2の前後10の移動で、1.
22の倍率変化が可能となる。上記した原理説明では、図
示、説明を簡単にするため、第１、第２、第３の各レン
ズを単レンズとしたが、実際にはそれぞれ複数枚のレン
ズで第１群レンズ、第２群レンズ、第３群レンズとして
構成される。例えば第１群（各主点:H11、H12）および
第３群レンズ（各主点:H31、H32）がそれぞれ球面収差
をもつている場合には光軸に平行に入射した光線が焦点
位置を通らず、そのため第９図に示す如く、焦点位置に
球面収差量ΔＳ（ΔS1、ΔS2）を加算した位置を第２群
レンズの各主点H21、H22と一致させる必要がある。な
お、球面収差量ΔＳの値は、第１群および第３群レンズ
の構成によつて正になる場合と負になる場合がある。
即ち、上記リレーレンズLBは次の如く構成される。正の
焦点距離を有する３群のレンズから成り、物体側から見
た第１群レンズLB1の後側焦点位置と第３群レンズLB3の
前側焦点位置とをほぼ合致させて配置し、両群レンズL
B1,LB2の焦点合致位置近傍に第２群レンズLB2を光軸Ｚ
に沿つて移動可能に配置構成したものである。
焦点距離を有する３群のレンズから成り、物体側から見
た第１群レンズLB1の後側焦点位置と第３群レンズLB3の
前側焦点位置とをほぼ合致させて配置し、両群レンズL
B1,LB2の焦点合致位置近傍に第２群レンズLB2を光軸Ｚ
に沿つて移動可能に配置構成したものである。
第２群レンズを移動すると、第１群および第２群レンズ
の合成焦点位置が変動するため、テレセントリック光学
系の特性を保つためには、その変動量に対応して第３群
レンズを移動し、その前側焦点位置を第１群レンズと第
２群レンズの合成焦点位置と一致させる必要がある。し
かしながら、第３群のレンズの各焦点距離を適切に選択
することにより、第２群レンズの移動が小さい場合、第
１群および第２群レンズの合成焦点位置の変動量は極め
て微量に保つことができ、第３群レンズを固定しておい
てもほぼテレセントリック光学系を保持することが可能
である。
の合成焦点位置が変動するため、テレセントリック光学
系の特性を保つためには、その変動量に対応して第３群
レンズを移動し、その前側焦点位置を第１群レンズと第
２群レンズの合成焦点位置と一致させる必要がある。し
かしながら、第３群のレンズの各焦点距離を適切に選択
することにより、第２群レンズの移動が小さい場合、第
１群および第２群レンズの合成焦点位置の変動量は極め
て微量に保つことができ、第３群レンズを固定しておい
てもほぼテレセントリック光学系を保持することが可能
である。
また、結増倍率を大きく変化させるためには、第２群レ
ンズの移動量を大きくとる必要がある。この場合、第１
群および第２群レンズの合成焦点位置の変動も大きくな
るため、その変動量に応じて第３群レンズを移動し、そ
の前側焦点位置を第１群レンズと第２群レンズの合成焦
点位置に一致させる必要がある。かかる如く構成すれば
テレセントリック結像光学系が保持されるため、大きく
変化させた結像倍率は物体距離を変化させても維持され
たまま変化しない。
ンズの移動量を大きくとる必要がある。この場合、第１
群および第２群レンズの合成焦点位置の変動も大きくな
るため、その変動量に応じて第３群レンズを移動し、そ
の前側焦点位置を第１群レンズと第２群レンズの合成焦
点位置に一致させる必要がある。かかる如く構成すれば
テレセントリック結像光学系が保持されるため、大きく
変化させた結像倍率は物体距離を変化させても維持され
たまま変化しない。
《発明の効果》 以上の説明で明らかなように、本発明による照明光学系
によれば次のような効果を奏する。
によれば次のような効果を奏する。
イ．リレーレンズが入射側及び出射側にテレセントリッ
クな光学系を維持したままでズーミングによる変倍が可
能に構成されることから、リレーレンズの前方及び後方
に形成される光源像の位置は固定したままでよい。
クな光学系を維持したままでズーミングによる変倍が可
能に構成されることから、リレーレンズの前方及び後方
に形成される光源像の位置は固定したままでよい。
これにより、顕微鏡の拡大倍率を変化させる場合に、被
照射面に対して常にテレセントリックでかつ完全なケラ
ー照明系を維持することができる。
照射面に対して常にテレセントリックでかつ完全なケラ
ー照明系を維持することができる。
ロ．また、光源像の位置が移動しないので、そこへ開口
絞り等を配置した場合、常に固定配置のままでよく、可
動式のものに比べて、構造が簡素化でき、それだけ安価
に実施できる。
絞り等を配置した場合、常に固定配置のままでよく、可
動式のものに比べて、構造が簡素化でき、それだけ安価
に実施できる。
ハ．さらに、落射照明系のように、拡大倍率によつて対
物レンズの入射瞳の大きさが変化する場合において、リ
レーレンズをズーミングすることによつて、光源からの
出射光束の取込み角を小さく、光源の有効利用面積を大
きく設定し得るので、その分だけ実質上光量が増える。
物レンズの入射瞳の大きさが変化する場合において、リ
レーレンズをズーミングすることによつて、光源からの
出射光束の取込み角を小さく、光源の有効利用面積を大
きく設定し得るので、その分だけ実質上光量が増える。
第１図〜第３図は本発明に係る照明光学系に関し、第１
図は顕微鏡の拡大倍率が高い場合、第２図は拡大倍率が
中間の場合、第３図は拡大倍率が低い場合にそれぞれ対
応する照明光学系の模式図、第４図は上記照明光学系を
落射照明方式に用いた場合を示す模式図、第５図〜第７
図はそれぞれ上記落射照明光学系において、リレーレン
ズの作用を説明するための模式図、第８図は本照明光学
系のリレーレンズの原理を説明するための概要図、第９
図は第８図において球面収差を考慮した場合を示す原理
図、第10図〜第12図は従来の照明光学系に関し、それぞ
れ第１図〜第３図に相当する模式図である。 Ｓ……光源、LA……コレクターレンズ、 LB……リレーレンズ、LC……コンデンサーレンズ、L1…
…対物レンズ、Ｐ……被照射面、 PA……被照射面の照明領域。
図は顕微鏡の拡大倍率が高い場合、第２図は拡大倍率が
中間の場合、第３図は拡大倍率が低い場合にそれぞれ対
応する照明光学系の模式図、第４図は上記照明光学系を
落射照明方式に用いた場合を示す模式図、第５図〜第７
図はそれぞれ上記落射照明光学系において、リレーレン
ズの作用を説明するための模式図、第８図は本照明光学
系のリレーレンズの原理を説明するための概要図、第９
図は第８図において球面収差を考慮した場合を示す原理
図、第10図〜第12図は従来の照明光学系に関し、それぞ
れ第１図〜第３図に相当する模式図である。 Ｓ……光源、LA……コレクターレンズ、 LB……リレーレンズ、LC……コンデンサーレンズ、L1…
…対物レンズ、Ｐ……被照射面、 PA……被照射面の照明領域。
Claims (1)
- 【請求項１】光源側より順次コレクターレンズと、リレ
ーレンズと、コンデサレンズとを配置して、顕微鏡の被
照射面に対してテレセントリックなケラー照明系を構成
し、リレーレンズを構成する複数のレンズを相対移動さ
せることにより、顕微鏡の拡大倍率に対応させて被照射
面の照明領域を変更可能に構成した顕微鏡の照明光学系
において、 コレクターレンズを出射側にテレセントリックな光学系
で構成するとともに、リレーレンズを入射側及び出射側
にテレセントリックで、かつ変倍可能な光学系で構成し
たことを特徴とする顕微鏡の照明光学系
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16747688A JPH06100724B2 (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 顕微鏡の照明光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16747688A JPH06100724B2 (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 顕微鏡の照明光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0216517A JPH0216517A (ja) | 1990-01-19 |
| JPH06100724B2 true JPH06100724B2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=15850387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16747688A Expired - Lifetime JPH06100724B2 (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 顕微鏡の照明光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06100724B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08179242A (ja) * | 1994-12-26 | 1996-07-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 照明光学系 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1046073B1 (de) | 1998-01-14 | 2015-04-08 | Leica Microsystems CMS GmbH | Verfahren zur abstimmung des beleuchtungsstrahlengangs eines konfokalen mikroskops auf die eintrittspupille eines objektivs |
| US6212005B1 (en) * | 1998-02-06 | 2001-04-03 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope illumination optical system and microscope having the same |
| JP4828689B2 (ja) * | 2000-09-13 | 2011-11-30 | オリンパス株式会社 | 照明光学系 |
| JP4533634B2 (ja) * | 2004-01-08 | 2010-09-01 | シスメックス株式会社 | 粒子測定装置 |
-
1988
- 1988-07-04 JP JP16747688A patent/JPH06100724B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08179242A (ja) * | 1994-12-26 | 1996-07-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 照明光学系 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0216517A (ja) | 1990-01-19 |
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