JPH06100738B2 - ビーム変調器の透過特性の整合方法および該方法に用いられる装置 - Google Patents
ビーム変調器の透過特性の整合方法および該方法に用いられる装置Info
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- JPH06100738B2 JPH06100738B2 JP60246429A JP24642985A JPH06100738B2 JP H06100738 B2 JPH06100738 B2 JP H06100738B2 JP 60246429 A JP60246429 A JP 60246429A JP 24642985 A JP24642985 A JP 24642985A JP H06100738 B2 JPH06100738 B2 JP H06100738B2
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/0121—Operation of devices; Circuit arrangements, not otherwise provided for in this subclass
- G02F1/0123—Circuits for the control or stabilisation of the bias voltage, e.g. automatic bias control [ABC] feedback loops
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
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- G02F1/0305—Constructional arrangements
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はビーム変調器の透過特性を整合させる方法およ
び該方法に使用される装置に関する。本発明による方法
および装置は、例えば画像発生システムにおいて使用さ
れるビーム変調器に関係がある。
び該方法に使用される装置に関する。本発明による方法
および装置は、例えば画像発生システムにおいて使用さ
れるビーム変調器に関係がある。
従来の画像発生システムにおいて、原画像は走査されて
例えばシアン、マゼンタおよび黄色を表わす信号を発生
し、この信号は走査された信号に従って変調される少く
とも一つの曝射ビームを発生する曝射ビーム本体に送ら
れる。曝射ビームは感光シートまたはグラビヤ印刷原板
シリンダであり得る記録媒体上に照射される。中間調画
像形成の場合に、制御情報は中間調ドット情報を用いて
修正される。典型的には、曝射用ビームの強度はビーム
変調器によって制御される。
例えばシアン、マゼンタおよび黄色を表わす信号を発生
し、この信号は走査された信号に従って変調される少く
とも一つの曝射ビームを発生する曝射ビーム本体に送ら
れる。曝射ビームは感光シートまたはグラビヤ印刷原板
シリンダであり得る記録媒体上に照射される。中間調画
像形成の場合に、制御情報は中間調ドット情報を用いて
修正される。典型的には、曝射用ビームの強度はビーム
変調器によって制御される。
このような関係において、変調器は印加された制御関数
或は制御信号に従って、変調器を通過する放射線の透過
を制御する装置を具備している。このような変調器は本
明細書では今後「説明された種類のもの」と称すことに
する。変調器の制御信号への応答特性は普通は最大値又
は最小値を示すが、必ずしもいつでもそうとは限らな
い。典型的には、応答特性は「Ｕ」字形又は「Ｖ」字形
となるもので、都合のよいことに最大値又は最小値に関
し対称なことである。これに関連して、「最大値」は最
大放射線透過量の意味であり、「最小値」は最小透過率
又は最小消滅値を意味する。また「最大値」および「最
小値」透過量は特定の方向への透過量に関係するもので
あると理解すべきであり、その理由は、典型的なビーム
変調器は、印加された制御信号に従って決定された角度
を介して、入力ビームを一部分又は全部偏向又は回析さ
せるからである。
或は制御信号に従って、変調器を通過する放射線の透過
を制御する装置を具備している。このような変調器は本
明細書では今後「説明された種類のもの」と称すことに
する。変調器の制御信号への応答特性は普通は最大値又
は最小値を示すが、必ずしもいつでもそうとは限らな
い。典型的には、応答特性は「Ｕ」字形又は「Ｖ」字形
となるもので、都合のよいことに最大値又は最小値に関
し対称なことである。これに関連して、「最大値」は最
大放射線透過量の意味であり、「最小値」は最小透過率
又は最小消滅値を意味する。また「最大値」および「最
小値」透過量は特定の方向への透過量に関係するもので
あると理解すべきであり、その理由は、典型的なビーム
変調器は、印加された制御信号に従って決定された角度
を介して、入力ビームを一部分又は全部偏向又は回析さ
せるからである。
説明された種類の典型的なビーム変調器は、印加電圧に
応答する電気光学変調器を具備している。典型的には、
応答特性はsin2形式を有している、即ち透過された光の
強度は印加電圧に応答してsin2形式で変化する。
応答する電気光学変調器を具備している。典型的には、
応答特性はsin2形式を有している、即ち透過された光の
強度は印加電圧に応答してsin2形式で変化する。
ある場合には、従来の変調器の応答特性は一定でなく、
変化する傾向にあり、ある場合にはかなり短時間周期に
わたって温度変化によりドリフトする傾向がある。典型
的なドリフトは数10ボルトのオーダーである。クロスフ
ィールド社製マグナスキャン645システムにおけるよう
に、このような変調器の若干が一体として装着される場
合には、応答特性における約２ボルトより大きい変動
は、ある色分解におけるモワレパターンが発生するよう
になる可能性があるので、これは望ましいことではな
い。もっと一般的に、変調器の流れの方向に逆っての光
学的構成部品は変調器への入射ビームにおける変動を惹
きおこし、これらの変動は変調器の透過特性を調整する
ことにより補償され得るものである。
変化する傾向にあり、ある場合にはかなり短時間周期に
わたって温度変化によりドリフトする傾向がある。典型
的なドリフトは数10ボルトのオーダーである。クロスフ
ィールド社製マグナスキャン645システムにおけるよう
に、このような変調器の若干が一体として装着される場
合には、応答特性における約２ボルトより大きい変動
は、ある色分解におけるモワレパターンが発生するよう
になる可能性があるので、これは望ましいことではな
い。もっと一般的に、変調器の流れの方向に逆っての光
学的構成部品は変調器への入射ビームにおける変動を惹
きおこし、これらの変動は変調器の透過特性を調整する
ことにより補償され得るものである。
当社の先行日本特許出願No.60-091281において、各ビー
ム変調器に対して、ビーム消滅点もしくは最大ビーム透
過量の位置を決定する方法と装置を説明した。これらの
方法は満足なものであるけれども各変調器について個別
的に行われるものであり、一般的にはビーム消滅点と最
大ビーム透過量間の応答特性は各変調器に対し同じでは
ない。過去において、ビーム変調器の手動平衡法が実施
されてきたが、これは手間ひまのかゝる方法であると同
時に、現場技術者の腕前に依存するので正確なものとは
いえない。
ム変調器に対して、ビーム消滅点もしくは最大ビーム透
過量の位置を決定する方法と装置を説明した。これらの
方法は満足なものであるけれども各変調器について個別
的に行われるものであり、一般的にはビーム消滅点と最
大ビーム透過量間の応答特性は各変調器に対し同じでは
ない。過去において、ビーム変調器の手動平衡法が実施
されてきたが、これは手間ひまのかゝる方法であると同
時に、現場技術者の腕前に依存するので正確なものとは
いえない。
本発明の一つの形態においては、２個のビーム変調器
（4,4′）の透過特性を整合させる方法であって、それ
ぞれのビーム変調器は加えられた制御関数に従って該変
調器を通過する放射線の透過を制御するデバイスを備
え、該変調器の一方はテスト変調器を構成し、他方は基
準変調器を構成するものであり、該方法は：（ａ）第１
の制御関数を基準変調器に印加する過程であって、該第
１の制御関数は第１の上限値と下限値（V1,V2）の間で
周期的に変化するもの；（ｂ）第２の制御関数をテスト
ビーム変調器に印加する過程であって、該第２の制御関
数は、該第１の制御関数と同じ周期でかつ反対位相で第
２の上限値と下限値（V3,V4）の間で周期的に変化する
ものであり、該第１と第２の制御関数の範囲は、該変調
器の透過特性が重畳するけれども異っているような範囲
であるもの；（ｃ）該変調器を通り透過されたビームを
監視する過程； （ｄ）該２個のビーム変調器により透過された組合せ放
射線と該第１又は第２の制御関数の間の位相関係を検出
する過程；および（ｅ）該第２の上限値（V3）を変化さ
せ、かつ（ａ）から（ｄ）までの段階を繰返すことによ
り、該監視された位相関係が変化する該第２の上限値を
決定する過程；を具備する、２個のビーム変調器の透過
特性を整合する方法、 が提供される。
（4,4′）の透過特性を整合させる方法であって、それ
ぞれのビーム変調器は加えられた制御関数に従って該変
調器を通過する放射線の透過を制御するデバイスを備
え、該変調器の一方はテスト変調器を構成し、他方は基
準変調器を構成するものであり、該方法は：（ａ）第１
の制御関数を基準変調器に印加する過程であって、該第
１の制御関数は第１の上限値と下限値（V1,V2）の間で
周期的に変化するもの；（ｂ）第２の制御関数をテスト
ビーム変調器に印加する過程であって、該第２の制御関
数は、該第１の制御関数と同じ周期でかつ反対位相で第
２の上限値と下限値（V3,V4）の間で周期的に変化する
ものであり、該第１と第２の制御関数の範囲は、該変調
器の透過特性が重畳するけれども異っているような範囲
であるもの；（ｃ）該変調器を通り透過されたビームを
監視する過程； （ｄ）該２個のビーム変調器により透過された組合せ放
射線と該第１又は第２の制御関数の間の位相関係を検出
する過程；および（ｅ）該第２の上限値（V3）を変化さ
せ、かつ（ａ）から（ｄ）までの段階を繰返すことによ
り、該監視された位相関係が変化する該第２の上限値を
決定する過程；を具備する、２個のビーム変調器の透過
特性を整合する方法、 が提供される。
本発明によれば、変調器を通って透過される放射線強度
が実質的に同じである１個以上の位置（即ち加えられね
ばならない制御信号の値である。）の場所を自動的に決
定する方法が得られる。例えば、該第２の上限値が最初
は該第１の上限値よりも大きければ、テスト変調器を通
って透過されるビーム強度は一般に第１の変調器を通っ
て透過されるビームの強度より大きくなるし、したがっ
て高次の強度放射線を構成することになる。第１の制御
信号と高次強度放射線間の位相関係が検知されれば、最
初はこれらは位相外れとなる。第２の上限値が減少され
ると、テスト変調器を介して送られたビームの強度は、
それが最初は同じで、それから基準変調器を介して送ら
れたビーム強度より小となるまで、漸次減少することに
なる。この点において、高次の強度をもつビームは基準
変調器を通って透過されたものとなり、これは第１の制
御信号と同相になることになる。したがって、位相の変
化が生ずる点において、二つのビームの強度は実質的に
同じであり、平衡点が見出されたことになる。
が実質的に同じである１個以上の位置（即ち加えられね
ばならない制御信号の値である。）の場所を自動的に決
定する方法が得られる。例えば、該第２の上限値が最初
は該第１の上限値よりも大きければ、テスト変調器を通
って透過されるビーム強度は一般に第１の変調器を通っ
て透過されるビームの強度より大きくなるし、したがっ
て高次の強度放射線を構成することになる。第１の制御
信号と高次強度放射線間の位相関係が検知されれば、最
初はこれらは位相外れとなる。第２の上限値が減少され
ると、テスト変調器を介して送られたビームの強度は、
それが最初は同じで、それから基準変調器を介して送ら
れたビーム強度より小となるまで、漸次減少することに
なる。この点において、高次の強度をもつビームは基準
変調器を通って透過されたものとなり、これは第１の制
御信号と同相になることになる。したがって、位相の変
化が生ずる点において、二つのビームの強度は実質的に
同じであり、平衡点が見出されたことになる。
典型的には、適当なバイアスを使用すれば、制御信号は
同相となり得るけれども第１および第２の制御信号は逆
位相となる。
同相となり得るけれども第１および第２の制御信号は逆
位相となる。
この方法は、第１の上限値の種々の大きさに対して繰返
し段階（ａ）から（ｅ）までを更に具備することが好ま
しい。このようにして、平衡点の範囲が決定される。
し段階（ａ）から（ｅ）までを更に具備することが好ま
しい。このようにして、平衡点の範囲が決定される。
一度少くとも２個の整合点または平衡点が見出される
と、他の点は数学的に既知の方法で作成され得る。
と、他の点は数学的に既知の方法で作成され得る。
注意すべきことは、この発明はＵ形もしくはＶ形応特性
をもたない変調器を整合するのにも使用することができ
る。
をもたない変調器を整合するのにも使用することができ
る。
上記種類の２個以上のビーム変調器が例えば画像発生シ
ステムにおいて得られる場合に、この方法は最大強度を
透過するように設定された場合に、どのビーム変調器が
最も低次強度の放射線を透過するかを決定する過程を更
に具備することができるものであり、この変調器は基準
変調器と称され、今后本発明にかゝる方法をテスト・ビ
ーム変調器を構成する他のビーム変調器の各々を用いて
順次に実施するものである。
ステムにおいて得られる場合に、この方法は最大強度を
透過するように設定された場合に、どのビーム変調器が
最も低次強度の放射線を透過するかを決定する過程を更
に具備することができるものであり、この変調器は基準
変調器と称され、今后本発明にかゝる方法をテスト・ビ
ーム変調器を構成する他のビーム変調器の各々を用いて
順次に実施するものである。
最大ビーム透過量を決定する段階は通常の方法で手動に
より、または当社の先行日本特許出願No.60-091281に解
説した方法のいずれかを用いることにより実施され得
る。ビーム変調器が画像発生システムにおいて得られる
場合に、変調器は最初予め設定された最大制御信号を用
いて送られ得るので、したがってこの場合各変調器の真
の最大透過点は比較され得ないが、最大点のみは利用可
能な制御信号に応答して達成可能である。
より、または当社の先行日本特許出願No.60-091281に解
説した方法のいずれかを用いることにより実施され得
る。ビーム変調器が画像発生システムにおいて得られる
場合に、変調器は最初予め設定された最大制御信号を用
いて送られ得るので、したがってこの場合各変調器の真
の最大透過点は比較され得ないが、最大点のみは利用可
能な制御信号に応答して達成可能である。
電気・光学ビーム変調器の場合に、制御信号は印加電圧
を備えている。
を備えている。
好適には、制御信号の周期的な形式は短形波である。
便利にするには、第１および第２の制御信号の第１およ
び第２の下限値が夫々の変調器に対するビーム消滅点に
対応する制御信号の値を夫々具備するようにする。こら
の低い値は通常の方法または当社先行日本特許出願昭60
-91281号に説明した方法を用いて最初に決定され得る。
び第２の下限値が夫々の変調器に対するビーム消滅点に
対応する制御信号の値を夫々具備するようにする。こら
の低い値は通常の方法または当社先行日本特許出願昭60
-91281号に説明した方法を用いて最初に決定され得る。
評価されることであるが、本発明はクロスフィールド社
製マグナスキャン・システムの如き画像発生システムで
あって、６個のビーム変調器が並んで配列され、対応す
る数の曝射ビームを発生するものに特に適用可能であ
る。便利にするには、各画像が記録媒体上で走査される
前に、ビーム消滅点と各変調器に対する最大ビーム透過
点は手動手段もしくは自動手段を用いて決定され、それ
から変調器はこの発明に係る方法を用いて整合されるよ
うにする。
製マグナスキャン・システムの如き画像発生システムで
あって、６個のビーム変調器が並んで配列され、対応す
る数の曝射ビームを発生するものに特に適用可能であ
る。便利にするには、各画像が記録媒体上で走査される
前に、ビーム消滅点と各変調器に対する最大ビーム透過
点は手動手段もしくは自動手段を用いて決定され、それ
から変調器はこの発明に係る方法を用いて整合されるよ
うにする。
本発明の第２の形態においては、変調器組立本体であっ
て、放射線発生手段（30）；第１および第２のビーム変
調器（4,4′）であって、それぞれが印加された制御関
数に従って該変調器を通過する放射線の透過を制御する
デバイスを具備し、該変調器の一方がテスト変調器を構
成し、他方が基準変調器を構成するものであり、該放射
線発生手段は放射線ビーム（16,16′）をしてそれぞれ
の変調器に当たるようにさせるもの；該第１および第２
の変調器（4,4′）にそれぞれ印加するために第１およ
び第２の制御関数を発生せしめるための制御手段（20）
であって、該第１の制御関数は第１の上限値とし下限値
（V1,V2）の間で周期的に変化し、該第２の制御関数は
第２の上限値と下限値（V3,V4）の間で該第１の制御関
数と同じ周期でかつ逆位相で周期的に変化し、該第１お
よび第２の制御関数の範囲は該第１および第２のビーム
変調器の透過特性を重畳するが、しかし相異なっている
ような範囲であるもの；該第１および第２のビーム変調
器により透過される組合せられた放射線と該第１又は第
２の制御関数との間の位相関係を検知するための検知手
段（18,19）；および 該検知手段が該位相関係の変化を決定する場合に該第２
の上限値（V3）を格納する記憶手段（32）；とを具備す
る変調器組立本体、 が提供される。
て、放射線発生手段（30）；第１および第２のビーム変
調器（4,4′）であって、それぞれが印加された制御関
数に従って該変調器を通過する放射線の透過を制御する
デバイスを具備し、該変調器の一方がテスト変調器を構
成し、他方が基準変調器を構成するものであり、該放射
線発生手段は放射線ビーム（16,16′）をしてそれぞれ
の変調器に当たるようにさせるもの；該第１および第２
の変調器（4,4′）にそれぞれ印加するために第１およ
び第２の制御関数を発生せしめるための制御手段（20）
であって、該第１の制御関数は第１の上限値とし下限値
（V1,V2）の間で周期的に変化し、該第２の制御関数は
第２の上限値と下限値（V3,V4）の間で該第１の制御関
数と同じ周期でかつ逆位相で周期的に変化し、該第１お
よび第２の制御関数の範囲は該第１および第２のビーム
変調器の透過特性を重畳するが、しかし相異なっている
ような範囲であるもの；該第１および第２のビーム変調
器により透過される組合せられた放射線と該第１又は第
２の制御関数との間の位相関係を検知するための検知手
段（18,19）；および 該検知手段が該位相関係の変化を決定する場合に該第２
の上限値（V3）を格納する記憶手段（32）；とを具備す
る変調器組立本体、 が提供される。
典型的には、該制御手段と該検出手段とは少くとも部分
的に適切にプログラムされた計算機によって与えられる
ものである。
的に適切にプログラムされた計算機によって与えられる
ものである。
該検出手段は送信された放射線のビームの各々が入射す
る共通の検出器を具備することが望ましい。これは光電
検出器を用い得る検出器が、一定の強度成分と、高次の
強度をもつ放射線の周期的ビームに関連した周期的に変
化する構成部品とを具備する出力を与えるものであるか
ら、特に好都合である。したがって、２個以上の変調器
が光ビームを通過している場合、制御信号と同じ変化率
の強度で発振していないと仮定すれば、余分の変調器は
光を漂遊させるように無視されることになる。
る共通の検出器を具備することが望ましい。これは光電
検出器を用い得る検出器が、一定の強度成分と、高次の
強度をもつ放射線の周期的ビームに関連した周期的に変
化する構成部品とを具備する出力を与えるものであるか
ら、特に好都合である。したがって、２個以上の変調器
が光ビームを通過している場合、制御信号と同じ変化率
の強度で発振していないと仮定すれば、余分の変調器は
光を漂遊させるように無視されることになる。
第１図に図示されたシステムは、当社クロスフィールド
マグナスキャン645形システムにおいて得られる如き通
常の形式の入力走査器１を具備する。入力走査器１から
の出力は、順次６個のレーザビーム計算機２に送られる
シアン、マゼンタ、黄色および黒色のような若干の色分
解の各々に対して制御信号を具備している。夫々のレー
ザビーム計算機２は夫々の増幅器３を介してレーザビー
ム変調器４を作動させる。このシステムにおいて、夫々
のレーザビーム計算機２により一緒に制御される所の、
並んで配設された６ビーム変調器４が設けられている。
変調器４は、親ねじ６上に装着された曝射用ヘッド５内
部に装着されている。曝射用ヘッド５は軸８のまわりに
回転可能なシリンダ７に隣接して配置され、これは記録
媒体９を搬送する。使用時にシリンダ７は軸８のまわり
に回転し、一方親ねじ６は比較的低速度で回転され、し
たがってビーム分割器（splitter）に入射する単一レー
ザビームから発生し、ビーム変調器４により制御される
６レーザビームは、記録媒体９の連続的な周辺ストリッ
プを曝射する。
マグナスキャン645形システムにおいて得られる如き通
常の形式の入力走査器１を具備する。入力走査器１から
の出力は、順次６個のレーザビーム計算機２に送られる
シアン、マゼンタ、黄色および黒色のような若干の色分
解の各々に対して制御信号を具備している。夫々のレー
ザビーム計算機２は夫々の増幅器３を介してレーザビー
ム変調器４を作動させる。このシステムにおいて、夫々
のレーザビーム計算機２により一緒に制御される所の、
並んで配設された６ビーム変調器４が設けられている。
変調器４は、親ねじ６上に装着された曝射用ヘッド５内
部に装着されている。曝射用ヘッド５は軸８のまわりに
回転可能なシリンダ７に隣接して配置され、これは記録
媒体９を搬送する。使用時にシリンダ７は軸８のまわり
に回転し、一方親ねじ６は比較的低速度で回転され、し
たがってビーム分割器（splitter）に入射する単一レー
ザビームから発生し、ビーム変調器４により制御される
６レーザビームは、記録媒体９の連続的な周辺ストリッ
プを曝射する。
ビーム変調器４はレーザビーム計算機２により制御さ
れ、したがって入力走査器１が走査する原画映像の中間
調ドット表示は記録媒体９上の若干の色分解の形式で発
生され、ビーム変調器４は入力走査器１により供給され
たカラー濃度情報に応答して、かつレーザビーム計算機
２から供給される中間調ドット情報に従って制御され
る。
れ、したがって入力走査器１が走査する原画映像の中間
調ドット表示は記録媒体９上の若干の色分解の形式で発
生され、ビーム変調器４は入力走査器１により供給され
たカラー濃度情報に応答して、かつレーザビーム計算機
２から供給される中間調ドット情報に従って制御され
る。
典型的には、ビーム変調器４は印加電圧により制御され
る電気光学変調器である。代表的なビーム変調器の例は
米国特許明細書No.4,025,189に示されており、変調器は
PLZTとして知られる電気光学材料を具備している。
る電気光学変調器である。代表的なビーム変調器の例は
米国特許明細書No.4,025,189に示されており、変調器は
PLZTとして知られる電気光学材料を具備している。
代表的なビーム変調器の印加電圧に対する応答は第２図
に示されており、変調器の透過率（Ｔ）は線10の図示す
るようにsin2関数の形式で印加電圧（Ｖ）と共に変化す
る。典型的に、応答特性の波長は約600Vであり、一方最
大透過率と最小透過率の間の比は200:1である。
に示されており、変調器の透過率（Ｔ）は線10の図示す
るようにsin2関数の形式で印加電圧（Ｖ）と共に変化す
る。典型的に、応答特性の波長は約600Vであり、一方最
大透過率と最小透過率の間の比は200:1である。
第２のビーム変調器の応答特性は第２図の破線11で示さ
れている。線10,11は一致しないことが知られよう。こ
れは主としてビーム分割器の不正確に基因するものであ
るが、また２個のビーム変調器の印加電圧への応答は別
であることを示すものである。画像発生システムが正確
であるためには変調器を整合しなければならない。その
上、応答特性は先に整合した変調器を不平衡にすると同
様に、一定のビーム消滅位置を維持するのに特定の問題
点を惹き起こす時間にわたって個別的にドリフトする傾
向がある。過去において、これらの変化の補償と変調器
の整合とが達成されたのは、バイアス電圧を印加するこ
と、増幅器３の利得を制御すること、および実質的に同
じビーム透過強度を達成するために印加されねばならな
い電圧を手動で決定することにより行われたが、これら
の補正は現場技術者が実施したものである。このような
手動方法は多くの時間を必要とし、本質的に不正確であ
り、第３図と第４図に関して説明した装置がこれらの問
題点に対する解法を与える。
れている。線10,11は一致しないことが知られよう。こ
れは主としてビーム分割器の不正確に基因するものであ
るが、また２個のビーム変調器の印加電圧への応答は別
であることを示すものである。画像発生システムが正確
であるためには変調器を整合しなければならない。その
上、応答特性は先に整合した変調器を不平衡にすると同
様に、一定のビーム消滅位置を維持するのに特定の問題
点を惹き起こす時間にわたって個別的にドリフトする傾
向がある。過去において、これらの変化の補償と変調器
の整合とが達成されたのは、バイアス電圧を印加するこ
と、増幅器３の利得を制御すること、および実質的に同
じビーム透過強度を達成するために印加されねばならな
い電圧を手動で決定することにより行われたが、これら
の補正は現場技術者が実施したものである。このような
手動方法は多くの時間を必要とし、本質的に不正確であ
り、第３図と第４図に関して説明した装置がこれらの問
題点に対する解法を与える。
第３図はこの装置を一層詳細に図示している。一対の電
気光は変調器4,4′が夫々一対の電極（12,13），（1
2′,13′）により制御されている。ビーム計算機２は個
別の制御信号を一対のD/Aコンバータ14,14′に加え、D/
Aコンバータは対応するアナログ電圧信号を増幅器15,1
5′（増幅器３の一部分）を介して電極12,12′に夫々通
過させる。レーザビーム計算機２からの制御信号は問題
としている色分解が曝射される特定の画素において正確
な寸法の中間調ドットを限定するように変化する。
気光は変調器4,4′が夫々一対の電極（12,13），（1
2′,13′）により制御されている。ビーム計算機２は個
別の制御信号を一対のD/Aコンバータ14,14′に加え、D/
Aコンバータは対応するアナログ電圧信号を増幅器15,1
5′（増幅器３の一部分）を介して電極12,12′に夫々通
過させる。レーザビーム計算機２からの制御信号は問題
としている色分解が曝射される特定の画素において正確
な寸法の中間調ドットを限定するように変化する。
レーザ30からのレーザビームは普通のビーム分割器によ
り分割されて、その二つ16,16′が第３図に示されてい
る６個の別々の補助ビームに分けられる。ビーム16,1
6′は夫々の変調器4,4′を通過して半銀めっき鎧17上に
入射し、そこでビームは記録媒体９（第３図には図示さ
れていない）に向かって部分的に反射される。レーザビ
ーム16,16′の非反射部分はミラー17を通過し共通の光
電検出器18により受光される。光電検出器18はナショナ
ル・セミコンダクタ社（NSC）LF356のような演算増幅器
に接続されたセントロニクス社OSD50-5型のようなホト
ダイオードを具備することができる。検出器18により受
光された光の強度に比例する信号である光電検出器18か
らの出力は、通常の形式の同期復調器19に送られる。68
09形のようなマイクロコンピュータ（MPU）20が設けら
れ、デイジタルバイアス信号を（プレシジョン・モノリ
シック社DAC08型のような）１対のD/Aコンバータ21,2
1′に送るもので、D/Aコンバータのアナログ出力は、電
極12,12′に送られたバイアス電圧を具備している。そ
の上、マイクロコンピュータ20は、D/Aコンバータ14,1
4′と同期復調器19に送られるデイジタル・試験制御信
号（以下に説明の予定）を発生する。マイクロコンピュ
ータ20は線路22,22′の開閉を行って、選択的にマイク
ロコンピュータ出力をD/Aコンバータ14,14′に接続す
る。
り分割されて、その二つ16,16′が第３図に示されてい
る６個の別々の補助ビームに分けられる。ビーム16,1
6′は夫々の変調器4,4′を通過して半銀めっき鎧17上に
入射し、そこでビームは記録媒体９（第３図には図示さ
れていない）に向かって部分的に反射される。レーザビ
ーム16,16′の非反射部分はミラー17を通過し共通の光
電検出器18により受光される。光電検出器18はナショナ
ル・セミコンダクタ社（NSC）LF356のような演算増幅器
に接続されたセントロニクス社OSD50-5型のようなホト
ダイオードを具備することができる。検出器18により受
光された光の強度に比例する信号である光電検出器18か
らの出力は、通常の形式の同期復調器19に送られる。68
09形のようなマイクロコンピュータ（MPU）20が設けら
れ、デイジタルバイアス信号を（プレシジョン・モノリ
シック社DAC08型のような）１対のD/Aコンバータ21,2
1′に送るもので、D/Aコンバータのアナログ出力は、電
極12,12′に送られたバイアス電圧を具備している。そ
の上、マイクロコンピュータ20は、D/Aコンバータ14,1
4′と同期復調器19に送られるデイジタル・試験制御信
号（以下に説明の予定）を発生する。マイクロコンピュ
ータ20は線路22,22′の開閉を行って、選択的にマイク
ロコンピュータ出力をD/Aコンバータ14,14′に接続す
る。
同期復調器19は一層詳細に第４図に示され通常の集積化
スイッチ24を備えており、このスイッチの位置は線22′
に沿ってマイクロコンピュータ20から供給される矩形波
により制御される。検出器18からの矩形波信号は（NSCL
M348のような）増幅器19Aを介して（NSCLM348の如き）
演算増幅器26の反転入力25に送られ、またスイッチ24を
介して増幅器26の非反転入力27に送られる。増幅器26は
利得１を有し、スイッチ24の位置に従ってインバータも
しくは非インバータとして動作する。増幅器26からの出
力は（NSCLM348のような）増幅器を含む低域通過フイル
タ28を通って、その他端入力が接地電位に保持される比
較器29の１入力に送られる。比較器29はNSCLM311N型を
備えている。この説明のために、検出器18からの出力信
号は増幅器19Aからの出力が＋５ボルトと−５ボルトの
間で変化するが如きであるとみなされよう。スイッチ24
が閉止されると、増幅器26およびそれに接続された抵抗
器は非反転の、利得１の増幅器として動作し、之に反し
てスイッチ24が開放されると増幅器26は利得１のインバ
ータとして動作する。線路22′上の矩形波が増幅器19A
からの信号と同相であれば、信号の正の半分は反転され
るが、負の半分は反転されなくなりしたがって増幅器26
からの信号は、定常的な−５ボルトになる。交番的に、
線路22′上の矩形波が増幅器19Aからの信号と逆相であ
れば、正確に反対の配列が生じ、増幅器26からの信号は
定常的に＋５ボルトになるであろう。出力信号は低域通
過フイルタ28を介して送られ、雑音の処理とスイッチ24
および増幅器26の一定のスイッチング時間を処理する。
それから比較器29に送られて、きれいになったスイッチ
ング信号を与える。
スイッチ24を備えており、このスイッチの位置は線22′
に沿ってマイクロコンピュータ20から供給される矩形波
により制御される。検出器18からの矩形波信号は（NSCL
M348のような）増幅器19Aを介して（NSCLM348の如き）
演算増幅器26の反転入力25に送られ、またスイッチ24を
介して増幅器26の非反転入力27に送られる。増幅器26は
利得１を有し、スイッチ24の位置に従ってインバータも
しくは非インバータとして動作する。増幅器26からの出
力は（NSCLM348のような）増幅器を含む低域通過フイル
タ28を通って、その他端入力が接地電位に保持される比
較器29の１入力に送られる。比較器29はNSCLM311N型を
備えている。この説明のために、検出器18からの出力信
号は増幅器19Aからの出力が＋５ボルトと−５ボルトの
間で変化するが如きであるとみなされよう。スイッチ24
が閉止されると、増幅器26およびそれに接続された抵抗
器は非反転の、利得１の増幅器として動作し、之に反し
てスイッチ24が開放されると増幅器26は利得１のインバ
ータとして動作する。線路22′上の矩形波が増幅器19A
からの信号と同相であれば、信号の正の半分は反転され
るが、負の半分は反転されなくなりしたがって増幅器26
からの信号は、定常的な−５ボルトになる。交番的に、
線路22′上の矩形波が増幅器19Aからの信号と逆相であ
れば、正確に反対の配列が生じ、増幅器26からの信号は
定常的に＋５ボルトになるであろう。出力信号は低域通
過フイルタ28を介して送られ、雑音の処理とスイッチ24
および増幅器26の一定のスイッチング時間を処理する。
それから比較器29に送られて、きれいになったスイッチ
ング信号を与える。
同期復調器19からの出力はマイクロコンピュータ20に送
られる。
られる。
最初に、電極13,13′に印加されるべきバイアス電圧が
決定される。これは手動法にみても達成できるが、マイ
クロコンピュータ20の制御により達成する方が好まし
い。マイクロコンピュータ20はスイッチ22,22′の一方
をしてその夫夫のD/Aコンバータ14,14′をマイクロコン
ピュータに接続せしめることにより、一定の変化率で振
動する一対のデイジタル値を受信する。これらのデイジ
タル値はビーム消滅点を表わす各ビームコンピュータ２
からの信号上に重ね合わせて各変調器4,4′を通って透
過されたビームを強度に関する発振を行わせる。マイク
ロコンピュータ20からの発振しているデイジタル信号を
用いて送られる同期復調器19によって、マイクロコンピ
ュータ20が検知する連続直流電圧信号である出力が得ら
れる。この電圧信号の符号の示すことは、夫々のビーム
変調器の両端に印加された電圧がビーム消滅点の左であ
るか、右であるかということであり、電極13,13′に印
加されたバイアス電圧はそれから調整されてはじめてビ
ーム消滅点が達成される。このプロセスは一層詳細に関
連日本特許出願昭60-91281号において説明されている。
決定される。これは手動法にみても達成できるが、マイ
クロコンピュータ20の制御により達成する方が好まし
い。マイクロコンピュータ20はスイッチ22,22′の一方
をしてその夫夫のD/Aコンバータ14,14′をマイクロコン
ピュータに接続せしめることにより、一定の変化率で振
動する一対のデイジタル値を受信する。これらのデイジ
タル値はビーム消滅点を表わす各ビームコンピュータ２
からの信号上に重ね合わせて各変調器4,4′を通って透
過されたビームを強度に関する発振を行わせる。マイク
ロコンピュータ20からの発振しているデイジタル信号を
用いて送られる同期復調器19によって、マイクロコンピ
ュータ20が検知する連続直流電圧信号である出力が得ら
れる。この電圧信号の符号の示すことは、夫々のビーム
変調器の両端に印加された電圧がビーム消滅点の左であ
るか、右であるかということであり、電極13,13′に印
加されたバイアス電圧はそれから調整されてはじめてビ
ーム消滅点が達成される。このプロセスは一層詳細に関
連日本特許出願昭60-91281号において説明されている。
一度びビーム消滅点が設定されると、各変調器16,16′
はビーム消滅点に設定され、それから各変調器4,4′に
対して、最大ビーム透過量に対応する電圧が決定され
る。これはビーム消滅点の位置決定の方法に類似した方
法により、手動調節または好ましくは自動的に達成し得
るものである。これを自動的に達成するためには、マイ
クロコンピュータ20はスイッチ22,22′の一方をして、
その夫々のD/Aコンバータ14,14′をマイクロコンピュー
タに接続するようにさせることにより、一定の変化率で
発振される一対のデイジタル値を受けるようにさせる。
これらの値は最大ビーム透過量を表わす夫々のレーザビ
ーム計算機２からの信号上に重ね合わせられて、夫々の
変調器4,4′を通って透過されるビームをして強度の発
振を行わせる。マイクロコンピュータ20から発振用デイ
ジタル信号を用いて送られる同期復調器19は、マイクロ
コンピュータ20により検知された連続直流電圧である出
力を付与する。この電圧信号の符号の示す所は、夫々の
ビーム変調器の両端の印加電圧が最大可能透過点の左に
あるか、右にあるかを示すことであり、かつ対応する調
整はビーム計算機２からの信号において行われる。
はビーム消滅点に設定され、それから各変調器4,4′に
対して、最大ビーム透過量に対応する電圧が決定され
る。これはビーム消滅点の位置決定の方法に類似した方
法により、手動調節または好ましくは自動的に達成し得
るものである。これを自動的に達成するためには、マイ
クロコンピュータ20はスイッチ22,22′の一方をして、
その夫々のD/Aコンバータ14,14′をマイクロコンピュー
タに接続するようにさせることにより、一定の変化率で
発振される一対のデイジタル値を受けるようにさせる。
これらの値は最大ビーム透過量を表わす夫々のレーザビ
ーム計算機２からの信号上に重ね合わせられて、夫々の
変調器4,4′を通って透過されるビームをして強度の発
振を行わせる。マイクロコンピュータ20から発振用デイ
ジタル信号を用いて送られる同期復調器19は、マイクロ
コンピュータ20により検知された連続直流電圧である出
力を付与する。この電圧信号の符号の示す所は、夫々の
ビーム変調器の両端の印加電圧が最大可能透過点の左に
あるか、右にあるかを示すことであり、かつ対応する調
整はビーム計算機２からの信号において行われる。
マイクロコンピュータ20は今度は２個のビーム変調器4,
4′を整合する。最初、ビーム計算機２はビーム消滅点
に設定され、マイクロコンピュータ20は一対のデイジタ
ル値をD/Aコンバータ14に送る。これらの値は透過点T1
に対応する上限値と、その変調器に関するビーム消滅点
に対応する下限値とを備えている。これらの値にしたが
って夫々電圧V1とV2とに対応する。簡単のために、電極
13,13′に印加されたバイアス電圧は０であると仮定す
る。D/Aコンバータ14に印加されたデイジタル値は正規
の矩形波の波形で印加され、第５図上部に示される矩形
波電圧信号を発生する。同時に第２の一対のデイジタル
値はマイクロコンピュータ20によりD/Aコンバータ14′
に印加される。これらのデイジタル値により第２の電圧
値を変調器４′の両端に印加するようにさせてかつ電圧
信号の下限値がビーム消滅点に対応している間、最初に
電圧信号の上限値が変調器４′をしてT1に対応する強度
より高い強度を以てビームを透過させるように選ばれ
る。これらの電圧V3とV4とは夫々第２図に図示されてお
り、また変調器４′の両端に印加された電圧信号の波形
は第５図中央部左側に示されている。第５図上部と第５
図中央部を比較することにより知られることは、変調器
4,4′の両端に印加される電圧信号は同じ周期を有する
が正確には逆相関係にあるということである。
4′を整合する。最初、ビーム計算機２はビーム消滅点
に設定され、マイクロコンピュータ20は一対のデイジタ
ル値をD/Aコンバータ14に送る。これらの値は透過点T1
に対応する上限値と、その変調器に関するビーム消滅点
に対応する下限値とを備えている。これらの値にしたが
って夫々電圧V1とV2とに対応する。簡単のために、電極
13,13′に印加されたバイアス電圧は０であると仮定す
る。D/Aコンバータ14に印加されたデイジタル値は正規
の矩形波の波形で印加され、第５図上部に示される矩形
波電圧信号を発生する。同時に第２の一対のデイジタル
値はマイクロコンピュータ20によりD/Aコンバータ14′
に印加される。これらのデイジタル値により第２の電圧
値を変調器４′の両端に印加するようにさせてかつ電圧
信号の下限値がビーム消滅点に対応している間、最初に
電圧信号の上限値が変調器４′をしてT1に対応する強度
より高い強度を以てビームを透過させるように選ばれ
る。これらの電圧V3とV4とは夫々第２図に図示されてお
り、また変調器４′の両端に印加された電圧信号の波形
は第５図中央部左側に示されている。第５図上部と第５
図中央部を比較することにより知られることは、変調器
4,4′の両端に印加される電圧信号は同じ周期を有する
が正確には逆相関係にあるということである。
変調器4,4′を通って透過されるビーム16,16′は共通検
知器18が受信し、この共通検知器18は検知器18上に入射
する全体光強度に従って発振する電圧出力を与えるもの
である。これは第５図下部左側に示され、そこにおいて
出力は電圧VBとVAの間で変化することが知られる。これ
は、ビーム16が消滅される時にビーム16′はV3に対応す
る強度にあり、一方ビーム16′が消滅するとビーム16は
V1に対応する強度にある。同期復調器19はマイクロコン
ピュータ20の検知した直流電圧信号である出力を得て、
この電圧信号の符号は、検知器出力の発振が変調器４の
両側に印加された電圧信号と同相または位相外れてある
かどうかに依存するものである。現在の状態では２つの
信号は位相外れにある。
知器18が受信し、この共通検知器18は検知器18上に入射
する全体光強度に従って発振する電圧出力を与えるもの
である。これは第５図下部左側に示され、そこにおいて
出力は電圧VBとVAの間で変化することが知られる。これ
は、ビーム16が消滅される時にビーム16′はV3に対応す
る強度にあり、一方ビーム16′が消滅するとビーム16は
V1に対応する強度にある。同期復調器19はマイクロコン
ピュータ20の検知した直流電圧信号である出力を得て、
この電圧信号の符号は、検知器出力の発振が変調器４の
両側に印加された電圧信号と同相または位相外れてある
かどうかに依存するものである。現在の状態では２つの
信号は位相外れにある。
電圧V3はそれから漸次減少に、したがって変調器４′の
透過は線分11が位置T1と交差するまで線分11に沿って変
化し、V3はV3′において設定されるようになる。この位
置において変調器４′の両端に印加された電圧信号は第
５図中央部右側に示された形状を有する。この信号は尚
変調器４の両端に印加された信号と逆相にする。しかし
ながら、変調器４′を通って透過されたビームの最大強
度は変調器４を通って透過されたビームより今度は小で
あるから、検出器18からの出力は第５図下部右側に示さ
れる形状を今度は有し、そこで出力信号は電圧VAと印加
電圧V3′に対応する新しい電圧VB′との間で変化する。
同期復調器19に送られたこの信号は今度は変調器４の両
端に印加された電圧信号と同相になり、したがって同期
復調器19は先の信号とは異った符号を有する直流出力を
与えることになる。
透過は線分11が位置T1と交差するまで線分11に沿って変
化し、V3はV3′において設定されるようになる。この位
置において変調器４′の両端に印加された電圧信号は第
５図中央部右側に示された形状を有する。この信号は尚
変調器４の両端に印加された信号と逆相にする。しかし
ながら、変調器４′を通って透過されたビームの最大強
度は変調器４を通って透過されたビームより今度は小で
あるから、検出器18からの出力は第５図下部右側に示さ
れる形状を今度は有し、そこで出力信号は電圧VAと印加
電圧V3′に対応する新しい電圧VB′との間で変化する。
同期復調器19に送られたこの信号は今度は変調器４の両
端に印加された電圧信号と同相になり、したがって同期
復調器19は先の信号とは異った符号を有する直流出力を
与えることになる。
マイクロコンピュータ20はこの位相関係を監視して同期
復調器19からの出力の符号が変化する電圧V3″の値を記
録する。これは変調器４′の透過がT1である場合に生ず
る位相関係の変化に対応する。
復調器19からの出力の符号が変化する電圧V3″の値を記
録する。これは変調器４′の透過がT1である場合に生ず
る位相関係の変化に対応する。
マイクロコンピュータ20はそれからV1に関する新しい値
を選択し、そのプロセスは繰返されて別の整合点を決定
する。すべての整合点が決定された場合には、レーザビ
ーム計算機２が制御信号を発生する前に参照する通常の
ルックアップ・テーブル32に格納される。
を選択し、そのプロセスは繰返されて別の整合点を決定
する。すべての整合点が決定された場合には、レーザビ
ーム計算機２が制御信号を発生する前に参照する通常の
ルックアップ・テーブル32に格納される。
現在の場合においては、６個のビーム変調器があるの
で、之までに説明して来たプロセスはそれから残りのビ
ーム変調器の各々に対してビーム変調器４を一対に組合
わせて繰返される。
で、之までに説明して来たプロセスはそれから残りのビ
ーム変調器の各々に対してビーム変調器４を一対に組合
わせて繰返される。
整合点間の中間の位置に対して、ある形式の変調器に関
して通常の数学的内挿法を実施することが可能である。
して通常の数学的内挿法を実施することが可能である。
第１図は本発明が適用される画像処理装置におけるビー
ム変調装置を説明するブロック線図； 第２図は２個のビーム変調装置の応答特性を示す図； 第３図は本発明の一実施例としての２個のビーム変調装
置および制御用電子回路を含む装置を示すブロック線
図； 第４図は第３図装置における同期復調器の構成を示す
図； 第５図は第３図装置における信号の波形を示す波形図で
ある。 １……入力走査器、２……レーザビーム計算機、３……
増幅器、4,4′……レーザビーム変調器（電気光学変調
器）、５……曝射用ヘッド、６……親ねじ、７……シリ
ンダ、８……軸、９……記録媒体、10……第１のビーム
変調器の電圧対透過率特性、11……第２のビーム変調器
の電圧対透過率特性、12,12′……電極、13,13′……電
極、14,14′……D/Aコンバータ、15,15′増幅器、16,1
6′……補助レーザビーム、17……鏡、18……共通光電
検出器、19……同期復調器、19A……増幅器、20……マ
イクロコンピュータ（CPU）、21,21′……D/Aコンバー
タ、22,22′……スイッチ用線路、24……集積化スイッ
チ、25……反転入力、26……増幅器、27……非反転入
力、28……低域通過フイルタ、29……比較器、30……レ
ーザ、32……メモリ、LUT……ルックアップ・テーブ
ル。
ム変調装置を説明するブロック線図； 第２図は２個のビーム変調装置の応答特性を示す図； 第３図は本発明の一実施例としての２個のビーム変調装
置および制御用電子回路を含む装置を示すブロック線
図； 第４図は第３図装置における同期復調器の構成を示す
図； 第５図は第３図装置における信号の波形を示す波形図で
ある。 １……入力走査器、２……レーザビーム計算機、３……
増幅器、4,4′……レーザビーム変調器（電気光学変調
器）、５……曝射用ヘッド、６……親ねじ、７……シリ
ンダ、８……軸、９……記録媒体、10……第１のビーム
変調器の電圧対透過率特性、11……第２のビーム変調器
の電圧対透過率特性、12,12′……電極、13,13′……電
極、14,14′……D/Aコンバータ、15,15′増幅器、16,1
6′……補助レーザビーム、17……鏡、18……共通光電
検出器、19……同期復調器、19A……増幅器、20……マ
イクロコンピュータ（CPU）、21,21′……D/Aコンバー
タ、22,22′……スイッチ用線路、24……集積化スイッ
チ、25……反転入力、26……増幅器、27……非反転入
力、28……低域通過フイルタ、29……比較器、30……レ
ーザ、32……メモリ、LUT……ルックアップ・テーブ
ル。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マイケル アーネスト ヒツクス イギリス国，ハートフオードシヤー エイ チピー23 ６ビーピー，トリング パーク ロード（番地なし），オーチヤード コツ テイジ (56)参考文献 特開 昭61−6621（ＪＰ，Ａ)
Claims (7)
- 【請求項１】２個のビーム変調器（4,4′）の透過特性
を整合させる方法であって、それぞれのビーム変調器は
加えられた制御関数に従って該変調器を通過する放射線
の透過を制御するデバイスを備え、該変調器の一方はテ
スト変調器を構成し、他方は基準変調器を構成するもの
であり、該方法は： （ａ）第１の制御関数を基準変調器に印加する過程であ
って、該第１の制御関数は第１の上限値と下限値（V1,V
2）の間で周期的に変化するもの； （ｂ）第２の制御関数をテストビーム変調器に印加する
過程であって、該第２の制御関数は、該第１の制御関数
と同じ周期でかつ反対位相で第２の上限値と下限値
（V3,V4）の間で周期的に変化するものであり、該第１
と第２の制御関数の範囲は、該変調器の透過特性が重畳
するけれども異っているような範囲であるもの； （ｃ）該変調器を通り透過されたビームを監視する過
程； （ｄ）該２個のビーム変調器により透過された組合せ放
射線と該第１又は第２の制御関数の間の位相関係を検出
する過程；および （ｅ）該第２の上限値（V3）を変化させ、かつ（ａ）か
ら（ｄ）までの段階を繰返すことにより、該監視された
位相関係が変化する該第２の上限値を決定する過程； を具備する、２個のビーム変調器の透過特性を整合させ
る方法。 - 【請求項２】相異なる量の該第１の上限値（V1）を用い
て段階（ａ）から（ｅ）までを繰返す過程を更に具備す
る、特許請求の範囲第１項記載の方法。 - 【請求項３】前記ビーム変調器（4,4′）の２個より多
くの透過特性を整合させるために、該方法は、最大強度
を透過させるように設定された場合、どのビーム変調器
が最低強度の放射線を透過するかを決定する過程であっ
て、この変調器は基準変調器と名付けられるもの、およ
びその後順次テストビーム変調器を構成する他のビーム
変調器の各々を用いて請求項１又は請求項２に係る方法
を実施する過程を更に具備する、特許請求の範囲第１項
または第２項記載の方法。 - 【請求項４】該周期的形式の該制御関数は矩形波である
ことを特徴とする、特許請求の範囲第１項ないし第３項
記載の方法。 - 【請求項５】該第１および第２の制御関数の第１および
第２の下限値が、それぞれの変調器に関するビーム消滅
に対応する該制御関数の値をそれぞれ具備することを特
徴とする、特許請求の範囲第１項ないし第４項記載の方
法。 - 【請求項６】変調器組立本体であって、 放射線発生手段（30）； 第１および第２のビーム変調器（4,4′）であって、そ
れぞれが印加された制御関数に従って該変調器を通過す
る放射線の透過を制御するデバイスを具備し、該変調器
の一方がテスト変調器を構成し、他方が基準変調器を構
成するものであり、該放射線発生手段は放射線ビーム
（16,16′）をしてそれぞれの変調器に当たるようにさ
せるもの； 該第１および第２の変調器（4,4′）にそれぞれ印加す
るために第１および第２の制御関数を発生せしめるため
の制御手段（20）であって、該第１の制御関数は第１の
上限値と下限値（V1,V2）の間で周期的に変化し、該第
２の制御関数は第２の上限値と下限値（V3,V4）の間で
該第１の制御関数と同じ周期でかつ逆位相で周期的に変
化し、該第１および第２の制御関数の範囲は該第１およ
び第２のビーム変調器の透過特性を重畳するが、しかし
相異なっているような範囲であるもの； 該第１および第２のビーム変調器により透過される組合
せられた放射線と該第１又は第２の制御関数との間の位
相関係を検知するための検知手段（18,19）；および 該検知手段が該位相関係の変化を決定する場合に該第２
の上限値（V3）を格納する記憶手段（32）； とを具備する変調器組立本体。 - 【請求項７】該検知手段が該透過された放射線のビーム
の各々が突当たる共通の検出器（18）を具備することを
特徴とする特許請求の範囲第６項記載の変調器組立本
体。
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|---|---|---|---|
| GB8427912 | 1984-11-05 | ||
| GB848427912A GB8427912D0 (en) | 1984-11-05 | 1984-11-05 | Matching beam modulators |
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|---|---|
| JPS61126534A JPS61126534A (ja) | 1986-06-14 |
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| JP (1) | JPH06100738B2 (ja) |
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