JPH06101371B2 - ZrO (bottom 2) method and electrode bonding method for heating element - Google Patents
ZrO (bottom 2) method and electrode bonding method for heating elementInfo
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- JPH06101371B2 JPH06101371B2 JP21177190A JP21177190A JPH06101371B2 JP H06101371 B2 JPH06101371 B2 JP H06101371B2 JP 21177190 A JP21177190 A JP 21177190A JP 21177190 A JP21177190 A JP 21177190A JP H06101371 B2 JPH06101371 B2 JP H06101371B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は大気または酸化雰囲気下で1800℃以上の超高温
に加熱する必要がある場合に用いるジルコニア発熱体の
電極接合方法および電極接合構造に関するものである。TECHNICAL FIELD The present invention relates to an electrode joining method and an electrode joining structure of a zirconia heating element used when it is necessary to heat to an ultrahigh temperature of 1800 ° C. or higher in the air or an oxidizing atmosphere. It is a thing.
従来の非金属発熱体、例えばジルコニア発熱体は、通常
次のようにして作られている。Conventional non-metallic heating elements, such as zirconia heating elements, are usually made as follows.
即ち、第5図に示すように、加圧成形又は押出し成形で
まず一定長さと径のジルコニア(ZrO2)製の丸棒1を作
製後乾燥焼成する。引き続き、旋盤により中央部の発熱
体1aを加工して研磨し、発熱体に仕上げる。さらに端部
の外周に室温で可撓性を有するジルコニアファイバーシ
ート2を少なくとも二周巻き付けてその間に白金リード
線3の端部を差し込むか、もしくはシート2の取付部に
予めリード線3の端部を差し込んで圧着し、これを巻き
つけるなどして作られていた。That is, as shown in FIG. 5, a round bar 1 made of zirconia (ZrO 2 ) having a constant length and diameter is first formed by pressure molding or extrusion molding and then dried and fired. Subsequently, the heating element 1a in the central portion is processed by a lathe and polished to be a heating element. Furthermore, the zirconia fiber sheet 2 having flexibility at room temperature is wound around the outer periphery of the end portion at least twice and the end portion of the platinum lead wire 3 is inserted between them, or the end portion of the lead wire 3 is previously attached to the attachment portion of the sheet 2. It was made by inserting, crimping it, and winding it.
〔発明が解決すべき課題〕 しかしながら、このようにして作られたジルコニア発熱
体にあっては、用いられるジルコニアシートが使用中高
温で膨張あるいは収縮して割れたり、ずれたりして通電
ができなくなる。又発熱体は1800℃前後もの超高温に達
するので、白金リード線が溶融蒸発してやせ細り、遂に
は断線に至るという問題があった。また、電極のジルコ
ニア成形体の膨張、或いは収縮によってジルコニア成形
体に亀裂や電極面との間に空隙が生じて電極部が外れ、
破損し易く寿命が短いため、その解決が実用化に当たっ
ての課題となっていた。[Problems to be solved by the invention] However, in the zirconia heating element produced in this way, the zirconia sheet used expands or contracts at a high temperature during use, cracks, or shifts, and current cannot be applied. . Moreover, since the heating element reaches an extremely high temperature of around 1800 ° C., the platinum lead wire melts and evaporates and becomes thin, resulting in a problem of disconnection. Further, expansion or shrinkage of the zirconia molded body of the electrode causes a gap between the zirconia molded body and a crack or an electrode surface to separate the electrode portion,
Since it easily breaks and has a short life, its solution has been a problem in practical use.
本発明は上記課題を解決するためのもので、超高温にお
いても電極の長寿命化を図ることができる電極接合方法
および接合構造を提供することを目的とする。The present invention is intended to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an electrode joining method and a joining structure capable of extending the life of the electrode even at an extremely high temperature.
前述した課題を解決すべく、ZrO2発熱体よりも低温にお
ける抵抗温度特性が優れ、かつZrO2の熱膨張係数に近
く、又二珪化モリブデン製発熱体のようにモリブデンの
酸化を防ぐためSiO2系の酸化被膜を生成し、ZrO2発熱体
との接合面でSiO2の絶縁被膜を形成する可能性のないラ
ンタンクロマイト製延長端子材料として採用する。In order to solve the above-mentioned problems, the resistance temperature characteristic at a lower temperature is superior to that of the ZrO 2 heating element, and it is close to the coefficient of thermal expansion of ZrO 2 , and in order to prevent the oxidation of molybdenum like the heating element made of molybdenum disilicide SiO 2 It is used as a lanthanum chromite extension terminal material that does not form a SiO 2 insulating film on the joint surface with a ZrO 2 heating element by forming a system oxide film.
ランタンクロマイトはCr2O3とLa2O3の等モル混合物を13
00℃以上で加熱すると合成でき、Laの一部をCaで置換し
た固容体La1-XCaXCrO3のXを0.2以下とすることによ
り、固有抵抗をジルコニアよりも小さくすることができ
る。導電性は雰囲気の影響を強く受け、酸素分圧10%以
上で導電性を示し、真空中、不活性ガス中で加熱する場
合も、前もって酸素雰囲気中で処理することにより導電
性が得られる。Lanthanum chromite is an equimolar mixture of Cr 2 O 3 and La 2 O 3.
The specific resistance can be made smaller than that of zirconia by setting the X of the solid solution La 1-X Ca X CrO 3 in which a part of La is replaced by Ca to 0.2 or less. The conductivity is strongly influenced by the atmosphere and exhibits conductivity at an oxygen partial pressure of 10% or more. Even when heating in a vacuum or an inert gas, the conductivity can be obtained by treating in an oxygen atmosphere in advance.
ジルコニア発熱体端子と延長端子であるランタンクロマ
イトは、ジルコニア発熱体とランタンクロマイトの若干
の熱膨張差を利用し、ジルコニア発熱体の方が若干、熱
膨張率が大きいため、接合部におけるジルコニア側を凸
型とし、ランタンクロマイト側を凹型として接合する。The lanthanum chromite, which is a zirconia heating element terminal and an extension terminal, uses the slight difference in thermal expansion between the zirconia heating element and the lanthanum chromite.Since the zirconia heating element has a slightly higher coefficient of thermal expansion, The lanthanum chromite side is a convex type and the concave type is joined.
第1図においては、同図(a)の縦断面図、同図(b)
の横断面図から分かるように、円筒状のZrO2発熱体11の
端部に大径のZrO2端子10を形成し、その先端部に先端に
向かって径が小さくなる円錐状の凸部12を形成する。円
筒状のZrO2発熱体11、ZrO2端子10は、例えば心材にZrO2
シートを巻付け、焼成して形成される。一方、凸部12に
対して形状が符号するように円錐形状凹部21を形成した
円筒状のランタンクロマイト延長端子20を、ZrO2端子10
に嵌合させ、ZrO2端子10と延長端子20の接触面をモルタ
ル30により接着する。なお、図ではZrO2発熱体11の先端
が凸部12より突出するようにしているが、ZrO2発熱体11
の先端を凸部12の先端と面一にするようにしていてもよ
く、その場合は延長端子は中空構造でなくてもよい。In Fig. 1, a vertical cross-sectional view of Fig. 1 (a) and Fig. 1 (b).
As can be seen from the cross-sectional view of FIG. 3, a large-diameter ZrO 2 terminal 10 is formed at the end of the cylindrical ZrO 2 heating element 11, and a conical convex portion 12 whose diameter decreases toward the tip is formed at the tip. To form. The cylindrical ZrO 2 heating element 11 and the ZrO 2 terminal 10 are provided, for example, with ZrO 2 as a core material.
It is formed by winding a sheet and firing it. On the other hand, a cylindrical lanthanum chromite extension terminal 20 in which a conical recess 21 is formed so that the shape of the protrusion 12 is the same as the ZrO 2 terminal 10 is formed.
Then, the contact surfaces of the ZrO 2 terminal 10 and the extension terminal 20 are bonded with the mortar 30. In the figure, the tip of the ZrO 2 heating element 11 is projected from the convex portion 12, but the ZrO 2 heating element 11
The tip of the terminal may be flush with the tip of the convex portion 12, in which case the extension terminal does not have to have a hollow structure.
第2図においては、ZrO2端子先端の凸部13が円錐状では
なく、第2図(b)の断面図に示すように、上下部分を
半月状にカットして先端に向かって上下方向の幅が狭く
なるようにテーパーを付けて形成し、これに形状が符号
するように延長端子20に凹部を形成したものであり、そ
の接合方法は第1図の場合と同様である。In FIG. 2, the protrusion 13 at the tip of the ZrO 2 terminal is not conical, but as shown in the sectional view of FIG. It is formed by tapering so that the width becomes narrower, and the recess is formed in the extension terminal 20 so that the shape thereof corresponds to the shape. The joining method is the same as in the case of FIG.
第3図においては、ZrO2端子先端の凸部14が、第2図の
場合に対して逆テーパー状の凸部を形成し、これに形状
が符号するように延長端子20に凹部を形成したものであ
る。この例においては、横方向からスライドさせて嵌合
させるので、ZrO2発熱体11の先端を凸部12の先端と面一
にするか、あるいは延長端子の凹部の深さを発熱体11の
先端から逃げられる程度に深くする必要がある。In FIG. 3, the convex portion 14 at the tip of the ZrO 2 terminal forms an inverse tapered convex portion as compared with the case of FIG. 2, and the concave portion is formed in the extension terminal 20 so that the shape corresponds to this. It is a thing. In this example, since it is slid from the lateral direction to be fitted, the tip of the ZrO 2 heating element 11 is made flush with the tip of the convex portion 12, or the depth of the recess of the extension terminal is set to the tip of the heating element 11. It needs to be deep enough to escape from.
このとき使用する接合モルタルの具備すべき条件は次の
ようなものである。The conditions that the joining mortar used at this time should have are as follows.
モルタルの電気抵抗が低いこと 接着強度が大きいこと モルタル組織の変化がないこと 以上の条件は、ZrO2質0〜100重量%、ランタンクロマ
イト質100〜0重量%モルタル、またはZrO2質0〜100重
量%、CeO20〜50重量%モルタルにより満たすことが可
能である。The electrical resistance of mortar is low. The adhesive strength is high. There is no change in the mortar structure. The above conditions are ZrO 2 quality 0-100 wt%, lanthanum chromite 100-0 wt% mortar, or ZrO 2 quality 0-100. It is possible to fill it with a mortar by weight%, CeO 2 0-50% by weight.
第4図に示すように、外側炉40内に形成された予熱室41
に内側炉(ZrO2炉40を配置する。予熱室41はヒータ43に
より1000℃程度に加熱される。ZrO2は絶縁体であるが、
1000℃程度に加熱されると導電性を示し、この状態で電
源Eより通電することにより発熱体として機能する。As shown in FIG. 4, a preheating chamber 41 formed in the outer furnace 40
The inner furnace (ZrO 2 furnace 40 is placed in the preheating chamber 41 is heated to about 1000 ° C. by the heater 43. ZrO 2 is an insulator,
When it is heated to about 1000 ° C, it exhibits conductivity, and when it is energized by the power source E in this state, it functions as a heating element.
そして、いろいろ実験した結果、下記の特性が見い出さ
れ、使用条件に合った使い型で耐用を延ばすことば可能
となった。As a result of various experiments, the following characteristics were found, and it became possible to extend the service life by using a usage type suitable for the usage conditions.
即ち、ZrO2にCrO2O3を添加していくにつれ、接着強度は
低下するものの電気抵抗は低くなり、又高温域(2000
℃)での組織変化はないが熱膨張が大きく、収縮率が小
さくなる。That is, as CrO 2 O 3 was added to ZrO 2 , the adhesive strength decreased, but the electrical resistance decreased, and the high temperature range (2000
There is no microstructural change at (° C), but the thermal expansion is large and the shrinkage rate is small.
ZrO2にランタンクロマイトを添加していくにつれ、接着
強度は向上し、電気抵抗も低くなるが、高温域(2000
℃)ではモルタル中のCrO2O3成分の蒸発により、組織変
化が起こる。As lanthanum chromite is added to ZrO 2 , the adhesive strength increases and the electrical resistance decreases, but at high temperature (2000
At ℃), microstructural changes occur due to evaporation of CrO 2 O 3 components in the mortar.
そのため、ZrO2にCeO2を添加したもの、ZrO2にランタン
クロマイトを添加したものとも共通に接着位置は、第4
図に示すようにZrO2炉の外側に位置させ、天井・底板の
面S1、S2から少なくとも10m/m以上離した位置にする。
また、モルタルの接合は次のような稼働条件で使用する
ことにより、耐用をさらに向上させることが可能であ
る。Therefore, a material obtained by adding CeO 2 to ZrO 2, bonding positions in common also that the addition of lanthanum chromite to ZrO 2, the fourth
As shown in the figure, it is located outside the ZrO 2 furnace and is located at least 10 m / m or more from the surfaces S1 and S2 of the ceiling / bottom plate.
Further, the mortar joining can further improve the durability by using it under the following operating conditions.
即ち、昇温速度(1500℃から通電開始し、2000℃まで達
する時間)を速くするためには、電気抵抗の低いモルタ
ルを用いるのが望ましく、ZrO2〜ランタンクロマイト系
モルタル、またZrO2〜CeO2系モルタルのどちらでも良い
が、モルタルの熱膨張が大きいため、接合位置を天井、
底板面から20m/m以上の位置にし、しかも接着強度が低
下することから発熱体のサイズは若干小さくする。この
場合、最高使用温度は従来の2000℃から2100℃と高温発
熱が可能となる。That is, in order to increase the rate of temperature rise (starting energization from 1500 ° C. and reaching 2000 ° C.), it is desirable to use a mortar with low electrical resistance, such as ZrO 2 lanthanum chromite mortar, or ZrO 2 ˜CeO. Either 2 type mortar may be used, but since the thermal expansion of mortar is large, the joining position is the ceiling,
It should be located at a position 20m / m or more from the bottom plate surface, and since the adhesive strength will be reduced, the size of the heating element will be made slightly smaller. In this case, the maximum operating temperature is 2000 ° C to 2100 ° C, which enables high temperature heat generation.
そして、延長端子を介在させるので発熱体端部から離れ
た常温ないし低温部分(常温〜400℃程度)でリード線
に接合することがで、発熱体端子部の白金線の断線、電
極部の損傷等のトラブルを解消することができる。Since the extension terminal is interposed, it can be joined to the lead wire at a room temperature or low temperature part (room temperature to about 400 ° C) away from the end of the heating element. It is possible to eliminate such troubles.
第1図に示す如くZrO2発熱体の端子外径φ18〜φ20m/m
にφ16〜φ14m/mからφ12〜φ10m/mで高さ5〜20m/mの
凸型のテーパーを設ける。ランタンクロマイト発熱体の
端子部外径φ18m/m〜φ20m/mにφ17m/m〜φ15m/mからφ
13m/m〜φ11m/mで高さ5〜20m/mの凹型のテーパーを設
け、目地代を1m/mとする。As shown in Fig. 1, the outer diameter of the terminal of the ZrO 2 heating element is φ18 to φ20 m / m.
A convex taper with a height of 5 to 20 m / m and a diameter of 16 to 14 m / m to 12 to 10 m / m. Φ17m / m to φ15m / m to φ18m outside diameter of lanthanum chromite heating element φ18m / m to φ20m / m
A concave taper with a height of 5 to 20 m / m and a height of 13 m / m to 11 m / m will be provided, and the joint allowance will be 1 m / m.
(A)目地材としてY2O37重量%安定化ZrO2粒(0.1m/m
径以下)を70重量%と、10重量%添加ランタンクロマイ
ト粒(0.1m/m径以下)を30重量%とした粉末にバインダ
ーとしてメチルセルロース1重量%酢酸ジルコニウム水
溶液(ZrO2=15%)20重量%を添加し、混練したモルタ
ルを用いて接着した。1500℃からZrO2発熱体に通電を開
始したところ、2000℃まで昇温するのに、従来のもの
(白金タイプ)では30分の昇降温時間を要したのに対
し、本実施例のものでは20分まで短縮可能となり、かつ
1500℃⇔2000℃の繰り返し回数は、電極部の外れにより
従来のものでは50回が限度であったが、本実施例では10
0回まで可能となった。また、従来2000℃連続500hrsで
あったが、1000hrに延ばすことが可能となり、しかもZr
O2発熱体のサイズを全長300m/mから400m/mに大型化させ
ることが可能となった。(A) As a joint material, Y 2 O 3 7 wt% stabilized ZrO 2 grains (0.1 m / m
20% by weight of powdered lanthanum chromite particles (0.1m / m diameter or less) added to 30% by weight, and 1% by weight of methylcellulose as a binder (zrO 2 = 15%). % Was added and bonded using a kneaded mortar. When energization of the ZrO 2 heating element was started from 1500 ° C, it took 30 minutes to raise and lower the temperature to 2000 ° C in the conventional case (platinum type), whereas in the case of this example Can be shortened to 20 minutes, and
The number of repetitions of 1500 ° C. to 2000 ° C. was limited to 50 times in the conventional one due to the detachment of the electrode part, but in the present embodiment, it was 10 times.
It became possible 0 times. In addition, it was possible to extend it to 1000 hrs, while it was 500 hrs continuously at 2000 ° C in the past.
It has become possible to increase the size of the O 2 heating element from 300 m / m to 400 m / m.
(B)目地材としてY2O37重量%安定化ZrO2粒(0.1m/m
径以下)を85重量%と、CeO2粒(0.1m/m径以下)を15重
量%とした粉末にバインダーとしてメチルセルロース1
重量%酢酸ジルコニウム水溶液(ZrO2=15%)20重量%
を添加し、混練したモルタルを用いて接着した。ZrO2発
熱体のサイズは従来のの300m/mであるが、接着位置を天
井から40m/mの位置とすることにより、1500℃からZrO2
発熱体に通電開始し、従来のものでは2000℃までであっ
たが、本実施例では2100℃の高温まで30分で昇温でき
た。しかも1500℃⇔2100℃の繰り返し回数を100回まで
可能となり、2100℃連続1000hrの高耐用が得られた。(B) Y 2 O 3 7% by weight stabilized ZrO 2 grains as joint fillers (0.1 m / m
Diameter of less than 85% by weight and CeO 2 particles (0.1 m / m diameter or less) at 15% by weight.
Wt% zirconium acetate aqueous solution (ZrO 2 = 15%) 20 wt%
Was added and the mixture was bonded using a kneaded mortar. The size of the ZrO 2 heating element is 300m / m, which is the same as the conventional one, but by setting the bonding position to be 40m / m from the ceiling, the ZrO 2
The heating element started to be energized, and it was possible to raise the temperature to a high temperature of 2100 ° C. in 30 minutes in the present example, while the conventional one was up to 2000 ° C. In addition, 1500 ℃ ⇔2100 ℃ can be repeated up to 100 times, resulting in a high durability of 2100 ℃ continuously for 1000 hours.
(C)目地材としてY2O37重量%安定化ZrO2粒(0.1m/m
径以下)100重量%にバインダーとしえメチルセルロー
ス1重量%酢酸ジルコニウム水溶液(ZrO2=15%)20重
量%を添加し、混練したモルタルを用いて接着した。Zr
O2発熱体のサイズは従来の300m/mであるが最高使用温度
は2050℃までとなり、昇降温速度は従来と同じであるが
1500℃⇔2050℃の繰り返し回数を100回,2050℃連続1000
hrと高耐用が得られた。(C) As a joint material, 7 wt% Y 2 O 3 stabilized ZrO 2 grains (0.1 m / m
100% by weight or less), 20% by weight of methylcellulose 1% by weight zirconium acetate aqueous solution (ZrO 2 = 15%) was added as a binder, and the mixture was bonded using a kneaded mortar. Zr
The size of the O 2 heating element is 300m / m, but the maximum operating temperature is up to 2050 ° C, and the rate of temperature increase / decrease is the same as before.
Repeated 1500 ℃ ⇔2050 ℃ 100 times, 2050 ℃ continuous 1000
hr and high durability were obtained.
以上は、第1図の構造のものであるが、第2図、第3図
に示す型の接合構造に上記モルタルを使用した場合も、
第1図と同様の耐用結果が得られた。The above is the structure of FIG. 1, but when the above mortar is used in the joint structure of the mold shown in FIGS. 2 and 3,
The same durability result as in FIG. 1 was obtained.
以上のように本発明によれば、ZrO2発熱体の両端に、電
極を形成するランタンクロマイト製延長端子をZrO2質0
〜100重量%,ランタンクロマイト質100〜0重量%モル
タル、またはZrO2質0〜100重量%,CeO20〜50重量%
モルタルで接着することにより、電気抵抗を低くすると
ともに、接着強度を大きくすることが可能となる。また
ZrO2発熱体とランタンクロマイトの延長端子の接続は、
ZrO2とランタンクロマイトの熱膨張差を使用し、テーパ
ー状の接続方法をとり、発熱体端部から離れた常温ない
し低温部分(常温〜400℃程度)でリード線に接合出
来、その結果、発熱体端子部の白金線の断線、電極部の
損傷等のトラブルを解消出来、発熱体の耐用回数を飛躍
的に延ばすことが可能となった。According to the present invention as described above, both ends of the ZrO 2 heating elements, ZrO 2 quality 0 lanthanum chromite made extension terminals to form an electrode
-100% by weight, lanthanum chromite 100-0% by weight mortar, or ZrO 2 0-100% by weight, CeO 20 0-50% by weight
By bonding with mortar, it is possible to lower the electric resistance and increase the bonding strength. Also
The connection between the ZrO 2 heating element and the extension terminal of the lanthanum chromite is
Using the difference in thermal expansion between ZrO 2 and lanthanum chromite, a taper type connection method can be used to bond to the lead wire at room temperature or low temperature (room temperature to 400 ° C) away from the end of the heating element, resulting in heat generation. Problems such as breakage of the platinum wire in the body terminal and damage to the electrode were eliminated, and the number of cycles of the heating element could be dramatically increased.
第1図、第2図、第3図は本発明の電極接続構造を説明
するための図、第4図は発熱体への通電方法を説明する
ための図、第5図は従来の電極接続構造を説明するため
の図である。 10…ZrO2端子、11…ZrO2発熱体、12〜14…凸部、20…ラ
ンタンクロマイト延長端子、21〜23…凹部。1, 2 and 3 are views for explaining an electrode connection structure of the present invention, FIG. 4 is a view for explaining a method of energizing a heating element, and FIG. 5 is a conventional electrode connection. It is a figure for demonstrating a structure. 10 ... ZrO 2 terminal, 11 ... ZrO 2 heating element, 12 to 14 ... convex part, 20 ... lanthanum chromite extension terminal, 21 to 23 ... recessed part.
Claims (2)
タンクロマイト製延長端子をZrO2質0〜100重量%,ラ
ンタンクロマイト質100〜0重量%モルタル、またはZrO
2質0〜100重量%,CeO20〜50重量%モルタルにより接
着したことを特徴とするZrO2発熱体の電極接合方法。1. A lanthanum chromite extension terminal for forming electrodes on both ends of a ZrO 2 heating element, containing 0 to 100% by weight of ZrO 2 and 100 to 0% by weight of lanthanum chromite, or ZrO.
A method for joining electrodes of a ZrO 2 heating element, characterized in that two substances are bonded by 0-100 wt% and CeO 2 0-50 wt% by mortar.
合構造であって、発熱体の両端子部に形成されたテーパ
状凸部と、電極を形成するランタンクロマイト製延長端
子の端面に形成された凹部とを嵌合させ、発熱体と延長
端子の接触面をモルタルで接着したことを特徴とするZr
O2発熱体の電極接合構造。2. An electrode joining structure joined by the method according to claim 1, wherein a tapered convex portion formed on both terminal portions of the heating element and an end surface of a lanthanum chromite extension terminal forming an electrode. Zr characterized in that the concave part formed in is fitted and the contact surface of the heating element and the extension terminal is bonded with mortar.
O 2 heating element electrode bonding structure.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21177190A JPH06101371B2 (en) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | ZrO (bottom 2) method and electrode bonding method for heating element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21177190A JPH06101371B2 (en) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | ZrO (bottom 2) method and electrode bonding method for heating element |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0494082A JPH0494082A (en) | 1992-03-26 |
| JPH06101371B2 true JPH06101371B2 (en) | 1994-12-12 |
Family
ID=16611320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21177190A Expired - Lifetime JPH06101371B2 (en) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | ZrO (bottom 2) method and electrode bonding method for heating element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06101371B2 (en) |
-
1990
- 1990-08-10 JP JP21177190A patent/JPH06101371B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0494082A (en) | 1992-03-26 |
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